專利名稱：用于制造平板顯示屏的顯影方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及平板顯示屏的制造方法，更具體地i兌，其涉及用于
在顯示屏上形成電^L圖案的顯影方法。
背景技術(shù)：
目前通用的交流氣體》文電顯示屏(等離子顯示屏)均采用表面 ;改電型結(jié)構(gòu)。如圖1所示，現(xiàn)有的等離子顯示屏包4舌一個上基板1 及與之封接在一起的下基板7,上基板上設(shè)置有透明電極IT0 2和 匯流電才及3,透明電一及和匯流電纟及構(gòu)成》文電電纟及，；改電電才及包纟舌維 持放電電極X和掃描/維持放電電極Y，在放電電極的表面覆蓋有一 層介質(zhì)層4,介質(zhì)層上覆蓋一層介質(zhì)保護(hù)層5。所述的下基板上配 置有與力文電電才及相互垂直的尋址電極8，尋址電極上覆蓋一層介質(zhì) 層6,介質(zhì)層上配置有與其尋址電才及平^f于的條狀障壁10，且在條狀 障壁的底部覆蓋有熒光粉層9,前后基板用4氐熔點(diǎn)玻璃4分封接在一 起，并且在其間充入Ne 、 Ar 、 Xe等的混合方文電氣體。
目前交流等離子顯示屏制作中，為了追求高畫質(zhì)高分辨率， 制作更^f青細(xì)的圖形，業(yè)內(nèi)均采用光刻法獲得圖形。透明電才及采用蒸 鍍后，通過貼膜、曝光、顯影、刻蝕得到圖形，匯流電極及尋址電 極采用印刷后通過曝光、顯影得到圖形，障壁是采用印刷后貼膜、 曝光、顯影、噴砂，剝膜后得到圖形。所有圖形的獲得均需通過顯 影，故顯影工藝顯得尤為重要。目前業(yè)內(nèi)主要^f吏用兩種顯影方法，圖2示出了一種顯影方法。 在該方法中，j皮璃基^反21以平4亍于J4面的方式7jc平;也進(jìn)入顯影區(qū)， 噴淋頭23沿基板圖形線條方向來回掃射進(jìn)行噴淋，將顯影液22噴 至基一反21上。采用這種方法，由于顯影液容易滯留在基一反上，使 得在滯留顯影液的區(qū)域出現(xiàn)過顯影，導(dǎo)致所獲得圖形線條的 一致性 較差。
圖3示出了另一種顯影方法。在該方法中，5皮璃基才反31以垂 直于地面的方式進(jìn)入顯影區(qū)，噴淋頭33沿基板圖形線條方向來回 掃射進(jìn)行噴淋，將顯影液32噴至基板31上。采用這種方法也存在 著不足，因為被噴至基板上部區(qū)域的顯影液在重力作用會向基板的 下部區(qū)域流動，造成在基板不同高度的區(qū)域顯影液濃度及液體存留 時間的差異，這同樣會導(dǎo)致所獲得圖形線條的一致性變差。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明4是供一種新的用于在透明基板上形成電才及圖案的顯影 方法，以在該透明基板上形成線條寬度均勻的電極圖案。
才艮據(jù)本發(fā)明的用于制造平板顯示器的顯影方法，在顯影時，將 要顯影的基板水平設(shè)置，位于噴嘴的上方，并使帶有感光膜的一面 朝下，在顯影過程中，將顯影液乂人噴嘴由下向上噴淋。
在一具體的實施方式中，通過p及盤吸^主基^反向上的一面而水平 設(shè)置所述基板。
在一具體的實施方式中，感光膜由負(fù)性感光月交形成，顯影液為 1-2%的無水碳酸鈉的水溶液，溶液的溫度為30-40°C。
在一具體的實施方式中，基才反距顯影液噴嘴大約30厘米。本發(fā)明的顯影方法4吏得顯示屏基板一皮顯影后得到的圖形邊緣 整齊清晰，且參lt一致性強(qiáng)，也避免在基才反的不同區(qū)域過顯影及顯 影不足問題。


圖1是示意性表示現(xiàn)有PDP顯示屏結(jié)構(gòu)的示意圖2是示出現(xiàn)有技術(shù)中用于在基板上獲得電極圖形的一種顯影 方法的示意圖3是示出現(xiàn)有技術(shù)中用于在基板上獲得電極圖形的另 一種顯 影方法的示意圖4是示出本發(fā)明的用于在基板上獲得電極圖形的顯影方法的 示意圖。
具體實施例方式
在本發(fā)明的方法中，如圖4所示，待顯影的基板1被水平設(shè) 置，位于噴嘴3的上方，并4吏帶有感光膜的一面朝下，在顯影過程 中，將顯影液2從噴嘴由下向上噴淋，噴淋時液體流與基板的角度 可以在與基^反成90。
±30。的范圍內(nèi)，優(yōu)選在大約90° 。
在本發(fā)明的一具體實施方式
中，是通過吸盤(圖中未示出)吸 住基板的上表面，將其"懸掛"在顯影裝置的上方。
在本發(fā)明的一具體實施方式
中，用于形成感光膜的感光膠為負(fù) 性膠，例如為購自北京力拓達(dá)科才支有限責(zé)4壬7>司的商品名為 L-P2106型油墨。這時，通常采用無水石灰酸鈉稀溶液作為顯影液， 顯影時，感光力莫中未曝光部分的活性基團(tuán)與3希石威卩容液反應(yīng)生成可〉容性物質(zhì)而溶解下來。雖然本發(fā)明僅以負(fù)性感光膠和無水碳酸鈉溶液 來舉例說明技術(shù)方案，但本發(fā)明的方法并不局限于此，本發(fā)明的方 法同才羊適用于正性感光材沖牛和相應(yīng)的顯影液。
對于使用例如L-P2106型油墨( 一種負(fù)性感光材料)形成的感 光月莫的情況，適宜用1-2%的石友酸鈉水;容液作為顯影液。顯影時感 光膜中的活性基團(tuán)羧基-COOH與無水碳酸鈉溶液中的CO,作用， 生成親水性基團(tuán)-COONa。從而把未曝光的部分溶解下來，而曝光 部分的干膜不被溶脹。
顯影:燥作一般要在顯影才幾中進(jìn)行，控制好顯影液的溫度、傳送 速度、噴淋壓力等顯影參數(shù)，能夠得到更好的顯影效果。液溫通常 在三十至三十五4聶氏度之間。在正式顯影之前，要^巴顯影才幾升溫， z使溶液達(dá)到預(yù)定溫度，從而達(dá)到最佳的顯影效果。顯影才幾分三個部 分第一段是噴淋段，主要是利用高壓噴射碳酸鈉溶液，使未被曝 光的阻焊劑溶解下來；第二段是水洗段，首先是利用高壓泵水洗， 先將殘留溶液水洗干凈，然后進(jìn)入循環(huán)水洗，徹底洗凈；第三4殳是 吹千革殳，吹干4殳前后各有一個風(fēng)刀主要是用熱風(fēng)4巴板子吹干，再有 吹干4殳的溫度較高也可4巴板子烘干。正確的顯影時間通過顯出點(diǎn) (也稱顯出點(diǎn)，沒有曝光的漿料或干膜從印制4反上^皮溶解掉之點(diǎn)) 來確定，顯硬點(diǎn)必須保持在顯影,殳總長度的一個恒定百分比上，如 果顯出點(diǎn)離顯影段出口太近，未聚合的部分得不到充分的清潔顯 影，抗蝕劑的殘余可能留在板面上。如果顯出點(diǎn)離顯影^:的入口太 近，已聚合的部分由于與顯影液過長時間的接觸，可能一皮浸蝕而圖 形邊緣有毛刺不整潔。通常顯出點(diǎn)控制在顯影-歐總長度的40-60% 之內(nèi)。顯出點(diǎn)的計算方法較為簡單，使用一至幾塊長的基板，其長 度大于等于顯影段的長度，貼完膜后不曝光直接顯影，當(dāng)基板的最 前端走到顯影出口時關(guān)閉顯影液的噴淋。才艮據(jù)基板顯影的情況可得
6知顯出點(diǎn)在顯影段中的位置。從而根據(jù)顯示情況調(diào)整顯影速度達(dá)到 最佳的顯影狀態(tài)。
顯影才幾在使用時由于溶液不斷地噴'淋攪動，會出現(xiàn)大量泡沫， 因此必須加入適量的消泡劑。如正丁醇等。顯影后要確4呆板面上無 余膠，以保證線條與基板有良好的結(jié)合力。
在顯影的過程中石灰酸鈉不斷需要補(bǔ)充，以確<呆顯影液濃度。
顯影后需;f全查板面是否有余膠，肉目艮4艮難看出，可用曱基紫酒 精水溶液硫化鈉或硫化鉀溶液檢查，染色曱基紫顏色和浸入硫化 物后沒有顏色改變i兌明有余月交。
最后用檢查設(shè)備對顯影后的圖形參數(shù)對照-沒計值進(jìn)行檢查。
本發(fā)明的顯影方法具有優(yōu)點(diǎn)
1、 基^反的任何區(qū)域受顯影液的噴'淋均一致，不存在積液的問 題
2、 有效解決了原有顯影方式在同一基板上存在的不同區(qū)域過 顯影及顯影不足問題。
3、 顯影后得到的圖形邊緣整齊清晰，且參數(shù)一致性強(qiáng)。 4 、后續(xù)的顯影液沖洗比較容易進(jìn)行并較容易沖洗干凈。
實施例1:
酉己制1%的無水碳酸鈉溶液顯影液，液溫3(TC。顯影的速度在 范圍內(nèi)隨溫度增高而加快，對于不同的漿料千膜顯影溫度略有差 別，需才艮據(jù)實際情況調(diào)整。將顯影的玻璃板背面用吸盤吸附，平行于顯影設(shè)備噴嘴放置，
基板距噴嘴大約30厘米。
設(shè)備運(yùn)行后，顯影液流與玻璃基板成90°±30°由下至上勻速噴 淋，至此感光膜中未曝光部分的活性基團(tuán)與稀石成溶液反應(yīng)生成可溶 性物質(zhì)而溶解下來，顯影時活性基團(tuán)羧基-COOH與無水碳酸鈉溶液 中的CO,廣作用，生成親水性基團(tuán)-COONa。從而4巴未曝光的部分溶 解下來，而曝光部分的干膜不祐:溶脹。
根據(jù)實際漿料干膜控制好顯影液的溫度，傳送速度，噴淋壓力 等顯影參數(shù)，以得到好的顯影效果。
通過觀察顯出點(diǎn)(沒有曝光的漿料或干膜乂人印制板上一皮溶解掉 之點(diǎn))來確定顯影時間，通常顯出點(diǎn)保持在顯影)殳總長度的40-60% 之內(nèi)。
顯影液中加入1%的正丁醇作為消泡劑。
在顯影的過程中監(jiān)測碳酸鈉溶液的PH值，^4居PH值的變化補(bǔ) 充新的^灰酸鈉溶液，以確^f呆顯影液濃度。
顯影后要確保板面上無余膠，以保i正線條與基板有良好的結(jié)合 力。用1 %曱基紫酒精水溶液或1 %的硫化鈉或硫化鉀溶液檢查板 面是否有余膠，染色甲基紫顏色和浸入石充化物后沒有顏色改變說明 有余膠。若檢測有余膠，對顯影過程中的傳送速度，噴淋壓力等顯 影參凄t進(jìn)4于調(diào)整以達(dá)到纟反面上無余月交。
最后用4企查設(shè)備對顯影后的圖形參tt對照i殳計值進(jìn)行4全查。 實施例2:
配制2%的無水碳酸鈉溶液顯影液，液溫4(TC。顯影的速度在 范圍內(nèi)隨溫度增高而加快，不同的漿料干膜顯影溫度略有差別，需 根據(jù)實際情況調(diào)整，溫度過高會使膜缺乏韌性變脆。
8將顯影的玻璃板背面用吸盤吸附，平行于顯影設(shè)備噴嘴放置，
基板距噴嘴大約30厘米
"i殳備運(yùn)^f亍后，顯影液與J皮璃基才反呈與基—反成90°±30。由下至上 勻速噴淋，至此感光膜中未曝光部分的活性基團(tuán)與-希石咸溶液反應(yīng)生 成可溶性物質(zhì)而溶解下來，顯影時活性基團(tuán)羧基-COOH與無水碳酸 鈉溶液中的C032—作用，生成親水性基團(tuán)-COONa。從而把未曝光的部 分溶解下來，而曝光部分的干膜不被溶脹。
控制好顯影液的溫度，傳送速度，噴淋壓力等顯影參數(shù)，以得 到好的顯影效果。
通過觀察顯出點(diǎn)(沒有曝光的漿沖+或干膜從印制板上一皮溶解掉 之點(diǎn))來確定顯影時間，通常顯出點(diǎn)保持在顯影段總長度的40-60% 之內(nèi)
顯影液中加入1%的正丁醇作為消泡劑。
在顯影的過程中監(jiān)測碳酸鈉溶液的PH值，^4居PH值的變化補(bǔ) 充新的石友酸鈉;:容'液，以確-f呆顯影液濃度。
顯影后要確保板面上無余力交，以保證線條與基板有良好的結(jié)合 力。用1%曱基紫酒精水溶液或2%的硫化鈉或硫化鉀溶液檢查板 面是否有余膠，染色曱基紫顏色和浸入石克化物后沒有顏色改變說明 有余膠。若檢測有余膠，對顯影過程中的傳送速度，噴淋壓力等顯 影參數(shù)進(jìn)行調(diào)整以達(dá)到板面上無余月交。
最后用檢查"i殳備對顯影后的圖形參lt對照i殳計值進(jìn)行一企查。
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權(quán)利要求
1. 用于制造平板顯示器的顯影方法，其特征在于，將要顯影的基板水平設(shè)置，位于噴嘴的上方，并使帶有感光膜的一面朝下，在顯影過程中，將顯影液從噴嘴由下向上噴淋。
2. 4艮據(jù)4又利要求1所述的方法，其中，通過吸盤吸住所述基板向 上的一面而水平i殳置所述基4反。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述感光膜由負(fù)性感光膠 形成，所述顯影液為1-2%的無水碳酸鈉的水溶液，所述溶液 的溫度為30-40°C。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述基板距顯影液噴嘴大 約30厘米。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項所述的方法，其中，噴淋時所述顯 影液的液體流與基板的角度在與基板成90° ±30°的范圍內(nèi)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，噴淋時所述顯影液的液體 流與基板的角度大致為90° 。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于在透明基板上形成電極圖案的顯影方法，該方法為，將要顯影的基板水平設(shè)置，使其位于噴嘴的上方，并使帶有感光膜的一面朝下，在顯影過程中，將顯影液從噴嘴由下向上噴淋。該方法可以在該透明基板上形成線條寬度均勻的電極圖案。
文檔編號H01J9/02GK101498901SQ20081005711
公開日2009年8月5日 申請日期2008年1月29日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月29日
發(fā)明者唐翠珍, 張小芳, 趙曉東 申請人:四川世紀(jì)雙虹顯示器件有限公司