專利名稱：水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術領域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術領域、微電子科學與技術領域、真空科學與技術領域以及納米科學與技術領域的相互交叉領域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術：
場致發(fā)射顯示器是一種新型的平面顯示設備，具有和陰極射線管顯示器相類似的工作原理，因此也就繼承了陰極射線管顯示器的高圖像質量，被公認為是陰極射線管顯示器的最好繼承者，得到了廣泛的關注。碳納米管具有小的尖端曲率半徑，在外加電場強度的作用下能夠發(fā)射出大量的電子，形成冷場致發(fā)射現(xiàn)象，非常適合于用作冷陰極材料，與Spindt微尖結構相比，在制作成本以及制作質量上具有明顯的優(yōu)勢，因此，利用碳納米管作為陰極材料而制作的場致發(fā)射平板顯示器已經(jīng)成為了目前國際平板顯示技術領域的研究熱點。
在三極結構的場致發(fā)射平板顯示器件當中，柵極是比較關鍵的控制元件之一，它直接決定著碳納米管陰極是否能夠進行電子發(fā)射，而柵極結構的制作質量也是評價顯示器件的重要性能指標。在柵極電壓的控制下，碳納米管陰極表面頂端會形成強大的電場強度，迫使碳納米管中的電子穿越表面勢壘，逸出到真空當中。其中柵極電壓是形成碳納米管陰極表面頂端電場強度的決定性因素，但碳納米管陰極的形狀也對所形成的電場強度具有一定的影響作用。很顯然，碳納米管陰極的形狀的曲率越小，越有助于進一步增強所形成的電場強度；碳納米管陰極的發(fā)射面積越大，就能夠發(fā)射出更多的電子，這也有助于進一步提高整體顯示器件的圖像質量。因此，在實際器件的制作過程中，應該充分利用這些有利現(xiàn)象，進行更為細致的結構設計和制作工藝調整，進行高質量的顯示器件制作，當然，這些也都是急需解決的問題。
此外，在三極結構的平板場致發(fā)射顯示器件當中，在確保柵極結構對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結構簡單的水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的，包括由陰極玻璃面板、陽極玻璃面板和四周玻璃圍框所構成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導電層、制備在陽極導電層上面的熒光粉層以及在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷的絕緣漿料層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結構以及消氣劑附屬元件，在陰極玻璃面板上有控制柵極、碳納米管以及水波紋型陰極陣列發(fā)射結構。
所述的水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的襯底材料為玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層呈現(xiàn)圓盤型形狀，其下表面和陰極引線層緊密接觸；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導電層；陰極導電層呈現(xiàn)水波紋型形狀，位于陰極過渡層的上表面上；陰極導電層呈現(xiàn)多個水波紋型條紋狀，相鄰陰極導電層之間互不接觸，而是通過底部的陰極過渡層而相互連通的；阻滯層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離層；隔離層中存在圓型孔，暴露出底部的陰極過渡層以及陰極導電層；隔離層中圓型孔的內(nèi)側壁是垂直于陰極玻璃面板的圓柱面；隔離層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層以及空余的阻滯層部分；隔離層的上表面為平面，但在圓型孔與隔離層上表面交界處存在一個呈45度傾斜角的斜坡面，即從隔離層的上表面開始，逐漸向圓型孔內(nèi)部斜下方傾斜，直至到達圓型孔的內(nèi)側壁為止；隔離層上表面上面的印刷的銀漿層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；在隔離層中圓型孔的內(nèi)側壁上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層依附于隔離層中圓型孔的內(nèi)側壁，呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀，其圓環(huán)的中間部位和柵極引線層相互緊密接觸；碳納米管制備在陰極導電層上面。
所述的水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極過渡層為金屬金、銀、鉬、鉻、錫；陰極導電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極管制層為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁。
一種水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成阻滯層；3)陰極引線層的制作在阻滯層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)陰極過渡層的制作在陰極引線層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；
5)陰極導電層的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導電層；6)隔離層的制作在阻滯層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成隔離層；7)柵極引線層的制作在隔離層的上面印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成柵極引線層；8)柵極覆蓋層的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成柵極覆蓋層；9)柵極管制層的制作在隔離層中圓型孔的內(nèi)側壁上面的刻蝕后的鉻層形成柵極管制層；10)水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的表面清潔處理對水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的表面進行清潔處理，除掉雜質和灰塵；11)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極導電層上面；12)陽極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；13)陽極導電層的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導電層；14)絕緣漿料層的制作在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；15)熒光粉層的制作在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；16)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結構和四周玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當中，用低熔點玻璃粉固定；17)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟14具體為在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結，燒結溫度580℃，保持時間10分鐘。
所述步驟15具體為在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當中進行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
所述步驟17具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結爐當中進行高溫燒結；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的水波紋型陰極陣列發(fā)射結構中，將碳納米管陰極制備在呈現(xiàn)水波紋型形狀的陰極導電層上?？梢詷O大地增加碳納米管陰極的場致電子發(fā)射面積，使得更多的碳納米管進行大量的電子發(fā)射；同時，這種陰極陣列發(fā)射結構還充分利用了碳納米管陰極中邊緣位置能夠發(fā)射大量電子的特有現(xiàn)象，能夠極大地提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，提高器件的顯示亮度。
其次，在所述的水波紋型陰極陣列發(fā)射結構中，制作了柵極管制層結構。這樣，利用柵極管制層下端能夠盡可能的接近于碳納米管陰極的優(yōu)勢，能夠進一步縮減柵極結構和碳納米管陰極結構之間的距離，降低柵極結構的工作電壓；同時將柵極引線層制作在了斜坡以上的隔離層的上面，有利于減小柵極-陰極之間的電容效應，提高器件的工作頻率。與此同時，將柵極結構和陰極結構高度集成到一起，有助于促進整體器件的高度集成化發(fā)展；此外，在所述的水波紋型陰極陣列發(fā)射結構中，并沒有采用特殊的結構制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡化了器件的制作過程，能夠進行大面積的器件制作，有利于進行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的縱向結構示意圖；圖2給出了水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的橫向結構示意圖；圖3給出了水波紋型陰極陣列發(fā)射結構中的水波紋陰極俯視圖；圖4給出了帶有水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的、碳納米管場致發(fā)射平面顯示器的結構示意圖。
具體實施例方式
下面結合附圖和實施例對本發(fā)明進行進一步說明，但本發(fā)明并不局限于這些實施例。
所述的一種帶有水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽極玻璃面板[11]和四周玻璃圍框[15]所構成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導電層[12]、制備在陽極導電層上面的熒光粉層[14]以及在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷的絕緣漿料層[13]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結構[17]以及消氣劑附屬元件[16]，其特征在于在陰極玻璃面板上有控制柵極[9]、碳納米管[10]以及水波紋型陰極陣列發(fā)射結構。
所述的水波紋型陰極陣列發(fā)射結構包括陰極玻璃面板[1]、阻滯層[2]、陰極引線層[3]、陰極過渡層[4]、陰極導電層[5]、隔離層[6]、柵極引線層[7]、柵極覆蓋層[8]、柵極管制層[9]和碳納米管[10]部分。
所述的水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層呈現(xiàn)圓盤型形狀，其下表面和陰極引線層緊密接觸；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導電層；陰極導電層呈現(xiàn)水波紋型形狀，位于陰極過渡層的上表面上；陰極導電層呈現(xiàn)多個水波紋型條紋狀，相鄰陰極導電層之間互不接觸，而是通過底部的陰極過渡層而相互連通的；阻滯層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離層；隔離層中存在圓型孔，暴露出底部的陰極過渡層以及陰極導電層；隔離層中圓型孔的內(nèi)側壁是垂直于陰極玻璃面板的圓柱面；隔離層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層以及空余的阻滯層部分；隔離層的上表面為平面，但在圓型孔與隔離層上表面交界處存在一個呈45度傾斜角的斜坡面，即從隔離層的上表面開始，逐漸向圓型孔內(nèi)部斜下方傾斜，直至到達圓型孔的內(nèi)側壁為止；隔離層上表面上面的印刷的銀漿層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；在隔離層中圓型孔的內(nèi)側壁上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層依附于隔離層中圓型孔的內(nèi)側壁，呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀，其圓環(huán)的中間部位和柵極引線層相互緊密接觸；碳納米管制備在陰極導電層上面。
所述的水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極過渡層可以為金屬金、銀、鉬、鉻、錫；陰極導電層可以為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極管制層可以為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁。
一種帶有水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；
2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成阻滯層；3)陰極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)陰極過渡層[4]的制作在陰極引線層的上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成陰極過渡層；5)陰極導電層[5]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬鈷層，刻蝕后形成陰極導電層；6)隔離層[6]的制作在阻滯層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成隔離層；7)柵極引線層[7]的制作在隔離層的上面印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成柵極引線層；8)柵極覆蓋層[8]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成柵極覆蓋層；9)柵極管制層[9]的制作在隔離層中圓型孔的內(nèi)側壁上面的刻蝕后的鉻層形成柵極管制層；10)水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的表面清潔處理對水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的表面進行清潔處理，除掉雜質和灰塵；11)碳納米管[10]的制備將碳納米管制備在陰極導電層上面；12)陽極玻璃面板[11]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；13)陽極導電層[12]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導電層；
14)絕緣漿料層[13]的制作在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；15)熒光粉層[14]的制作在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；16)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結構[17]和四周玻璃圍框[15]裝配到一起，并將消氣劑[16]放入到空腔當中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定；17)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟14具體為在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結(燒結溫度580℃，保持時間10分鐘)；所述步驟15具體為在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)；所述步驟17具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結爐當中進行高溫燒結；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權利要求
1.一種水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽極玻璃面板[11]和四周玻璃圍框[15]所構成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導電層[12]、制備在陽極導電層上面的熒光粉層[14]以及在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷的絕緣漿料層[13]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結構[17]以及消氣劑附屬元件[16]，其特征在于在陰極玻璃面板上有控制柵極[9]、碳納米管[10]以及水波紋型陰極陣列發(fā)射結構。
2.根據(jù)權利要求1所述的水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的平板顯示器，其特征在于所述的水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的襯底材料為玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層呈現(xiàn)圓盤型形狀，其下表面和陰極引線層緊密接觸；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導電層；陰極導電層呈現(xiàn)水波紋型形狀，位于陰極過渡層的上表面上；陰極導電層呈現(xiàn)多個水波紋型條紋狀，相鄰陰極導電層之間互不接觸，而是通過底部的陰極過渡層而相互連通的；阻滯層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離層；隔離層中存在圓型孔，暴露出底部的陰極過渡層以及陰極導電層；隔離層中圓型孔的內(nèi)側壁是垂直于陰極玻璃面板的圓柱面；隔離層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層以及空余的阻滯層部分；隔離層的上表面為平面，但在圓型孔與隔離層上表面交界處存在一個呈45度傾斜角的斜坡面，即從隔離層的上表面開始，逐漸向圓型孔內(nèi)部斜下方傾斜，直至到達圓型孔的內(nèi)側壁為止；隔離層上表面上面的印刷的銀漿層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；在隔離層中圓型孔的內(nèi)側壁上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層依附于隔離層中圓型孔的內(nèi)側壁，呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀，其圓環(huán)的中間部位和柵極引線層相互緊密接觸；碳納米管制備在陰極導電層上面。
3.根據(jù)權利要求2所述的水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的平板顯示器，其特征在于所述的水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極過渡層為金屬金、銀、鉬、鉻、錫；陰極導電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極管制層為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁。
4.一種水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成阻滯層；3)陰極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)陰極過渡層[4]的制作在陰極引線層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；5)陰極導電層[5]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導電層；6)隔離層[6]的制作在阻滯層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成隔離層；7)柵極引線層[7]的制作在隔離層的上面印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成柵極引線層；8)柵極覆蓋層[8]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結工藝后形成柵極覆蓋層；9)柵極管制層[9]的制作在隔離層中圓型孔的內(nèi)側壁上面的刻蝕后的鉻層形成柵極管制層；10)水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的表面清潔處理對水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的表面進行清潔處理，除掉雜質和灰塵；11)碳納米管[10]的制備將碳納米管制備在陰極導電層上面；12)陽極玻璃面板[11]的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；13)陽極導電層[12]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導電層；14)絕緣漿料層[13]的制作在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；15)熒光粉層[14]的制作在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；16)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結構[17]和四周玻璃圍框[15]裝配到一起，并將消氣劑[16]放入到空腔當中，用低熔點玻璃粉固定；17)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權利要求4所述的水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟14具體為在陽極導電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘之后，放置在燒結爐中進行高溫燒結，燒結溫度580℃，保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權利要求4所述的水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟15具體為在陽極導電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當中進行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
7.根據(jù)權利要求4所述的水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟17具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結爐當中進行高溫燒結；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種水波紋型陰極陣列發(fā)射結構的平板顯示器及其制作工藝，包括由陰極玻璃面板、陽極玻璃面板和四周玻璃圍框所構成的密封真空腔；在陰極玻璃面板上有控制柵極、碳納米管以及水波紋型陰極陣列發(fā)射結構；在陽極玻璃面板上有陽極導電層以及制備在陽極導電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結構以及消氣劑附屬元件，能夠進一步提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，降低柵極結構的工作電壓，有利于提高器件的顯示圖像質量，具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結構簡單的優(yōu)點。
文檔編號H01J29/46GK1956127SQ20061010730
公開日2007年5月2日 申請日期2006年10月17日 優(yōu)先權日2006年10月17日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學院