專利名稱：帶有集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平面顯示技術(shù)領(lǐng)域、電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、集成電路科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及一種平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及一種碳納米管陰極的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種帶有集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的、碳納米管陰極的場(chǎng)致發(fā)射平面顯示器件的器件制作及其制作工藝。
背景技術(shù)：
碳納米管具有小的尖端曲率半徑，高的縱橫比率以及良好的導(dǎo)電性能，是一種相當(dāng)優(yōu)秀的冷陰極發(fā)射材料，已經(jīng)引起了眾多科研人員的高度關(guān)注。在外加電壓的作用下碳納米管能夠發(fā)射出大量的電子，從而形成了獨(dú)特的冷場(chǎng)致發(fā)射現(xiàn)象。利用碳納米管作為陰極材料的平板顯示器是一種新型的場(chǎng)致發(fā)射顯示器，具有完全平板化、高分辨率、高亮度、高清晰度以及寬視角等優(yōu)點(diǎn)，其應(yīng)用越來(lái)越廣泛，未來(lái)具有相當(dāng)大的發(fā)展空間。
為了有效的降低整體器件成本，降低器件的工作電壓，以便于能夠和常規(guī)的集成驅(qū)動(dòng)電路相結(jié)合到一起，制作三極結(jié)構(gòu)的場(chǎng)致發(fā)射顯示器件已經(jīng)成為了一種必然的選擇。在三極結(jié)構(gòu)的碳納米管陰極場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器件當(dāng)中，控制柵極結(jié)構(gòu)是比較關(guān)鍵的元件之一，它對(duì)碳納米管陰極的電子發(fā)射起著十分必要的控制作用。無(wú)論是制作控制柵極的材質(zhì)、制作工藝，還是控制柵極的結(jié)構(gòu)型是等，都是研究人員值得關(guān)注的方面。目前，大多數(shù)的柵極結(jié)構(gòu)都采用制作氧化物層來(lái)作為柵極和陰極之間的隔離結(jié)構(gòu)；由于柵極和陰極之間的絕緣隔離結(jié)構(gòu)要具有足夠的絕緣性能，來(lái)抗拒碳納米管頂端的強(qiáng)大電場(chǎng)強(qiáng)度，防止二者之間的電學(xué)擊穿；但是同時(shí)又要求此絕緣隔離結(jié)構(gòu)的厚度要很小，防止柵極上的工作電壓過(guò)高；因此在確保柵極結(jié)構(gòu)的良好控制作用的前提下，對(duì)于柵極和陰極之間的絕緣隔離結(jié)構(gòu)具有很高的材質(zhì)要求和電學(xué)性能要求，同時(shí)還要兼顧實(shí)際制作工藝的可行性。目前大多數(shù)的研究機(jī)構(gòu)都采用了特殊的制作材料和制作工藝，不具有通用性和普及性，造成了整體器件的制作成本過(guò)高，這不符合降低器件成本的要求，影響了整體器件的高度集成化發(fā)展。那么應(yīng)該如何對(duì)這種結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)，使之既能夠充分利用發(fā)揮柵極結(jié)構(gòu)的控制性能，加大對(duì)碳納米管陰極電子發(fā)射的管制，同時(shí)還要滿足低成本、易制作等技術(shù)指標(biāo)要求，這是需要值得思考和研究的現(xiàn)實(shí)問(wèn)題。如何在充分利用直接生長(zhǎng)法制備碳納米管陰極所具有的良好場(chǎng)致發(fā)射特性的基礎(chǔ)上，將控制柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)有機(jī)的結(jié)合到一起，以及如何選擇適合的柵極制作工藝，這些都是需要重點(diǎn)考慮的方面。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保整體器件良好顯示圖像質(zhì)量的前提下，還要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)而提供一種成本低廉、制作過(guò)程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的帶有集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器件及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的包括由陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板和四周玻璃圍框構(gòu)成的密封真空腔；在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層以及印刷在陽(yáng)極導(dǎo)電層上的熒光粉層；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，在陰極玻璃面板上有控制柵極，生長(zhǎng)的碳納米管陰極以及集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)。
所述的集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如納鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是顯示器件的陰極玻璃面板；需要對(duì)陰極玻璃面板進(jìn)行刻蝕，形成凹槽形狀；凹槽形狀是重復(fù)排列的；凹槽形狀的突起部分和凹陷部分的寬度是不相同的，突起部分要比凹陷部分窄；凹槽形狀突起部分上存在柵極導(dǎo)電層；柵極導(dǎo)電層的上面存在一個(gè)柵極覆蓋層；凹槽形狀底部存在陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層的上面存在一個(gè)催化劑金屬層；可以利用催化劑金屬制備碳納米管。
所述的集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上。柵極導(dǎo)電層可以為錫銦氧化物膜層，也可以為金屬層，如金屬金、銀、鉬、鉻、鋁、錫、鎳。陰極導(dǎo)電層為金屬層，可以為金屬金、銀、錫、銦、鉬。陰極導(dǎo)電層和柵極導(dǎo)電層的走向是相互平行的。催化劑金屬層可以為金屬鐵、鈷、鎳。
一種帶有集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)凹槽形狀的制作對(duì)陰極玻璃面板的顯示區(qū)域進(jìn)行刻蝕，形成凹槽形狀；凹槽形狀是重復(fù)排列的；并且凹槽形狀的突起部分和凹陷部分的寬度是不相同的，突起部分要比凹陷部分窄；3)柵極導(dǎo)電層的制作在陰極玻璃面板上蒸鍍一層金屬，刻蝕后形成柵極導(dǎo)電層；柵極導(dǎo)電層位于凹槽形狀突起部分的上面；4)柵極覆蓋層的制作在陰極玻璃面板上制備出一層二氧化硅層，刻蝕后形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要完全覆蓋住柵極導(dǎo)電層；
5)陰極導(dǎo)電層的制作在陰極玻璃面板上蒸鍍一層金屬，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；6)催化劑金屬層的制作在陰極導(dǎo)電層上制備出催化劑金屬層；7)集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉灰塵和雜質(zhì)；8)碳納米管的制備利用催化劑金屬層制備出碳納米管；9)陽(yáng)極玻璃面板的制作對(duì)整體鈉鈣平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；10)陽(yáng)極導(dǎo)電層的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；11)絕緣漿料層的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；12)熒光粉層的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；13)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)和玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；14)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟5具體為在陰極玻璃面板上蒸鍍一層金屬鉻，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；刻蝕后的陰極導(dǎo)電層僅僅位于凹槽形狀凹陷部分的上面，其余位置的陰極導(dǎo)電層需要去除掉；陰極導(dǎo)電層和柵極導(dǎo)電層互相不連接，并且二者是相互平行的；所述步驟11具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過(guò)烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)；
所述步驟12具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)；所述步驟14具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果本發(fā)明中的最主要特點(diǎn)在于制作了集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)，并制作了帶有集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的、碳納米管陰極的場(chǎng)致發(fā)射平板發(fā)光顯示器件。
首先，在本發(fā)明中的集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)中，柵極和碳納米管陰極之間是依靠玻璃進(jìn)行相互隔離開來(lái)的。一方面，眾所周知，玻璃的絕緣性能非常良好，利用玻璃作為絕緣隔離結(jié)構(gòu)，不會(huì)導(dǎo)致柵極和碳納米管陰極二者之間短路現(xiàn)象的出現(xiàn)，極大地提高了整體器件的制作成功率；另一方面，由于在集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的制作過(guò)程中，是依靠刻蝕掉部分玻璃來(lái)制作出絕緣隔離結(jié)構(gòu)的，這樣，不僅確保了絕緣隔離結(jié)構(gòu)玻璃和襯底玻璃(也就是陰極玻璃面板)是相同材質(zhì)的，避免二者之間熱膨脹現(xiàn)象的出現(xiàn)，同時(shí)還直接就將二者連接到一起，減少了制作工藝步驟，節(jié)約了器件制作成本；在陰極導(dǎo)電層的基礎(chǔ)上制作了催化劑金屬層，從而可以結(jié)合低溫直接生長(zhǎng)法制備碳納米管，這樣就充分利用了直接生長(zhǎng)法制備碳納米管陰極的良好場(chǎng)致發(fā)射特性，有助于進(jìn)一步提高碳納米管陰極的發(fā)射電流密度；其次，在本發(fā)明中的集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)中，柵極對(duì)碳納米管陰極的電子發(fā)射起著強(qiáng)有力的控制作用。當(dāng)在柵極上施加適當(dāng)?shù)碾妷阂院?，在碳納米管陰極表面頂端就會(huì)形成強(qiáng)大的電場(chǎng)強(qiáng)度，迫使碳納米管陰極發(fā)射出大量的電子；有利于進(jìn)一步提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，增強(qiáng)器件的顯示亮度；第三，碳納米管陰極不會(huì)受到其它結(jié)構(gòu)制作工藝的影響和損傷。在本發(fā)明中的集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)中，是在全部其余結(jié)構(gòu)都制作完畢之后，才進(jìn)行碳納米管陰極的生長(zhǎng)，也就是說(shuō)，碳納米管陰極的制備不會(huì)受到其它結(jié)構(gòu)制作工藝的影響，也就極大地減少了碳納米管陰極所受到的傷害；第四，在本發(fā)明中的集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)中，在陰極導(dǎo)電層的上面制作了催化劑金屬層，這就為后續(xù)工藝中的碳納米管陰極的生長(zhǎng)作了準(zhǔn)備，可以結(jié)合低溫直接生長(zhǎng)法來(lái)制備碳納米管陰極了。并且使得柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)高度集成到一起，既簡(jiǎn)化了整體器件的制作工藝，同時(shí)也有利于進(jìn)一步提高整體器件的顯示分辨率。
此外，在本發(fā)明中的集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)中，并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這就在很大程度上進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。
圖1給出了集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的、碳納米管場(chǎng)致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說(shuō)明，但本發(fā)明并不局限于這些實(shí)施例。
所述的一種帶有集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽(yáng)極玻璃面板[9]和四周玻璃圍框[14]構(gòu)成的密封真空腔；在陽(yáng)極面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層[10]以及印刷在陽(yáng)極導(dǎo)電層上的熒光粉層[12]；在陰極玻璃面板上有控制柵極[4]，生長(zhǎng)的碳納米管陰極[8]以及集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[13]以及消氣劑[15]附屬元件。
所述的集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、凹槽形狀突起部分[2]、凹槽形狀凹陷部分[3]、柵極導(dǎo)電層[4]、陰極導(dǎo)電層[5]、柵極覆蓋層[6]、催化劑金屬層[7]、碳納米管陰極[8]部分。
所述的集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如納鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是顯示器件的陰極玻璃面板；需要對(duì)陰極玻璃面板進(jìn)行刻蝕，形成凹槽形狀；凹槽形狀是重復(fù)排列的；凹槽形狀的突起部分和凹陷部分的寬度是不相同的，突起部分要比凹陷部分窄；凹槽形狀突起部分上存在柵極導(dǎo)電層；柵極導(dǎo)電層的上面存在一個(gè)柵極覆蓋層；凹槽形狀底部存在陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層的上面存在一個(gè)催化劑金屬層；可以利用催化劑金屬制備碳納米管。
所述的集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上。柵極導(dǎo)電層可以為錫銦氧化物膜層，也可以為金屬層，如金屬金、銀、鉬、鉻、鋁、錫、鎳。陰極導(dǎo)電層為金屬層，可以為金屬金、銀、錫、銦、鉬。陰極導(dǎo)電層和柵極導(dǎo)電層的走向是相互平行的。催化劑金屬層可以為金屬鐵、鈷、鎳。
一種帶有集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)凹槽形狀的制作對(duì)陰極玻璃面板的顯示區(qū)域進(jìn)行刻蝕，形成凹槽形狀；凹槽形狀是重復(fù)排列的；并且凹槽形狀的突起部分和凹陷部分的寬度是不相同的，突起部分要比凹陷部分窄；3)柵極導(dǎo)電層的制作在陰極玻璃面板上蒸鍍一層金屬鉬，刻蝕后形成柵極導(dǎo)電層；柵極導(dǎo)電層位于凹槽形狀突起部分的上面；4)柵極覆蓋層的制作在陰極玻璃面板上制備出一層二氧化硅層，刻蝕后形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要完全覆蓋住柵極導(dǎo)電層；5)陰極導(dǎo)電層的制作在陰極玻璃面板上蒸鍍一層金屬鉻，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；6)催化劑金屬層的制作在陰極導(dǎo)電層上制備出催化劑金屬層；7)集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉灰塵和雜質(zhì)；8)碳納米管的制備利用催化劑金屬層制備出碳納米管；9)陽(yáng)極玻璃面板[9]的制作對(duì)整體鈉鈣平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；10)陽(yáng)極導(dǎo)電層[10]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；11)絕緣漿料層[11]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；12)熒光粉層[12]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；13)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[13]和玻璃圍框[14]裝配到一起，并將消氣劑[15]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；14)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟5具體為在陰極玻璃面板上蒸鍍一層金屬鉻，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；刻蝕后的陰極導(dǎo)電層僅僅位于凹槽形狀凹陷部分的上面，其余位置的陰極導(dǎo)電層需要去除掉；陰極導(dǎo)電層和柵極導(dǎo)電層互相不連接，并且二者是相互平行的；所述步驟11具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過(guò)烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)；所述步驟12具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)；所述步驟14具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種帶有集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽(yáng)極玻璃面板[9]和四周玻璃圍框[14]構(gòu)成的密封真空腔；在陽(yáng)極面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層[10]以及印刷在陽(yáng)極導(dǎo)電層上的熒光粉層[12]；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[13]以及消氣劑附屬元件[15]，其特征在于在陰極玻璃面板上有控制柵極[4]、生長(zhǎng)的碳納米管陰極[8]以及集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，也就是顯示器件的陰極玻璃面板；需要對(duì)陰極玻璃面板進(jìn)行刻蝕，形成凹槽形狀；凹槽形狀是重復(fù)排列的；凹槽形狀的突起部分和凹陷部分的寬度是不相同的，突起部分要比凹陷部分窄；凹槽形狀突起部分上存在柵極導(dǎo)電層；柵極導(dǎo)電層的上面存在一個(gè)柵極覆蓋層；凹槽形狀底部存在陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層的上面存在一個(gè)催化劑金屬層；利用催化劑金屬制備碳納米管。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種帶有集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上，柵極導(dǎo)電層為錫銦氧化物膜層，也為金屬層，如金屬金、銀、鉬、鉻、鋁、錫、鎳，陰極導(dǎo)電層為金屬層，為金屬金、銀、錫、銦、鉬，陰極導(dǎo)電層和柵極導(dǎo)電層的走向是相互平行的，催化劑金屬層為金屬鐵、鈷、鎳。
4.一種帶有集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)凹槽形狀的制作對(duì)陰極玻璃面板的顯示區(qū)域進(jìn)行刻蝕，形成凹槽形狀；凹槽形狀是重復(fù)排列的；并且凹槽形狀的突起部分和凹陷部分的寬度是不相同的，突起部分要比凹陷部分窄；3)柵極導(dǎo)電層的制作在陰極玻璃面板上蒸鍍一層金屬，刻蝕后形成柵極導(dǎo)電層；柵極導(dǎo)電層位于凹槽形狀突起部分的上面；4)柵極覆蓋層的制作在陰極玻璃面板上制備出一層二氧化硅層，刻蝕后形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要完全覆蓋住柵極導(dǎo)電層；5)陰極導(dǎo)電層的制作在陰極玻璃面板上蒸鍍一層金屬，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；6)催化劑金屬層的制作在陰極導(dǎo)電層上制備出催化劑金屬層；7)集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉灰塵和雜質(zhì)；8)碳納米管的制備利用催化劑金屬層制備出碳納米管；9)陽(yáng)極玻璃面板[9]的制作對(duì)整體鈉鈣平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；10)陽(yáng)極導(dǎo)電層[10]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；11)絕緣漿料層[11]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；12)熒光粉層[12]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；13)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[13]和玻璃圍框[14]裝配到一起，并將消氣劑[15]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定，在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；14)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的帶有集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟5具體為在陰極玻璃面板上蒸鍍一層金屬鉻，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；刻蝕后的陰極導(dǎo)電層僅僅位于凹槽形狀凹陷部分的上面，其余位置的陰極導(dǎo)電層需要去除掉；陰極導(dǎo)電層和柵極導(dǎo)電層互相不連接，并且二者是相互平行的。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的帶有集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟11具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過(guò)烘烤，烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的帶有集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟12具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的帶有集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟14具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明特別涉及到帶有集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板和四周玻璃圍框構(gòu)成的密封真空腔；在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層以及印刷在陽(yáng)極導(dǎo)電層上的熒光粉層；在陰極玻璃面板上有控制柵極，生長(zhǎng)的碳納米管陰極以及集成玻璃隔離陣列結(jié)構(gòu)；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件。采用玻璃作為柵極和陰極之間的隔離結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步增強(qiáng)了柵極和陰極之間隔離結(jié)構(gòu)的絕緣性能，降低了器件的工作電壓。具有制作過(guò)程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡(jiǎn)單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01J1/30GK1909167SQ20061004852
公開日2007年2月7日 申請(qǐng)日期2006年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2006年8月2日
發(fā)明者李玉魁 申請(qǐng)人:中原工學(xué)院