專利名稱：樂器用振動傳感器及拾音鞍的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及ー種樂器用振動傳感器及拾音鞍。
背景技術(shù)：
目前，已知有具備用于將吉他等的弦的振動轉(zhuǎn)換為電信號的振動傳感器，同時支承弦的拾音鞍(例如國際公開W02008/117483A1)。與在鞍和樂器主體之間夾持振動傳感器 的情況相比，通過在鞍中內(nèi)置振動傳感器，不損害樂器的外觀，另外，能夠?qū)⑾艺駝臃€(wěn)定地轉(zhuǎn)換為電信號。W02008/117483A1所記載的拾音鞍的振動傳感器以在兩片電極板中夾入壓電元件并用線纏繞暫時固定的狀態(tài)，通過粘接劑粘接在構(gòu)成拾音鞍的外殼的外形部件上。另外，在W02008/117483A1中，公開有為了屏蔽振動傳感器不受振動傳感器的輸出中產(chǎn)生干擾的電磁波影響，在外形部件上粘接振動傳感器之前，在振動傳感器的表面粘接或涂布絕緣屏蔽劑的技術(shù)。但是，在如W02008/117483A1所記載的那樣，將壓電元件和電極板以用線纏繞暫時固定的狀態(tài)粘接于外形部件上，在這種情況下，壓電元件和電極板之間產(chǎn)生導(dǎo)電不穩(wěn)定的可能性較高。特別是由于在演奏時施加大的力，從而壓電元件和電極板的接觸狀態(tài)變化的可能性極高。另外，為了防止這種情況，若將導(dǎo)電性粘接劑等導(dǎo)電性材料插入壓電元件和電極板之間，則流動的導(dǎo)電性材料可能會使夾持壓電元件的兩片電極板發(fā)生短路。另外，如W02008/117483A1所記載那樣，包含電極板的固定及絕緣屏蔽劑的粘接及涂布的制造方法需要手工作業(yè)的エ序較多，制造成本較高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，其目的之ー是提供ー種得到穩(wěn)定的輸出特性且耐久性高的樂器用振動傳感器及拾音鞍。為了解決上述課題，本發(fā)明的樂器用振動傳感器具備基板；第一電極膜，其與所述基板疊合；壓電膜，其與所述第一電極膜疊合；第二電極膜，其與所述壓電膜疊合；絕緣膜，其與所述第二電極膜疊合；屏蔽膜，其與所述絕緣膜疊合且與所述第一電極膜結(jié)合，由導(dǎo)電性材料構(gòu)成且通過所述絕緣膜與所述第二電極膜絕緣。壓電膜與兩片電極膜直接結(jié)合，因此，壓電膜和電極膜的結(jié)合力較高。因此，即使在演奏時施加大的力，壓電膜和電極膜的接觸狀態(tài)也不容易變化。因而，根據(jù)本發(fā)明，能夠?qū)崿F(xiàn)得到穩(wěn)定的輸出特性且耐久性高的樂器用傳感器。而且，通過使用薄膜形成技術(shù)，能夠制造各層的位置精度較高、價格低廉，而薄且小型的這樣的樂器用傳感器。而且，絕緣膜及屏蔽膜也使用薄膜形成技術(shù)，從而能夠疊層在第二電極膜的上方。即，根據(jù)本發(fā)明，能夠提高S/N及耐久性，同時能夠抑制制造成本。
本發(fā)明的樂器用振動傳感器，也可以進ー步具備絕緣膜，其與所述第二電極膜疊合且與所述第二電極膜直接結(jié)合；屏蔽膜，其與所述絕緣膜疊合且與所述絕緣膜、所述壓電膜和所述第一電極膜直接結(jié)合，該屏蔽膜由導(dǎo)電性材料構(gòu)成且通過所述絕緣膜與所述第二電極膜絕緣。與所述壓電膜的所述屏蔽膜直接結(jié)合的端面也可以是傾斜的。具體而言，所述壓電膜的端面可以以所述壓電膜朝所述基板方向擴展的方式傾斜。所述第一電極膜的端面的至少一部分可以位于比所述壓電膜的傾斜的端面更內(nèi)側(cè)的位置，所述第二電極膜可以沿所述壓電膜的傾斜端面到達所述基板。在采用該結(jié)構(gòu)的情況下，所述壓電膜的端面傾斜，因此，不會產(chǎn)生端面在垂直的情況下可引起的屏蔽膜的臺階覆蓋性變差，能夠提高屏蔽膜和基底的緊密結(jié)合的強度，同時能夠防止屏蔽膜的斷線。本發(fā)明的樂器用振動傳感器可以在所述基板的背面形成由磁性體構(gòu)成的膜。在采用該結(jié)構(gòu)的情況下，電磁干擾的屏蔽效果提高。另外，基板的背面是指相當于疊層有第一電極膜、壓電膜、第二電極膜、絕緣膜及屏蔽膜的面的背側(cè)的面。另外，所述第一電極膜、所述第二電極膜或所述屏蔽膜的至少一部分也可以由磁性體構(gòu)成。在采用該結(jié)構(gòu)的情況下，電磁干擾的屏蔽效果進一步提尚。
所述基板也可以由陶瓷、Si、Si化合物、氧化鋯、玻璃、玻璃陶瓷構(gòu)成。氧化鋯韌性較高，因此，樂器用振動傳感器的耐久性進ー步提高，另外，容易將樂器用振動傳感器以彎曲的狀態(tài)固定于鞍等振動部件上。另外，氧化鋯的耐熱性、彎曲強度較高。因此，既可承受制造エ序中的高溫的熱量，也能夠承受由所層疊的材料的熱膨脹率的不同引起的翹曲。另夕卜，即使使基板變薄，在制造エ序中也不易斷裂，因此，能夠?qū)崿F(xiàn)基板很薄的樂器用振動傳感器，在鞍上的固定位置、固定方向的自由度得以擴大。所述氧化鋯也可以為部分穩(wěn)定氧化鋯。部分穩(wěn)定氧化鋯含有例如釔，其韌性、耐熱性提高。為了解決上述課題，本發(fā)明的拾音鞍具備支承弦的鞍、固定于所述鞍上的上述樂器用振動傳感器。根據(jù)本發(fā)明，能夠?qū)崿F(xiàn)樂器用振動傳感器不顯眼，且得到穩(wěn)定輸出特性的拾音鞍。另外，固定樂器用振動傳感器的位置可以在鞍的內(nèi)側(cè)也可以在外側(cè)。在所述鞍上也可以以彎曲的狀態(tài)固定有所述樂器用振動傳感器。在采用該結(jié)構(gòu)的情況下，樂器用振動傳感器可以固定在任何形狀的區(qū)域。因而，能夠得到良好的輸出特性，且能夠在不顯眼的區(qū)域在鞍上固定樂器用振動傳感器。拾音鞍也可以具備形成于所述鞍上且收納所述樂器用振動傳感器的傳感器收納部、將所述傳感器收納部中除所述樂器用振動傳感器之外的區(qū)域填埋的填充材料。所述樂器用振動傳感器可以以所述基板彎曲的狀態(tài)收納于所述傳感器收納部。例如支承所述弦的所述鞍的上面可以為曲面，所述樂器用振動傳感器也可以固定于所述鞍的上面。在采用該結(jié)構(gòu)的情況下，弦的振動傳播至樂器用振動傳感器的衰減變小，因此，能夠提高靈敏度并加快響應(yīng)。


圖IA是表示本發(fā)明的樂器用振動傳感器的第一實施例的剖面圖；圖IB是圖IA所示的樂器用振動傳感器的平面圖；圖IC是表示圖IA所示的樂器用振動傳感器的變形例的剖面圖；圖2A及圖2B是表示本發(fā)明的樂器用振動傳感器的第二實施例的剖面圖及平面圖；圖3A及圖3B是表不本發(fā)明的拾音鞍的第一實施例的剖面圖及平面圖。圖4是表示本發(fā)明的拾音鞍的第二實施例的側(cè)面圖；圖5是表不本發(fā)明的拾音鞍的第三實施例的側(cè)面圖；圖6A、圖6C、圖6E、圖6G、圖61及圖6K是表示本發(fā)明的拾音鞍的第一實施例的制造方法的側(cè)面圖；圖6B、圖6D、圖6F、圖6H及圖6J是表示本發(fā)明的拾音鞍的第一實施例的制造方法的剖面圖； 圖7A、圖7C、圖7E、圖7G及圖71是表示本發(fā)明的拾音鞍的第二實施例的制造方法的側(cè)面圖；圖7B、圖7D、圖7F、圖7H及圖7J是表示本發(fā)明的拾音鞍的第二實施例的制造方法的剖面圖；圖8A、圖8B及圖8D是表示本發(fā)明的拾音鞍的第二實施例的制造方法的變形例的側(cè)面圖；圖8C及圖8E是表示本發(fā)明的拾音鞍的第二實施例的制造方法的變形例的剖面圖；圖9是表示本發(fā)明的一實施例的吉他的立體圖。
具體實施例方式下面，參照附圖對本發(fā)明的實施例進行以下說明。另外，對各圖中對應(yīng)的構(gòu)成要素標注相同的符號，省略重復(fù)的說明。<樂器用振動傳感器的實施例>圖IA及圖IB表示本發(fā)明的樂器用振動傳感器的第一實施例。圖IA為沿著圖IB的A-A線的剖面圖。樂器用振動傳感器10為用于檢測例如圖9所示的吉他I的弦振動的傳感器。樂器用振動傳感器10為應(yīng)用絲網(wǎng)印刷技術(shù)或半導(dǎo)體制造技術(shù)等薄膜技術(shù)制造的疊層結(jié)構(gòu)體。因此，構(gòu)成樂器用振動傳感器10的基板11、第一電極膜12、壓電膜13、第二電極膜14、絕緣膜15、屏蔽膜16無需使用粘接劑等而是通過直接結(jié)合而一體化。樂器用振動傳感器10的外形尺寸可配合鞍20的形狀任意設(shè)定。例如，檢測吉他的六根弦振動的樂器用振動傳感器10的厚度設(shè)定為O. Imm 3mm,樂器用振動傳感器10的寬度設(shè)定為Imm 8mm,樂器用振動傳感器10的長度設(shè)定為3mm 80mm左右即可?；?1為例如厚度O. 2mm的板狀部件。對于基板11，要求具有承受樂器演奏時施加的載荷的耐久性、和承受對壓電膜13進行的熱處理等制造エ序中的熱負荷的耐熱性。例如，硅、玻璃、玻璃陶瓷、金屬等可作為基板11的材料。作為基板11的材質(zhì)特別優(yōu)選氧化鋯(ZrO2)、例如含有釔的部分穩(wěn)定氧化鋯。氧化鋯耐熱性較高，因此，能夠充分承受壓電膜13的熱處理。另外，在用氧化鋯形成基板11情況下，基板11的韌性變高，因此，耐久性變高的同時，也可以以彎曲狀態(tài)使用樂器用振動傳感器10。疊合于基板11的上表面的第一電極膜12為例如厚度2μηι的導(dǎo)電膜。第一電極膜12由白金(Pt)等金屬構(gòu)成。第一電極膜12通過絲網(wǎng)印刷法、濺射法等薄膜形成技術(shù)形成。因此，第一電極膜12與基板11的上表面直接結(jié)合。在第一電極膜12的上表面的端部形成有電極焊盤17a，其用于連接接地電位的導(dǎo)線(地線)。電極焊盤17a由例如鋁(Al)等構(gòu)成。另外，可以將第一電極膜12自身作為電極焊盤而在第一電極膜12上直接連接導(dǎo)線，從而代替在第一電極膜12上形成電極焊盤的。疊合于第一電極膜12的上表面的壓電膜13為由例如厚度35 μ m的壓電材料構(gòu)成的膜。壓電膜13由PZT(鋯鈦酸鉛)等壓電材料構(gòu)成。壓電膜13使用溶膠-凝膠法、濺射法、CVD法、絲網(wǎng)印刷法等薄膜形成技術(shù)形成于第一電極膜12的表面。因此，壓電膜13與第一電極膜12的上表面直接結(jié)合。通過由絲網(wǎng)印刷法形成壓電膜13，能夠使壓電膜13的端面傾斜。若使壓電膜13的端面傾斜，則將壓電膜13的端面和第一電極膜12的上表面作為基底面形成的層的臺階覆蓋性提高，緊密結(jié)合強度提高。疊合于壓電膜13的上表面的第二電極膜14為例如厚度2μπι的導(dǎo)電膜。第二電極膜14在與壓電膜13的上表面相同、或比壓電膜13的上表面還狹窄的區(qū)域形成。第二電極膜14由金(Au)、鋁(Al)等金屬構(gòu)成。第二電極膜14通過絲網(wǎng)印刷法、濺射法等薄膜形成技術(shù)形成。因此，第二電極膜14與壓電膜13的上表面直接結(jié)合。在第二電極膜14的上 表面的端部形成有用于連接導(dǎo)線的電極焊盤17b。電極焊盤17b由例如鋁(Al)等構(gòu)成。另夕卜，可以將第二電極膜14自身作為電極焊盤，在第二電極膜14上直接連接導(dǎo)線，從而代替在第二電極膜14上形成電極焊盤的結(jié)構(gòu)。疊合于第二電極膜14的上表面的絕緣膜15覆蓋除形成有電極焊盤17b的端部區(qū)域之外的第二電極膜14的全部上表面。絕緣膜15由例如厚度40 μ m的聚酰亞胺等絕緣材料形成。絕緣膜15通過絲網(wǎng)印刷法、旋涂法、層壓法、CVD法、濺射法、蒸鍍法、蒸鍍聚合法等薄膜形成技術(shù)形成。因此，絕緣膜15與第二電極膜14的上表面直接結(jié)合。疊合于絕緣膜15的上表面的屏蔽膜16由例如厚度2 μ m的鋁等導(dǎo)電性材料構(gòu)成。屏蔽膜16覆蓋樂器用振動傳感器10的大部分上表面，與接地的第一電極膜12結(jié)合。因此，屏蔽膜16與接地的第一電極膜12 —同發(fā)揮電磁屏蔽的作用。屏蔽膜16通過濺射法、CVD法、絲網(wǎng)印刷法、鍍覆法等薄膜形成技術(shù)形成。因此，屏蔽膜16與絕緣膜15、壓電膜13及第一電極膜12直接結(jié)合。另外，在圖IA中絕緣膜15的一個端部形成干與壓電膜13的端部相同的位置，但不限于此。絕緣膜15的該端部也可以比壓電膜13的該端部還靠后。另外，也可以如圖IC所示的樂器用振動傳感器IOa那樣通過絕緣膜15a覆蓋壓電膜13a的端面。如上所述，構(gòu)成樂器用振動傳感器10的基板11上的各層通過薄膜形成技術(shù)形成，因此，直接結(jié)合的層之間的緊密結(jié)合強度較高。因而，在演奏中即使施加大的載荷，壓電膜13和第一電極膜12或壓電膜13和第二電極膜14也不易發(fā)生剝離。因此，能夠防止樂器用振動傳感器10中所述電極的剝離及由此產(chǎn)生的所述電極之間的短路。另外，通過使用薄膜形成技術(shù)一體形成屏蔽膜16，能夠提高S/N，同時能夠抑制制造成本。因而，能夠?qū)崿F(xiàn)可靠性高的樂器用振動傳感器10，其能夠承受在存在大量干擾的演奏會場等中使用。另外，基板11上的各層的圖案也可以使用光刻技術(shù)得到尺寸精度和對準精度高的精細圖案。因此，樂器用振動傳感器10小型化是容易的。因而，能夠容易得到不顯眼的樂器用振動傳感器10。下面，參照圖2A及圖2B對本發(fā)明的樂器用振動傳感器的第二實施例進行說明。圖2A為沿著圖2B的A-A線的剖面圖。在該第二實施例的樂器用振動傳感器IOb中，為了提高相對于由磁場引起的干擾的磁屏蔽的效果，在基板的背面?zhèn)刃纬捎杏纱判泽w構(gòu)成的膜。具體而言，在圖2A所示的樂器用振動傳感器IOb中，在基板11的背面形成有鐵(Fe)、鎳(Ni)、鈷(Co)等具有磁性的金屬、組合它們得到的合金，或包含具有磁性的金屬的合金的膜，由此形成磁屏蔽膜18。若在磁屏蔽膜18上連接地線則能夠防止電磁波干擾。若只為防止電磁波干擾，則可以將磁屏蔽膜18設(shè)為非磁性的金屬。另外，通過將第一電極膜12b、第二電極膜14b或屏蔽膜16b設(shè)為磁性體，能夠得到更大的磁屏蔽效果。特別是由于坡莫合金這樣的軟磁性體的磁屏蔽效果較高，所以優(yōu)選。另外，也可以將屏蔽膜設(shè)為銅(Cu)等非磁性金屬膜和坡莫合金等磁性膜兩層。通過銅膜能夠防止電磁波干擾，通過坡莫合金能夠得到磁屏蔽的效果。如圖2A及圖2B所示，在樂器用振動傳感器IOb中，沿壓電膜13的端面延長第二電極膜14b的圖案至基板11。該情況下，第一電極膜12b的端面的至少一部分必須位于比第二電極膜14b沿著的壓電膜13的端面更靠內(nèi)側(cè)的位置，從而使得第二電極膜14b與第一電極膜12b不直接接觸。另外，該情況下，使壓電膜13的端面傾斜，使得壓電膜朝向基板11的方向擴展，從而得到防止第二電極膜14b的斷線的效果。 在樂器用振動傳感器IOb中，基板11上的各層圖案能夠使用絲網(wǎng)印刷技術(shù)、光刻技術(shù)、或薄膜技術(shù)精密控制，因此，如圖2B所示，按照弦的排列將第二電極膜14b分割為多個區(qū)域。從分割的各區(qū)域可分別取出信號。在樂器用振動傳感器IOb中，如圖2A及圖2B所示，將第一電極膜12b、第二電極膜14b本身作為電極焊盤直接連接導(dǎo)線，從而代替另行設(shè)置電極焊盤的結(jié)構(gòu)。另外，按照弦的排列將壓電膜及第ニ電極膜分割為多個區(qū)域，同吋，也可以在壓電膜的鄰接的區(qū)域之間插入衰減材料?！词耙舭暗膶嵤├祱D3A及圖3B、圖4以及圖5分別表示使用上述的樂器用振動傳感器10的第一、第二及第三實施例的拾音鞍20a、20b及20c。圖3A為沿著圖3B的A-A線的剖面圖。拾音鞍20a、20b、20c發(fā)揮支承圖9所示的吉他I的弦樂器的弦31 36的鞍20的作用，并且，發(fā)揮將弦31 36的振動轉(zhuǎn)換為電信號的拾音作用。支承多個弦31 36的鞍主體23、24、25的上表面形成為包含曲面的形狀。與樂器用振動傳感器10的電極焊盤17a、17b連接的導(dǎo)線21、22引出至鞍主體23的外部，與放大器等連接。從鞍主體23引出導(dǎo)線21及22的位置可以從鞍主體23的底面，也可以從側(cè)面。若從鞍主體23的底面引出導(dǎo)線21及23，則導(dǎo)線21及23變得不顯眼。參照圖3A、圖3B及圖4，第一及第ニ實施例的拾音鞍20a及20b具備將樂器用振動傳感器10收容于內(nèi)部的鞍主體23、24。通過在鞍主體23、24收容樂器用振動傳感器10，樂器用振動傳感器10變得不顯眼。在鞍主體23、24的內(nèi)部形成有用于收容樂器用振動傳感器10的空洞。樂器用振動傳感器10以屏蔽膜16位于鞍主體23、24的上表面?zhèn)龋?1位于鞍主體23、24的下表面?zhèn)鹊淖藙莨潭ㄓ诎爸黧w23、24上。在以這樣的姿勢固定樂器用振動傳感器10時，第一電極膜12和第二電極膜14在y方向上對置，因此，通過樂器用振動傳感器10檢測弦31 36在y軸方向的振動。另外，也可以將屏蔽膜16配置成位于鞍主體23、24的下表面?zhèn)?。為了能夠?qū)崿F(xiàn)樂器用振動傳感器10的小型化，可以將第一電極膜12和第二電極膜14以在X方向上對置的方式固定于鞍主體23、24上檢測X方向的振動，也可以將第一電極膜12和第二電極膜14以在z方向上對置的方式固定于鞍主體23、24上檢測z方向的振動。另外，也可以在X、y、z方向以外的任意方向上使第一電極膜12和第二電極膜14對置檢測任意方向的振動。另外，也可以將樂器用振動傳感器10分割為任意數(shù)量固定于鞍主體23、24上。即，可以將更小的樂器用振動傳感器根據(jù)弦31 36的數(shù)量內(nèi)置于鞍主體23、24內(nèi)，通過不同的樂器用振動傳感器10檢測不同的弦的振動。另外，若通過韌性(粘著強度)高的材料構(gòu)成基板11，則如圖4及圖5所示，可將樂器用振動傳感器10以彎曲的狀態(tài)固定于鞍主體24、25上。例如圖4所示，可以通過彎曲樂器用振動傳感器10來分別調(diào)整從弦31 36至樂器用振動傳感器10的距離dl d6。弦31 36的振動傳播至樂器用振動傳感器10的時間和衰減的大小與從弦31 36至樂器用振動傳感器10之間的距離dl d6相關(guān)。通過拉近樂器用振動傳感器10和弦31 36的距離，樂器用振動傳感器10的響應(yīng)變快，同時靈敏度變高。因而，若通過彎曲樂器用振動傳感器10分別調(diào)整從弦31 36至樂器用振動傳感器10的距離dl d6，則能夠每根弦分別調(diào)整樂器用振動傳感器10的響應(yīng)特性和靈敏度。
另外，如圖5所示，在第三實施例的拾音鞍20c中，沿鞍主體25的上表面將樂器用振動傳感器10以彎曲的狀態(tài)固定，使樂器用振動傳感器10和弦31 36直接接觸。該情況下，如圖5所示，優(yōu)選以基板11與弦31 36接觸的姿勢將樂器用振動傳感器10固定于鞍主體25的上表面。如上所述，通過拉近樂器用振動傳感器10和弦31 36的距離，樂器用振動傳感器10的響應(yīng)變快，同時靈敏度變高。因而，若將樂器用振動傳感器10固定于鞍主體25的上表面，使樂器用振動傳感器10與弦31 36直接接觸，則能夠?qū)崿F(xiàn)響應(yīng)快靈敏度高的拾音鞍20c。下面，參照圖6A 圖6K說明第一實施例的拾音鞍20a的制造方法。圖6B為沿著圖6A的6B-6B線的剖面圖。同樣，圖6D、6F、6H及6J分別為沿著圖6C的6D-6D線、圖6E的6F-6F線、圖6G的6H-6H線、及圖61的6J-6J線的剖面圖。首先，如圖6A及圖6B所示，在鞍主體23a的側(cè)面形成有由凹部構(gòu)成的傳感器收納部231。在傳感器收納部231也包含用于取出配線的區(qū)域。然后，如圖6C及圖6D所示，以能夠檢測例如y方向的振動的方式將樂器用振動傳感器10收納于傳感器收納部231。然后，如圖6E、圖6F所示，將形成于鞍主體23a上的傳感器收納部231和收納于其中的樂器用振動傳感器10的間隙用作為填充材料的樹脂232填埋，完成內(nèi)置樂器用振動傳感器10的拾音鞍。樹脂232采用與鞍主體23a —致的顏色，并且鞍主體23a的側(cè)面和樹脂232的表面平坦地相連，若以此形式完成，則即使內(nèi)置樂器用振動傳感器10也不會損害拾音鞍的外觀。另外，形成于鞍主體上的傳感器收納部也可以貫穿鞍主體。另外，如圖6G、圖6H所示，也可以在傳感器收納部231的一面將樂器用振動傳感器10通過粘接材料等固定后，如圖61、圖6J所示填入樹脂232。該情況能夠立即將鞍主體23和樂器用振動傳感器10結(jié)合，因此，能夠通過用樂器用振動傳感器10高效地檢測弦的 振動。也可以在固定有樂器用振動傳感器10的傳感器收納部231的一面形成細孔或凹凸。不需要的粘接材料等可以從細孔或凹陷流出，因此，以縮小樂器用振動傳感器10和鞍主體23a的最小間隔的方式容易地將樂器用振動傳感器10裝入鞍主體23a。另外，如圖6K所示，也可以通過將導(dǎo)線21及22從鞍主體23a的底面引出而使其不顯眼。
下面，參照圖7A 圖7J說明第二實施例的拾音鞍20b的制造方法。圖7B為沿著圖7A的7B-7B線的剖面圖。同樣，圖7D、7F、7H及7J分別為沿著圖7C的7D-7D線、圖7E的7F-7F線、圖7G的7H-7H線、及圖71的7J-7J線的剖面圖。如上所述，通過彎曲樂器用振動傳感器10，能夠調(diào)整從弦至樂器用振動傳感器10的距離。因此，如圖7A，圖7B所示，沿與鞍主體23b的弦相接的面將傳感器收納部233形成為彎曲的形狀。然后，如圖7C、圖7D所示，利用傳感器收納部233的側(cè)面將樂器用振動傳感器10以彎曲的狀態(tài)收納于傳感器收納部233。然后，如圖7E、圖7F所示，將傳感器收納部233的間隙用樹脂232填埋。另外，如圖7G、圖7H所示，也可以在保持樂器用振動傳感器10彎曲并收納于傳感器收納部233的狀態(tài)下，向傳感器收納部233的間隙不完全地填充樹脂232。也可以將樹脂232固化至樂器用振動傳感器10能夠保持彎曲狀態(tài)的程度，然后將剩余的間隙用添補的樹脂完全填埋。另外，如圖71、圖7J所示，可以將樂器用振動傳感器10固定在沿與鞍主體23b的弦相接觸的面而彎曲的傳感器收納部233的面，然后用樹脂232填埋間隙。傳感器收納部的形狀不限于圖7A所示的形狀，即使為具有如S字形、波形等那樣帶拐點的曲面的形狀，也能安裝樂器用振動傳感器10。 另外，如圖8A所示，可以在將樂器用振動傳感器10固定于支座234的曲面后，如圖SB及圖SC所示，在傳感器收納部231收納支座234，并收納樂器用振動傳感器10，如圖8D及圖8E所示，用樹脂232填埋間隙。圖8C為沿著圖8B的8C-8C線的剖面圖，圖8E為沿著圖8D的8E-8E線的剖面圖。如圖7C及圖7G以及圖8B所示，導(dǎo)線21、22從鞍主體23b的底面引出，在組裝于樂器上時，被隱藏在鞍主體23b內(nèi)，從外側(cè)看不見。本發(fā)明能夠適用于在小提琴、大提琴等以及其它弦樂器上使用的樂器用振動傳感器或拾音鞍。另外，振動傳感器的尺寸能夠按照拾音鞍及樂器主體的尺寸任意設(shè)定。以上，雖然參照附圖詳述了該發(fā)明的實施方式，但具體結(jié)構(gòu)不限于這些實施方式，也包含不脫離該發(fā)明的宗g的范圍的設(shè)計等。即，本發(fā)明的技術(shù)的范圍不限于上述的實施例，能夠在不脫離權(quán)利要求書所記載的本發(fā)明的宗g的范圍內(nèi)増加各種變更。
權(quán)利要求
1.ー種樂器用振動傳感器，其具備 基板； 第一電極膜，其與所述基板疊合； 壓電膜，其與所述第一電極膜疊合； 第二電極膜，其與所述壓電膜疊合； 絕緣膜，其與所述第二電極膜疊合； 屏蔽膜，其與所述絕緣膜疊合且與所述第一電極膜結(jié)合，由導(dǎo)電性材料構(gòu)成且通過所述絕緣膜與所述第二電極膜絕緣。
2.如權(quán)利要求I所述的樂器用振動傳感器，其中， 所述壓電膜的端面是傾斜的，并使得所述壓電膜的截面形狀朝向所述基板方向擴展。
3.如權(quán)利要求2所述的樂器用振動傳感器，其中， 所述第一電極膜的端面的至少一部分位于比所述壓電膜的傾斜的端面更內(nèi)側(cè)的位置， 所述第二電極膜沿所述壓電膜的傾斜的端面到達所述基板。
4.如權(quán)利要求I 3中任ー項所述的樂器用振動傳感器，其中， 所述基板由陶瓷構(gòu)成。
5.如權(quán)利要求I 3中任ー項所述的樂器用振動傳感器，其中， 所述基板由Si或Si化合物構(gòu)成。
6.—種拾音鞍，其具備 鞍，其支承弦； 樂器用振動傳感器，其固定于所述鞍上，具備基板、與所述基板疊合的第一電極膜、與所述第一電極膜疊合的壓電膜、與所述壓電膜疊合的第二電極膜、與所述第二電極膜疊合的絕緣膜、與所述絕緣膜疊合且與所述第一電極膜結(jié)合的屏蔽膜，所述屏蔽膜由導(dǎo)電性材料構(gòu)成且通過所述絕緣膜與所述第二電極膜絕緣。
7.如權(quán)利要求6所述的拾音鞍，其中， 在所述鞍上以彎曲的狀態(tài)固定有所述樂器用振動傳感器。
8.如權(quán)利要求6所述的拾音鞍，其中，具備 傳感器收納部，其形成于所述鞍上，收納所述樂器用振動傳感器； 填充材料，其將所述傳感器收納部中除所述樂器用振動傳感器之外的區(qū)域填埋。
9.如權(quán)利要求8所述的拾音鞍，其中， 所述樂器用振動傳感器以所述基板彎曲的狀態(tài)收納于所述傳感器收納部。
10.如權(quán)利要求8所述的拾音鞍，其中， 所述樂器用振動傳感器被固定于所述傳感器收納部的任一面。
11.ー種樂器，其具備權(quán)利要求6 10中任一項所述的拾音鞍。
12.ー種樂器用振動傳感器的制造方法，其具備 準備基板的エ序； 通過薄膜形成法在所述基板上形成第一電極膜的エ序； 通過薄膜形成法，在所述第一電極膜上且除所述第一電極膜的端部之外形成壓電膜的ェ序； 通過薄膜形成法在所述壓電膜上形成第二電極膜的エ序；通過薄膜形成法在所述第二電極膜上形成絕緣膜的エ序； 通過薄膜形成法在所述絕緣膜上及所述第一電極膜的端部上形成由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的屏蔽膜的エ序。
13.一種拾音鞍的制造方法，其具備 利用下述エ序形成樂器用振動傳感器的エ序，所述エ序包括，準備基板的エ序、通過薄膜形成法在所述基板上形成第一電極膜的エ序、通過薄膜形成法在所述第一電極膜上且除所述第一電極膜的端部之外形成壓電膜的エ序、通過薄膜形成法在所述壓電膜上形成第二電極膜的エ序、通過薄膜形成法在所述第二電極膜上形成絕緣膜的エ序、通過薄膜形成法在所述絕緣膜上及所述第一電極膜的端部上形成由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的屏蔽膜的エ序； 在拾音鞍主體中形成中空的傳感器收納部的エ序； 將所述樂器用振動傳感器收納于所述傳感器收納部的エ序； 用樹脂對收納有所述樂器用振動傳感器的所述傳感器收納部的間隙進行填充的エ序。
14.如權(quán)利要求13所述的拾音鞍的制造方法，其中， 在將所述樂器用振動傳感器收納于所述傳感器收納部的エ序中，所述樂器用振動傳感器沿所述鞍主體的上面的形狀彎曲并收納于所述傳感器收納部。
全文摘要
一種樂器用振動傳感器，其具備基板，與所述基板疊合的第一電極膜，與所述第一電極膜疊合的壓電膜，與所述壓電膜疊合的第二電極膜，與所述第二電極膜疊合的絕緣膜，與所述絕緣膜疊合且與所述第一電極膜結(jié)合，由導(dǎo)電性材料構(gòu)成且通過所述絕緣膜與所述第二電極膜絕緣的屏蔽膜。
文檔編號G10H3/18GK102693717SQ201210077409
公開日2012年9月26日 申請日期2012年3月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月24日
發(fā)明者服部敦夫, 松岡潤彌 申請人:雅馬哈株式會社