多層收集鏡片集成為收集鏡系統(tǒng)的裝配裝置的制造方法
【專利摘要】多層收集鏡片集成為收集鏡系統(tǒng)的裝配裝置，涉及收集鏡片的裝配技術(shù)領(lǐng)域。為了滿足將多層收集鏡片集成為收集鏡系統(tǒng)的需求。一個(gè)支撐桿與一個(gè)壓板相配合；輪緣為圓環(huán)，圓環(huán)的環(huán)形內(nèi)設(shè)有多根輻條；輻條上開有N個(gè)凹槽，多根輻條的凹槽組成N組與所述圓環(huán)同心的圓形，圓環(huán)上均勻固定多個(gè)支撐桿，支撐桿上可拆卸地固定與其相配合的壓板，壓板將卡合在凹槽中的收集鏡片壓緊；基座為L架，L架底板的上表面是與輪緣的外表面相配合的弧面，輪緣固定在基座上。本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，適用于裝配收集鏡。
【專利說明】
多層收集鏡片集成為收集鏡系統(tǒng)的裝配裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實(shí)用新型設(shè)及收集鏡片的裝配技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002] 利用毛細(xì)管在大電流快脈沖放電Z髓縮獲得極紫外光（13.5nm)輸出，并用于超大 規(guī)模集成電路的刻線（<20nm)，由于毛細(xì)管輸出的13.5nm福射，是在如空間分布的，在光刻 光源的技術(shù)中（DPP技術(shù)），其中一個(gè)關(guān)鍵技術(shù)，是如何有效的將13.5nm輸出光收集聚焦，W 提高在焦點(diǎn)處的功率密度。運(yùn)就需研制收集鏡系統(tǒng)，運(yùn)一收集鏡系統(tǒng)又必需是口徑由大到 小，多層收集鏡片集成的收集鏡系統(tǒng)，W本課題組為例，便是設(shè)計(jì)并研制了8片收集鏡片。而 現(xiàn)有技術(shù)中沒有將多層收集鏡片集成為收集鏡系統(tǒng)的裝置。 【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003] 本實(shí)用新型是為了滿足將多層收集鏡片集成為收集鏡系統(tǒng)的需求，從而提供多層 收集鏡片集成為收集鏡系統(tǒng)的裝配裝置。
[0004] 本實(shí)用新型所述的多層收集鏡片集成為收集鏡系統(tǒng)的裝配裝置，包括輪緣、多根 福條、多個(gè)支撐桿、多個(gè)壓板和基座；
[0005] -個(gè)支撐桿與一個(gè)壓板相配合;輪緣為圓環(huán)，圓環(huán)的環(huán)形內(nèi)設(shè)有多根福條;福條上 開有N個(gè)凹槽，多根福條的凹槽組成腺且與所述圓環(huán)同屯、的圓形，N為正整數(shù)；
[0006] 圓環(huán)上均勻固定多個(gè)支撐桿，支撐桿上可拆卸地固定與其相配合的壓板，壓板將 卡合在凹槽中的收集鏡片壓緊；
[0007] 基座為L架，L架底板的上表面是與輪緣的外表面相配合的弧面，輪緣固定在基座 上。
[0008] 各福條上有相應(yīng)的凹槽，位于W輪緣的中屯、為中屯、的同屯、圓環(huán)上，凹槽加工時(shí)深 度需稍留誤差，試裝配時(shí)，W便可W稍修正凹槽深，凹槽形狀與各自安裝的鏡片匹配，寬度 各自保留有+0.25mm、-0.25mm加工余量，便于每片收集鏡片安裝后微量調(diào)整其同軸性，檢查 每片聚焦光的焦點(diǎn)，置于同一焦點(diǎn)后，安裝結(jié)束，每安裝完一片收集鏡片在凹槽處涂抹真空 膠水，將收集鏡片固定，然后再進(jìn)行下一片收集鏡片的安裝，最后組裝成一套完整的收集鏡 系統(tǒng)。本實(shí)用新型的裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，不僅能用于裝配收集鏡系統(tǒng)也可在每片收集鏡片面型 的檢測(cè)中用于固定收集鏡片。
[0009] 本實(shí)用新型適用于裝配收集鏡。
【附圖說明】
[0010] 圖1是【具體實(shí)施方式】一所述的多層收集鏡片集成為收集鏡系統(tǒng)的裝配裝置的結(jié)構(gòu) 示意圖；
[0011] 圖2是【具體實(shí)施方式】一中的基座的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012] 圖3是【具體實(shí)施方式】一中的裝配后的收集鏡系統(tǒng)的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
【具體實(shí)施方式】 [0013] 一：參照?qǐng)D1至圖3具體說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式所述的多層收 集鏡片集成為收集鏡系統(tǒng)的裝配裝置，包括輪緣1、多根福條2、多個(gè)支撐桿3、多個(gè)壓板4和 基座5;
[0014] -個(gè)支撐桿3與一個(gè)壓板4相配合;輪緣1為圓環(huán)，圓環(huán)的環(huán)形內(nèi)設(shè)有多根福條2;福 條2上開有N個(gè)凹槽2-1，多根福條2的凹槽組成腺且與所述圓環(huán)同屯、的圓形，N為正整數(shù)；
[0015] 圓環(huán)上均勻固定多個(gè)支撐桿3,支撐桿3上可拆卸地固定與其相配合的壓板4,壓板 4將卡合在凹槽中的收集鏡片壓緊；
[0016] 基座5為L架，L架底板的上表面是與輪緣1的外表面相配合的弧面，輪緣1固定在基 座5上。
[0017] 輪緣1和多根福條2組成星形輪。壓板4在保證固有的強(qiáng)度條件下，要求在保證能有 效壓住收集鏡片使其牢牢固定在福條的凹槽內(nèi)的前題下，盡量做到壓板4寬度盡量窄，因?yàn)?該壓板會(huì)擋住部分照射到收集鏡片上的極紫外光，運(yùn)也是為了保證有盡量高的占空比。
[001引基座5其長為230mm，寬為50mm，高為60mm，基座上有與星形輪外輪廓相匹配的弧 面，用于固定星形輪。
[0019] 本裝置也可用于對(duì)每片收集鏡片面型的檢測(cè)中，檢測(cè)時(shí)將收集鏡片固定到星形輪 上，待每片都檢測(cè)完畢，保證每片都符合設(shè)計(jì)要求，待系統(tǒng)集成測(cè)試、裝配，運(yùn)時(shí)將需要另一 套本實(shí)施方式的裝置，進(jìn)行邊測(cè)試邊裝配，最后組裝成一套完整的收集鏡系統(tǒng)。
【具體實(shí)施方式】 [0020] 二:本實(shí)施方式是對(duì)一所述的多層收集鏡片集成為收 集鏡系統(tǒng)的裝配裝置作進(jìn)一步說明，本實(shí)施方式中，它還包括墊圈，墊圈套固在支撐桿3上， 用于改變壓板4在支撐桿3上的高度。
[0021] 支撐桿3、壓板4和墊圈組成裝卡部件，用于卡合收集鏡片。
【具體實(shí)施方式】 [0022] 本實(shí)施方式是對(duì)一或二所述的多層收集鏡片集成 為收集鏡系統(tǒng)的裝配裝置作進(jìn)一步說明，本實(shí)施方式中，所述圓環(huán)上設(shè)有螺紋孔，螺栓穿過 螺紋孔將支撐桿3固定在圓環(huán)上。
[0023] 輪緣1上有8個(gè)均勻分布的螺紋孔，螺紋孔尺寸為M10。
【具體實(shí)施方式】 [0024] 四：本實(shí)施方式是對(duì)一或二所述的多層收集鏡片集成 為收集鏡系統(tǒng)的裝配裝置作進(jìn)一步說明，本實(shí)施方式中，所述N為8。
[0025] 對(duì)于具有8片收集鏡片的系統(tǒng)，輪緣1應(yīng)滿足鑲嵌所加工的全部收集鏡片，因此設(shè) 有8組與圓環(huán)同屯、的圓形，每片收集鏡片厚3mm，8片收集鏡片中的口徑信息如下表：
[00%]表1 8片收集鏡片中的口徑信息 Γ00271


【具體實(shí)施方式】 [0028] 五:本實(shí)施方式是對(duì)一或二所述的多層收集鏡片集成 為收集鏡系統(tǒng)的裝配裝置作進(jìn)一步說明，本實(shí)施方式中，所述福條2為6根。
【具體實(shí)施方式】 [0029] 六:本實(shí)施方式是對(duì)一或二所述的多層收集鏡片集成 為收集鏡系統(tǒng)的裝配裝置作進(jìn)一步說明，本實(shí)施方式中，輪緣1的外徑為600mm，寬度為 40mm，厚度為 40mm。
[0030] W輪緣1的徑向作為寬度方向，軸向作為厚度方向。
[0031 ]【具體實(shí)施方式】屯:本實(shí)施方式是對(duì)【具體實(shí)施方式】一或二所述的多層收集鏡片集成 為收集鏡系統(tǒng)的裝配裝置作進(jìn)一步說明，本實(shí)施方式中，福條2寬度為10mm，厚度為40mm。 [0032] W輪緣1軸向作為厚度方向。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 多層收集鏡片集成為收集鏡系統(tǒng)的裝配裝置，其特征在于，包括輪緣（1)、多根輻條 (2)、多個(gè)支撐桿(3)、多個(gè)壓板(4)和基座(5); 一個(gè)支撐桿(3)與一個(gè)壓板(4)相配合;輪緣（1)為圓環(huán)，圓環(huán)的環(huán)形內(nèi)設(shè)有多根輻條 (2);輻條(2)上開有N個(gè)凹槽(2-1)，多根輻條(2)的凹槽組成N組與所述圓環(huán)同心的圓形，N 為正整數(shù)； 圓環(huán)上均勻固定多個(gè)支撐桿(3)，支撐桿(3)上可拆卸地固定與其相配合的壓板(4)，壓 板(4)將卡合在凹槽中的收集鏡片壓緊； 基座(5)為L架，L架底板的上表面是與輪緣（1)的外表面相配合的弧面，輪緣（1)固定在 基座(5)上。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層收集鏡片集成為收集鏡系統(tǒng)的裝配裝置，其特征在于，它 還包括墊圈，墊圈套固在支撐桿(3)上，用于改變壓板(4)在支撐桿(3)上的高度。3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多層收集鏡片集成為收集鏡系統(tǒng)的裝配裝置，其特征在 于，所述圓環(huán)上設(shè)有螺紋孔，螺栓穿過螺紋孔將支撐桿(3)固定在圓環(huán)上。4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多層收集鏡片集成為收集鏡系統(tǒng)的裝配裝置，其特征在 于，所述N為8。5. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多層收集鏡片集成為收集鏡系統(tǒng)的裝配裝置，其特征在 于，所述輻條(2)為6根。6. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多層收集鏡片集成為收集鏡系統(tǒng)的裝配裝置，其特征在 于，輪緣(1)的外徑為600mm，寬度為40mm，厚度為40mm。7. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多層收集鏡片集成為收集鏡系統(tǒng)的裝配裝置，其特征在 于，福條(2)寬度為10mm，厚度為40_。
【文檔編號(hào)】G03F7/20GK205670210SQ201620599404
【公開日】2016年11月2日
【申請(qǐng)日】2016年6月17日
【發(fā)明人】祝東遠(yuǎn), 徐強(qiáng), 趙永蓬
【申請(qǐng)人】哈爾濱工業(yè)大學(xué)