光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本申請(qǐng)公開了一種光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，包括載臺(tái)導(dǎo)軌、主機(jī)臺(tái)導(dǎo)軌、第一連桿和第二連桿；第一連桿設(shè)在主機(jī)臺(tái)導(dǎo)軌上，第一連桿的一端固定第一激光發(fā)射器，另一端固定第二激光發(fā)射器；第二連桿設(shè)在載臺(tái)導(dǎo)軌上，第二連桿的一端固定第一全反射透鏡，另一端固定第二全反射透鏡；第一激光發(fā)射器發(fā)射的光束能夠經(jīng)過第一全反射透鏡90度反射到透明鏡片上，第二激光發(fā)射器發(fā)射的光束能夠經(jīng)過第二全反射透鏡90度反射到透明鏡片上；透明鏡片位于第一全反射透鏡與第二全反射透鏡的連線上；第一激光發(fā)射器和第二激光發(fā)射器之間的距離與第一全反射透鏡和第二全反射透鏡之間的距離相等。使用本發(fā)明的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)進(jìn)行軌道對(duì)接時(shí)，對(duì)準(zhǔn)情況直觀可視，省時(shí)且成功率高。
【專利說(shuō)明】
光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本公開一般涉及光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，具體涉及解決對(duì)接式進(jìn)片臺(tái)對(duì)準(zhǔn)問題的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在晶圓片級(jí)芯片規(guī)模封裝(Wafer Level Chip Scale Packaging，WLCSP)制備工藝中，背膠涂布使用DEK背膠刷片機(jī)，DEK背膠刷片機(jī)的刷背膠載片臺(tái)和主機(jī)腔是分離設(shè)計(jì)，使用時(shí)載臺(tái)軌道物理對(duì)接到主機(jī)，其中DEK為英國(guó)的一個(gè)設(shè)備供應(yīng)商的名字。在實(shí)際刷背膠工藝中，往往由于載臺(tái)軌道與主機(jī)對(duì)接不準(zhǔn)，載臺(tái)從滑軌傳送到主機(jī)時(shí)，會(huì)出現(xiàn)因接口不準(zhǔn)導(dǎo)致的傳送阻礙，從而造成進(jìn)一步的故障。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]鑒于現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷或不足，期望提供一種解決對(duì)接式進(jìn)片臺(tái)對(duì)準(zhǔn)問題的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采取的技術(shù)方案是:
[0005]—種光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，包括載臺(tái)導(dǎo)軌、主機(jī)臺(tái)導(dǎo)軌、第一連桿和第二連桿；
[0006]所述第一連桿設(shè)置在主機(jī)臺(tái)導(dǎo)軌上，所述第一連桿的一端固定有第一激光發(fā)射器，另一端固定有第二激光發(fā)射器；
[0007]所述第二連桿設(shè)置在載臺(tái)導(dǎo)軌上，所述第二連桿的一端固定有第一全反射透鏡，另一端固定有第二全反射透鏡；
[0008]所述第一激光發(fā)射器發(fā)射的第一光束能夠經(jīng)過所述第一全反射透鏡90度反射到透明鏡片上，所述第二激光發(fā)射器發(fā)射的第二光束能夠經(jīng)過所述第二全反射透鏡90度反射到透明鏡片上；
[0009]所述透明鏡片位于所述第一全反射透鏡與第二全反射透鏡的連線上；
[0010]所述第一激光發(fā)射器和所述第二激光發(fā)射器之間的距離與所述第一全反射透鏡和所述第二全反射透鏡之間的距離相等。
[0011]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是:
[0012]本發(fā)明解決了對(duì)接式進(jìn)片臺(tái)對(duì)準(zhǔn)問題，通過采用兩個(gè)光發(fā)射源分別照射到鏡面并反射，光源重合即對(duì)準(zhǔn)。使用本發(fā)明的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)進(jìn)行軌道對(duì)接時(shí)，對(duì)準(zhǔn)情況直觀可視、簡(jiǎn)單且有效、省時(shí)且成功率高、誤差小，圓片定位準(zhǔn)確也會(huì)在一定程度上提高背膠機(jī)的工藝性能，并可擴(kuò)展到其他類似結(jié)構(gòu)的軌道對(duì)準(zhǔn)時(shí)輔助使用。
【附圖說(shuō)明】
[0013]通過閱讀參照以下附圖所作的對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本申請(qǐng)的其它特征、目的和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更明顯:
[0014]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的俯視圖；
[0015]圖2本發(fā)明實(shí)施例提供的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的正面?zhèn)雀┮晥D。
[0016]圖中:I載臺(tái)導(dǎo)軌，2主機(jī)臺(tái)導(dǎo)軌，3第一連桿，4第二連桿，5第一激光發(fā)射器，6第二激光發(fā)射器，7第一全反射透鏡，8第二全反射透鏡，9透明鏡片，10第一光束，11第二光束。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本申請(qǐng)作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明?？梢岳斫獾氖?，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用于解釋相關(guān)發(fā)明，而非對(duì)該發(fā)明的限定。另外還需要說(shuō)明的是，為了便于描述，附圖中僅示出了與發(fā)明相關(guān)的部分。
[0018]需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本申請(qǐng)。
[0019]參見圖1和圖2，一種光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，包括載臺(tái)導(dǎo)軌1、主機(jī)臺(tái)導(dǎo)軌2、第一連桿3和第二連桿4;
[0020]第一連桿3設(shè)置在主機(jī)臺(tái)導(dǎo)軌2上，第一連桿3的一端固定有第一激光發(fā)射器5，另一端固定有第二激光發(fā)射器6;
[0021]第二連桿4設(shè)置在載臺(tái)導(dǎo)軌I上，第二連桿4的一端固定有第一全反射透鏡7，另一端固定有第二全反射透鏡8 ；
[0022]第一激光發(fā)射器5發(fā)射的第一光束10能夠經(jīng)過第一全反射透鏡7后90度反射到透明鏡片9上，第二激光發(fā)射器6發(fā)射的第二光束11能夠經(jīng)過第二全反射透鏡8后90度反射到透明鏡片9上；
[0023]透明鏡片9位于第一全反射透鏡7的反射點(diǎn)與第二全反射透鏡8的反射點(diǎn)的連線上；
[0024]第一激光發(fā)射器5和第二激光發(fā)射器6之間的距離與第一全反射透鏡7和第二全反射透鏡之間8的距離相等。
[0025]本發(fā)明使用輔助工具保證背膠刷片機(jī)的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)，解決對(duì)接式進(jìn)片臺(tái)對(duì)準(zhǔn)問題。使用本發(fā)明的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)進(jìn)行軌道對(duì)接時(shí)，對(duì)準(zhǔn)情況直觀可視，具有簡(jiǎn)單、省時(shí)且對(duì)準(zhǔn)成功率高、誤差小的優(yōu)點(diǎn)。
[0026]本實(shí)施例在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，第一連桿3為能夠調(diào)節(jié)長(zhǎng)度的伸縮桿。
[0027]本實(shí)施例在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，第二連桿4為能夠調(diào)節(jié)長(zhǎng)度的伸縮桿。
[0028]本發(fā)明的第一連桿和第二連桿可調(diào)節(jié)長(zhǎng)度，能夠適應(yīng)不同距離的載臺(tái)軌道，可伸縮調(diào)節(jié)的連桿，也能夠調(diào)節(jié)使得第一激光發(fā)射器和第二激光發(fā)射器之間的距離與第一全反射透鏡和第二全反射透鏡之間的距離相等，從而保證了第一光束、第二光束及載臺(tái)軌道之間相互平行。
[0029]本實(shí)施例在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，為了便于連接固定，第一連桿3的兩端卡接固定在主機(jī)臺(tái)導(dǎo)軌2上。
[0030]本實(shí)施例在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，為了便于連接固定，第二連桿4的兩端卡接固定在載臺(tái)導(dǎo)軌I上。
[0031]本實(shí)施例在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，透明鏡片9的中心位于第一全反射透鏡7與第二全反射透鏡8的連線上。
[0032]本發(fā)明兩個(gè)反射透鏡，即第一全反射透鏡與第二全反射透鏡反射的光都會(huì)落在透明鏡片9上面，可以直接通過透明鏡片9上存在的光點(diǎn)情況來(lái)判斷是否平行，存在一個(gè)點(diǎn)平行，兩個(gè)點(diǎn)即是不平行，需要調(diào)整為平行。
[0033]本實(shí)施例在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，為了便于判斷光點(diǎn)是否很好重合，第一激光發(fā)射器5和第二激光發(fā)射器6用于發(fā)射相同顏色的可見光。
[0034]—般都是選用同種顏色的可見光，紅光最多，而且選用實(shí)際操作環(huán)境比較亮的光，當(dāng)然也可以選用其他顏色，即使選用的顏色看不到光束，也可以通過透明鏡片上的光點(diǎn)判斷。不同顏色的光有些顏色會(huì)把其他顏色蓋掉，不容易判斷第一全反射透鏡與第二全反射透鏡反射的光是否落在透明鏡片上的同一個(gè)點(diǎn)。因此最好選用同一種顏色的光。
[0035]本發(fā)明在DEK背膠機(jī)臺(tái)的現(xiàn)有軌道結(jié)構(gòu)上，安裝一種光學(xué)對(duì)準(zhǔn)輔助裝置系統(tǒng)，第一激光發(fā)射器和第二激光發(fā)射器均為微型激光發(fā)射器，固定在相應(yīng)的第一連桿上，第一連桿長(zhǎng)短可伸縮;第一全反射透鏡、第二全反射透鏡和透明鏡片組成一個(gè)接收裝置，由第二連桿固定，第二連桿長(zhǎng)短可伸縮;透明鏡片為透明小玻璃鏡片。使用時(shí)將第一連桿固定在主機(jī)臺(tái)導(dǎo)軌上，第二連桿固定在載片臺(tái)的導(dǎo)軌上，打開激光發(fā)生器電源，第一激光發(fā)射器和第二激光發(fā)射器同為發(fā)射端，第一激光發(fā)射器發(fā)射出紅色可見光，第一激光發(fā)射器發(fā)射出綠色可見光，紅色可見光和綠色可見光經(jīng)全反射透鏡接收光線，并90度反射到透明鏡片上，當(dāng)兩組光斑重合時(shí)，載片臺(tái)導(dǎo)軌和主機(jī)臺(tái)導(dǎo)軌即呈線性，對(duì)接完成。
[0036]以上描述僅為本申請(qǐng)的較佳實(shí)施例以及對(duì)所運(yùn)用技術(shù)原理的說(shuō)明。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，本申請(qǐng)中所涉及的發(fā)明范圍，并不限于上述技術(shù)特征的特定組合而成的技術(shù)方案，同時(shí)也應(yīng)涵蓋在不脫離所述發(fā)明構(gòu)思的情況下，由上述技術(shù)特征或其等同特征進(jìn)行任意組合而形成的其它技術(shù)方案。例如上述特征與本申請(qǐng)中公開的(但不限于)具有類似功能的技術(shù)特征進(jìn)行互相替換而形成的技術(shù)方案。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，包括載臺(tái)導(dǎo)軌、主機(jī)臺(tái)導(dǎo)軌、第一連桿和第二連桿； 所述第一連桿設(shè)置在主機(jī)臺(tái)導(dǎo)軌上，所述第一連桿的一端固定有第一激光發(fā)射器，另一端固定有第二激光發(fā)射器； 所述第二連桿設(shè)置在載臺(tái)導(dǎo)軌上，所述第二連桿的一端固定有第一全反射透鏡，另一端固定有第二全反射透鏡； 所述第一激光發(fā)射器發(fā)射的第一光束能夠經(jīng)過所述第一全反射透鏡90度反射到透明鏡片上，所述第二激光發(fā)射器發(fā)射的第二光束能夠經(jīng)過所述第二全反射透鏡90度反射到透明鏡片上； 所述透明鏡片位于所述第一全反射透鏡與第二全反射透鏡的連線上； 所述第一激光發(fā)射器和所述第二激光發(fā)射器之間的距離與所述第一全反射透鏡和所述第二全反射透鏡之間的距離相等。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述第一連桿為能夠調(diào)節(jié)長(zhǎng)度的伸縮桿。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述第二連桿為能夠調(diào)節(jié)長(zhǎng)度的伸縮桿。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述第一連桿的兩端卡接固定在所述主機(jī)臺(tái)導(dǎo)軌上。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述第二連桿的兩端卡接固定在所述載臺(tái)導(dǎo)軌上。6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述透明鏡片的中心位于所述第一全反射透鏡的反射點(diǎn)與第二全反射透鏡的反射點(diǎn)的連線上。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述第一激光發(fā)射器和所述第二激光發(fā)射器用于發(fā)射相同顏色的可見光。
【文檔編號(hào)】G02B27/30GK106094238SQ201610389817
【公開日】2016年11月9日
【申請(qǐng)日】2016年6月2日 公開號(hào)201610389817.1, CN 106094238 A, CN 106094238A, CN 201610389817, CN-A-106094238, CN106094238 A, CN106094238A, CN201610389817, CN201610389817.1
【發(fā)明人】鄭剛
【申請(qǐng)人】南通富士通微電子股份有限公司