心都偏移，從而還產(chǎn)生對(duì)光學(xué)掃描裝置的設(shè)置需要進(jìn)行細(xì)致的調(diào)整的情況。
[0100]可是，在本實(shí)施例的光學(xué)掃描裝置中，由于垂直驅(qū)動(dòng)梁92?99設(shè)為偶數(shù)根，因此即使投影面的尺寸不同，也能使投影中心始終保持一定，即使在用于各種用途或投影面的尺寸的情況下，也能容易地設(shè)置光學(xué)掃描裝置。
[0101]如此，根據(jù)實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置，通過在鏡反射面10與扭桿50之間設(shè)置應(yīng)力緩和區(qū)域20，從而能夠降低在扭桿50產(chǎn)生的應(yīng)力對(duì)鏡反射面10的影響。另外，根據(jù)需要，通過在應(yīng)力緩和區(qū)域20設(shè)置狹縫30，從而分散應(yīng)力，能夠進(jìn)一步降低對(duì)鏡反射面10的影響。
[0102]另外，通過進(jìn)行可動(dòng)框80的減薄，從而使可動(dòng)框80輕量化而提高靈敏度，并且，能夠降低干擾。而且，通過使垂直驅(qū)動(dòng)梁90的根數(shù)為偶數(shù)，從而能夠使正側(cè)與負(fù)側(cè)的擺動(dòng)量相同，能夠容易地設(shè)置光學(xué)掃描裝置。
[0103]實(shí)施例2
[0104]圖9是表示本發(fā)明的實(shí)施例2的光學(xué)掃描裝置的一例的圖。在圖9中，示出了鏡反射面10、鏡部41和扭桿50。關(guān)于其它的結(jié)構(gòu)要素，由于與實(shí)施例1相同，因此省略其圖示及說明。另外，在圖9中，關(guān)于與實(shí)施例1同樣的結(jié)構(gòu)要素，標(biāo)注同一參照符號(hào)并省略其說明。
[0105]在圖9中，鏡部41具有鏡反射面10、應(yīng)力緩和區(qū)域22和狹縫31，但狹縫31在一個(gè)應(yīng)力緩和區(qū)域22僅設(shè)置一個(gè)這一點(diǎn)與實(shí)施例1的光學(xué)掃描裝置不同。如此，狹縫31也可以僅設(shè)置一個(gè)。此時(shí)，從扭桿50產(chǎn)生的應(yīng)力向狹縫31的兩外側(cè)分散，因此具有應(yīng)力分散的效果。
[0106]另外，在實(shí)施例2的光學(xué)掃描裝置中，也優(yōu)選狹縫31關(guān)于水平旋轉(zhuǎn)軸X對(duì)稱地配置，因此優(yōu)選配置成狹縫31的中心位于水平旋轉(zhuǎn)軸X上。
[0107]另外，狹縫31與肋11(圖9中未圖示)隔開距離配置為宜這一點(diǎn)和狹縫31的形狀也可以未必為圓弧狀這一點(diǎn)與實(shí)施例1相同。
[0108]根據(jù)實(shí)施例2的光學(xué)掃描裝置，能夠以簡(jiǎn)單的狹縫形狀，使從扭桿50產(chǎn)生的應(yīng)力分散，防止肋11的破損。
[0109]實(shí)施例3
[0110]圖10是表示本發(fā)明的實(shí)施例3的光學(xué)掃描裝置的一例的圖。在圖10中，示出了鏡反射面10、鏡部42和扭桿50，而關(guān)于其它的結(jié)構(gòu)要素，由于與實(shí)施例1相同，因此省略其圖示及說明。另外，在圖10中，關(guān)于與實(shí)施例1同樣的結(jié)構(gòu)要素，標(biāo)注同一參照符號(hào)并省略其說明。
[0111]在實(shí)施例3的光學(xué)掃描裝置中，鏡部42的各應(yīng)力緩和區(qū)域23具有3個(gè)狹縫32、33、34這一點(diǎn)與實(shí)施例1及2的光學(xué)掃描裝置不同。如此，使狹縫32、33、34增加為3個(gè)，也可以進(jìn)一步分散應(yīng)力。
[0112]在實(shí)施例3的光學(xué)掃描裝置中，配置成狹縫33位于水平旋轉(zhuǎn)軸X上，狹縫32和狹縫34關(guān)于水平旋轉(zhuǎn)軸X成線對(duì)稱。由此，能夠使應(yīng)力大致均勻地分散。另外，在扭桿50產(chǎn)生的應(yīng)力利用狹縫32?34分散為4個(gè)部分。
[0113]另外，狹縫32?34與肋11(圖10中未圖示)隔開距離配置為宜這一點(diǎn)和狹縫32?34的形狀也可以未必為圓弧狀這一點(diǎn)與實(shí)施例1、2相同。
[0114]實(shí)施例4
[0115]圖11是表示本發(fā)明的實(shí)施例4的光學(xué)掃描裝置的一例的圖。在圖11中，示出了鏡反射面10、鏡部43和扭桿50，而關(guān)于其它的結(jié)構(gòu)要素，由于與實(shí)施例1相同，因此省略其圖示及說明。另外，在圖11中，關(guān)于與實(shí)施例1同樣的結(jié)構(gòu)要素，標(biāo)注同一參照符號(hào)并省略其說明。
[0116]在實(shí)施例4的光學(xué)掃描裝置中，鏡部43的各應(yīng)力緩和區(qū)域24具有4個(gè)狹縫35、36、37、38這一點(diǎn)與實(shí)施例1至3的光學(xué)掃描裝置不同。另外，在水平旋轉(zhuǎn)軸X上不存在狹縫35?38這一點(diǎn)與實(shí)施例2及3的光學(xué)掃描裝置不同。如此，也可以構(gòu)成為在使狹縫35?38進(jìn)一步增加為4個(gè)的同時(shí)，不在水平旋轉(zhuǎn)軸X上配置狹縫35?38的結(jié)構(gòu)。由于不在水平旋轉(zhuǎn)軸X上配置狹縫35?38，從而能夠?qū)⑴U50繞水平旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)力可靠地傳遞給鏡反射面10。
[0117]在實(shí)施例4的光學(xué)掃描裝置中，利用4個(gè)狹縫35?38，能夠?qū)⒃谂U50產(chǎn)生的應(yīng)力分散為5個(gè)部分。另外，由于狹縫35與狹縫38、狹縫36與狹縫37關(guān)于水平旋轉(zhuǎn)軸X線對(duì)稱地配置，因此能夠使應(yīng)力大致均勻地進(jìn)行分散。另外，通過使狹縫35?38為偶數(shù)，不在水平旋轉(zhuǎn)軸X上配置狹縫35?38，因此對(duì)于繞水平旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)力，不使其減少而直接傳遞給鏡反射面10，可使靈敏度保持高靈敏度。
[0118]另外，狹縫35?38與肋11(圖11中未圖示)隔開距離配置為宜這一點(diǎn)和狹縫35?38的形狀也可以未必為圓弧狀這一點(diǎn)與實(shí)施例1、2相同。
[0119]根據(jù)實(shí)施例4的光學(xué)掃描裝置，能夠在將靈敏度保持為高靈敏度的同時(shí)，使應(yīng)力細(xì)小地分散，能夠使光學(xué)掃描裝置長(zhǎng)壽命化。
[0120]以上，關(guān)于本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例詳細(xì)進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限于上述的實(shí)施例，不脫離本發(fā)明的范圍而能夠?qū)ι鲜鰧?shí)施例加以各種變形及置換。
[0121]產(chǎn)業(yè)上的可用性如下。
[0122]本發(fā)明能夠利用于投影儀等圖像投影裝置。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光學(xué)掃描裝置，其特征在于，具備: 具有鏡反射面的鏡部； 從外側(cè)支撐該鏡部的可動(dòng)框；以及 從兩側(cè)支撐該可動(dòng)框，并且使其繞通過上述鏡反射面的中心的預(yù)定的軸進(jìn)行擺動(dòng)的一對(duì)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)， 在上述可動(dòng)框的距上述軸最遠(yuǎn)的預(yù)定區(qū)域設(shè)置有減薄部。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于， 上述減薄部設(shè)置于相對(duì)上述軸的兩側(cè)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于， 上述可動(dòng)框相對(duì)于上述軸對(duì)稱且具有與上述軸平行的一對(duì)邊， 上述減薄部設(shè)置于該一對(duì)邊。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于， 上述減薄部具有預(yù)定的平面形狀，并且由未貫穿上述可動(dòng)框的凹狀的孔而成。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于， 上述減薄部包含具有三角形平面形狀的多個(gè)上述凹狀的孔， 以上述三角形的頂點(diǎn)交替朝向內(nèi)側(cè)和外側(cè)的方式沿著上述可動(dòng)框的延伸方向進(jìn)行配置。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于， 進(jìn)一步具有: 從與上述軸垂直的第二軸上的兩側(cè)支撐上述鏡部的一對(duì)扭桿；以及一對(duì)水平驅(qū)動(dòng)梁，其設(shè)置于上述鏡部周圍且與上述扭桿連結(jié)，并且具有用于使上述鏡部繞上述第二軸進(jìn)行擺動(dòng)的驅(qū)動(dòng)源， 上述可動(dòng)框經(jīng)由該水平驅(qū)動(dòng)梁和上述扭桿來支撐上述鏡部，并且包圍該水平驅(qū)動(dòng)梁和上述扭桿的周圍。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于， 上述可動(dòng)框?yàn)槔郀睢?.一種光學(xué)掃描裝置，其特征在于，具備: 鏡部； 一對(duì)水平驅(qū)動(dòng)梁，其設(shè)置于該鏡部的周圍且使上述鏡部繞第一軸進(jìn)行擺動(dòng)； 可動(dòng)框，其支撐上述鏡部和該一對(duì)水平驅(qū)動(dòng)梁； 一對(duì)垂直驅(qū)動(dòng)部，其在表面上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)源，具有包含與上述第一軸平行地配置的多個(gè)長(zhǎng)方形的梁的多個(gè)垂直驅(qū)動(dòng)梁，并且從兩側(cè)支撐上述可動(dòng)框，使上述可動(dòng)框繞上述第二軸進(jìn)行擺動(dòng)；以及 從外側(cè)支撐該垂直驅(qū)動(dòng)部的支架， 上述多個(gè)垂直驅(qū)動(dòng)梁包括:一端連接在設(shè)置于內(nèi)側(cè)的上述可動(dòng)框的第一垂直驅(qū)動(dòng)梁；一端連接在設(shè)置于外側(cè)的上述支架的第二垂直驅(qū)動(dòng)梁；以及其他垂直驅(qū)動(dòng)梁，其設(shè)置為以相互鄰接的方式平行地配置于該第一垂直驅(qū)動(dòng)梁與該第二垂直驅(qū)動(dòng)梁之間，一端連接在與內(nèi)側(cè)鄰接的上述垂直驅(qū)動(dòng)梁，并且另一端連接在與外側(cè)鄰接的上述垂直驅(qū)動(dòng)梁，作為整體以曲折的方式連接上述第一垂直驅(qū)動(dòng)梁的另一端與上述第二垂直驅(qū)動(dòng)梁的另一端， 在上述第一垂直驅(qū)動(dòng)梁和上述第二垂直驅(qū)動(dòng)梁施加相互上下反轉(zhuǎn)的波形的驅(qū)動(dòng)電壓。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于， 在上述多個(gè)垂直驅(qū)動(dòng)梁中的相鄰接的上述垂直驅(qū)動(dòng)梁施加相互上下反轉(zhuǎn)的波形的上述驅(qū)動(dòng)電壓。10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于， 各個(gè)上述垂直驅(qū)動(dòng)部包含偶數(shù)個(gè)上述垂直驅(qū)動(dòng)梁。11.根據(jù)權(quán)利要求8至10中任一項(xiàng)所述的光學(xué)掃描裝置，其特征在于， 在上述一對(duì)垂直驅(qū)動(dòng)部所包含的上述多個(gè)垂直驅(qū)動(dòng)梁施加上述驅(qū)動(dòng)電壓，以使相位相對(duì)于上述鏡部對(duì)稱。
【專利摘要】本發(fā)明的目的是提供一種光學(xué)掃描裝置，能夠緩和施加于鏡部的應(yīng)力，減少破損和材料疲勞。光學(xué)掃描裝置從兩側(cè)利用扭桿(50)支撐具有鏡反射面(10)的鏡部(40～43)，使該鏡部以該扭桿(50)為軸(X)擺動(dòng)，從而使由上述鏡反射面(10)反射的光進(jìn)行掃描，其特征在于，上述鏡部(40～43)在通過上述鏡反射面(10)的中心且垂直于上述軸(X)的垂直軸(Y)和上述鏡反射面(10)的端點(diǎn)的交點(diǎn)與上述扭桿(50)之間，具有緩和由上述扭桿(50)的扭轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的應(yīng)力的應(yīng)力緩和區(qū)域(20、22～24)。
【IPC分類】G02B26/08
【公開號(hào)】CN105549200
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201610153849
【發(fā)明人】田中豐樹, 山田司, 西山隆彥
【申請(qǐng)人】三美電機(jī)株式會(huì)社
【公開日】2016年5月4日
【申請(qǐng)日】2012年9月28日
【公告號(hào)】CN103033931A, DE102012109342A1, US8941906, US9268132, US20130083379, US20150103386