對(duì)位標(biāo)記搜尋方法、顯示基板和顯示裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種對(duì)位標(biāo)記搜尋方法、顯示基板和顯示裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在進(jìn)行構(gòu)圖工藝時(shí)，通常需要使用曝光機(jī)對(duì)光刻膠進(jìn)行曝光，而進(jìn)行曝光時(shí)，需要通過(guò)位于襯底基板上虛擬(du_y)區(qū)的對(duì)位標(biāo)記(Glass Mark)將掩膜版與襯底基板進(jìn)行對(duì)位，以確保曝光時(shí)的精確度，其中對(duì)位標(biāo)記可以為矩形或者圓形。
[0003]相關(guān)技術(shù)中有一種對(duì)位標(biāo)記搜尋方法，在該方法中，首先獲取對(duì)位標(biāo)記的理論坐標(biāo)，之后根據(jù)理論坐標(biāo)移動(dòng)檢出系視野(曝光機(jī)搜尋對(duì)位標(biāo)記的視窗，該視窗能夠觀測(cè)到整個(gè)對(duì)位標(biāo)記，對(duì)位標(biāo)記出現(xiàn)在該視窗中時(shí)說(shuō)明曝光機(jī)找到對(duì)位標(biāo)記)，由于曝光機(jī)的機(jī)械誤差，檢出系視野移動(dòng)后在基板上的實(shí)際坐標(biāo)與理論坐標(biāo)存在誤差，因而需要向檢出系視野的實(shí)際坐標(biāo)周圍各個(gè)方向移動(dòng)檢出系視野以搜尋對(duì)位標(biāo)記。
[0004]發(fā)明人在實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的過(guò)程中，發(fā)現(xiàn)上述方式至少存在如下缺陷:上述方式需要向?qū)嶋H坐標(biāo)的各個(gè)方向移動(dòng)檢出系視野才能找到對(duì)位標(biāo)記，查找過(guò)程較為復(fù)雜，查找時(shí)間較長(zhǎng)。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]為了解決相關(guān)技術(shù)中需要向?qū)嶋H坐標(biāo)的各個(gè)方向移動(dòng)檢出系視野才能找到對(duì)位標(biāo)記，查找過(guò)程較為復(fù)雜，查找時(shí)間較長(zhǎng)的問(wèn)題，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種對(duì)位標(biāo)記搜尋方法、顯示基板和顯示裝置。所述技術(shù)方案如下:
[0006]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的第一方面，提供一種對(duì)位標(biāo)記搜尋方法，用于搜尋襯底基板上的對(duì)位標(biāo)記，所述襯底基板的虛擬區(qū)上形成有定位線段，所述定位線段所在直線貫穿所述對(duì)位標(biāo)記，所述方法包括:
[0007]獲取理論坐標(biāo)；
[0008]以所述理論坐標(biāo)為目標(biāo)移動(dòng)檢出系視野至目標(biāo)位置；
[0009]以垂直于所述定位線段的方向從所述目標(biāo)位置移動(dòng)所述檢出系視野至所述定位線段出現(xiàn)在所述檢出系視野中；
[0010]以所述定位線段的長(zhǎng)度方向從所述定位線段處移動(dòng)所述檢出系視野至所述對(duì)位標(biāo)記出現(xiàn)在所述檢出系視野中。
[0011]可選的，所述定位線段所在直線貫穿所述對(duì)位標(biāo)記的中心，所述以垂直于所述定位線段的方向從所述目標(biāo)位置移動(dòng)所述檢出系視野至所述定位線段出現(xiàn)在所述檢出系視野中之后，所述方法還包括:
[0012]移動(dòng)所述檢出系視野，使所述檢出系視野的中心位于所述定位線段上。
[0013]可選的，所述定位線段與所述對(duì)位標(biāo)記在所述定位線段的長(zhǎng)度方向上的距離小于所述檢出系視野在所述定位線段的長(zhǎng)度方向上的寬度。
[0014]可選的，所述定位線段有兩條，兩條所述定位線段所在的直線重合且兩條所述定位線段位于所述對(duì)位標(biāo)記的兩側(cè)。
[0015]可選的，所述檢出系視野為矩形，
[0016]兩條所述定位線段之間的距離大于或等于所述檢出系視野在任一所述定位線段的長(zhǎng)度方向上的長(zhǎng)度。
[0017]可選的，所述定位線段與所述對(duì)位標(biāo)記是在一次構(gòu)圖工藝中形成的。
[0018]可選的，所述襯底基板包括:陣列基板中的襯底基板或彩膜基板中的襯底基板。
[0019]可選的，所述方法用于構(gòu)圖工藝中。
[0020]根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供一種顯示基板，所述顯示基板包括襯底基板，所述襯底基板的虛擬區(qū)上形成有定位線段，所述定位線段所在直線貫穿對(duì)位標(biāo)記。
[0021 ] 可選的，所述定位線段所在直線貫穿所述對(duì)位標(biāo)記的中心。
[0022]可選的，所述定位線段與所述對(duì)位標(biāo)記在所述定位線段的長(zhǎng)度方向上的距離小于所述檢出系視野在所述定位線段的長(zhǎng)度方向上的寬度。
[0023]可選的，所述對(duì)位標(biāo)記的定位線段有兩條，兩條所述定位線段所在的直線重合且兩條所述定位線段位于所述對(duì)位標(biāo)記的兩側(cè)。
[0024]可選的，兩條所述定位線段之間的距離大于或等于所述檢出系視野在任一所述定位線段的長(zhǎng)度方向上的長(zhǎng)度。
[0025]可選的，所述定位線段與所述對(duì)位標(biāo)記是在一次構(gòu)圖工藝中形成的。
[0026]可選的，所述顯示基板包括:
[0027]陣列基板或彩膜基板。
[0028]根據(jù)本發(fā)明的第三方面，提供一種顯示裝置，所述顯示裝置包括第三方面所述的顯示基板。
[0029]本發(fā)明實(shí)施例提供的技術(shù)方案可以包括以下有益效果:
[0030]通過(guò)在襯底基板的虛擬區(qū)尋找定位線段，并沿定位線段的長(zhǎng)度方向來(lái)尋找對(duì)位標(biāo)記，其中定位線段所在的直線貫穿對(duì)位標(biāo)記，解決了相關(guān)技術(shù)中需要向各個(gè)方向移動(dòng)檢出系視野才能找到對(duì)位標(biāo)記，查找過(guò)程較為復(fù)雜，查找時(shí)間較長(zhǎng)的問(wèn)題；達(dá)到了能夠簡(jiǎn)便快速的找到對(duì)位標(biāo)記的效果。
[0031]應(yīng)當(dāng)理解的是，以上的一般描述和后文的細(xì)節(jié)描述僅是示例性和解釋性的，并不能限制本發(fā)明。
【附圖說(shuō)明】
[0032]此處的附圖被并入說(shuō)明書(shū)中并構(gòu)成本說(shuō)明書(shū)的一部分，示出了符合本發(fā)明的實(shí)施例，并與說(shuō)明書(shū)一起用于解釋本發(fā)明的原理。
[0033]圖1是本發(fā)明實(shí)施例示出的一種對(duì)位標(biāo)記搜尋方法的流程圖；
[0034]圖2-1是本發(fā)明實(shí)施例示出的另一種對(duì)位標(biāo)記搜尋方法的流程圖；
[0035]圖2-2至圖2-6是圖2_1所示實(shí)施例中顯示基板中襯底基板的虛擬區(qū)的示意圖；
[0036]圖3_1是本發(fā)明實(shí)施例不出的一種顯不基板中襯底基板的虛擬區(qū)的不意圖；
[0037]圖3_2是本發(fā)明實(shí)施例不出的另一種顯不基板中襯底基板的虛擬區(qū)的不意圖；
[0038]圖3_3是本發(fā)明實(shí)施例不出的另一種顯不基板中襯底基板的虛擬區(qū)的不意圖。
[0039]通過(guò)上述附圖，已示出本發(fā)明明確的實(shí)施例，后文中將有更詳細(xì)的描述。這些附圖和文字描述并不是為了通過(guò)任何方式限制本發(fā)明構(gòu)思的范圍，而是通過(guò)參考特定實(shí)施例為本領(lǐng)域技術(shù)人員說(shuō)明本發(fā)明的概念。
【具體實(shí)施方式】
[0040]這里將詳細(xì)地對(duì)示例性實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明，其示例表示在附圖中。下面的描述涉及附圖時(shí)，除非另有表示，不同附圖中的相同數(shù)字表示相同或相似的要素。以下示例性實(shí)施例中所描述的實(shí)施方式并不代表與本發(fā)明相一致的所有實(shí)施方式。相反，它們僅是與如所附權(quán)利要求書(shū)中所詳述的、本發(fā)明的一些方面相一致的裝置和方法的例子。
[0041]圖1是本發(fā)明實(shí)施例示出的一種對(duì)位標(biāo)記搜尋方法的流程圖，本實(shí)施例以該對(duì)位標(biāo)記搜尋方法應(yīng)用于尋找襯底基板上的對(duì)位標(biāo)記來(lái)舉例說(shuō)明，其中襯底基板的虛擬區(qū)上形成有定位線段。該對(duì)位標(biāo)記搜尋方法可以包括如下幾個(gè)步驟:
[0042]在步驟101中，獲取理論坐標(biāo)。
[0043]在步驟102中，以理論坐標(biāo)為目標(biāo)移動(dòng)檢出系視野至目標(biāo)位置。
[0044]在步驟103中，以垂直于定位線段的方向從目標(biāo)位置移動(dòng)檢出系視野至定位線段出現(xiàn)在檢出系視野中。
[0045]在步驟104中，以定位線段的長(zhǎng)度方向從定位線段處移動(dòng)檢出系視野至對(duì)位標(biāo)記出現(xiàn)在檢出系視野中。
[0046]綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的對(duì)位標(biāo)記搜尋方法，通過(guò)在襯底基板的虛擬區(qū)尋找定位線段，并沿定位線段的長(zhǎng)度方向來(lái)尋找對(duì)位標(biāo)記，其中定位線段所在的直線貫穿對(duì)位標(biāo)記，解決了相關(guān)技術(shù)中需要向?qū)嶋H坐標(biāo)的各個(gè)方向移動(dòng)檢出系視野才能找到對(duì)位標(biāo)記，查找過(guò)程較為復(fù)雜，查找時(shí)間較長(zhǎng)的問(wèn)題；達(dá)到了能夠簡(jiǎn)便快速的找到對(duì)位標(biāo)記的效果O
[0047]圖2-1是本發(fā)明實(shí)施例示出的另一種對(duì)位標(biāo)記搜尋方法的流程圖，本實(shí)施例以該對(duì)位標(biāo)記搜尋方法應(yīng)用于尋找顯示基板上襯底基板上的對(duì)位標(biāo)記來(lái)舉例說(shuō)明，其中襯底基板的虛擬區(qū)上形成有定位線段。該對(duì)位標(biāo)記搜尋方法可以包括如下幾個(gè)步驟: