，對與第一實施方式的不同點 進(jìn)行說明，省略對相同的事項的說明。
[0112] 在上述的第一實施方式所涉及的光波導(dǎo)1中，直立面173、174相對于包含芯層13 與被覆層11的界面的平面正交，與此相對，在本實施方式所涉及的光波導(dǎo)1中，這些直立面 173、174成為以相對于上述平面傾斜的方式交叉的傾斜面173'、174'。本實施方式所涉及 的光波導(dǎo)1除了在該點不同以外，與第一實施方式所涉及的光波導(dǎo)1相同。
[0113] 上述的凹部170的內(nèi)側(cè)面由四個傾斜面構(gòu)成。即，凹部170的內(nèi)側(cè)面整體構(gòu)成為 與基準(zhǔn)面的角度（與凹部170側(cè)相反的一側(cè)的角度）成為銳角。上述的凹部170呈所謂的 研缽狀，因此比較容易形成。因此，能夠容易地形成尺寸精度（傾斜角的精度以及面精度） 高的傾斜面171。
[0114] 即使在上述的第三實施方式中，也能夠獲得與第一實施方式相同的作用、效果。
[0115] 《第四實施方式》
[0116] 接下來，對本發(fā)明的光波導(dǎo)的第四實施方式進(jìn)行說明。
[0117] 圖7是第四實施方式所涉及的光波導(dǎo)的剖視圖。
[0118] 以下，對第四實施方式進(jìn)行說明，但在以下的說明中，對與第一實施方式的不同點 進(jìn)行說明，省略對相同的事項的說明。
[0119] 圖7所示的第四實施方式所涉及的光波導(dǎo)1除了進(jìn)一步具備層疊于被覆層11的 下表面的支承膜片2以及層疊于被覆層12的上表面的覆蓋膜片3以外，與第一實施方式所 涉及的光波導(dǎo)1相同。
[0120] 另外，凹部170構(gòu)成為貫通覆蓋膜片3。因此，傾斜面171成為形成為在從覆蓋膜 片3分別經(jīng)由被覆層12以及芯層13直至被覆層11的中途之間連續(xù)的平坦面。
[0121 ]即使在上述的第四實施方式中，也能夠獲得與第一實施方式相同的作用、效果。
[0122] 另外，根據(jù)第四實施方式，傾斜面171也包含覆蓋膜片3的剖面，因此具有更寬的 面積。因此，容易以更高的精度形成傾斜面171。即，欲加工的面越寬，越能夠容易地提高芯 部14的剖面的加工精度，因此根據(jù)第四實施方式，能夠特別地提高反射鏡的反射效率。
[0123] 此外，不僅上述的開口部175、開口部177、被覆層12與芯層13的界面的凹部170 的開口部以及凹部170的底部，即使在覆蓋膜片3與被覆層12的界面的凹部170的開口 部、被覆層11與支承膜片2的界面的凹部170的開口部，與傾斜面171對應(yīng)的直線線段和 與直立面173對應(yīng)的弧的連接部的最小曲率半徑也分別優(yōu)選為1~500 μ m左右，更加優(yōu)選 為3~400 μ m左右，進(jìn)一步優(yōu)選為5~350 μ m左右，進(jìn)一步更加優(yōu)選為10~100 μ m左右， 最優(yōu)選為20~40 μm左右。由此，在光波導(dǎo)1中，能夠更加可靠地抑制伴隨著應(yīng)力集中的 不良情況的產(chǎn)生。
[0124] 〈光波導(dǎo)的制造方法〉
[0125] 接下來，對本發(fā)明的光波導(dǎo)的制造方法進(jìn)行說明。
[0126] 圖1所示的光波導(dǎo)1能夠通過具有以下工序的方法而制造，即依次層疊被覆層11、 芯層13以及被覆層12而獲得層疊體10的工序以及施加除去層疊體10的一部分的加工從 而形成凹部170的工序。
[0127] 以下，依次對各工序進(jìn)行說明。
[0128] [1]首先，通過（a)依次成膜而制造用于形成被覆層11的組成物、用于形成芯層 13的組成物以及用于形成被覆層12的組成物的方法，（b)在使用各組成物分別形成被覆層 11、芯層13以及被覆層12后，層疊的方法，（c)同時擠壓成形三種組成物而制造層疊體的 方法等，獲得芯層形成層或者包含芯層形成層的多層構(gòu)造。
[0129] 此時，作為用于形成芯層13的組成物，使用具有折射率因曝光而變化的折射率調(diào) 制能力的材料，僅對該芯層形成層實施曝光處理，能夠獲得包含以所希望的圖案鋪設(shè)的芯 部14的芯層13。
[0130] 此外，芯層13的制造方法不限定于上述的方法，例如反復(fù)進(jìn)行成膜工序與組合光 刻技術(shù)與蝕刻技術(shù)的刻畫圖案工序，從而能夠獲得包含以所希望的圖案鋪設(shè)的芯部14的 芯層13。
[0131] [2]接下來，實施除去層疊體10的一部分的加工。由此，形成有凹部170,從而能 夠獲得光波導(dǎo)1。在凹部170的形成方法中，能夠列舉各種方法。例如，除了切削加工、磨削 加工之類的機械加工法之外，還能夠列舉激光加工法、電子束加工法、壓印法等。其中，根據(jù) 激光加工法，能夠比較容易地形成尺寸精度較高的凹部170。以下，以此為代表，對通過激光 加工法形成凹部170的方法進(jìn)行說明。
[0132] 圖8是示意性地表示本發(fā)明的光波導(dǎo)的制造所使用的激光加工裝置的一個例子 的立體圖，圖9是圖示了使激光加工用掩模相對地移動而形成凹部的樣子的俯視圖。
[0133] 圖8所示的激光加工機（激光加工裝置）900具備未圖示的激光光源、配置于激光 的光軸上的激光加工用掩模910以及隔著激光加工用掩模910配置于與激光光源相反的一 側(cè)并使層疊體10相對于激光加工用掩模910相對地移動的未圖示的驅(qū)動工作臺。以下，對 激光加工機900的各部的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳述。
[0134] 激光光源與振蕩的激光的波長對應(yīng)地適當(dāng)選擇，但例如能夠列舉YAG激光器、YVO4 激光器、Yb激光器、半導(dǎo)體激光器那樣的各種固體激光器、032激光器、He-Ne激光器、受激 準(zhǔn)分子激光器那樣的各種氣體激光器等。
[0135] 另外，激光的波長與層疊體10的構(gòu)成材料對應(yīng)地被適當(dāng)設(shè)定，例如能夠形成 150~950nm左右。
[0136] 作為驅(qū)動工作臺，例如能夠使用X-Y工作臺、線性促動器等。使載置于驅(qū)動工作臺 上的層疊體10相對于激光加工用掩模910相對地移動，從而能夠使激光的照射區(qū)域相對于 層疊體10以任意的圖案掃描。由此，能夠?qū)盈B體10的任意的位置實施任意時間的激光 照射。
[0137] 若照射激光，則在照射區(qū)域產(chǎn)生氣化反應(yīng)，從而產(chǎn)生凹部。因此，掃描照射區(qū)域，從 而沿著掃描軌跡連續(xù)地形成凹部，最終形成具有與掃描軌跡對應(yīng)的開口的凹部。
[0138] 此外，可以不使層疊體10相對于固定的激光加工用掩模910移動，而在固定層疊 體10的狀態(tài)下使激光加工用掩模910移動，也可以使雙方均移動。
[0139] 本制造方法所涉及的激光加工用掩模910為板狀體，并具備遮擋激光的遮擋部 911以及供激光透過的透過部912。若經(jīng)由該激光加工用掩模910照射激光，則在透過部 912成形有激光的照射區(qū)域，從而能夠向與透過部912的俯視形狀對應(yīng)的層疊體10上的區(qū) 域選擇性地照射激光。
[0140] 接下來，對使用上述的激光加工用掩模910,在層疊體10形成凹部170的方法進(jìn)行 說明。
[0141] 使用圖8所示的激光加工用掩模910,使得透過部912沿著芯部14的長度方向，即 Y方向相對地移動并且照射有激光。圖9間歇地示出了上述移動時的透過部912的位置。
[0142] 若透過部912 (激光的照射區(qū)域）以圖9所示那樣的軌跡移動，則與該照射區(qū)域的 軌跡對應(yīng)地形成有圖4所示那樣的開口部175的凹部170。即，能夠容易地形成具有在俯視 時呈橢圓形的開口部175的凹部170。
[0143] 另外，若透過部912 (激光的照射區(qū)域）以圖9所示那樣的軌跡移動，則與此相伴 在Y方向的端部，即移動開始端與移動結(jié)束端，形成有累計光量伴隨著朝向緣部而逐漸減 少的累計光量分布。因此，在圖9所示的軌跡的上端部與下端部形成有圖1所示那樣的傾 斜面171與傾斜面172。此外，適當(dāng)?shù)刈兏藭r的透過部912的移動速度，從而能夠調(diào)整傾 斜面171、172的傾斜角度。
[0144] 另外，針對透過部912中的與開口部177的連接部178對應(yīng)的部位，如上所述，形 成最小曲率半徑1~500 μm的曲線，從而也能夠使連接部178滿足上述的條件。即，使用 激光加工用掩模910,從而能夠高效地形成上述的凹部170。
[0145] 〈電子設(shè)備〉
[0146] 上述的本發(fā)明所涉及的光波導(dǎo)的傳送效率較高，并且與其他的光學(xué)部件的光耦合 效率優(yōu)越。因此，能夠獲得具備本發(fā)明的光波導(dǎo)，從而能夠進(jìn)行高品質(zhì)的光通信的可靠性高 的電子設(shè)備（本發(fā)明的電子設(shè)備）。
[0147] 作為具備本發(fā)明的光波導(dǎo)的電子設(shè)備，例如能夠列舉手機、游戲機、路由裝置、WDM 裝置、個人計算機、電視、家庭服務(wù)器等電子設(shè)備類。在這些電子設(shè)備中，均需要例如在LSI 等運算裝置與RAM等存儲裝置之間高速地傳送大容量的數(shù)據(jù)。因此，上述的電子設(shè)備具備 本發(fā)明的光波導(dǎo)，從而能夠消除電氣配線所特有的噪聲、信號劣化等不良情況，從而能夠期 待其性能的顯著的提高，因此能夠有助于電子設(shè)備的低成本化。
[0148] 另外，在光波導(dǎo)部分中，發(fā)熱量與電氣配線相比大幅度地減少。因此，能夠減少冷 卻所需的電力，從而能夠減少電子設(shè)備整體的消耗電力。
[0149] 以上，對本發(fā)明的光波導(dǎo)以及電子設(shè)備進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限定于此，例如也 可以在光波導(dǎo)附加有任意的構(gòu)成物。
[0150] 另外，在將傾斜面使用為光入射側(cè)反射鏡的情況下，光出射側(cè)可以使光從芯部14 的端面沿著芯部14的光軸出射，此時，也可以在出射端安裝有連接器。另一方面，在將傾斜 面使用為光出射側(cè)反射鏡的情況下，光入射側(cè)可以使光從芯部14的端面沿著芯部14的光 軸入射，此時，也可以在入射端安裝有連接器。
[0151] 另外，也可以在光波導(dǎo)形成有多個凹部。例如在形成有兩個凹部的情況下，能夠?qū)?一方的傾斜面使用為光入射側(cè)反射鏡，將另一方的傾斜面使用為光出射側(cè)反射鏡。
[0152] 另外，凹部的開口部的俯視形狀也可以呈圖10所示那樣的形狀。圖10是示意性 地表示圖4所示的凹部的開口的其他構(gòu)成例的俯視圖。
[0153] 圖10(a)所示的凹部170的開口部175呈大致矩形。另外，圖10(b)所示的凹部 170的開口部175呈大致梯形。另外，圖10(c)所示的凹部170的開口部175呈大致六邊 形。連接上述的凹部170的傾斜面171的上端（傾斜面上端171a)與直立面173的上端 (直立面上端173a)的連接部176成為上述那樣的曲線。即使在具備上述的形狀的凹部的 光波導(dǎo)中，也能夠獲得與上述的各實施方式所涉及的光波導(dǎo)相同的作用、效果。
[0154] 本實施方式以及本制造方法包含以下的技術(shù)思想。
[0155] (1) -種光波導(dǎo)，其具有形成有芯部的芯層、層疊于上述芯層的一面的第一被覆 層、層疊于上述芯層的另一面的第二被覆層以及分別貫通上述第二被覆層以及上述芯層直 至上述第一被覆層的空洞部，
[0156] 上述光波導(dǎo)的特征在于，
[0157] 上述空洞部的內(nèi)壁面的一部分由相對于包含上述芯層與上述第一被覆層的界面 的平面傾斜且交叉的傾斜面構(gòu)成，
[0158] 在上述空洞部的內(nèi)壁面被上述平面剖切后的剖面中，上述傾斜面與同其連續(xù)的上 述內(nèi)壁面其他部分的連接部的最小曲率半徑為1~500 μm。
[0159] (2)根據(jù)上述（1)所記載的光波導(dǎo)，其特征在于，構(gòu)成為：
[0160] 上述空洞部設(shè)置于上述芯部的中途或者延長線上，
[0161] 上述傾斜面橫截上述芯部的光軸或者其延長線。
[0162] (3)根據(jù)上述⑴或⑵所記載的光波導(dǎo)，其特征在于，
[0163] 在上述第二被覆層的與上述芯層相反的一側(cè)的面的上述空洞部中以及上述第二 被覆層與上述芯層的界面的上述空洞部中，上述傾斜面與同其連續(xù)的上述內(nèi)壁面的其他部 分的連接部的最小曲率半徑分別為1~500 μ m。
[0164] (4)根據(jù)上述（1)~（3)中任一項所記載的光波導(dǎo)，其特征在于，構(gòu)成為：
[0165] 該光波導(dǎo)進(jìn)一步具有層疊于上述第二被覆層的與上述芯層相反的一側(cè)的面的覆 蓋層，
[0166] 上述空洞部仍貫通上述覆蓋層。
[0167] (5)根據(jù)上述（1)~（4)中任一項所記載的光波導(dǎo)，其特征在于，
[0168] 上述空洞部的內(nèi)壁面包含上述傾斜面以及與上述平面大致垂直地交叉的直立面。
[0169] (6)根據(jù)上述（5)所記載的光波導(dǎo)，其特征在于，構(gòu)成為：
[0170] 上述空洞部的內(nèi)壁面包含兩個上述傾斜面以及兩個上述直立面，
[0171] 上述空洞部構(gòu)成為在其內(nèi)壁面被上述平面剖切后的剖面中，上述傾斜面彼此以及 上述直立面彼此分別對置。
[0172] (7)根據(jù)上述（5)或（6)所記載的光波導(dǎo)，其特征在于，
[0173] 上述空洞部的上述剖面的上述直立面整體彎曲。
[0174] (8)根據(jù)上述（1)~（4)中任一項所記載的光波導(dǎo)，其特征在于，構(gòu)成為：
[0175]