數(shù)據(jù)修正裝置、繪圖裝置、數(shù)據(jù)修正方法和繪圖方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及基于基板上的記號(hào)位置信息，對(duì)基板上所繪制圖像的繪圖數(shù)據(jù)進(jìn)行修正的技術(shù)。
【背景技術(shù)】
[0002]歷來，半導(dǎo)體基板和印刷基板，或等離子顯示器和液晶顯示器中的玻璃基板(以下簡稱“基板”)上的感光材料經(jīng)過光的照射，來進(jìn)行繪圖(描畫圖案)。近年來，隨著圖案(pattern)的高度精細(xì)化，開始利用在感光材料上通過光束掃描直接繪制圖案的繪圖裝置。
[0003]就所述繪圖裝置，在基板發(fā)生反拱、歪斜、翹曲等變形時(shí)，會(huì)結(jié)合變形程度修正繪圖數(shù)據(jù)。按如下方式修正繪圖數(shù)據(jù):通常先測定設(shè)在基板上的定位標(biāo)記等記號(hào)位置，根據(jù)測定結(jié)果計(jì)算出基板上各位置的位移，然后把各位置的繪圖數(shù)據(jù)調(diào)節(jié)至與該位移相適應(yīng)。
[0004]例如，在JP特開2008-3441號(hào)公報(bào)(文獻(xiàn)I)中，根據(jù)用于構(gòu)成包圍繪圖數(shù)據(jù)的矩形的四個(gè)目標(biāo)信息位置，計(jì)算出繪圖數(shù)據(jù)的修正值。通過這樣，可對(duì)繪圖數(shù)據(jù)附近局部的基板變形所對(duì)應(yīng)的繪圖數(shù)據(jù)進(jìn)行修正。在JP特開2012-79739號(hào)公報(bào)(文獻(xiàn)2)中，基于基板上以格子狀分布的多個(gè)基準(zhǔn)點(diǎn)的位移使基板的變形近似曲線化，進(jìn)而修正繪圖數(shù)據(jù)。通過這樣，可把握基板的大范圍變形(如基板整體彎曲)，準(zhǔn)確修正繪圖數(shù)據(jù)。
[0005]然而，在JP特開2012-198313號(hào)公報(bào)(文獻(xiàn)3)中的繪圖裝置中，修正繪圖數(shù)據(jù)的手段包括基于三個(gè)修正觀點(diǎn)的三種修正算法。繪圖裝置的操作人員，結(jié)合基板種類和變形程度等選擇修正算法，運(yùn)用所選修正算法修正繪圖數(shù)據(jù)。
[0006]另外，在文獻(xiàn)3中的繪圖裝置中，操作人員結(jié)合提前所獲知的基板變形等情況選擇修正算法。但所選修正算法是否比其他修正算法更合適尚不明確。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明面向數(shù)據(jù)修正裝置，基于基板上的記號(hào)位置信息，對(duì)基板上繪制的圖像的繪圖數(shù)據(jù)進(jìn)行修正。本發(fā)明的目的是自動(dòng)選擇合適的修正方式。
[0008]本發(fā)明的數(shù)據(jù)修正裝置，包括:設(shè)計(jì)位置存儲(chǔ)部，其存儲(chǔ)記號(hào)集合的設(shè)計(jì)位置，所述記號(hào)集合是指，位于基板上并且用于修正繪圖數(shù)據(jù)的多個(gè)記號(hào)；測定位置取得部，其取得所述記號(hào)集合的測定位置；記號(hào)評(píng)估值計(jì)算部，其基于除了從所述記號(hào)集合中選出的關(guān)注記號(hào)群之外的剩余記號(hào)群的測定位置和設(shè)計(jì)位置，通過算法相異的多個(gè)修正方式，分別對(duì)所述關(guān)注記號(hào)群的設(shè)計(jì)位置進(jìn)行修正，來獲取修正位置，針對(duì)各修正方式求出目標(biāo)評(píng)估值，所述目標(biāo)評(píng)估值表示所述關(guān)注記號(hào)群的所述修正位置和測定位置之間的偏差；修正方式評(píng)估值計(jì)算部，其以與所述各修正方式相關(guān)的方式，基于通過所述記號(hào)評(píng)估值計(jì)算部針對(duì)至少一種關(guān)注記號(hào)群求出的記號(hào)評(píng)估值，求出表示所述各修正方式的修正精度的修正方式評(píng)估值；修正方式選擇部，其對(duì)多個(gè)所述修正方式的修正方式評(píng)估值進(jìn)行比較，選擇修正精度最高的修正方式；繪圖數(shù)據(jù)修正部，其利用由所述修正方式選擇部選擇的所述修正方式，來修正所述繪圖數(shù)據(jù)。通過該數(shù)據(jù)修正裝置可自動(dòng)選擇合適的修正方式。
[0009]本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式是，所述關(guān)注記號(hào)群是一個(gè)記號(hào)。
[0010]在本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式中，
[0011]所述記號(hào)評(píng)估值計(jì)算部，針對(duì)所述各修正方式，求出將所述記號(hào)集合所含的全部記號(hào)分別作為關(guān)注記號(hào)群時(shí)的記號(hào)評(píng)估值；所述修正方式評(píng)估值計(jì)算部，針對(duì)所述各修正方式，基于所述全部記號(hào)的記號(hào)評(píng)估值來求出修正方式評(píng)估值。
[0012]在本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式中，所述記號(hào)評(píng)估值，是所述關(guān)注記號(hào)群的所述修正位置和所述測定位置之間的距離；所述修正方式評(píng)估值，是所述至少一種關(guān)注記號(hào)群的記號(hào)評(píng)估值的總和；所述修正方式選擇部，選擇所述修正方式評(píng)估值最小的修正方式。
[0013]在本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式中，所述記號(hào)評(píng)估值，是所述關(guān)注記號(hào)群的所述修正位置和所述測定位置之間的距離；所述修正方式評(píng)估值，是所述至少一種關(guān)注記號(hào)群的記號(hào)評(píng)估值的最大值；所述修正方式選擇部，選擇所述修正方式評(píng)估值最小的修正方式。
[0014]在本發(fā)明的其他優(yōu)選實(shí)施方式中，所述測定位置取得部包括:攝像部，其拍攝所述記號(hào)集合；測定位置計(jì)算部，其根據(jù)通過所述攝像部獲取的圖像，求出所述記號(hào)集合的所述測定位置。
[0015]本發(fā)明還提供在基板上繪圖的繪圖裝置。本發(fā)明相關(guān)的繪圖裝置包括:
[0016]光源；上述數(shù)據(jù)修正裝置；光調(diào)制部，其基于由所述數(shù)據(jù)修正裝置修正的繪圖數(shù)據(jù)，對(duì)來自所述光源的光進(jìn)行調(diào)制；掃描機(jī)構(gòu)，其使由所述光調(diào)制部調(diào)制的光在基板上掃描。
[0017]本發(fā)明還提供數(shù)據(jù)修正方法以及在基板上繪圖的繪圖方法，基于基板上的記號(hào)位置信息，修正基板上所繪制的圖像的繪圖數(shù)據(jù)。
[0018]通過參照附圖及下述關(guān)于該發(fā)明的詳細(xì)說明，可以明確所述目的及其他目的、特征、方式和優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說明】
[0019]圖1是表示繪圖裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
[0020]圖2是表示數(shù)據(jù)處理裝置功能的框圖。
[0021]圖3A是用于對(duì)繪圖數(shù)據(jù)修正處理的基本概念進(jìn)行說明的圖。
[0022]圖3B是用于對(duì)繪圖數(shù)據(jù)修正處理的基本概念進(jìn)行說明的圖。
[0023]圖3C是用于對(duì)繪圖數(shù)據(jù)修正處理的基本概念進(jìn)行說明的圖。
[0024]圖3D是用于對(duì)繪圖數(shù)據(jù)修正處理的基本概念進(jìn)行說明的圖。
[0025]圖3E是用于對(duì)繪圖數(shù)據(jù)修正處理的基本概念進(jìn)行說明的圖。
[0026]圖3F是用于對(duì)繪圖數(shù)據(jù)修正處理的基本概念進(jìn)行說明的圖。
[0027]圖3G是用于對(duì)繪圖數(shù)據(jù)修正處理的基本概念進(jìn)行說明的圖。
[0028]圖4是表不基板上記號(hào)集合的俯視圖。
[0029]圖5是表示繪圖數(shù)據(jù)的修正流程的圖。
[0030]圖6是表示繪圖數(shù)據(jù)修正流程的一部分的圖。
[0031]圖7是表示繪圖數(shù)據(jù)修正流程的一部分的圖。
[0032]附圖標(biāo)記說明
[0033]I繪圖裝置
[0034]2數(shù)據(jù)處理裝置
[0035]3曝光裝置
[0036]9 基板
[0037]34攝像部
[0038]35掃描機(jī)構(gòu)
[0039]80記號(hào)集合
[0040]81 記號(hào)
[0041]221設(shè)計(jì)位置存儲(chǔ)部
[0042]222測定位置取得部
[0043]223記號(hào)評(píng)估值計(jì)算部
[0044]224修正方式評(píng)估值計(jì)算部
[0045]225修正方式選擇部
[0046]226繪圖數(shù)據(jù)修正部
[0047]228測定位置計(jì)算部
[0048]331 光源
[0049]332光調(diào)制部
[0050]Sll ?S18，S121，S122，S131 ?S135 步驟
【具體實(shí)施方式】
[0051]圖1是表示本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方式的繪圖裝置I的結(jié)構(gòu)的圖。繪圖裝置I是直描裝置，其對(duì)設(shè)在印刷基板、半導(dǎo)體基板、液晶基板等(以下總稱“基板”)的表面上的感光材料照射光，從而在基板上直接繪制電路圖案等圖像。
[0052]繪圖裝置I包括數(shù)據(jù)處理裝置2和曝光裝置3。數(shù)據(jù)處理裝置2生成并修正繪圖數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)處理2是普通的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，包括處理各種計(jì)算的CPU、存儲(chǔ)基本程序的ROM和存儲(chǔ)各種信息的RAM等。曝光裝置3在基板9上繪制(即曝光)從數(shù)據(jù)處理裝置2傳送來的繪圖數(shù)據(jù)。若能夠在數(shù)據(jù)處理裝置2和曝光裝置3之間交接數(shù)據(jù)，則兩者可不必設(shè)在一起，在物理位置上可分離。
[0053]圖2是表示數(shù)據(jù)處理裝置功能的框圖。數(shù)據(jù)處理裝置2包括數(shù)據(jù)修正部21和數(shù)據(jù)修正部22。將由圖案設(shè)計(jì)裝置4生成的圖案數(shù)據(jù)作為要在基板9上繪制圖像的繪圖數(shù)據(jù)，而輸入至數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換部21。圖案數(shù)據(jù)指電路圖案等圖像的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)。圖案數(shù)據(jù)通常指多邊形等向量數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換部21將圖案數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為光柵數(shù)據(jù)。