8和208均表示第一絕緣層，112和212均表示第二絕緣層，114和214均表示第四金屬層，116和216均表示第三絕緣層，118和218均表示感光層，120和220均表示透明導電層，122和222均表示第四絕緣層。
[0050]類似地，第一金屬層200形成于一基板上，該第一金屬層200經(jīng)蝕刻定義出讀取晶體管的柵極。非晶硅層202形成于第一金屬層200的上方，且在垂直方向與第一金屬層200所定義的柵極位置相對應(yīng)。第二金屬層形成于非晶硅層202的上方，并經(jīng)蝕刻定義出讀取晶體管的源極區(qū)206和漏極區(qū)204。第一絕緣層208形成于第二金屬層的上方并覆蓋讀取晶體管的源極區(qū)206和漏極區(qū)204。例如，第一絕緣層的厚度至少大于I微米。
[0051]需要指出的是，本發(fā)明為增加感光層的感測面積，并增加光傳感器的靈敏度，采用第三金屬層210形成于第一絕緣層208的上方，以取代圖1中的透明導電層110。第二絕緣層212形成于第三金屬層210的上方，并定義一過孔TH于讀取晶體管的源極區(qū)206的上方。第四金屬層214形成于第二絕緣層212的上方，并且經(jīng)由過孔TH電性耦接至讀取晶體管的源極區(qū)206，亦即，第四金屬層214與讀取晶體管的源極具有相同的電位電壓。第三絕緣層216形成于第四金屬層214的上方，并用以定義出與第四金屬層214相對應(yīng)的一接觸區(qū)域。感光層218形成于第三絕緣層216的上方并透過上述接觸區(qū)域與第四金屬層214電性耦接。此外，透明導電層220覆蓋感光層218。第四絕緣層222形成于透明導電層220的上方，例如，該透明導電層220由氧化銦錫材質(zhì)制作而成。
[0052]在一具體實施例，每一像素還包含一存儲電容，該存儲電容的一端電性耦接至第三金屬層210且另一端電性耦接至第四金屬層214。較佳地，第三金屬層210為像素電極(pixel electrode)，第四金屬層 214 為共通電極(common electrode)。
[0053]相比于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明采用第三金屬層210來取代現(xiàn)有技術(shù)中的透明導電層110，藉由金屬層不透光的特性可將感光層218的制作范圍延伸于第四金屬層214的外側(cè)，使得感測面積大于第四金屬層的面積，進而增加光傳感器的靈敏度并提升光電流。進一步，感光層218的面積與第四金屬層214的面積在垂直方向上的投影重疊區(qū)域小于感光層218的面積。如圖3中的虛線框A2和圖4所示，感光層218的面積包括第四金屬層214范圍內(nèi)的一部分(以數(shù)字2181標識)以及位于第四金屬層214外側(cè)的另一部分(以數(shù)字2183標識)。亦即，利用第三金屬層210的不透光特性，本發(fā)明的感光層218可延伸至第四金屬層214的范圍之外，使得其在垂直方向的至少一部分投影位于第四金屬層214外側(cè)。實驗數(shù)據(jù)表明，將透明導電層110更改為第三金屬層210之后，本發(fā)明的感測面積能夠從267um2提升至348um2，而填充率(Fill Factor)也可從41 %提升至53%。并且，從光電流與偏置電壓的關(guān)系也可知曉，感光層的感測面積增大有助于提升光電流，并可降低背光使用強度，達到節(jié)能效果。
[0054]圖5示出本發(fā)明的另一實施方式，用于提高感測分辨率的液晶顯示裝置的制造方法的流程框圖。
[0055]參照圖5并結(jié)合圖3，在該制造方法中，首先執(zhí)行步驟SlOl和S103，形成一第一金屬層200，以定義讀取晶體管的柵極，并形成一第二金屬層于第一金屬層200的上方，用以定義讀取晶體管的源極區(qū)206和漏極區(qū)204。然后執(zhí)行步驟S105，形成一第一絕緣層208于第二金屬層的上方并覆蓋讀取晶體管的源極區(qū)206和漏極區(qū)204。接著，執(zhí)行步驟S107，形成一第三金屬層210于第一絕緣層208的上方。
[0056]在步驟S109中，形成一第二絕緣層212于第三金屬層210的上方，用以定義一過孔TH于讀取晶體管的源極區(qū)206的上方。然后形成一第四金屬層214于第二絕緣層212的上方，并且經(jīng)由過孔TH電性耦接至讀取晶體管的源極區(qū)206，如步驟Slll所示。接下來，執(zhí)行步驟S113，形成一第三絕緣層216于第四金屬層214的上方，用以定義出與第四金屬層214相對應(yīng)的接觸區(qū)域。最后執(zhí)行步驟S115，形成一感光層218于第三絕緣層216的上方并透過接觸區(qū)域與第四金屬層214電性耦接。其中，在垂直方向上感光層218的投影完全覆蓋第四金屬層214的投影。
[0057]采用本發(fā)明的用于提高感測分辨率的液晶顯示裝置，其包括一讀取晶體管、四個金屬層和一感光層，其中的第一金屬層形成于一基板上并經(jīng)蝕刻定義讀取晶體管的柵極，第二金屬層形成于非晶硅層的上方并經(jīng)蝕刻定義讀取晶體管的源極區(qū)和漏極區(qū)，第三金屬層形成于第一絕緣層的上方，第四金屬層形成于第二絕緣層的上方并且經(jīng)由過孔電性耦接至讀取晶體管的源極區(qū)，感光層形成于第三絕緣層的上方并透過接觸區(qū)域與第四金屬層電性耦接，且垂直方向上的感光層的投影完全覆蓋第四金屬層的投影。相比于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明采用第三金屬層來取代現(xiàn)有技術(shù)中的透明導電層，藉由金屬層不透光的特性可將感光層的制作范圍延伸于第四金屬層的外側(cè)，使得感測面積大于第四金屬層的面積，進而增加光傳感器的靈敏度并提升光電流。
[0058]上文中，參照附圖描述了本發(fā)明的【具體實施方式】。但是，本領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員能夠理解，在不偏離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以對本發(fā)明的【具體實施方式】作各種變更和替換。這些變更和替換都落在本發(fā)明權(quán)利要求書所限定的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種用于提高感測分辨率的液晶顯示裝置，包含多個像素，每一像素至少包含一讀取晶體管，其特征在于，該液晶顯示裝置包括: 一第一金屬層，形成于一基板上，并經(jīng)蝕刻定義所述讀取晶體管的柵極； 一非晶硅層，形成于所述第一金屬層的上方，且在垂直方向與所述柵極的位置相對應(yīng); 一第二金屬層，形成于所述非晶硅層的上方，并經(jīng)蝕刻定義所述讀取晶體管的源極區(qū)和漏極區(qū)； 一第一絕緣層，形成于所述第二金屬層的上方并覆蓋所述讀取晶體管的源極區(qū)和漏極區(qū)； 一第三金屬層，形成于所述第一絕緣層的上方； 一第二絕緣層，形成于所述第三金屬層的上方，并定義一過孔于所述讀取晶體管的源極區(qū)的上方； 一第四金屬層，形成于所述第二絕緣層的上方，并且經(jīng)由所述過孔電性耦接至所述讀取晶體管的源極區(qū)； 一第三絕緣層，形成于所述第四金屬層的上方，并用以定義出與所述第四金屬層相對應(yīng)的一接觸區(qū)域；以及 一感光層，形成于所述第三絕緣層的上方并透過所述接觸區(qū)域與所述第四金屬層電性耦接，其中，在垂直方向上所述感光層的投影完全覆蓋所述第四金屬層的投影。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于提高感測分辨率的液晶顯示裝置，其特征在于，所述感光層的面積與所述第四金屬層的面積在垂直方向上的投影重疊區(qū)域小于所述感光層的面積。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于提高感測分辨率的液晶顯示裝置，其特征在于，所述感光層在垂直方向的至少一部分投影位于所述第四金屬層外側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于提高感測分辨率的液晶顯示裝置，其特征在于，每一像素還包含一存儲電容，其一端電性耦接至所述第三金屬層且另一端電性耦接至所述第四金屬層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于提高感測分辨率的液晶顯示裝置，其特征在于，所述第一絕緣層的厚度至少大于I微米。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于提高感測分辨率的液晶顯示裝置，其特征在于，所述液晶顯示裝置還包括一透明導電層和一第四絕緣層， 所述透明導電層覆蓋所述感光層，所述第四絕緣層形成于所述透明導電層的上方。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于提高感測分辨率的液晶顯示裝置，其特征在于，所述第三金屬層為像素電極，所述第四金屬層為共通電極。
8.一種用于提高感測分辨率的液晶顯示裝置的制造方法，所述液晶顯示裝置包含多個像素，每一像素至少包含一讀取晶體管，其特征在于，該制造方法包括以下步驟: 形成一第一金屬層，用以定義所述讀取晶體管的柵極； 形成一第二金屬層于所述第一金屬層的上方，用以定義所述讀取晶體管的源極區(qū)和漏極區(qū)； 形成一第一絕緣層于所述第二金屬層的上方，并覆蓋所述讀取晶體管的源極區(qū)和漏極區(qū)； 形成一第三金屬層于所述第一絕緣層的上方； 形成一第二絕緣層于所述第三金屬層的上方，用以定義一過孔于所述讀取晶體管的源極區(qū)的上方； 形成一第四金屬層于所述第二絕緣層的上方，并且經(jīng)由所述過孔電性耦接至所述讀取晶體管的源極區(qū)； 形成一第三絕緣層于所述第四金屬層的上方，用以定義出與所述第四金屬層相對應(yīng)的一接觸區(qū)域；以及 形成一感光層于所述第三絕緣層的上方并透過所述接觸區(qū)域與所述第四金屬層電性耦接，其中，在垂直方向上所述感光層的投影完全覆蓋所述第四金屬層的投影。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于提高感測分辨率的液晶顯示裝置的制造方法，其特征在于，在垂直方向上，所述感光層的面積與所述第四金屬層的面積的投影重疊區(qū)域小于所述感光層的面積。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于提高感測分辨率的液晶顯示裝置的制造方法，其特征在于，所述制造方法還包括: 形成一透明導電層于所述感光層的上方；以及 形成一第四絕緣層于所述透明導電層的上方。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種用于提高感測分辨率的液晶顯示裝置及其制造方法，包括：第一金屬層，用以定義柵極；第二金屬層，用以定義源極區(qū)和漏極區(qū)；第一絕緣層，形成于第二金屬層的上方；第三金屬層，形成于第一絕緣層的上方；第四金屬層，形成于第二絕緣層的上方；第三絕緣層，形成于第四金屬層的上方并用以定義接觸區(qū)域；以及感光層，形成于第三絕緣層的上方并透過接觸區(qū)域與第四金屬層耦接，其中垂直方向上的感光層的投影完全覆蓋第四金屬層的投影。相比于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明采用第三金屬層取代現(xiàn)有的透明導電層，藉由金屬層不透光的特性可將感光層的制作范圍延伸于第四金屬層外側(cè)，進而增加光傳感器的靈敏度并提升光電流。
【IPC分類】G02F1-13, G02F1-1368, G02F1-136, H01L27-12, H01L21-77, G02F1-1333
【公開號】CN104656290
【申請?zhí)枴緾N201510020563
【發(fā)明人】黃圣淼, 黃郁升, 陳盈穎
【申請人】友達光電股份有限公司
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2015年1月15日