光學(xué)元件、光學(xué)裝置以及電子設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光學(xué)元件、光學(xué)裝置、以及電子設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，已知有將干涉濾波器和受光元件一體化的光學(xué)元件的構(gòu)成(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)I)。
[0003]專(zhuān)利文獻(xiàn)I中記載的法布里-珀羅標(biāo)準(zhǔn)具(干涉濾波器)設(shè)置有用于接收透過(guò)干涉濾波器的光的受光部，其具備彼此相對(duì)的一對(duì)鏡層，并鄰接在與一個(gè)鏡層中的另一鏡層的相反側(cè)。而且，各鏡層中層內(nèi)夾有電極并由這些電極構(gòu)成靜電致動(dòng)器。此外，通過(guò)對(duì)靜電致動(dòng)器施加電壓，可改變一對(duì)鏡層間的間隙尺寸。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0006]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:國(guó)際公開(kāi)第2010/086502號(hào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]然而，上述專(zhuān)利文獻(xiàn)I記載的裝置中，在鏡層的正下方設(shè)置有受光部。其中，在法布里-珀羅標(biāo)準(zhǔn)具中，為了改變鏡層間的間隙尺寸，需要對(duì)靜電致動(dòng)器施加高電壓。
[0008]然而，由于專(zhuān)利文獻(xiàn)I中記載的裝置在鏡層的正下方設(shè)置有受光部，因此，一旦如上所述對(duì)靜電致動(dòng)器施加高電壓，即會(huì)出現(xiàn)對(duì)受光部也會(huì)造成影響，且在受光部發(fā)出的輸出信號(hào)中噪音成分增大、光量測(cè)量精度降低的問(wèn)題。
[0009]本發(fā)明的目的在于提供一種能進(jìn)行高精度的光量測(cè)量的光學(xué)元件、光學(xué)裝置以及電子設(shè)備。
[0010]本發(fā)明的光學(xué)元件，其特征在于，具備:導(dǎo)電性第一反射膜；第二反射膜，其與上述第一反射膜相對(duì)；透光性的絕緣膜，其設(shè)置在上述第一反射膜的與上述第二反射膜相反偵h受光部，其設(shè)置在上述絕緣膜的與上述第一反射膜相反側(cè)，且在從上述第一反射膜和上述第二反射膜的膜厚方向觀察到的俯視觀察中，位于上述第一反射膜、上述第二反射膜及上述絕緣膜重疊的區(qū)域內(nèi)，接收由上述第一反射膜出射的光。
[0011 ] 在本發(fā)明中，第一反射膜具有導(dǎo)電性，在第一反射膜與受光部之間設(shè)置有絕緣膜。
[0012]在這種構(gòu)成中，通過(guò)導(dǎo)電性第一反射膜，可以抑制來(lái)自外部的電噪聲(例如，由于對(duì)用于改變第一反射膜和第二反射膜之間的間隙尺寸的致動(dòng)器等施加驅(qū)動(dòng)電壓而產(chǎn)生的電壓噪聲等)被輸入受光部的不良情況。也就是說(shuō)，可以將第一反射膜作為屏蔽電極而發(fā)揮作用，并抑制來(lái)自外部的電噪聲被輸入受光部。此外，當(dāng)?shù)谝环瓷淠ず褪芄獠繉?dǎo)通時(shí)，被輸入至第一反射膜中的電噪聲等電信號(hào)會(huì)直接被輸入受光部，但在本發(fā)明中，由于在第一反射膜和受光部之間設(shè)置有絕緣膜，因此，可以抑制輸入至第一反射膜的電信號(hào)被輸入至受光部。
[0013]而且，由于光學(xué)元件中的結(jié)構(gòu)設(shè)置有由第一反射膜和第二反射膜構(gòu)成的法布里-珀羅標(biāo)準(zhǔn)具以及受光部，因此，從第一反射膜到受光部的距離短，從而能夠抑制例如繞過(guò)第一反射膜而進(jìn)入的雜散光等入射至受光部的不良情況。
[0014]因此，能夠抑制噪聲成分(電噪聲、或雜散光導(dǎo)致的噪聲)混入由受光部輸出的檢測(cè)信號(hào)中，并可通過(guò)受光部進(jìn)行高精度的光量測(cè)量。
[0015]在本發(fā)明的光學(xué)元件中，優(yōu)選具備:具有設(shè)置有上述受光部及上述第一反射膜的第一面的第一基板；與上述第一基板的上述第一面相對(duì)，并設(shè)置有上述第二反射膜的第二基板；設(shè)置于上述第二基板，并與上述第一反射膜的至少一部分相對(duì)的電極。
[0016]在本發(fā)明中，由于在第二基板上設(shè)置有與第一反射膜的一部分相對(duì)的電極，因此，可以將該電極和第一反射膜作為靜電致動(dòng)器發(fā)揮作用，改變第一反射膜和第二反射之間的間隙尺寸。
[0017]而且，這種情況下，優(yōu)選將第一反射膜接地(作為地電位)，并對(duì)設(shè)置于第二基板上的電極施加所需電位。通過(guò)這種方式，在對(duì)第二基板的電極施加電信號(hào)時(shí)，即使在該電極產(chǎn)生了電噪聲的情況下，通過(guò)利用第一反射膜進(jìn)行屏蔽，可使該電噪聲不會(huì)被輸入受光部，且可將電噪聲從第一反射膜釋放到外部。因此，能夠更可靠地抑制電噪聲被輸入至受光部的不良情況。
[0018]本發(fā)明的光學(xué)兀件,其特征在于,具備:第一反射膜；與上述第一反射膜相對(duì)的第二反射膜；設(shè)置在上述第一反射膜的與上述第二反射膜相反側(cè)上的透光性的導(dǎo)電膜；設(shè)置在上述導(dǎo)電膜的與上述第一反射膜相反側(cè)上的透光性的絕緣膜；受光部，其設(shè)置在上述絕緣膜的與上述導(dǎo)電膜相反側(cè)上，且在從上述第一反射膜和上述第二反射膜的膜厚方向觀察到的俯視觀察上，位于上述第二反射膜、上述導(dǎo)電膜和上述絕緣膜重疊的區(qū)域內(nèi)，接收由上述第一反射膜出射的光。
[0019]本發(fā)明中，第一反射膜和受光部之間設(shè)置有導(dǎo)電膜和絕緣膜，導(dǎo)電膜和受光部通過(guò)絕緣膜而絕緣。
[0020]在這種構(gòu)成中，通過(guò)導(dǎo)電膜，可以抑制來(lái)自外部的電噪聲(例如，由于對(duì)用于改變第一反射膜和第二反射膜之間的間隙尺寸的致動(dòng)器等施加驅(qū)動(dòng)電壓而產(chǎn)生的電壓噪聲等)被輸入受光部的不良情況。也就是說(shuō)，即便來(lái)自外部的電噪聲被輸入導(dǎo)電膜，也可以將導(dǎo)電膜作為屏蔽電極而發(fā)揮作用，并抑制噪聲被輸入受光部。此外，當(dāng)導(dǎo)電膜和受光部導(dǎo)通時(shí)，被輸入至導(dǎo)電膜中的電噪聲等電子信號(hào)會(huì)直接被輸入受光部，但在本發(fā)明中，由于在導(dǎo)電膜和受光部之間設(shè)置有絕緣膜，因此，可以抑制輸入至導(dǎo)電膜的電信號(hào)被輸入至受光部。
[0021]而且，由于光學(xué)元件內(nèi)被構(gòu)成為設(shè)置有由第一反射膜和第二反射膜構(gòu)成的干涉濾波器以及受光部，因此，從第一反射膜到受光部的距離短，從而可以抑制例如繞過(guò)第一反射膜而進(jìn)入的雜散光等入射至受光部的不良情況。
[0022]因此，能夠抑制噪聲成分(電噪聲、或雜散光導(dǎo)致的噪聲)混入由受光部輸出的檢測(cè)信號(hào)中，并可通過(guò)受光部進(jìn)行高精度的光量測(cè)量。
[0023]在本發(fā)明的光學(xué)元件中，優(yōu)選在上述第一反射膜和上述導(dǎo)電膜之間設(shè)置有第二絕緣膜。
[0024]本發(fā)明中，第一反射膜和導(dǎo)電膜可通過(guò)第二絕緣膜絕緣。這種情況下，即便是在例如使用導(dǎo)電性膜材作為第一反射膜并作為電極發(fā)揮作用的情況下，輸入第一反射膜中的電信號(hào)也不會(huì)被傳輸至導(dǎo)電膜，從而電噪聲不會(huì)被從導(dǎo)電膜輸入至受光部。而且，當(dāng)對(duì)第一反射膜輸入電信號(hào)時(shí)，即使產(chǎn)生了電噪聲，該電噪聲也不會(huì)通過(guò)導(dǎo)電膜和絕緣膜被輸入至受光部，從而可以抑制噪聲成分混入來(lái)自受光部的檢測(cè)信號(hào)中的不良情況。
[0025]在本發(fā)明的光學(xué)元件中，優(yōu)選在上述受光部的與上述絕緣膜相反側(cè)、且在上述俯視觀察中至少與上述受光部重疊的區(qū)域設(shè)置有第三絕緣膜，在上述第三絕緣膜的與上述受光部相反側(cè)、且在上述俯視觀察中至少與上述受光部重疊的區(qū)域設(shè)置有第二導(dǎo)電膜。
[0026]本發(fā)明中，在受光部的與第一反射膜相反側(cè)，通過(guò)第三絕緣膜設(shè)置有第二導(dǎo)電膜。因此，即便是在電噪聲被從與第一反射膜相反側(cè)輸入的情況下，也能夠?qū)⒌诙?dǎo)電膜作為屏蔽電極發(fā)揮作用，從而抑制該電噪聲被輸入受光部的不良情況。因此，能夠更可靠地抑制噪聲成分混入來(lái)自受光部的檢測(cè)信號(hào)中的不良情況。
[0027]在本發(fā)明的光學(xué)元件中，上述第二導(dǎo)電膜優(yōu)選由反射率比規(guī)定值小的低反射金屬構(gòu)成。
[0028]本發(fā)明中，第二導(dǎo)電膜由低反射金屬(例如氧化鉻等)構(gòu)成。作為規(guī)定值，可根據(jù)測(cè)量的精度等適當(dāng)設(shè)定，例如，對(duì)作為測(cè)量對(duì)象的所有波長(zhǎng)，反射率設(shè)定為I %以下等。
[0029]在這種構(gòu)成中，利用入射至光學(xué)元件中的光，能夠抑制未入射到第二反射膜和第一反射膜之間的雜散光成分等被第二導(dǎo)電膜反射而入射到受光部的背面(與第一反射膜相反側(cè))的不良情況。
[0030]在本發(fā)明的光學(xué)元件中，優(yōu)選在與上述受光部的上述絕緣膜相反側(cè)、且在上述俯視觀察上至少與上述受光部重疊的區(qū)域上設(shè)置第三絕緣膜，在與上述第三絕緣膜的上述受光部相反側(cè)、且在上述俯視觀察上至少與上述受光部重疊的區(qū)域上設(shè)置有第二導(dǎo)電膜，上述第一反射膜和上述第二導(dǎo)電膜電連接。
[0031 ] 本發(fā)明中，第一反射膜和第二導(dǎo)電膜電連接。這種情況下，通過(guò)將導(dǎo)電膜和第二導(dǎo)電膜接地，可以釋放被輸入至各導(dǎo)電膜中的電噪聲。
[0032]在本發(fā)明的光學(xué)元件中，優(yōu)選在與上述受光部的上述絕緣膜相反側(cè)、且在上述俯視觀察上至少與上述受光部重疊的區(qū)域上設(shè)置第三絕緣膜，在與上述第三絕緣膜的上述受光部相反側(cè)、且在上述俯視觀察上至少與上述受光部重疊的區(qū)域上設(shè)置有第二導(dǎo)電膜，上述導(dǎo)電膜和上述第二導(dǎo)電膜電連接。
[0033]本發(fā)明中，導(dǎo)電膜和第二導(dǎo)電膜電連接。這種情況下，通過(guò)將導(dǎo)電膜和第二導(dǎo)電膜接地，在電噪聲被輸入這些膜中時(shí)，可以容易地釋放出去。
[0034]本發(fā)明的光學(xué)裝置，其特征在于，具備:具備受光部的光學(xué)元件、以及容納上述光學(xué)元件的框體，上述光學(xué)元件具備:導(dǎo)電性第一反射膜、與上述第一反射膜相對(duì)的第二反射膜、設(shè)置在與上述第一反射膜的上述第二反射膜相反側(cè)上的透光性的絕緣膜、以及在與上述絕緣膜的上述第一反射膜相反側(cè)上，且在從上述第一反射膜和上述第二反射膜的膜厚方向觀察到的俯視觀察中，設(shè)置在上述第一反射膜、上述第二反射膜及上述絕緣膜重疊的區(qū)域內(nèi)，接收由上述第一反射膜出射的光的受光部。
[0035]如上所述，在本發(fā)明的光學(xué)元件中，可以抑制噪聲混入由受光部輸出的檢測(cè)信號(hào)中，并可進(jìn)行高精度的光量測(cè)量。
[0036]此外，通過(guò)使該光學(xué)元件容納在框體內(nèi)，可以抑制例如異物附著在第一反射膜和第二反射膜等現(xiàn)象，也可以保護(hù)干涉濾波器免受沖擊等。
[0037]本發(fā)明的光學(xué)裝置，其特征在于，具備:具備受光部的光學(xué)元件、以及容納上述光學(xué)元件的框體，上述光學(xué)元件具備:第一反射膜、與上述第一反射膜相對(duì)的第二反射膜、設(shè)置在與上述第一反射膜的上述第二反射膜相反側(cè)上的透光性的導(dǎo)電膜、設(shè)置在與上述導(dǎo)電膜的上述第一反射膜相反側(cè)上的透光性的絕緣膜、以及在與上述絕緣膜的上述導(dǎo)電膜相反側(cè)上，且在從上述第一反射膜和上述第二反射膜的膜厚方向觀察到的俯視觀察中，設(shè)置在上述第一反射膜、上述第二反射膜及上述絕緣膜重疊的區(qū)域內(nèi)，接收由上述第一反射膜出射的光的受光部。
[0038]如上所述，在本發(fā)明的光學(xué)元件中，能夠抑制噪聲混入由受光部輸出的檢測(cè)信號(hào)中，并能夠進(jìn)行高精度的光量測(cè)量。
[0039]此外，通過(guò)使該光學(xué)元件容納在框體內(nèi)，可以抑制例如異物附著在第一反射膜和第二反射膜等現(xiàn)象，也可以保護(hù)干涉濾波器免受沖擊等。
[0040]本發(fā)明的電子設(shè)備，其特征在于，具備:具備受光部的光學(xué)元件、以及控制上述光學(xué)元件的控制部，上述光學(xué)元件具備:導(dǎo)電性第一反射膜、與上述第一反射膜相對(duì)的第二反射膜、設(shè)置在與上述第一反射膜的上述第二反射膜相反側(cè)上的透光性的絕緣膜、以及在與上述絕緣膜的上述第一反射膜相反側(cè)上，且在從上述第一反射膜和上述第二反射膜的膜厚方向觀察到的俯視觀察中，設(shè)置在上述第一反射膜、上述第二反射膜及上述絕緣膜重疊的區(qū)域內(nèi)，接收由上述第一反射膜出射的光的受光部。
[0041]如上所述，在本發(fā)明的光學(xué)元件中，可以抑制噪聲混入由受光部輸出的檢測(cè)信