本技術(shù)屬于掩膜版修補(bǔ)機(jī)，尤其涉及一種掩膜版修補(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具。

背景技術(shù)：

1、在集成電路制造領(lǐng)域，光刻技術(shù)可用來將圖案從包含電路設(shè)計(jì)信息的光刻掩膜版上轉(zhuǎn)移到晶圓上，其中的光刻掩膜版是能夠?qū)τ谄毓夤饩€具有局部透光性的平板，該平板上具有對(duì)曝光光線具有遮光性的幾何圖形，可用于在晶圓表面的光刻膠上曝光形成相應(yīng)的圖形。

2、然而，在光刻掩膜版的制造過程中，容易對(duì)光刻掩膜版中透光基板表面造成損傷并形成缺陷，造成曝光工藝額外多余的圖形被轉(zhuǎn)移到晶圓上，因此，需要對(duì)掩膜版進(jìn)行修補(bǔ)。

3、以往的修補(bǔ)需要保持掩膜版放置方向與修補(bǔ)機(jī)平臺(tái)平行，該過程往往需要對(duì)掩膜版的坐標(biāo)位置水平校準(zhǔn)找到修補(bǔ)點(diǎn)，花費(fèi)時(shí)間較長(zhǎng)，同時(shí)，在修補(bǔ)過程中，會(huì)不小心碰到掩膜版而導(dǎo)致掩膜版移動(dòng)，影響修補(bǔ)質(zhì)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型提供一種掩膜版修補(bǔ)機(jī)及其校正掩膜版位置的夾具，

2、根據(jù)本申請(qǐng)的第一方面，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N掩膜版修補(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具，包括：直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及兩個(gè)夾持件，兩個(gè)所述夾持件與所述直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)傳動(dòng)連接，兩個(gè)所述夾持件用于夾持掩膜版，所述直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于安裝于修補(bǔ)機(jī)的平臺(tái)上，并使掩膜版與修補(bǔ)機(jī)的平臺(tái)保持平行；所述直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可輸出直線運(yùn)動(dòng)，以驅(qū)動(dòng)兩個(gè)所述夾持件相互靠近或相互遠(yuǎn)離；所述夾持件上設(shè)有夾持部，相互靠近的兩個(gè)所述夾持件可通過所述夾持部夾持掩膜版的相對(duì)兩側(cè)。

3、作為本申請(qǐng)?zhí)峁┑难谀ぐ嫘扪a(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具的進(jìn)一步方案，所述夾持件上設(shè)有多個(gè)夾持部，多個(gè)夾持部分別與不同尺寸掩膜版的側(cè)邊長(zhǎng)度對(duì)應(yīng)。

4、作為本申請(qǐng)?zhí)峁┑难谀ぐ嫘扪a(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具的進(jìn)一步方案，多個(gè)所述夾持部依據(jù)長(zhǎng)度依次減小的方式沿直線方向依次設(shè)置在所述夾持件上。

5、作為本申請(qǐng)?zhí)峁┑难谀ぐ嫘扪a(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具的進(jìn)一步方案，所述夾持部為夾持槽，所述夾持槽的長(zhǎng)度適配于掩膜版的側(cè)邊長(zhǎng)度，兩個(gè)所述夾持件的所述夾持槽分別夾持掩膜版的相對(duì)兩側(cè)邊。

6、作為本申請(qǐng)?zhí)峁┑难谀ぐ嫘扪a(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具的進(jìn)一步方案，所述夾持槽的底部還設(shè)有支撐部，所述支撐部用于支撐掩膜版的底部。

7、作為本申請(qǐng)?zhí)峁┑难谀ぐ嫘扪a(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具的進(jìn)一步方案，所述支撐部包括至少兩個(gè)支撐片，至少兩個(gè)所述支撐片相互間隔的設(shè)置在所述夾持槽的底部。

8、作為本申請(qǐng)?zhí)峁┑难谀ぐ嫘扪a(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具的進(jìn)一步方案，所述直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)直線驅(qū)動(dòng)組件和兩個(gè)直線導(dǎo)向組件，兩個(gè)所述直線導(dǎo)向組件用于安裝于掩膜版的平臺(tái)上，兩個(gè)所述夾持件的相對(duì)兩側(cè)分別可滑動(dòng)地設(shè)置在兩個(gè)所述直線導(dǎo)向組件上，兩個(gè)所述直線驅(qū)動(dòng)組件分別設(shè)置在兩個(gè)所述夾持件的相對(duì)兩側(cè)，所述直線驅(qū)動(dòng)組件可通過所述直線導(dǎo)向組件輸出沿直線運(yùn)動(dòng)。

9、作為本申請(qǐng)?zhí)峁┑难谀ぐ嫘扪a(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具的進(jìn)一步方案，所述直線驅(qū)動(dòng)組件為直線絲桿，所述夾持件的相對(duì)兩側(cè)分別設(shè)置有絲孔，所述直線絲桿螺接于所述絲孔中。

10、作為本申請(qǐng)?zhí)峁┑难谀ぐ嫘扪a(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具的進(jìn)一步方案，所述直線導(dǎo)向組件為直線導(dǎo)軌，所述夾持件可滑動(dòng)地設(shè)置在所述直線導(dǎo)軌上。

11、根據(jù)本申請(qǐng)的第二方面，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N掩膜版修補(bǔ)機(jī)，包括所述的掩膜版修補(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具，還包括：激光修補(bǔ)器，所述激光修補(bǔ)器位于修補(bǔ)機(jī)平臺(tái)的上方。

12、本實(shí)用新型提供了一種掩膜版修補(bǔ)機(jī)及其校正掩膜版位置的夾具，可通過直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)兩個(gè)夾持件相互靠近移動(dòng)的方式，使得兩個(gè)夾持件夾持掩膜版，夾持的掩膜版可保持與修補(bǔ)機(jī)的平臺(tái)處于平行的狀態(tài)，以節(jié)省掩膜版校正步驟，提高修補(bǔ)效率。

技術(shù)特征：

1.一種掩膜版修補(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具，其特征在于，包括：直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及兩個(gè)夾持件，兩個(gè)所述夾持件與所述直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)傳動(dòng)連接，兩個(gè)所述夾持件用于夾持掩膜版，所述直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于安裝于修補(bǔ)機(jī)的平臺(tái)上，并使掩膜版與修補(bǔ)機(jī)的平臺(tái)保持平行；所述直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可輸出直線運(yùn)動(dòng)，以驅(qū)動(dòng)兩個(gè)所述夾持件相互靠近或相互遠(yuǎn)離；所述夾持件上設(shè)有夾持部，相互靠近的兩個(gè)所述夾持件可通過所述夾持部夾持掩膜版的相對(duì)兩側(cè)。

2.如權(quán)利要求1所述的掩膜版修補(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具，其特征在于，所述夾持件上設(shè)有多個(gè)夾持部，多個(gè)夾持部分別與不同尺寸掩膜版的側(cè)邊長(zhǎng)度對(duì)應(yīng)。

3.如權(quán)利要求2所述的掩膜版修補(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具，其特征在于，多個(gè)所述夾持部依據(jù)長(zhǎng)度依次減小的方式沿直線方向依次設(shè)置在所述夾持件上。

4.如權(quán)利要求3所述的掩膜版修補(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具，其特征在于，所述夾持部為夾持槽，所述夾持槽的長(zhǎng)度適配于掩膜版的側(cè)邊長(zhǎng)度，兩個(gè)所述夾持件的所述夾持槽分別夾持掩膜版的相對(duì)兩側(cè)邊。

5.如權(quán)利要求4所述的掩膜版修補(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具，其特征在于，所述夾持槽的底部還設(shè)有支撐部，所述支撐部用于支撐掩膜版的底部。

6.如權(quán)利要求5所述的掩膜版修補(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具，其特征在于，所述支撐部包括至少兩個(gè)支撐片，至少兩個(gè)所述支撐片相互間隔的設(shè)置在所述夾持槽的底部。

7.如權(quán)利要求1所述的掩膜版修補(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具，其特征在于，所述直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)直線驅(qū)動(dòng)組件和兩個(gè)直線導(dǎo)向組件，兩個(gè)所述直線導(dǎo)向組件用于安裝于掩膜版的平臺(tái)上，兩個(gè)所述夾持件的相對(duì)兩側(cè)分別可滑動(dòng)地設(shè)置在兩個(gè)所述直線導(dǎo)向組件上，兩個(gè)所述直線驅(qū)動(dòng)組件分別設(shè)置在兩個(gè)所述夾持件的相對(duì)兩側(cè)，所述直線驅(qū)動(dòng)組件可通過所述直線導(dǎo)向組件輸出沿直線運(yùn)動(dòng)。

8.如權(quán)利要求7所述的掩膜版修補(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具，其特征在于，所述直線驅(qū)動(dòng)組件為直線絲桿，所述夾持件的相對(duì)兩側(cè)分別設(shè)置有絲孔，所述直線絲桿螺接于所述絲孔中。

9.如權(quán)利要求7所述的掩膜版修補(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具，其特征在于，所述直線導(dǎo)向組件為直線導(dǎo)軌，所述夾持件可滑動(dòng)地設(shè)置在所述直線導(dǎo)軌上。

10.一種掩膜版修補(bǔ)機(jī)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的掩膜版修補(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具，還包括：激光修補(bǔ)器，所述激光修補(bǔ)器位于修補(bǔ)機(jī)平臺(tái)的上方。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供一種掩膜版修補(bǔ)機(jī)校正掩膜版位置的夾具，夾具，包括：直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及兩個(gè)夾持件，兩個(gè)所述夾持件與所述直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)傳動(dòng)連接，兩個(gè)所述夾持件用于夾持掩膜版，所述直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于安裝于修補(bǔ)機(jī)的平臺(tái)上，并使掩膜版與修補(bǔ)機(jī)的平臺(tái)保持平行；所述直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可輸出直線運(yùn)動(dòng)，以驅(qū)動(dòng)兩個(gè)所述夾持件相互靠近或相互遠(yuǎn)離；所述夾持件上設(shè)有夾持部，相互靠近的兩個(gè)所述夾持件可通過所述夾持部夾持掩膜版的相對(duì)兩側(cè)?？赏ㄟ^直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)兩個(gè)夾持件相互靠近移動(dòng)的方式，使得兩個(gè)夾持件夾持掩膜版，夾持的掩膜版可保持與修補(bǔ)機(jī)的平臺(tái)處于平行的狀態(tài)，以節(jié)省掩膜版校正步驟，提高修補(bǔ)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：孟山,鄭祺弘
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳市龍圖光罩股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240521
技術(shù)公布日：2024/12/30