本技術(shù)涉及一種用于高低倍率自動(dòng)切換的光刻機(jī)，屬于激光直寫(xiě)設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、激光直寫(xiě)成像設(shè)備，用于無(wú)掩膜式的直寫(xiě)式光刻，其工作原理是照明光源通過(guò)空間光調(diào)制器(dmd)投射到待光刻工件上，光刻的線(xiàn)寬線(xiàn)距大小與物鏡倍率有著直接的關(guān)系，且通常光刻精度與產(chǎn)能成反比，光刻精度越高，產(chǎn)能越慢。

2、現(xiàn)有技術(shù)中，高精度光刻均用高倍率顯微物鏡來(lái)進(jìn)行光刻，如果為了提升產(chǎn)能有更換較低倍率物鏡的需求，則需要手動(dòng)切換物鏡來(lái)實(shí)現(xiàn)，然而，這種方式不僅不方便，并且手動(dòng)切換可能會(huì)給整個(gè)光機(jī)倉(cāng)環(huán)境造成污染，導(dǎo)致光刻指標(biāo)受到影響；進(jìn)一步的，成功更換鏡頭后，設(shè)備的各種工藝也需要人力、時(shí)間重新調(diào)整，影響產(chǎn)能。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種用于高低倍率自動(dòng)切換的光刻機(jī)，包括：

2、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)具有多軸移動(dòng)導(dǎo)軌；以及

3、龍門(mén)，安裝于所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)；以及

4、自動(dòng)切換光刻系統(tǒng)，固定于所述龍門(mén)，所述自動(dòng)切換光刻系統(tǒng)包括光刻系統(tǒng)和多個(gè)不同倍率的物鏡，以及能夠帶著所述多個(gè)物鏡一起運(yùn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)模組。

5、應(yīng)當(dāng)理解，所述待曝光物件包括晶圓、掩膜板等，且能夠在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上實(shí)現(xiàn)多軸移動(dòng)；在本實(shí)用新型中，所述“上”指的是各組件背離地面的方向，所述“下”指的是各組件靠近地面的方向；其中，物鏡的倍率可以包括但不限于20x、15x、10x、5x等。

6、進(jìn)一步地，所述自動(dòng)切換光刻系統(tǒng)還包括對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)和反射鏡組件，所述反射鏡組件位于光刻系統(tǒng)和對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)下方。

7、進(jìn)一步地，所述反射鏡組件包括第一反射鏡和第二反射鏡，所述第一反射鏡和所述第二反射鏡朝同向傾斜45度，且所述第一反射鏡位于光刻系統(tǒng)下方，所述第二反射鏡位于對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)下方，從而能夠確保對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的點(diǎn)光源的光路依次經(jīng)過(guò)第二反射鏡和第一反射鏡向下反射。

8、應(yīng)當(dāng)理解，所述“第一”、“第二”僅用于區(qū)分不同位置或特征的同類(lèi)組件，并無(wú)其他限定含義。設(shè)置第一筒鏡和第二筒鏡的作用分別是拉長(zhǎng)dmd到顯微物鏡的焦距和拉長(zhǎng)ccd相機(jī)到顯微物鏡的焦距。

9、在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述第一反射鏡上表面能夠透過(guò)405nm波長(zhǎng)光源，下表面能夠反射＞550nm波長(zhǎng)光源；所述第二反射鏡上表面能夠反射＞550nm波長(zhǎng)光源。

10、進(jìn)一步地，所述運(yùn)動(dòng)模組為直線(xiàn)式運(yùn)動(dòng)模組，包括固定板、安裝有不同倍率物鏡的物鏡移動(dòng)座，所述固定板下方具有直線(xiàn)導(dǎo)軌，所述物鏡移動(dòng)座通過(guò)滑塊連接所述直線(xiàn)導(dǎo)軌做直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)。

11、進(jìn)一步地，所述運(yùn)動(dòng)模組為鼻輪式運(yùn)動(dòng)模組，包括固定板、安裝有不同倍率物鏡的物鏡移動(dòng)座，所述物鏡移動(dòng)座做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

12、在本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式中，所述物鏡移動(dòng)座設(shè)有多個(gè)固定孔，所述固定孔分別安裝有不同倍率的物鏡。

13、進(jìn)一步地，所述固定板還安裝有光柵尺，作用是反饋軸移動(dòng)的位置，從而達(dá)到精確定位的效果。

14、進(jìn)一步地，所述自動(dòng)切換光刻系統(tǒng)還包括聚焦系統(tǒng)，所述聚焦系統(tǒng)包括發(fā)射端組件和接收端組件，所述發(fā)射端組件和接收端組件分別位于所述光刻系統(tǒng)兩側(cè)，所述發(fā)射端組件包括帶圖案光闌。

15、進(jìn)一步地，所述自動(dòng)切換光刻系統(tǒng)還包括聚焦系統(tǒng)，所述聚焦系統(tǒng)包括聚焦傳感器。

16、本實(shí)用新型的有益效果：

17、本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置自動(dòng)切換光刻系統(tǒng)，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)不同倍率的物鏡的自動(dòng)切換，而且還能夠?qū)崿F(xiàn)精準(zhǔn)的光刻、對(duì)準(zhǔn)以及聚焦，避免了用戶(hù)手動(dòng)切換物鏡對(duì)光機(jī)倉(cāng)環(huán)境造成的污染，使得光刻過(guò)程不受影響；同時(shí)還能夠通過(guò)聚焦系統(tǒng)進(jìn)行實(shí)時(shí)聚焦對(duì)準(zhǔn)，進(jìn)一步提高了光刻過(guò)程的準(zhǔn)確性。

技術(shù)特征：

1.一種用于高低倍率自動(dòng)切換的光刻機(jī)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于高低倍率自動(dòng)切換的光刻機(jī)，其特征在于，所述自動(dòng)切換光刻系統(tǒng)還包括對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)和反射鏡組件，所述反射鏡組件位于光刻系統(tǒng)和對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)下方。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于高低倍率自動(dòng)切換的光刻機(jī)，其特征在于，所述反射鏡組件包括第一反射鏡和第二反射鏡，所述第一反射鏡和所述第二反射鏡朝同向傾斜45度，且所述第一反射鏡位于光刻系統(tǒng)下方，所述第二反射鏡位于對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)下方。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于高低倍率自動(dòng)切換的光刻機(jī)，其特征在于，所述第一反射鏡上表面能夠透過(guò)405nm波長(zhǎng)光源，下表面能夠反射＞550nm波長(zhǎng)光源；所述第二反射鏡上表面能反射＞550nm波長(zhǎng)光源。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的一種用于高低倍率自動(dòng)切換的光刻機(jī)，其特征在于，所述運(yùn)動(dòng)模組為直線(xiàn)式運(yùn)動(dòng)模組，包括固定板、安裝有不同倍率物鏡的物鏡移動(dòng)座，所述固定板下方具有直線(xiàn)導(dǎo)軌，所述物鏡移動(dòng)座通過(guò)滑塊連接所述直線(xiàn)導(dǎo)軌做直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的一種用于高低倍率自動(dòng)切換的光刻機(jī)，其特征在于，所述運(yùn)動(dòng)模組為鼻輪式運(yùn)動(dòng)模組，包括固定板、安裝有不同倍率物鏡的物鏡移動(dòng)座，所述物鏡移動(dòng)座做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于高低倍率自動(dòng)切換的光刻機(jī)，其特征在于，所述物鏡移動(dòng)座設(shè)有多個(gè)固定孔，所述固定孔分別安裝有不同倍率的物鏡。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種用于高低倍率自動(dòng)切換的光刻機(jī)，其特征在于，所述固定板還安裝有光柵尺。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的一種用于高低倍率自動(dòng)切換的光刻機(jī)，其特征在于，所述自動(dòng)切換光刻系統(tǒng)還包括聚焦系統(tǒng)，所述聚焦系統(tǒng)包括發(fā)射端組件和接收端組件，所述發(fā)射端組件和接收端組件分別位于所述光刻系統(tǒng)兩側(cè)，所述發(fā)射端組件包括帶圖案光闌。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的一種用于高低倍率自動(dòng)切換的光刻機(jī)，其特征在于，所述自動(dòng)切換光刻系統(tǒng)還包括聚焦系統(tǒng)，所述聚焦系統(tǒng)包括聚焦傳感器。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及一種用于高低倍率自動(dòng)切換的光刻機(jī)，屬于激光直寫(xiě)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。本技術(shù)通過(guò)設(shè)置自動(dòng)切換光刻系統(tǒng)，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)不同倍率的物鏡的自動(dòng)切換，而且還能夠?qū)崿F(xiàn)精準(zhǔn)的光刻、對(duì)準(zhǔn)以及聚焦，避免了用戶(hù)手動(dòng)切換物鏡對(duì)光機(jī)倉(cāng)環(huán)境造成的污染，使得光刻過(guò)程不受影響；同時(shí)還能夠通過(guò)聚焦系統(tǒng)進(jìn)行實(shí)時(shí)聚焦對(duì)準(zhǔn)，進(jìn)一步提高了光刻過(guò)程的準(zhǔn)確性。

技術(shù)研發(fā)人員：徐彥文,徐廣峰,李亞晨,黃樂(lè)之,陳海巍,王方江
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇影速集成電路裝備股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240124
技術(shù)公布日：2025/1/6