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用于掃描應(yīng)用的有限遠(yuǎn)校正顯微鏡物鏡的制作方法

文檔序號(hào):40634145發(fā)布日期:2025-01-10 18:40閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種用于掃描應(yīng)用的有限遠(yuǎn)校正顯微鏡物鏡(2),包括

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡物鏡(2),其特征在于,所述物場(chǎng)直徑(dobj)為至少1.5mm。

3.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的顯微鏡物鏡(2),其特征在于,所述顯微鏡物鏡(2)在視場(chǎng)的至少70%上具有至少0.8的strehl比率。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的顯微鏡物鏡(2),其特征在于,所述顯微鏡物鏡(2)包括最多18個(gè)光學(xué)元件(l1;1≤i≤18)。

5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的顯微鏡物鏡(2),其特征在于,所述顯微鏡物鏡(2)被設(shè)計(jì)為干物鏡。

6.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的顯微鏡物鏡(2),其特征在于,像側(cè)上的主光線角(crai)不大于5°。

7.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的顯微鏡物鏡(2),其特征在于,最后面的光學(xué)表面與所述中間像平面(i)之間的距離(bfl)為至少50mm。

8.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的顯微鏡物鏡(2),其特征在于,在400nm至800nm之間的波長(zhǎng)范圍內(nèi),在至少200nm的帶寬上對(duì)所述顯微鏡物鏡(2)進(jìn)行復(fù)消色差校正。

9.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的顯微鏡物鏡(2),其中,所述第三透鏡組(g3)具有三個(gè)子組(g31、g32和g33),其中,第一子組(g31)具有正屈光力,第二子組(g32)具有負(fù)屈光力,并且第三子組(g33)具有負(fù)屈光力。

10.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的顯微鏡物鏡(2),其特征在于,所述顯微鏡物鏡不具有非球面透鏡。

11.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的顯微鏡物鏡(2),其特征在于以下光學(xué)設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)(以相反順序):

12.一種顯微鏡(1),具有根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一項(xiàng)所述的顯微鏡物鏡(2)。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的顯微鏡(1),其特征在于,所述顯微鏡(1)具有不大于250mm×200mm的覆蓋區(qū)。

14.根據(jù)權(quán)利要求12至13中任一項(xiàng)所述的顯微鏡(1),其特征在于自動(dòng)掃描裝置(14)。

15.一種用于自動(dòng)掃描樣品的方法,包括以下步驟:


技術(shù)總結(jié)
用于掃描應(yīng)用的有限遠(yuǎn)校正顯微鏡物鏡(2)被設(shè)計(jì)成使得其具有至少0.9的數(shù)值孔徑(NA),具有至少1mm的物場(chǎng)直徑(dobj=2?hobj),在至少200納米的光譜帶寬上進(jìn)行復(fù)消色差校正,并且物平面(O)和與其共軛的中間像平面(I)之間的距離(d<subgt;OI</subgt;)不大于250mm。

技術(shù)研發(fā)人員:D·韋德豪森,張躍騫
受保護(hù)的技術(shù)使用者:卡爾蔡司顯微鏡有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/9
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