本發(fā)明涉及amoleed顯示屏技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種amoleed顯示屏用光刻膠剝離液組合物。
背景技術(shù)：
在液晶顯示裝置以及半導(dǎo)體元件等的制造工藝中，通常采用光刻技術(shù)形成所需的圖形。
以制造液晶顯示裝置的彩色濾光片為例，利用光刻膠進行刻蝕的過程主要包括：利用旋轉(zhuǎn)涂布(spincoating)、狹縫涂布(slitcoating)或狹縫與旋轉(zhuǎn)涂布(slit&spincoating)等方法，在玻璃基板上均勻涂布一層光刻膠；干燥已涂布的光刻膠；使用掩模板對上述基板曝光；將已曝光的基板采用顯影液對其進行顯影處理，經(jīng)過顯影工序去除未感光部分的光刻膠，獲得所需的圖形；在烘箱內(nèi)烘烤，從而完全蒸發(fā)掉光刻膠里面的溶劑，并堅固光刻膠膜層。
上述利用旋轉(zhuǎn)涂布、狹縫涂布或狹縫與旋轉(zhuǎn)涂布等方法涂布光刻膠的過程中，因為采用任何一個工藝，都不可避免地將光刻膠涂布于基板邊緣或背面，這些多余的光刻胺會造成設(shè)備污染，從而增加了清洗設(shè)備的生產(chǎn)成本，所以必須用光刻膠剝離液去除多余光刻膠。
現(xiàn)有的光刻膠剝離液一般包含有機胺類化合物、有機溶劑以及表面活性劑，其中，有機胺類化合物可以是二乙胺、乙二醇胺、異丙醇胺、鏈烷基醇胺或單乙醇胺等，有機溶劑可以是丙酮、環(huán)己酮、乙酸甲酯、乙二醇單甲醚或三乙二醇等，表面活性劑可以是丙烯酸共聚物等。
但是上述光刻膠剝離液，在浸泡清洗時，成份中的有機胺類化合物容易分解并呈堿性，因此容易腐蝕掉鋁、銅等金屬，并且由于其剝離性差，因此無法完全去除光刻膠殘留物，當溶解光刻膠的時間越長，殘留物滲透到要形成的圖形層中的幾率就越大，從而容易造成液晶顯示器件或半導(dǎo)體元件等的不良，影響最終產(chǎn)品的質(zhì)量。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
本發(fā)明旨在提供了一種amoleed顯示屏用光刻膠剝離液組合物。
本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：
一種amoleed顯示屏用光刻膠剝離液組合物，所述剝離液由以下重量百分比的原料組成：有機硅類化合物25-30％、丙烯酸酯類共聚物26-32％、季銨類氫氧化物18-25％、表面活性劑9-16％、絡(luò)合劑5-8％、n,n-二甲基丙酰胺11-14％、有機胺9-14％、添加劑5-10％、溶劑26-32％。
所述表面活性劑為烷基苯磺酸鈉、烷基硫酸鈉、烷基聚氧乙烯醚硫酸鈉、脂肪酸鈉、烷基聚氧乙烯醚羧酸鈉、烷基磺酸鈉的一種或幾種。
所述溶劑為選自由二甲基亞砜、n-甲基甲酰胺、n-甲基-2-吡咯烷酮、n,n-二甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺、n,n-二甲基咪唑、γ-丁內(nèi)酯、以及環(huán)丁砜組成的組中的一種以上。
所述有機胺包含選自由單乙醇胺、乙二胺、1-氨基-2-丙醇、二乙醇胺、亞氨基二丙胺、2-甲氨基乙醇n-甲基單乙醇胺、三乙氨基乙醇、1-(2-羥乙基)甲基哌嗪、n-(3-氨丙基)嗎啉、2-甲基哌嗪、1-甲基哌嗪、1-氨基-4-甲基哌嗪、1-芐基哌嗪、組成的組中的一種以上化合物。
所述添加劑選自環(huán)己醇六磷酸脂、氨基酸的堿鹽、苯并三氮唑、1-羥基苯并三氮唑、3-羥基甲酯-1,2,4-三氮唑和二巰基噻二唑二鈉鹽中的至少一種。
所述絡(luò)合劑為二乙烯三胺五乙酸與羥乙基乙烯二胺三乙酸按1:3的質(zhì)量比混合而成。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明通過n,n-二甲基丙酰胺有效的提高了剝離速度，防止因長時間作用導(dǎo)致殘留物滲透到要形成的圖形層中影響終端產(chǎn)品的質(zhì)量，獲得了更好的剝離效果；同時，溶劑不僅具有較好的溶解性，同時親水性強，在配線工藝時可以避免光刻膠的再附著，避免了光刻膠殘留；表面活性劑加入了有機硅類化合物，作為應(yīng)力均衡劑加入了丙烯酸酯類共聚物，因此提高了對光刻膠的溶解性和剝離性，解決了光刻膠的殘留或滲透污染問題。
具體實施方式
下面將結(jié)合本發(fā)明實施例，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
實施例1一種amoleed顯示屏用光刻膠剝離液組合物，所述剝離液由以下重量百分比的原料組成：有機硅類化合物25％、丙烯酸酯類共聚物26％、季銨類氫氧化物18％、表面活性劑9％、絡(luò)合劑5％、n,n-二甲基丙酰胺11％、有機胺9％、添加劑5％、溶劑26％。
所述表面活性劑為烷基苯磺酸鈉、烷基硫酸鈉、烷基聚氧乙烯醚硫酸鈉、脂肪酸鈉、烷基聚氧乙烯醚羧酸鈉、烷基磺酸鈉的一種或幾種。
所述溶劑為選自由二甲基亞砜、n-甲基甲酰胺、n-甲基-2-吡咯烷酮、n,n-二甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺、n,n-二甲基咪唑、γ-丁內(nèi)酯、以及環(huán)丁砜組成的組中的一種以上。
所述有機胺包含選自由單乙醇胺、乙二胺、1-氨基-2-丙醇、二乙醇胺、亞氨基二丙胺、2-甲氨基乙醇n-甲基單乙醇胺、三乙氨基乙醇、1-(2-羥乙基)甲基哌嗪、n-(3-氨丙基)嗎啉、2-甲基哌嗪、1-甲基哌嗪、1-氨基-4-甲基哌嗪、1-芐基哌嗪、組成的組中的一種以上化合物。
所述添加劑選自環(huán)己醇六磷酸脂、氨基酸的堿鹽、苯并三氮唑、1-羥基苯并三氮唑、3-羥基甲酯-1,2,4-三氮唑和二巰基噻二唑二鈉鹽中的至少一種。
所述絡(luò)合劑為二乙烯三胺五乙酸與羥乙基乙烯二胺三乙酸按1:3的質(zhì)量比混合而成。
實施例2一種amoleed顯示屏用光刻膠剝離液組合物，所述剝離液由以下重量百分比的原料組成：有機硅類化合物30％、丙烯酸酯類共聚物32％、季銨類氫氧化物25％、表面活性劑16％、絡(luò)合劑8％、n,n-二甲基丙酰胺14％、有機胺14％、添加劑10％、溶劑32％。
所述表面活性劑為烷基苯磺酸鈉、烷基硫酸鈉、烷基聚氧乙烯醚硫酸鈉、脂肪酸鈉、烷基聚氧乙烯醚羧酸鈉、烷基磺酸鈉的一種或幾種。
所述溶劑為選自由二甲基亞砜、n-甲基甲酰胺、n-甲基-2-吡咯烷酮、n,n-二甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺、n,n-二甲基咪唑、γ-丁內(nèi)酯、以及環(huán)丁砜組成的組中的一種以上。
所述有機胺包含選自由單乙醇胺、乙二胺、1-氨基-2-丙醇、二乙醇胺、亞氨基二丙胺、2-甲氨基乙醇n-甲基單乙醇胺、三乙氨基乙醇、1-(2-羥乙基)甲基哌嗪、n-(3-氨丙基)嗎啉、2-甲基哌嗪、1-甲基哌嗪、1-氨基-4-甲基哌嗪、1-芐基哌嗪、組成的組中的一種以上化合物。
所述添加劑選自環(huán)己醇六磷酸脂、氨基酸的堿鹽、苯并三氮唑、1-羥基苯并三氮唑、3-羥基甲酯-1,2,4-三氮唑和二巰基噻二唑二鈉鹽中的至少一種。
所述絡(luò)合劑為二乙烯三胺五乙酸與羥乙基乙烯二胺三乙酸按1:3的質(zhì)量比混合而成。
實施例3一種amoleed顯示屏用光刻膠剝離液組合物，所述剝離液由以下重量百分比的原料組成：有機硅類化合物27％、丙烯酸酯類共聚物29％、季銨類氫氧化物21％、表面活性劑14％、絡(luò)合劑7％、n,n-二甲基丙酰胺13％、有機胺12％、添加劑8％、溶劑28％。
所述表面活性劑為烷基苯磺酸鈉、烷基硫酸鈉、烷基聚氧乙烯醚硫酸鈉、脂肪酸鈉、烷基聚氧乙烯醚羧酸鈉、烷基磺酸鈉的一種或幾種。
所述溶劑為選自由二甲基亞砜、n-甲基甲酰胺、n-甲基-2-吡咯烷酮、n,n-二甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺、n,n-二甲基咪唑、γ-丁內(nèi)酯、以及環(huán)丁砜組成的組中的一種以上。
所述有機胺包含選自由單乙醇胺、乙二胺、1-氨基-2-丙醇、二乙醇胺、亞氨基二丙胺、2-甲氨基乙醇n-甲基單乙醇胺、三乙氨基乙醇、1-(2-羥乙基)甲基哌嗪、n-(3-氨丙基)嗎啉、2-甲基哌嗪、1-甲基哌嗪、1-氨基-4-甲基哌嗪、1-芐基哌嗪、組成的組中的一種以上化合物。
所述添加劑選自環(huán)己醇六磷酸脂、氨基酸的堿鹽、苯并三氮唑、1-羥基苯并三氮唑、3-羥基甲酯-1,2,4-三氮唑和二巰基噻二唑二鈉鹽中的至少一種。
所述絡(luò)合劑為二乙烯三胺五乙酸與羥乙基乙烯二胺三乙酸按1:3的質(zhì)量比混合而成。
對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本發(fā)明不限于所述示范性實施例的細節(jié)，而且在不背離本發(fā)明的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實現(xiàn)本發(fā)明。因此，無論從哪一點來看，均應(yīng)將實施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求而不是所述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本發(fā)明內(nèi)。此外，應(yīng)當理解，雖然本說明書按照實施方式加以描述，但并非每個實施方式僅包含一個獨立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當將說明書作為一個整體，各實施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實施方式。