技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種基于介質(zhì)電潤濕效應(yīng)的光開關(guān),該光開關(guān)采用三層結(jié)構(gòu),第一層為上極板,由方形透明玻璃1、透明電極2以及疏水薄膜3組成;第二層為方形透明玻璃層10,沿它的對角線開一條微流道5,流道中有受控離散電解質(zhì)液滴4,在玻璃層同一水平面上開4個條形介質(zhì)光波導(dǎo)6、7、8、9;第三層為下極板,由方形透明玻璃作基底15,多晶硅作襯底14,襯底上擴(kuò)磷及光刻圖形化微電極陣列13,電極陣列上有介質(zhì)層12,介質(zhì)層上涂覆一層疏水薄膜11。該光開關(guān)無需使用電機(jī)等復(fù)雜器件,使得制作成本、生產(chǎn)工藝大大降低,具有重要的技術(shù)價值和經(jīng)濟(jì)價值。
技術(shù)研發(fā)人員:陳博宇;萬靜;杜敏玲;薛鳳蘭;曹涵
受保護(hù)的技術(shù)使用者:南京郵電大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:2017.05.11
技術(shù)公布日:2017.11.03