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利用固體調(diào)制產(chǎn)生等離子體光子晶體的裝置的制作方法

文檔序號(hào):12659543閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種利用固體調(diào)制產(chǎn)生等離子體光子晶體的裝置,包括真空反應(yīng)室、設(shè)置在所述真空反應(yīng)室內(nèi)的兩個(gè)水電極以及與所述水電極電連接的等離子體發(fā)生電源;其特征是,在兩個(gè)所述水電極之間設(shè)置有固體邊框,所述固體邊框所在平面與兩個(gè)所述水電極的軸心線垂直;在所述固體邊框的內(nèi)部區(qū)域設(shè)置有若干呈矩陣式排列的通孔,相鄰兩個(gè)通孔之間由固體棱隔開(kāi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用固體調(diào)制產(chǎn)生等離子體光子晶體的裝置,其特征是,在所述固體邊框的內(nèi)部區(qū)域設(shè)置有9個(gè)大小相等、邊長(zhǎng)為8mm的正方形通孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的利用固體調(diào)制產(chǎn)生等離子體光子晶體的裝置,其特征是,相鄰兩個(gè)正方形通孔之間的固體棱的寬度為2mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用固體調(diào)制產(chǎn)生等離子體光子晶體的裝置,其特征是,所述固體邊框的厚度為1.6mm~3mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的利用固體調(diào)制產(chǎn)生等離子體光子晶體的裝置,其特征是,所述固體邊框的厚度為2mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用固體調(diào)制產(chǎn)生等離子體光子晶體的裝置,其特征是,所有通孔構(gòu)成的區(qū)域?yàn)榉烹妳^(qū)域;所述放電區(qū)域的面積小于所述水電極的截面面積;所述固體邊框的總面積大于所述水電極的截面面積。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用固體調(diào)制產(chǎn)生等離子體光子晶體的裝置,其特征是,在所述真空反應(yīng)室內(nèi)注有放電氣體,所述放電氣體為氣壓可調(diào)的空氣、氬氣或空氣與氬氣的混合氣體;所述真空反應(yīng)室內(nèi)放電氣體的氣壓為0.1~1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。

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