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基于光學(xué)衍射元件的激光散斑抑制的實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):12660313閱讀:255來源:國知局
基于光學(xué)衍射元件的激光散斑抑制的實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的制作方法與工藝

本發(fā)明屬于激光顯示投影領(lǐng)域,尤其涉及一種散斑抑制的實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)。



背景技術(shù):

激光散斑是當(dāng)用激光照射漫射體時(shí),在粗糙物體表面觀察到的一層顆粒狀結(jié)構(gòu)。散斑的本質(zhì)是一種隨機(jī)的相干疊加。散斑在成像和信息圖像中屬于噪聲,通常會(huì)嚴(yán)重影響圖像和信息的質(zhì)量,因此在激光系統(tǒng),特別是激光顯示投影系統(tǒng)中,需要進(jìn)行散斑抑制。

由于散斑抑制的重要性,前人進(jìn)行了比較多的理論研究,已經(jīng)提出的光學(xué)投影中散斑抑制的理論方法大致可以分為8種:1.引入偏振多樣性;2.引入一個(gè)運(yùn)動(dòng)屏幕;3.引入專門設(shè)計(jì)的屏幕,使產(chǎn)生的散斑最小;4.對每種顏色,加寬光源的譜,或用頻率稍有不同的多個(gè)激光器來獲得照明波長的多樣性;5.對每種顏色,用空間分離的多個(gè)激光器,從而獲得照明角度的多樣性;6.相對于人眼的分辨率,對光學(xué)投影系統(tǒng)進(jìn)行的散斑容忍度設(shè)計(jì);7.將一個(gè)具有隨機(jī)相位元胞的變動(dòng)漫射體成像到屏幕上;8.將一個(gè)具有確定性的正交相位代碼的變動(dòng)漫射體成像到屏幕上?;谏鲜隼碚撗芯浚蔡岢隽艘恍┮种粕叩募夹g(shù)方法,比如:福建中科晶創(chuàng)光電科技有限公司在專利《一種激光消散斑系統(tǒng)》中提出,利用一種激光散斑抑制器的色散特性,激光通過激光散斑抑制器中傳播足夠長距離后,其時(shí)間相干性得以減弱,再通過散射片的運(yùn)動(dòng)將激光散斑圖樣進(jìn)行時(shí)間平均,從而減小激光散斑的影響。再比如,孫鳴捷等人在其論文《一種采用振動(dòng)混光棒的散斑抑制技術(shù)》中提出了一種基于振動(dòng)混光棒的散斑抑制方法,在保持原光束90%能量的前提下將圖像的散斑對比度抑制到6%以下,且無需額外整形透鏡光學(xué)件。梁傳祥等人在其論文《基于硅基液晶實(shí)現(xiàn)激光投影顯示系統(tǒng)均勻整形和散斑抑制》中提出利用硅基液晶空間光調(diào)制器抑制激光散斑。該方法可使照明光斑均勻性從74%提高到92.57%,屏幕上圖樣散斑對比度由0.991減小為0.2508。

然而,上述已有技術(shù)存在的共同缺陷是:系統(tǒng)結(jié)構(gòu)十分復(fù)雜,實(shí)驗(yàn)精度要求很高,系統(tǒng)容錯(cuò)性、魯棒性、通用性很差,無法將實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)通用化、儀器化,以滿足激光投影顯示領(lǐng)域的實(shí)際應(yīng)用需求。另外,上述已有技術(shù)的散斑抑制效果也不夠理想,需要進(jìn)一步提高。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

為了克服已有散斑抑制技術(shù)和系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜,實(shí)驗(yàn)精度要求高,實(shí)現(xiàn)困難,系統(tǒng)容錯(cuò)性、魯棒性、通用性差,以及散斑抑制效果不夠好的不足,本發(fā)明提供一種散斑抑制效果好、結(jié)構(gòu)簡單、易于實(shí)現(xiàn)、且系統(tǒng)通用性、魯棒性好、成本低廉的基于光學(xué)衍射元件的激光散斑抑制的實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)。

本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:

一種基于光學(xué)衍射元件的激光散斑抑制的實(shí)現(xiàn)系統(tǒng),包括光學(xué)模塊和電學(xué)控制模塊,所述光學(xué)模塊包括調(diào)制透鏡組件、二元光學(xué)衍射元件和聚焦物鏡,所述調(diào)制透鏡組件、二元光學(xué)衍射元件和聚焦物鏡位于同一光軸上,激光器射出的激光束通過所述調(diào)制透鏡組件進(jìn)行擴(kuò)束、整形和校準(zhǔn),正入射所述二元光學(xué)衍射元件的平面,所述二元光學(xué)衍射元件可水平移動(dòng)地安裝在水平導(dǎo)軌上并與水平面呈夾角;所述電學(xué)控制模塊,用以控制二元光學(xué)衍射元件以設(shè)定的運(yùn)動(dòng)速度和夾角水平移動(dòng)。

進(jìn)一步,所述夾角為0.5°-4.4°。

再進(jìn)一步,所述設(shè)定的運(yùn)動(dòng)速度為1.0-2.5mm/s。

所述調(diào)制透鏡組件包括并排布置的兩個(gè)調(diào)制透鏡,所述激光器、兩個(gè)調(diào)制透鏡、二元光學(xué)衍射元件和聚焦物鏡同軸布置。

所述電學(xué)控制模塊還包括用于計(jì)算獲得運(yùn)動(dòng)速度和夾角的激光散斑抑制控制單元,計(jì)算過程如下:

1)光學(xué)衍射元件的透射率函數(shù)設(shè)為t(x0,y0),光學(xué)衍射元件后平面P0

光場的復(fù)振幅表示為:

U′0(x0,y0)=t(x0,y0)U0(x0,y0)=t(x0,y0) (1)

x0,y0是光學(xué)衍射元件前平面P0上的坐標(biāo),U0(x0,y0)是光學(xué)衍射

元件前平面P0光場的振幅,且U0(x0,y0)=1;

2)光束達(dá)到聚焦物鏡,符合菲涅耳衍射條件,由菲涅耳衍射公式得到平面P1上光場的復(fù)振幅為:

x1,y1是平面p1上的坐標(biāo);

3)光束從聚焦物鏡的前表面?zhèn)鞑サ酵哥R的后表面,此時(shí)平面P1′上光場的復(fù)振幅為:

其中w0為透鏡5中心的厚度,f為透鏡的焦距,且透鏡總是具有一定的尺寸,圓形孔徑半徑為r0的透鏡的孔徑函數(shù)即光瞳函數(shù)P(x1,y1)為:

這樣有:

4)光束從聚焦物鏡到觀測屏的過程符合菲涅耳衍射條件,由菲涅耳衍射公式得到平面Pi上光場的復(fù)振幅為:

將(4)式代入(5)式,可得:

得到在整個(gè)區(qū)域內(nèi)都有P(x1,y1)=1,將(2)式代入(6)式整理化簡得到:

其中xi,yi是平面pi上的坐標(biāo);

將(1)式代入(7)式,并且化簡整理得到成像屏幕上的光場分布復(fù)振幅為:

式中:A表示式中出現(xiàn)的復(fù)常數(shù);

5)設(shè)定算符Q,使得Ui(xi,yi)=Q[t(x0,y0)],現(xiàn)在引入CCD相機(jī)成像系統(tǒng)的點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)H(xi,yi;xj,yj),則CCD相機(jī)成像平面上的光場分布的復(fù)振幅為:

其中xj,yj是平面pi上的坐標(biāo);

6)光學(xué)衍射元件于水平方向運(yùn)動(dòng)與水平方向成a的傾斜角,將速度分解成引入運(yùn)動(dòng)導(dǎo)致在CCD上得到新的光場分布:

7)由光場強(qiáng)度公式I(xj,yj)=|U(xj,yj)|2得到在CCD曝光時(shí)間內(nèi)捕獲到的散斑圖像強(qiáng)度為:

Δt為CCD相機(jī)曝光時(shí)間,|U(xj,yj)|2表示被測散斑圖像在時(shí)刻t′∈[t,t+Δt]處的強(qiáng)度分布,則檢測到的散斑強(qiáng)度的平均值為:

則散斑圖像強(qiáng)度的二階矩表示為:

公式中所涉及到的x01,x02,y01,y02,t’,t”是為了計(jì)算需要的中間參數(shù);

8)根據(jù)Goodman的散斑統(tǒng)計(jì)理論,被檢測到的散斑圖像的對比度C為:

變量(x0,y0)同時(shí)也為透射系數(shù)函數(shù)的坐標(biāo),(xj,yj)為CCD相機(jī)曝光屏上的坐標(biāo),在同一次的測量過程中看作是定值;只考慮變量vx,vy,設(shè)置算符F,使得:

將(15)式代入(14)式化簡整理得到:

其中:v表示二元光學(xué)衍射元件的移動(dòng)速度,a是二元光學(xué)衍射元件和水平面的夾角。

當(dāng)激光束從激光器射出,可近似視為點(diǎn)光源。通過所述透鏡陣列進(jìn)行擴(kuò)束、整形、校準(zhǔn),將激光束正入射所述二元光學(xué)衍射元件平面。所述的二元光學(xué)衍射元件鑲嵌在水平導(dǎo)軌上并與水平面成一個(gè)夾角,當(dāng)激光束照射到其表面時(shí),該元件開始沿水平導(dǎo)軌進(jìn)行勻速運(yùn)動(dòng)。所述二元光學(xué)衍射元件的運(yùn)動(dòng)改變了衍射級(jí)數(shù)的相位和破壞了激光束的空間相干性。由一個(gè)數(shù)值孔徑足夠大的凸透鏡來接收產(chǎn)生衍射的激光束并將其聚焦成的像投影到顯示屏上。人的眼睛中的晶狀體可看作一個(gè)凸透鏡,將顯示屏漫射的光束接收成像到視網(wǎng)膜上。

本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思為:通過以按照一定序列來刻蝕微結(jié)構(gòu)的二元光學(xué)衍射元件來改變激光光束的相位分布,從而達(dá)到散斑抑制效果。

進(jìn)一步,通過改變所述二元光學(xué)衍射元件沿水平導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)速度破壞激光光束的空間相干性來對散斑抑制效果進(jìn)行的優(yōu)化。

更進(jìn)一步,通過改變所述二元光學(xué)衍射元件與水平面的夾角來對散斑抑制進(jìn)行進(jìn)一步的優(yōu)化。

本發(fā)明的有益效果主要表現(xiàn)在:1.結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定,系統(tǒng)通用性好。2.對于已購買且投入使用的激光投影儀可以直接改裝而不必重新購買。3.與市場上現(xiàn)有的散斑抑制裝置相比,制作簡單,成本低廉,適合大批量生產(chǎn)。4.散斑抑制效果好。5.本發(fā)明在系統(tǒng)結(jié)構(gòu)不變的情況下,可對紅綠藍(lán)三種顏色激光同時(shí)進(jìn)行散斑抑制。

附圖說明

圖1是實(shí)現(xiàn)激光散斑抑制的系統(tǒng)示意圖。

圖2是數(shù)學(xué)模型所建立的坐標(biāo)系示意圖。

圖3是二元光學(xué)衍射元件的透射率函數(shù)示意圖。

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步描述。

圖1和圖2中1是激光光源;2,3是兩個(gè)調(diào)制透鏡;4是二元光學(xué)衍射元件;5是聚焦物鏡;6是漫射屏幕;7是CCD照相機(jī);8是照相機(jī)物鏡;9是CCD照相機(jī)光電二極管陣列;10表示光斑打到的位置。所述激光器1、調(diào)制透鏡2、調(diào)制透鏡3、二元光學(xué)衍射元件4、聚焦物鏡5同軸布置。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步描述。

參照圖1~圖3,一種基于光學(xué)衍射元件的激光散斑抑制的實(shí)現(xiàn)系統(tǒng),包括光學(xué)模塊和電學(xué)控制模塊,所述光學(xué)模塊包括調(diào)制透鏡組件、二元光學(xué)衍射元件和聚焦物鏡,所述調(diào)制透鏡組件、二元光學(xué)衍射元件和聚焦物鏡位于同一光軸上,激光器射出的激光束通過所述調(diào)制透鏡組件進(jìn)行擴(kuò)束、整形和校準(zhǔn),正入射所述二元光學(xué)衍射元件的平面,所述二元光學(xué)衍射元件可水平移動(dòng)地安裝在水平導(dǎo)軌上并與水平面呈夾角;所述電學(xué)控制模塊,用以控制二元光學(xué)衍射元件以設(shè)定的運(yùn)動(dòng)速度和夾角水平移動(dòng)。

進(jìn)一步,所述夾角為0.5°-4.4°。

再進(jìn)一步,所述設(shè)定的運(yùn)動(dòng)速度為1.0-2.5mm/s。

所述調(diào)制透鏡組件包括并排布置的兩個(gè)調(diào)制透鏡,所述激光器、兩個(gè)調(diào)制透鏡、二元光學(xué)衍射元件和聚焦物鏡同軸布置。

如圖1所示,一束激光光束通過透鏡2、透鏡3進(jìn)行擴(kuò)束、整形、校準(zhǔn),此時(shí)激光光束可以近似看作是垂直射入系統(tǒng)的平行光線。光束通過沿水平方向以1.0-2.5mm/s速度運(yùn)動(dòng)的二元光學(xué)衍射元件(與衍射元件水平運(yùn)動(dòng)方向成0.5°-4.4°的傾斜角)后所形成的衍射光束,再通過一個(gè)數(shù)值孔徑足夠大(NA=R/L>λ/T,R是該透鏡的半徑,L是該透鏡到光學(xué)衍射元件的距離,λ是激光光束的波長,T是光學(xué)衍射元件的基本單元的長度)的透鏡,成像在粗糙散射屏幕上。照相機(jī)的物鏡把屏幕上成的像投影到照相機(jī)的光電二極管矩陣上。照相機(jī)的輸入孔徑應(yīng)該足夠小。

所謂激光散斑由物理量散斑對比度C來衡量。由Goodman的散斑統(tǒng)計(jì)理論可得到:其中I為平均光強(qiáng)分布,σ為光強(qiáng)分布的標(biāo)準(zhǔn)差,并由此得到二元光學(xué)衍射元件有效抑制散斑的理論基礎(chǔ)。

下面是數(shù)學(xué)模型的理論推導(dǎo):

坐標(biāo)系的建立如圖2所示,且該數(shù)學(xué)模型忽略物的厚度。

1)為了簡化計(jì)算,假設(shè)經(jīng)過透鏡2和透鏡3后的激光光束可近似看作垂直于光學(xué)衍射元件入射,且復(fù)振幅為1。

光學(xué)衍射元件的透射率函數(shù)設(shè)為t(x0,y0),具體函數(shù)如圖3所示,則

光學(xué)衍射元件后平面P0′光場的復(fù)振幅表示為:

U′0(x0,y0)=t(x0,y0)U0(x0,y0)=t(x0,y0) (1)

x0,y0是光學(xué)衍射元件前平面P0上的坐標(biāo),U0(x0,y0)是光學(xué)衍射元件前平面P0光場的振幅,且U0(x0,y0)=1。

2)光束達(dá)到透鏡5,符合菲涅耳衍射條件,由菲涅耳衍射公式得到平面P1上光場的復(fù)振幅為:

x1,y1是平面p1上的坐標(biāo)。

3)光束從透鏡5的前表面?zhèn)鞑サ酵哥R的后表面,此時(shí)平面P1′上光場的復(fù)振幅為:

其中w0為透鏡5中心的厚度,f為透鏡的焦距,且透鏡總是具有一定的尺寸,圓形孔徑半徑為r0的透鏡的孔徑函數(shù)即光瞳函數(shù)P(x1,y1)為:

這樣有:

4)光束從透鏡5到觀測屏6的過程符合菲涅耳衍射條件,由菲涅耳衍射公式得到平面Pi上光場的復(fù)振幅為:

將(4)式代入(5)式,可得:

這里假設(shè)透鏡5的數(shù)值孔徑足夠大(不考慮對入射場的影響),則忽略光瞳的影響,就可以得到在整個(gè)區(qū)域內(nèi)都有P(x1,y1)=1,將(2)式代入(6)式整理化簡得到:

其中xi,yi是平面pi上的坐標(biāo)。

將(1)式代入(7)式,并且化簡整理得到成像屏幕上的光場分布復(fù)振幅為:

式中:A表示式中出現(xiàn)的復(fù)常數(shù)。

5)由于(8)式較為復(fù)雜,為了簡化計(jì)算設(shè)定算符Q,使得Ui(xi,yi)=Q[t(x0,y0)],引入CCD相機(jī)成像系統(tǒng)的點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)H(xi,yi;xj,yj),則CCD相機(jī)成像平面上的光場分布的復(fù)振幅為:

其中xj,yj是平面pi上的坐標(biāo)。

6)該技術(shù)方案中需要光學(xué)衍射元件于水平方向運(yùn)動(dòng)與水平方向成a的傾斜角,現(xiàn)為了方便計(jì)算將速度分解成引入運(yùn)動(dòng)導(dǎo)致在CCD上得到新的光場分布:

7)由光場強(qiáng)度公式I(xj,yj)=|U(xj,yj)|2可以得到在CCD曝光時(shí)間內(nèi)捕獲到的散斑圖像強(qiáng)度為:

Δt為CCD相機(jī)曝光時(shí)間,|U(xj,yj)|2表示被測散斑圖像在時(shí)刻t′∈[t,t+Δt]處的強(qiáng)度分布,則檢測到的散斑強(qiáng)度的平均值為:

則散斑圖像強(qiáng)度的二階矩可以表示為:

公式中所涉及到的x01,x02,y01,y02,t’,t”是為了計(jì)算需要,沒有任何實(shí)際意義。

8)根據(jù)Goodman的散斑統(tǒng)計(jì)理論,被檢測到的散斑圖像的對比度C為:

變量(x0,y0)同時(shí)也為透射系數(shù)函數(shù)的坐標(biāo),(xj,yj)為CCD相機(jī)曝光屏上的坐標(biāo),在同一次的測量過程中可以看作是定值。所以這里為了簡化計(jì)算只考慮變量vx,vy,設(shè)置算符F,使得:

將(15)式代入(14)式化簡整理得到:

其中:v表示二元光學(xué)衍射元件的移動(dòng)速度,a是二元光學(xué)衍射元件和水平面的夾角。

進(jìn)一步,將二元光學(xué)衍射元件以安裝在繪圖機(jī)上,使其沿X軸做勻速運(yùn)動(dòng),并用軟件控制其傾斜角度和移動(dòng)速度。

再進(jìn)一步,使用上述方法得到以下表1、表2、表3數(shù)據(jù)。

表1

表2

表3

其中表1是激光光束為紅光(622nm)時(shí)所得到的數(shù)據(jù);表2是激光光束為綠光(532nm)時(shí)所得到的數(shù)據(jù);表3是激光光束為藍(lán)光(435nm)所得到的數(shù)據(jù)。三原色理論上可以合成任何顏色的可見光。所以由表1、表2、表3得到在傾斜角為4.0°,運(yùn)動(dòng)速度為2.5mm/s時(shí),三種顏色激光的散斑抑制效果均接近于最佳,因此相應(yīng)的激光投影效果達(dá)到最佳。

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