技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種直寫(xiě)光刻設(shè)備中的雙光源雙照明方式的圖像采集裝置，包括CCD相機(jī)、安裝在CCD相機(jī)上的光學(xué)鏡頭以及固定在光學(xué)鏡頭上的照明光源，所述光學(xué)鏡頭采用雙側(cè)遠(yuǎn)心鏡頭，所述照明光源包括點(diǎn)光源和環(huán)形光源，所述點(diǎn)光源用于為光學(xué)鏡頭提供同軸照明，所述環(huán)形光源用于為光學(xué)鏡頭提供低角度照明。本發(fā)明通過(guò)采用雙側(cè)遠(yuǎn)心鏡頭來(lái)保證抓圖準(zhǔn)確性，且在景深范圍內(nèi)，可滿(mǎn)足實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)抓圖，通過(guò)采用同軸點(diǎn)光源和環(huán)形光源來(lái)實(shí)現(xiàn)明、暗視野雙照明；本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊，設(shè)計(jì)合理，通過(guò)切換不同的照明方式，可實(shí)現(xiàn)不同基板、不同印刷材料的圖像抓取，滿(mǎn)足直寫(xiě)光刻設(shè)備所有基底的高亮度、高對(duì)比度、高精度的圖像采集需求。

技術(shù)研發(fā)人員：吳瓊;曹永珍;何少鋒
受保護(hù)的技術(shù)使用者：合肥芯碁微電子裝備有限公司
文檔號(hào)碼：201611267474
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.31
技術(shù)公布日：2017.05.31