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光照射裝置以及光照射方法與流程

文檔序號:12799959閱讀:來源:國知局

技術特征:

技術總結
提供一種能夠在一張工件上形成取向方向不同的多個區(qū)域的光照射裝置以及光照射方法。光照射裝置(偏振光照射裝置)(100)具備從光出射口照射第一偏振光的光照射部(10A)、以及從光出射口照射第二偏振光的光照射部(10C)。另外,偏振光照射裝置(100)具備:板部件(遮光板(31)),配置于載物臺(21),在第一使用位置(去路遮光位置(302))規(guī)定應利用第一偏振光進行光取向的工件(W)上的第一區(qū)域,在第二使用位置(回路遮光位置(303))規(guī)定應利用第二偏振光進行光取向的工件(W)上的第二區(qū)域;以及驅動部(遮光掩模驅動部(34)),使板部件在第一使用位置與第二使用位置之間移動。

技術研發(fā)人員:石井一正
受保護的技術使用者:優(yōu)志旺電機株式會社
技術研發(fā)日:2016.11.30
技術公布日:2017.07.04
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