本發(fā)明是有涉及一種檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法，特別是有涉及一種檢測(cè)光罩上異物的光罩檢測(cè)裝置及其方法。

背景技術(shù)：

就現(xiàn)有的半導(dǎo)體元件制造技術(shù)來(lái)說(shuō)，半導(dǎo)體元件的電路圖案是通過(guò)光罩將電路圖案轉(zhuǎn)印至晶圓的表面上形成的。

由于半導(dǎo)體元件的微小化，在制造半導(dǎo)體元件的過(guò)程中，光罩的缺陷將會(huì)大大影響硅晶圓表面的電路圖案的品質(zhì)，例如造成電路圖案的扭曲或變形；而，目前最常見(jiàn)的造成光罩缺陷的原因在于光罩的表面附有微粒。

承上述，如何在光罩的使用之前，將表面附有微粒的光罩檢測(cè)出來(lái)，將是該相關(guān)產(chǎn)業(yè)亟需思考并解決的一大課題。

綜觀前所述，本發(fā)明的發(fā)明人思索并設(shè)計(jì)一種光罩檢測(cè)裝置，以期針對(duì)已知技術(shù)的缺失加以改善，進(jìn)而增進(jìn)產(chǎn)業(yè)上的實(shí)施利用。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

關(guān)于上述已知技術(shù)的問(wèn)題，本發(fā)明的目的就是在提供一種光罩檢測(cè)裝置，以解決已知技術(shù)所存在的問(wèn)題。

根據(jù)本發(fā)明的目的，提出一種光罩檢測(cè)裝置，包含裝置本體、承載模塊、第一攝像模塊及控制模塊。裝置本體的一面可活動(dòng)地設(shè)有旋轉(zhuǎn)位移單元，旋轉(zhuǎn)位移單元的一面設(shè)有發(fā)光件。承載模塊懸設(shè)在旋轉(zhuǎn)位移單元的一面，承載模塊相對(duì)旋轉(zhuǎn)位移單元的一面可活動(dòng)地承載檢測(cè)物，并且，承載模塊本體具有開(kāi)口。第一攝像模塊懸設(shè)在裝置本體的一面?？刂颇K電耦接旋轉(zhuǎn)位移單元及第一攝像模塊，控制模塊接收并依據(jù)校正檢測(cè)信號(hào)，以控制第一攝像模塊獲取檢測(cè)物的影像而產(chǎn)生待校正影像，并且，控制模塊接收并判斷待校正影像不符合預(yù)設(shè)校正影像時(shí)，控制模塊則控制旋轉(zhuǎn)位移單元以水平旋轉(zhuǎn)方式調(diào)整承載模塊的水平位置及旋轉(zhuǎn)角度，進(jìn)而調(diào)整檢測(cè)物的水平位置，而在控制模塊判斷待校正影像符合預(yù)設(shè)校正影像時(shí)，控制模塊則控制發(fā)光件透過(guò)開(kāi)口朝檢測(cè)物照射第一光源，并控制第一攝像模塊獲取檢測(cè)物的光罩區(qū)的影像而產(chǎn)生光罩檢測(cè)影像，并且，控制模塊接收并判斷光罩檢測(cè)影像的二維圖像，以取得光罩檢測(cè)信息，并檢測(cè)光罩檢測(cè)影像中的異常圖示而產(chǎn)生光罩異常信息。

優(yōu)選地，裝置本體的一面懸設(shè)升降單元，光罩檢測(cè)裝置優(yōu)選還可包含照明攝像模塊，設(shè)置在升降單元上，控制模塊接收并依據(jù)第一檢驗(yàn)信號(hào)而驅(qū)使升降單元朝第一方向進(jìn)行位移，以使照明攝像模塊趨近于檢測(cè)物，控制模塊控制旋轉(zhuǎn)位移單元驅(qū)使發(fā)光件透過(guò)開(kāi)口朝檢測(cè)物投射第一光源，及控制旋轉(zhuǎn)位移單元以步進(jìn)方式朝第二方向或第三方向進(jìn)行位移，以帶動(dòng)承載模塊進(jìn)行位移，并且，控制模塊控制照明攝像模塊獲取檢測(cè)物的若干個(gè)第一區(qū)域的影像，并產(chǎn)生若干個(gè)第一檢測(cè)影像。

優(yōu)選地，控制模塊接收并依據(jù)第二檢驗(yàn)信號(hào)而驅(qū)使照明攝像模塊朝檢測(cè)物投射第二光源，并控制旋轉(zhuǎn)位移單元以步進(jìn)方式朝第二方向或第三方向進(jìn)行位移，以帶動(dòng)承載模塊進(jìn)行位移，并且，控制模塊控制照明攝像模塊獲取檢測(cè)物的若干個(gè)第二區(qū)域的影像，并產(chǎn)生若干個(gè)第二檢測(cè)影像。

優(yōu)選地，光罩檢測(cè)裝置還可包含測(cè)距模塊，電連接控制模塊，并設(shè)置在升降單元上，控制模塊接收并依據(jù)測(cè)量信號(hào)而控制測(cè)距模塊朝檢測(cè)物投射至少一測(cè)距光源，測(cè)距模塊接收檢測(cè)物所反射的至少一測(cè)距光源，以產(chǎn)生檢驗(yàn)距離信號(hào)，并且，控制模塊接收并依據(jù)第一檢驗(yàn)信號(hào)及檢驗(yàn)距離信號(hào)而驅(qū)使升降單元朝第一方向進(jìn)行位移，以使照明攝像模塊與檢測(cè)物距離預(yù)定工作距離，控制模塊控制旋轉(zhuǎn)位移單元驅(qū)使發(fā)光件透過(guò)開(kāi)口朝檢測(cè)物投射第一光源，及控制旋轉(zhuǎn)位移單元帶動(dòng)承載模塊進(jìn)行位移，且控制模塊控制照明攝像模塊獲取檢測(cè)物的若干個(gè)第一區(qū)域的影像，并產(chǎn)生若干個(gè)第一檢測(cè)影像。

優(yōu)選地，光罩檢測(cè)裝置還可包含第一照明模塊，第一照明模塊的一端可活動(dòng)地位在裝置本體，第一照明模塊的另一端設(shè)有聚光單元，控制模塊接收并依據(jù)第三檢驗(yàn)信號(hào)而驅(qū)使升降單元朝第一方向進(jìn)行位移，以使照明攝像模塊趨近于檢測(cè)物，并控制第一照明模塊朝承載模塊位移，以使聚光單元位移至旋轉(zhuǎn)位移單元與承載模塊之間，并對(duì)應(yīng)照明攝像模塊，并且，控制模塊控制旋轉(zhuǎn)位移單元帶動(dòng)承載模塊進(jìn)行位移，并控制聚光單元透過(guò)開(kāi)口朝檢測(cè)物的若干個(gè)通口的其中一通口投射聚光源，以使照明攝像模塊依序獲取若干個(gè)通口的影像，并產(chǎn)生若干個(gè)通口影像。

優(yōu)選地，裝置本體的一面設(shè)有支撐單元，光罩檢測(cè)裝置還包含第二攝像模塊、第一測(cè)量模塊及第二照明模塊。第二攝像模塊設(shè)置在支撐單元上，以對(duì)檢測(cè)物進(jìn)行影像獲取。第一測(cè)量模塊設(shè)置在第二攝像模塊的一側(cè)。第二照明模塊位在第二攝像模塊的另一側(cè)。其中，控制模塊接收并依據(jù)側(cè)壁檢測(cè)信號(hào)而控制旋轉(zhuǎn)位移單元帶動(dòng)承載模塊位移至第二攝像模塊的攝像區(qū)域，并且，控制模塊控制旋轉(zhuǎn)位移單元依序轉(zhuǎn)動(dòng)承載模塊，并控制第一測(cè)量模塊依序朝檢測(cè)物的一面上的框架的若干個(gè)內(nèi)壁面的其中一內(nèi)壁面分別投射第一測(cè)量光源，第一測(cè)量模塊接收各內(nèi)壁面所反射的若干個(gè)第一測(cè)量光源，以分別產(chǎn)生第一檢測(cè)距離信號(hào)，并且，控制模塊分別依據(jù)對(duì)應(yīng)各內(nèi)壁面的若干個(gè)第一檢測(cè)距離信號(hào)而驅(qū)使旋轉(zhuǎn)位移單元帶動(dòng)承載模塊朝第二方向、第三方向或水平旋轉(zhuǎn)進(jìn)行位移，以調(diào)整各內(nèi)壁面與第二攝像模塊距離預(yù)定攝像距離，并控制第二照明模塊朝各內(nèi)壁面投射第三光源，以及控制第二攝像模塊依序獲取各內(nèi)壁面的影像，以產(chǎn)生若干個(gè)內(nèi)壁檢測(cè)影像。

優(yōu)選地，裝置本體的一面活動(dòng)地設(shè)有支撐單元，光罩檢測(cè)裝置還包含第三攝像模塊及第二測(cè)量模塊。第三攝像模塊設(shè)置在支撐單元上，以對(duì)檢測(cè)物進(jìn)行影像獲取。第二測(cè)量模塊設(shè)置在第三攝像模塊的一側(cè)。其中，控制模塊接收并依據(jù)平坦檢測(cè)信號(hào)而控制旋轉(zhuǎn)位移單元帶動(dòng)承載模塊位移至第三攝像模塊的攝像區(qū)域，并且，控制模塊控制第二測(cè)量模塊依序朝檢測(cè)物的膜體的若干個(gè)表面區(qū)域分別投射第二測(cè)量光源，并接收若干個(gè)表面區(qū)域所反射的第二測(cè)量光源，以產(chǎn)生若干個(gè)第二檢測(cè)距離信號(hào)，控制模塊控制發(fā)光件透過(guò)開(kāi)口朝檢測(cè)物照射第一光源，并依據(jù)若干個(gè)第二檢測(cè)距離信號(hào)依序控制支撐單元進(jìn)行位移，以調(diào)整第三攝像模塊與各表面區(qū)域距離預(yù)設(shè)攝像距離，以及控制模塊控制第三攝像模塊分別對(duì)各表面區(qū)域進(jìn)行影像獲取，以產(chǎn)生若干個(gè)檢測(cè)物檢驗(yàn)影像，并且，控制模塊依據(jù)若干個(gè)第二檢測(cè)距離信號(hào)，以產(chǎn)生檢測(cè)物平坦度信息。

優(yōu)選地，光罩檢測(cè)裝置還可包含白光干涉影像獲取模塊，電耦接控制模塊，白光干涉影像獲取模塊接收若干個(gè)檢測(cè)物檢驗(yàn)影像，并通過(guò)白光對(duì)比干涉方式，以產(chǎn)生若干個(gè)異物尺寸信息及若干個(gè)異物位置信息。

根據(jù)本發(fā)明的目的，再提出一種光罩檢測(cè)方法，包含下列步驟：

通過(guò)控制模塊接收并依據(jù)校正檢測(cè)信號(hào)，以控制第一攝像模塊獲取檢測(cè)物的影像而產(chǎn)生待校正影像；

利用控制模塊接收并判斷待校正影像不符合預(yù)設(shè)校正影像時(shí)，控制模塊則控制旋轉(zhuǎn)位移單元以水平旋轉(zhuǎn)方式調(diào)整承載模塊的水平位置及旋轉(zhuǎn)角度，進(jìn)而調(diào)整檢測(cè)物的水平位置，而在控制模塊判斷待校正影像符合預(yù)設(shè)校正影像時(shí)，控制模塊則控制發(fā)光件透過(guò)開(kāi)口朝檢測(cè)物照射光源，并控制第一攝像模塊獲取檢測(cè)物的光罩區(qū)的影像而產(chǎn)生光罩檢測(cè)影像；以及

通過(guò)控制模塊接收并判斷光罩檢測(cè)影像的二維圖像，以取得光罩檢測(cè)信息，并檢測(cè)光罩檢測(cè)影像中的異常圖示而產(chǎn)生光罩異常信息。

優(yōu)選地，光罩檢測(cè)方法還包含下列步驟：

利用控制模塊接收并依據(jù)第一檢驗(yàn)信號(hào)而驅(qū)使升降單元朝第一方向進(jìn)行位移，以使照明攝像模塊趨近于檢測(cè)物；

通過(guò)控制模塊控制旋轉(zhuǎn)位移單元驅(qū)使發(fā)光件透過(guò)開(kāi)口朝檢測(cè)物投射第一光源，并控制旋轉(zhuǎn)位移單元以步進(jìn)方式朝第二方向或第三方向進(jìn)行位移，以帶動(dòng)承載模塊進(jìn)行位移；以及

利用控制模塊控制照明攝像模塊獲取檢測(cè)物的若干個(gè)第一區(qū)域的影像，并產(chǎn)生若干個(gè)第一檢測(cè)影像。

優(yōu)選地，光罩檢測(cè)方法還包含下列步驟：

通過(guò)控制模塊接收并依據(jù)第二檢驗(yàn)信號(hào)而驅(qū)使照明攝像模塊朝檢測(cè)物投射第二光源，并控制旋轉(zhuǎn)位移單元以步進(jìn)方式朝第二方向或第三方向進(jìn)行位移，以帶動(dòng)承載模塊進(jìn)行位移；以及

利用控制模塊控制照明攝像模塊獲取檢測(cè)物的若干個(gè)第二區(qū)域的影像，并產(chǎn)生若干個(gè)第二檢測(cè)影像。

優(yōu)選地，光罩檢測(cè)方法還包含下列步驟：

通過(guò)控制模塊接收并依據(jù)測(cè)量信號(hào)而控制測(cè)距模塊朝檢測(cè)物投射至少一測(cè)距光源；

利用測(cè)距模塊接收檢測(cè)物所反射的至少一測(cè)距光源，以產(chǎn)生檢驗(yàn)距離信號(hào)；

通過(guò)控制模塊接收并依據(jù)第一檢驗(yàn)信號(hào)及檢驗(yàn)距離信號(hào)而驅(qū)使升降單元朝第一方向進(jìn)行位移，以使照明攝像模塊與檢測(cè)物距離預(yù)定工作距離；

利用控制模塊控制旋轉(zhuǎn)位移單元驅(qū)使發(fā)光件透過(guò)開(kāi)口朝檢測(cè)物投射第一光源，并控制旋轉(zhuǎn)位移單元帶動(dòng)承載模塊進(jìn)行位移；以及

利用控制模塊控制照明攝像模塊獲取檢測(cè)物的若干個(gè)第一區(qū)域的影像，并產(chǎn)生若干個(gè)第一檢測(cè)影像。

優(yōu)選地，光罩檢測(cè)方法還包含下列步驟：

通過(guò)控制模塊接收并依據(jù)第三檢驗(yàn)信號(hào)而驅(qū)使升降單元朝第一方向進(jìn)行位移，以使照明攝像模塊趨近于檢測(cè)物；

利用控制模塊控制第一照明模塊朝承載模塊位移，以使聚光單元位移至旋轉(zhuǎn)位移單元與承載模塊之間，并對(duì)應(yīng)照明攝像模塊；

通過(guò)控制模塊控制旋轉(zhuǎn)位移單元帶動(dòng)承載模塊進(jìn)行位移，并控制聚光單元透過(guò)開(kāi)口朝檢測(cè)物的若干個(gè)通口的其中一通口投射聚光源；以及

利用控制模塊控制照明攝像模塊依序獲取若干個(gè)通口的影像，并產(chǎn)生若干個(gè)通口影像。

優(yōu)選地，光罩檢測(cè)方法還包含下列步驟：

通過(guò)控制模塊接收并依據(jù)側(cè)壁檢測(cè)信號(hào)而控制旋轉(zhuǎn)位移單元帶動(dòng)承載模塊位移至第二攝像模塊的攝像區(qū)域；

利用控制模塊控制第一測(cè)量模塊依序朝檢測(cè)物的一面上的框架的若干個(gè)內(nèi)壁面分別投射若干個(gè)第一測(cè)量光源，第一測(cè)量模塊接收各內(nèi)壁面所反射的若干個(gè)第一測(cè)量光源，以分別產(chǎn)生第一檢測(cè)距離信號(hào)；以及

通過(guò)控制模塊分別依據(jù)對(duì)應(yīng)各內(nèi)壁面的若干個(gè)第一檢測(cè)距離信號(hào)而驅(qū)使旋轉(zhuǎn)位移單元依序帶動(dòng)承載模塊朝第二方向、第三方向或水平旋轉(zhuǎn)進(jìn)行位移，以調(diào)整各內(nèi)壁面與第二攝像模塊距離預(yù)定攝像距離，并控制第二照明模塊朝各內(nèi)壁面投射第三光源，以及控制第二攝像模塊依序獲取各內(nèi)壁面的影像，以產(chǎn)生若干個(gè)內(nèi)壁檢測(cè)影像。

優(yōu)選地，光罩檢測(cè)方法還包含下列步驟：

通過(guò)控制模塊接收并依據(jù)平坦檢測(cè)信號(hào)而控制旋轉(zhuǎn)位移單元帶動(dòng)承載模塊位移至第三攝像模塊的攝像區(qū)域；

利用控制模塊控制第二測(cè)量模塊依序朝檢測(cè)物的膜體的若干個(gè)表面區(qū)域分別投射第二測(cè)量光源，并接收檢測(cè)物所反射的第二測(cè)量光源，以產(chǎn)生若干個(gè)第二檢測(cè)距離信號(hào)；

通過(guò)控制模塊控制發(fā)光件透過(guò)開(kāi)口朝檢測(cè)物照射第一光源，并依據(jù)若干個(gè)第二檢測(cè)距離信號(hào)依序控制支撐單元進(jìn)行位移，以調(diào)整第三攝像模塊與各表面區(qū)域距離預(yù)設(shè)攝像距離；

利用控制模塊控制第三攝像模塊分別對(duì)各表面區(qū)域進(jìn)行影像獲取，以產(chǎn)生若干個(gè)檢測(cè)物檢驗(yàn)影像；以及

通過(guò)控制模塊依據(jù)若干個(gè)第二檢測(cè)距離信號(hào)，以產(chǎn)生檢測(cè)物平坦度信息。

優(yōu)選地，光罩檢測(cè)方法還包含下列步驟：

通過(guò)白光干涉影像獲取模塊接收若干個(gè)檢測(cè)物檢驗(yàn)影像，并通過(guò)白光對(duì)比干涉方式，以產(chǎn)生若干個(gè)異物尺寸信息及若干個(gè)異物位置信息。

承上所述，依本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置及其方法，其可具有一或多個(gè)下述優(yōu)點(diǎn)：

（1）此光罩檢測(cè)裝置及其方法可通過(guò)攝像模塊所獲取的待校正影像，并與預(yù)設(shè)校正影像進(jìn)行比對(duì)，以供控制模塊依據(jù)判斷，從而具有校正光罩至正確放置位置的功效。

（2）此光罩檢測(cè)裝置及其方法可通過(guò)裝置本體驅(qū)使承載模塊以步進(jìn)方式進(jìn)行位移，并控制攝像模塊對(duì)檢測(cè)物的若干個(gè)區(qū)域進(jìn)行影像獲取，以取得高畫(huà)質(zhì)且清晰的微影像，進(jìn)而提供操作者判斷檢測(cè)物上是否存在異物，借此可提高檢測(cè)物異物檢測(cè)的準(zhǔn)確性。

（3）此光罩檢測(cè)裝置及其方法可通過(guò)于攝像模塊在獲取其中一檢測(cè)區(qū)域的檢測(cè)影像的前，先通過(guò)測(cè)量模塊對(duì)檢測(cè)區(qū)域進(jìn)行測(cè)量，待旋轉(zhuǎn)位移單元依據(jù)控制移動(dòng)后，攝像模塊再對(duì)檢測(cè)區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)影像的獲取，借以達(dá)到精密檢測(cè)的目的，并且，具有提升后續(xù)的微縮成功率的功效。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置的第一實(shí)施例的示意圖。

圖2為本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置的第一實(shí)施例的方塊圖。

圖3為本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置的第二實(shí)施例的第一示意圖。

圖4為本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置的第二實(shí)施例的第二示意圖。

圖5為本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置的第二實(shí)施例的第三示意圖。

圖6為本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置的第二實(shí)施例的第四示意圖。

圖7為本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置的第二實(shí)施例的方塊圖。

圖8為本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置的第三實(shí)施例的第一示意圖。

圖9為本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置的第三實(shí)施例的第二示意圖。

圖10為本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置的第三實(shí)施例的方塊圖。

圖11為本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置的第四實(shí)施例的示意圖。

圖12為本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置的第四實(shí)施例的方塊圖。

圖13為本發(fā)明的光罩檢測(cè)方法的第一流程圖。

圖14為本發(fā)明的光罩檢測(cè)方法的第二流程圖。

圖15為本發(fā)明的光罩檢測(cè)方法的第三流程圖。

圖16為本發(fā)明的光罩檢測(cè)方法的第四流程圖。

圖17為本發(fā)明的光罩檢測(cè)方法的第五流程圖。

具體實(shí)施方式

為了解本發(fā)明的技術(shù)特征、內(nèi)容與優(yōu)點(diǎn)及其所能達(dá)成的功效，現(xiàn)將本發(fā)明配合附圖，并以實(shí)施例的表達(dá)形式詳細(xì)說(shuō)明如下，而其中所使用的附圖，其主旨僅為示意及輔助說(shuō)明書(shū)的用，未必為本發(fā)明實(shí)施后的真實(shí)比例與精準(zhǔn)配置，故不應(yīng)因所附的圖式的比例與配置關(guān)系局限本發(fā)明于實(shí)際實(shí)施上的范圍，如上所述。

以下將參照相關(guān)附圖，說(shuō)明依本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置及其方法的實(shí)施例，為使便于理解，下述實(shí)施例中的相同元件以相同的符號(hào)標(biāo)示來(lái)說(shuō)明。

請(qǐng)參閱圖1及圖2，分別為本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置的第一實(shí)施例的示意圖及方塊圖。如圖所示，光罩檢測(cè)裝置1包含裝置本體10、承載模塊11、第一攝像模塊12及控制模塊13。裝置本體10的一面可活動(dòng)地設(shè)有旋轉(zhuǎn)位移單元100，旋轉(zhuǎn)位移單元100的一面設(shè)有發(fā)光件100a。承載模塊11懸設(shè)在旋轉(zhuǎn)位移單元100的一面，承載模塊11相對(duì)旋轉(zhuǎn)位移單元100一面可活動(dòng)地承載檢測(cè)物3，并且，承載模塊11本體具有開(kāi)口110。第一攝像模塊12懸設(shè)在裝置本體的一面?？刂颇K13電耦接旋轉(zhuǎn)位移單元100及第一攝像模塊12，控制模塊13接收并依據(jù)校正檢測(cè)信號(hào)130，以控制第一攝像模塊12獲取檢測(cè)物3的影像而產(chǎn)生待校正影像120，并且，控制模塊13接收并判斷待校正影像120不符合預(yù)設(shè)校正影像131，控制模塊13則控制旋轉(zhuǎn)位移單元100以水平旋轉(zhuǎn)方式調(diào)整承載模塊11的水平位置及旋轉(zhuǎn)角度，進(jìn)而調(diào)整檢測(cè)物3的水平位置，而在控制模塊13判斷待校正影像120符合預(yù)設(shè)校正影像131時(shí)，控制模塊13則控制發(fā)光件100a透過(guò)開(kāi)口110朝檢測(cè)物3照射第一光源，并控制第一攝像模塊12獲取檢測(cè)物3的光罩區(qū)30的影像而產(chǎn)生光罩檢測(cè)影像121，并且，控制模塊13接收并判斷光罩檢測(cè)影像121的二維圖像，以取得光罩檢測(cè)信息132，并檢測(cè)光罩檢測(cè)影像121中的異常圖示而產(chǎn)生光罩異常信息133。

具體來(lái)說(shuō)，本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置1可通過(guò)第一攝像模塊12所獲取的待校正影像120，并與預(yù)設(shè)校正影像131進(jìn)行比對(duì)，以供控制模塊13依據(jù)判斷，從而具有將光罩校正至正確放置位置的功效。因此，本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置1設(shè)置了裝置本體10、承載模塊11、第一攝像模塊12及控制模塊13。裝置本體10的一面可活動(dòng)地設(shè)有旋轉(zhuǎn)位移單元100，具有前后、左右的水平位移及水平旋轉(zhuǎn)等功能，旋轉(zhuǎn)位移單元100的一面設(shè)有發(fā)光件100a。承載模塊11懸設(shè)在旋轉(zhuǎn)位移單元100的一面，承載模塊11背對(duì)旋轉(zhuǎn)位移單元100的一面可活動(dòng)地承載檢測(cè)物3，并且，承載模塊11本體具有開(kāi)口110，其中，檢測(cè)物3可包含基板（如石英板）、框架及薄膜，基板具有光罩，框架設(shè)置在基板上，框架上覆蓋薄膜。第一攝像模塊12懸設(shè)在裝置本體的一面，用于對(duì)檢測(cè)物3進(jìn)行影像獲取?？刂颇K13電耦接旋轉(zhuǎn)位移單元100及第一攝像模塊11。

在光罩檢測(cè)裝置1進(jìn)行校正檢測(cè)物3的過(guò)程中，控制模塊13會(huì)先接收到校正檢測(cè)信號(hào)130，并依據(jù)校正檢測(cè)信號(hào)130進(jìn)行控制第一攝像模塊12獲取檢測(cè)物3的影像而產(chǎn)生待校正影像120，其中，校正檢測(cè)信號(hào)130可由操作者通過(guò)輸入裝置（圖中未給示，可為實(shí)體鍵盤(pán)或觸控平板等輸入裝置）輸入并傳送至控制模塊13。接著，控制模塊13會(huì)接收待校正影像120，并將其與預(yù)設(shè)校正影像131進(jìn)行比對(duì)，若控制模塊13判斷待校正影像120不符合預(yù)設(shè)校正影像131時(shí)，控制模塊13則控制旋轉(zhuǎn)位移單元100以水平旋轉(zhuǎn)方式調(diào)整承載模塊11的水平位置及旋轉(zhuǎn)角度，調(diào)整角度為0~360度之間。其中，調(diào)整承載模塊11的水平位置后，控制模塊13會(huì)再次驅(qū)控第一攝像模塊12對(duì)檢測(cè)物3進(jìn)行影像獲取，以產(chǎn)生另一待校正影像，并判斷另一待校正影像是否符合預(yù)設(shè)校正影像131，若否，則再驅(qū)使旋轉(zhuǎn)位移單元100以水平旋轉(zhuǎn)方式調(diào)整承載模塊11的水平位置，直到待校正影像符合預(yù)設(shè)校正影像131。

而在控制模塊13判斷待校正影像120符合預(yù)設(shè)校正影像131時(shí)，控制模塊13會(huì)發(fā)光件100a照射出第一光源，并透過(guò)開(kāi)口110照射至檢測(cè)物3，并且會(huì)控制第一攝像模塊12獲取檢測(cè)物3的光罩區(qū)30的影像而產(chǎn)生全區(qū)的光罩檢測(cè)影像121。最后，控制模塊13會(huì)判斷光罩檢測(cè)影像121上的二維圖像，可為條碼圖示，條碼圖示可包含光罩名稱(chēng)、類(lèi)型、尺寸等相關(guān)資訊，以取得對(duì)應(yīng)檢測(cè)物3的光罩檢測(cè)信息132，并檢測(cè)光罩檢測(cè)影像121中的異常圖示（如顆粒）而產(chǎn)生光罩異常信息133，以提供操作者了解檢測(cè)物3上是否存在異物等信息。

其中，控制模塊13進(jìn)一步可具有記憶體或硬碟等存儲(chǔ)裝置，以存儲(chǔ)上述各類(lèi)影像及信息等。

值得一提的是，本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置1在旋轉(zhuǎn)位移單元100與發(fā)光件100a之間進(jìn)一步還可設(shè)有一金屬網(wǎng)（未于圖中給示），優(yōu)選可為銅材質(zhì)，本發(fā)明光罩檢測(cè)裝置1通過(guò)設(shè)置金屬網(wǎng)，可隔離旋轉(zhuǎn)位移單元100對(duì)發(fā)光件100a所產(chǎn)生的電磁干擾，進(jìn)而避免影響發(fā)光件100a光源亮度。

請(qǐng)參閱圖3至圖7，分別為本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置的第二實(shí)施例的第一示意圖、第二示意圖、第三示意圖、第四示意圖及方塊圖。并請(qǐng)一并參閱圖1及圖2。如圖所示，本實(shí)施例中的光罩檢測(cè)裝置與上述第一實(shí)施例的光罩檢測(cè)裝置所述的相同元件的工作方式相似，故不在此贅述。然而，值得一提的是，在本實(shí)施例中，裝置本體10的一面懸設(shè)有升降單元101，光罩檢測(cè)裝置1優(yōu)選還可包含照明攝像模塊16，設(shè)置在升降單元101上，控制模塊13接收并依據(jù)第一檢驗(yàn)信號(hào)135a而驅(qū)使升降單元101朝第一方向進(jìn)行位移，以使照明攝像模塊16趨近于檢測(cè)物3，控制模塊13控制旋轉(zhuǎn)位移單元100驅(qū)使發(fā)光件100a透過(guò)開(kāi)口110朝檢測(cè)物3投射第一光源，及控制旋轉(zhuǎn)位移單元100以步進(jìn)方式朝第二方向或第三方向進(jìn)行位移，以帶動(dòng)承載模塊11進(jìn)行位移，并且，控制模塊13控制照明攝像模塊16獲取檢測(cè)物3的若干個(gè)第一區(qū)域30a的影像，并產(chǎn)生若干個(gè)第一檢測(cè)影像160。

舉例來(lái)說(shuō)，本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置1進(jìn)一步還設(shè)置了照明攝像模塊16，可具有自動(dòng)對(duì)焦功能。照明攝像模塊16設(shè)置在裝置本體10的一面所懸設(shè)的升降單元101上。在進(jìn)行檢測(cè)物3下表面是否存在異物時(shí)，操作者可先輸入第一檢驗(yàn)信號(hào)135a給予控制模塊13，以使控制模塊13根據(jù)接收到的第一檢驗(yàn)信號(hào)135a來(lái)驅(qū)使升降單元101朝第一方向（如上下方向或?yàn)閦軸方向）進(jìn)行位移，以使照明攝像模塊16趨近于檢測(cè)物3。而后，控制模塊13會(huì)控制旋轉(zhuǎn)位移單元100驅(qū)使發(fā)光件100a產(chǎn)生第一光源，并透過(guò)開(kāi)口110投射至檢測(cè)物3，并控制旋轉(zhuǎn)位移單元100以步進(jìn)方式朝以步進(jìn)方式朝第二方向（如前后或y軸等方向）或第三方向（如左右或x軸等方向）進(jìn)行位移，以帶動(dòng)承載模塊11進(jìn)行位移，而讓照明攝像模塊16可對(duì)檢測(cè)物3整個(gè)下表面中的各第一區(qū)域30a進(jìn)行影像獲取，并產(chǎn)生若干個(gè)第一檢測(cè)影像160。

借此，可取得檢測(cè)物3的下表面中各第一區(qū)域30a的清晰影像，進(jìn)而可提供操作者準(zhǔn)確判斷檢測(cè)物3的下表面上是否存在異物，從而提高了光罩檢測(cè)的準(zhǔn)確性。

進(jìn)一步來(lái)說(shuō)，控制模塊13可接收并依據(jù)第二檢驗(yàn)信號(hào)135b而驅(qū)使照明攝像模塊16朝檢測(cè)物3投射第二光源，并控制旋轉(zhuǎn)位移單元100以步進(jìn)方式朝第二方向或第三方向進(jìn)行位移，以帶動(dòng)承載模塊11進(jìn)行位移，且控制模塊13控制照明攝像模塊16獲取檢測(cè)物3的若干個(gè)第二區(qū)域30b的影像，并產(chǎn)生若干個(gè)第二檢測(cè)影像161。

也就是說(shuō)，本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置1進(jìn)一步還可檢視檢測(cè)物3上表面是否存在異物。因此，在操作者可先輸入第二檢驗(yàn)信號(hào)135b給予控制模塊13時(shí)，控制模塊13會(huì)根據(jù)接收到的第二檢驗(yàn)信號(hào)135b來(lái)驅(qū)使照明攝像模塊16朝檢測(cè)物3投射第二光源，并控制旋轉(zhuǎn)位移單元100以步進(jìn)方式朝以步進(jìn)方式朝第二方向（如前后或y軸等方向）或第三方向（如左右或x軸等方向）進(jìn)行位移，以帶動(dòng)承載模塊11進(jìn)行位移。而后，控制模塊13會(huì)控制照明攝像模塊16對(duì)檢測(cè)物3整個(gè)上表面中的各第二區(qū)域30b進(jìn)行影像獲取，并對(duì)應(yīng)產(chǎn)生若干個(gè)第二檢測(cè)影像161。

借此，可取得檢測(cè)物3的上表面中各第二區(qū)域30b的清晰影像，進(jìn)而可提供操作者準(zhǔn)確判斷檢測(cè)物3的下表面上是否存在異物，從而提高了光罩檢測(cè)的準(zhǔn)確性。

進(jìn)一步來(lái)說(shuō)，光罩檢測(cè)裝置1優(yōu)選還可包含測(cè)距模塊15，電連接控制模塊13，并設(shè)置在升降單元101上，控制模塊13接收并依據(jù)測(cè)量信號(hào)134而控制測(cè)距模塊15朝檢測(cè)物3投射至少一測(cè)距光源，測(cè)距模塊15接收檢測(cè)物3所反射的至少一測(cè)距光源，以產(chǎn)生檢驗(yàn)距離信號(hào)150，并且，控制模塊13接收并依據(jù)第一檢驗(yàn)信號(hào)135a及檢驗(yàn)距離信號(hào)150而驅(qū)使升降單元101朝第一方向進(jìn)行位移，以使照明攝像模塊16與檢測(cè)物3距離預(yù)定工作距離，控制模塊13控制旋轉(zhuǎn)位移單元100驅(qū)使發(fā)光件100a透過(guò)開(kāi)口110朝檢測(cè)物3投射第一光源，以及控制旋轉(zhuǎn)位移單元100帶動(dòng)承載模塊11進(jìn)行位移，并且，控制模塊13控制照明攝像模塊16獲取檢測(cè)物3的若干個(gè)第一區(qū)域30a的影像，并產(chǎn)生若干個(gè)第一檢測(cè)影像160。

因此，本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置1進(jìn)一步還設(shè)置了測(cè)距模塊15，電連接控制模塊13，并設(shè)置在升降單元101上。在進(jìn)行檢測(cè)物3的表面上是否存在異物時(shí)，操作者可先輸入測(cè)量信號(hào)134給予控制模塊13，以使控制模塊13驅(qū)使測(cè)距模塊15朝檢測(cè)物3投射至少一測(cè)距光源，并接收檢測(cè)物3所反射的至少一測(cè)距光源，以產(chǎn)生檢驗(yàn)距離信號(hào)150。其中，控制模塊13可控制測(cè)距模塊15朝檢測(cè)物3的不同區(qū)域分別投射測(cè)距光源，以測(cè)量檢測(cè)物3是否處于平整或傾斜狀態(tài)。而后，控制模塊13再根據(jù)接收到的光罩檢驗(yàn)信號(hào)135及檢驗(yàn)距離信號(hào)150，來(lái)驅(qū)使升降單元101朝第一方向（如上下方向或?yàn)閦軸方向）進(jìn)行位移，以使照明攝像模塊16與檢測(cè)物3距離預(yù)定工作距離（其依檢測(cè)物3的基板板厚而定，如3~5公分，但不以此為限）。而后，控制模塊13會(huì)控制旋轉(zhuǎn)位移單元100以步進(jìn)方式朝第二方向或第三方向進(jìn)行位移，以帶動(dòng)承載模塊11上檢測(cè)物3進(jìn)行位移，并控制使照明攝像模塊16獲取檢測(cè)物3的各第一區(qū)域30a的影像，并產(chǎn)生若干個(gè)第一檢測(cè)影像160。值得一提的是，相較于上述實(shí)施例，本實(shí)施例中通過(guò)測(cè)距模塊15所產(chǎn)生的檢驗(yàn)距離信號(hào)150，來(lái)調(diào)校照明攝像模塊16的焦距。

進(jìn)一步來(lái)說(shuō)，光罩檢測(cè)裝置1優(yōu)選還可包含第一照明模塊14，第一照明模塊14的一端可活動(dòng)地位在裝置本體10，第一照明模塊14的另一端設(shè)有聚光單元140，控制模塊13接收并依據(jù)第三檢驗(yàn)信號(hào)135c而驅(qū)使升降單元101朝第一方向進(jìn)行位移，以使照明攝像模塊16趨近于檢測(cè)物3，并控制第一照明模塊14朝承載模塊11位移，以使聚光單元140位移至旋轉(zhuǎn)位移單元100與承載模塊11之間，并對(duì)應(yīng)照明攝像模塊16，并且，控制模塊13控制旋轉(zhuǎn)位移單元100帶動(dòng)承載模塊11進(jìn)行位移，并控制聚光單元140透過(guò)開(kāi)口110朝檢測(cè)物3的若干個(gè)通口33的其中一通口33投射聚光源，以使照明攝像模塊16依序獲取若干個(gè)通口33的影像，并產(chǎn)生若干個(gè)通口影像162。

舉例來(lái)說(shuō)，本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置1進(jìn)一步還設(shè)置了第一照明模塊14，第一照明模塊14的一端可活動(dòng)地設(shè)置在裝置本體10的一面，并且，第一照明模塊14的另一端設(shè)有聚光單元140。在控制模塊13接收到第三檢驗(yàn)信號(hào)135c時(shí)，控制模塊13可根據(jù)接收到的第三檢驗(yàn)信號(hào)135c，來(lái)驅(qū)使升降單元101朝第一方向（如上下方向或?yàn)閦軸方向）進(jìn)行位移，以使照明攝像模塊16趨近于檢測(cè)物3距離預(yù)定工作距離；同時(shí)，控制模塊13也控制第一照明模塊14朝承載模塊11位移，以使聚光單元140位移至旋轉(zhuǎn)位移單元100與承載模塊11之間，即承載模塊11下方，聚光單元140可同軸對(duì)應(yīng)照明攝像模塊16。

而后，控制模塊13控制旋轉(zhuǎn)位移單元100以步進(jìn)方式朝第二方向或第三方向進(jìn)行位移，以帶動(dòng)承載模塊11上檢測(cè)物3進(jìn)行位移，并控制聚光單元140透過(guò)開(kāi)口110朝檢測(cè)物3的光罩區(qū)30投射聚光源，而使照明攝像模塊16可依序獲取檢測(cè)物3的各通口33的影像，并對(duì)應(yīng)產(chǎn)生若干個(gè)通口影像162。

請(qǐng)參閱圖8至圖10，分別為本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置的第三實(shí)施例的第一示意圖、第二示意圖及方塊圖。并請(qǐng)一并參閱圖1至圖7。如圖所示，本實(shí)施例中的光罩檢測(cè)裝置與上述第一實(shí)施例的光罩檢測(cè)裝置所述的相同元件的工作方式相似，故不在此贅述。然而，值得一提的是，在本實(shí)施例中，裝置本體10的一面設(shè)有支撐單元102，光罩檢測(cè)裝置1還包含第二攝像模塊19、第一測(cè)量模塊17及第二照明模塊18。第二攝像模塊19設(shè)置在支撐單元102上，以對(duì)檢測(cè)物3進(jìn)行影像獲取。第一測(cè)量模塊17設(shè)置在第二攝像模塊19的一側(cè)。第二照明模塊18位在第二攝像模塊19的另一側(cè)。其中，控制模塊13接收并依據(jù)側(cè)壁檢測(cè)信號(hào)136而控制旋轉(zhuǎn)位移單元100帶動(dòng)承載模塊11位移至第二攝像模塊19的攝像區(qū)域，且控制模塊13控制旋轉(zhuǎn)位移單元100依序轉(zhuǎn)動(dòng)承載模塊11，并控制第一測(cè)量模塊17依序朝檢測(cè)物3的一面上的框架34的若干個(gè)內(nèi)壁面31的其中一內(nèi)壁面31分別投射第一測(cè)量光源，第一測(cè)量模塊17接收各內(nèi)壁面31所反射的若干個(gè)第一測(cè)量光源，以分別產(chǎn)生第一檢測(cè)距離信號(hào)170，并且，控制模塊13分別依據(jù)對(duì)應(yīng)各內(nèi)壁面31的若干個(gè)第一檢測(cè)距離信號(hào)170而驅(qū)使旋轉(zhuǎn)位移單元100帶動(dòng)承載模塊11朝第二方向或第三方向進(jìn)行位移，以調(diào)整各內(nèi)壁面31與第二攝像模塊19距離預(yù)定攝像距離，并控制第二照明模塊18朝各內(nèi)壁面31投射第二光源，以及控制第二攝像模塊19依序獲取各內(nèi)壁面31的影像，以產(chǎn)生若干個(gè)內(nèi)壁檢測(cè)影像190。

具體來(lái)說(shuō)，本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置1進(jìn)一步還可檢測(cè)檢測(cè)物3的內(nèi)壁面31（如檢測(cè)物3的框架34的內(nèi)壁面31）。因此，光罩檢測(cè)裝置1進(jìn)一步設(shè)置第二攝像模塊19、第一測(cè)量模塊17及第二照明模塊18。第二攝像模塊19設(shè)置在裝置本體10的一面所設(shè)的支撐單元102上，用于對(duì)檢測(cè)物3的框架34的內(nèi)壁面31進(jìn)行影像獲取，第二攝像模塊19的一側(cè)設(shè)置了第一測(cè)量模塊17，另一側(cè)則設(shè)置了第二照明模塊18。在光罩檢測(cè)裝置1進(jìn)行檢測(cè)框架34的各內(nèi)壁面31時(shí)，控制模塊13會(huì)接收到側(cè)壁檢測(cè)信號(hào)136，并依序個(gè)別檢測(cè)框架34的各個(gè)內(nèi)壁面31，即檢測(cè)完其中一個(gè)內(nèi)壁面31后，才會(huì)旋轉(zhuǎn)框架34，再進(jìn)行檢測(cè)另一內(nèi)壁面31。因此，控制模塊13會(huì)先控制旋轉(zhuǎn)位移單元100帶動(dòng)承載模塊11位移至第二攝像模塊19的攝像區(qū)域中。接著，控制模塊13會(huì)控制旋轉(zhuǎn)位移單元100依序轉(zhuǎn)動(dòng)承載模塊11，并控制第一測(cè)量模塊17依序朝檢測(cè)物3的框架34的若干個(gè)內(nèi)壁面31分別投射第一測(cè)量光源，第一測(cè)量模塊17會(huì)接收各內(nèi)壁面31所反射的若干個(gè)第一測(cè)量光源，以分別產(chǎn)生第一檢測(cè)距離信號(hào)170。而后，控制模塊13會(huì)依據(jù)若干個(gè)第一檢測(cè)距離信號(hào)170調(diào)整內(nèi)壁面31與第二攝像模塊19距離預(yù)定攝像距離，即第二攝像模塊19的取像焦距，并控制第二攝像模塊19朝檢測(cè)物3的內(nèi)壁面31投射第二光源，并且，控制第二攝像模塊19依序獲取內(nèi)壁面31中各區(qū)域的影像。其中，在每一次檢測(cè)任一個(gè)內(nèi)壁面31時(shí)，會(huì)產(chǎn)生若干個(gè)第一檢測(cè)距離信號(hào)170，其代表內(nèi)壁面31整個(gè)表面中的各區(qū)域分別與第一測(cè)量模塊17的距離，同時(shí)也表示內(nèi)壁面31的各區(qū)域與第二攝像模塊19的距離，因此，在第二攝像模塊19每次獲取內(nèi)壁面31的影像前，控制模塊13可依據(jù)第一檢測(cè)距離信號(hào)170調(diào)整第二攝像模塊19與內(nèi)壁面31的預(yù)定攝像距離（即第二攝像模塊19可取得內(nèi)壁面31的清晰影像的距離）。本發(fā)明之光罩檢測(cè)裝置1通過(guò)不斷以步進(jìn)方式驅(qū)使旋轉(zhuǎn)位移單元100帶動(dòng)承載模塊11朝第二方向或第三方向進(jìn)行位移，并控制第二攝像模塊19獲取內(nèi)壁區(qū)域的影像，以產(chǎn)生若干個(gè)內(nèi)壁檢測(cè)影像190，進(jìn)而可提供操作者檢視檢測(cè)物3的內(nèi)壁面31是否存在異物。

請(qǐng)參閱圖11及圖12，分別為本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置的第四實(shí)施例的示意圖及方塊圖。并請(qǐng)一并參閱圖1至圖10。如圖所示，本實(shí)施例中的光罩檢測(cè)裝置與上述第一實(shí)施例的光罩檢測(cè)裝置所述的相同元件的工作方式相似，故不在此贅述。然而，值得一提的是，在本實(shí)施例中，裝置本體的一面活動(dòng)地設(shè)有支撐單元102，光罩檢測(cè)裝置1還包含第三攝像模塊21及第二測(cè)量模塊20。第三攝像模塊21設(shè)置在支撐單元102上，以對(duì)檢測(cè)物3進(jìn)行影像獲取。第二測(cè)量模塊20設(shè)置在第三攝像模塊21的一側(cè)。其中，控制模塊13接收并依據(jù)平坦檢測(cè)信號(hào)137而控制旋轉(zhuǎn)位移單元100帶動(dòng)承載模塊11位移至第三攝像模塊21的攝像區(qū)域，并且，控制模塊13控制第二測(cè)量模塊20依序朝檢測(cè)物3的膜體35的若干個(gè)表面區(qū)域32分別投射第二測(cè)量光源，并接收若干個(gè)表面區(qū)域32所反射的第二測(cè)量光源，以產(chǎn)生若干個(gè)第二檢測(cè)距離信號(hào)200，控制模塊控制發(fā)光件100a透過(guò)開(kāi)口110朝檢測(cè)物3照射第一光源，并依據(jù)若干個(gè)第二檢測(cè)距離信號(hào)200依序控制支撐單元102進(jìn)行位移，以調(diào)整第三攝像模塊21與各表面區(qū)域32距離預(yù)設(shè)攝像距離，以及控制模塊13控制第三攝像模塊21分別對(duì)各表面區(qū)域32進(jìn)行影像獲取，以產(chǎn)生若干個(gè)檢測(cè)物檢驗(yàn)影像210，并且，控制模塊13依據(jù)若干個(gè)第二檢測(cè)距離信號(hào)200，以產(chǎn)生檢測(cè)物平坦度信息138。

舉例來(lái)說(shuō)，本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置1進(jìn)一步還可檢測(cè)檢測(cè)物3的平坦度，如檢測(cè)物3的框架上薄膜的平坦度。因此，本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置1進(jìn)一步還可設(shè)置第三攝像模塊21及第二測(cè)量模塊20。第三攝像模塊21設(shè)置在裝置本體的一面所設(shè)的支撐單元102上，用于對(duì)檢測(cè)物3的膜體35進(jìn)行影像獲取，其中，膜體35可為防塵膜，并可設(shè)置在框架34上。第二測(cè)量模塊20設(shè)置在第三攝像模塊21的一側(cè)。在光罩檢測(cè)裝置1對(duì)檢測(cè)物3的膜體35的平坦度進(jìn)行檢測(cè)的同時(shí)，也可取得的膜體35表面是否存在異物，在檢測(cè)的過(guò)程中，控制模塊13會(huì)先接收平坦檢測(cè)信號(hào)137，并據(jù)以控制旋轉(zhuǎn)位移單元100帶動(dòng)承載模塊11位移至第三攝像模塊21的攝像區(qū)域。接著，控制模塊13控制第二測(cè)量模塊20依序朝檢測(cè)物3的膜體35的若干個(gè)表面區(qū)域32投射第二測(cè)量光源，并接收各表面區(qū)域32所反射的第二測(cè)量光源，以產(chǎn)生若干個(gè)第二檢測(cè)距離信號(hào)200，進(jìn)而可取得膜體35的膨脹度，并可進(jìn)行調(diào)整第三攝像模塊21與各表面區(qū)域32的工作距離）。而后，控制模塊13會(huì)控制發(fā)光件100a透過(guò)開(kāi)口110朝檢測(cè)物3照射第一光源，并依據(jù)若干個(gè)第二檢測(cè)距離信號(hào)200依序控制支撐單元102進(jìn)行位移，以調(diào)整第三攝像模塊21與各表面區(qū)域32距離預(yù)設(shè)攝像距離（預(yù)設(shè)攝像距離為第三攝像模塊21可清晰取得表面區(qū)域32的距離），并且，控制模塊13控制第三攝像模塊21對(duì)各表面區(qū)域32進(jìn)行影像獲取，以產(chǎn)生若干個(gè)檢測(cè)物檢驗(yàn)影像210。最后，控制模塊13將若干個(gè)第二檢測(cè)距離信號(hào)200進(jìn)行轉(zhuǎn)換，即可取得檢測(cè)物平坦度信息138，以提供操作者得知膜體35是否處于平坦或凹凸不平的狀態(tài)。

進(jìn)一步來(lái)說(shuō)，光罩檢測(cè)裝置1優(yōu)選還可包含白光干涉影像獲取模塊22，電耦接控制模塊13，白光干涉影像獲取模塊22接收若干個(gè)檢測(cè)物檢驗(yàn)影像190，并通過(guò)白光對(duì)比干涉方式，以產(chǎn)生若干個(gè)異物尺寸信息220及若干個(gè)異物位置信息221。也就是說(shuō)，本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置1進(jìn)一步可利用設(shè)置白光干涉影像獲取模塊22，以接收若干個(gè)檢測(cè)物檢驗(yàn)影像190，通過(guò)白光對(duì)比干涉方式，以取得檢測(cè)物3上各個(gè)異物的異物尺寸信息220（可為異物尺寸大小）以及若干個(gè)異物位置信息221（可為異物位在檢測(cè)物3的座標(biāo)信息），進(jìn)而提供操作者異物位在膜體35上的確切位置，以便于清除檢測(cè)物3上的異物；同時(shí)，白光干涉影像獲取模塊22也能以斷層掃描方式取得異物是位在膜體35上表面或是下表面等資訊。

盡管在前述說(shuō)明本發(fā)明的光罩檢測(cè)裝置的過(guò)程中，也已同時(shí)說(shuō)明本發(fā)明的光罩檢測(cè)方法的概念，但為求清楚起見(jiàn)，以下另給示步驟流程圖以詳細(xì)說(shuō)明。

請(qǐng)參閱圖13，為本發(fā)明的光罩檢測(cè)方法的第一流程圖，并請(qǐng)一并參閱圖1及圖2。如圖所示，本發(fā)明的光罩檢測(cè)方法包含下列步驟：

步驟s40：通過(guò)控制模塊接收并依據(jù)校正檢測(cè)信號(hào)，以控制第一攝像模塊獲取檢測(cè)物的影像而產(chǎn)生待校正影像；

步驟s41：利用控制模塊接收并判斷待校正影像不符合預(yù)設(shè)校正影像時(shí)，控制模塊則控制旋轉(zhuǎn)位移單元以水平旋轉(zhuǎn)方式調(diào)整承載模塊的水平位置及旋轉(zhuǎn)角度，進(jìn)而調(diào)整檢測(cè)物的水平位置，而在控制模塊判斷待校正影像符合預(yù)設(shè)校正影像時(shí)，控制模塊則控制發(fā)光件透過(guò)開(kāi)口朝檢測(cè)物照射光源，并控制第一攝像模塊獲取檢測(cè)物的光罩區(qū)的影像而產(chǎn)生光罩檢測(cè)影像；以及

步驟s42：通過(guò)控制模塊接收并判斷光罩檢測(cè)影像的二維圖像，以取得光罩檢測(cè)信息，并檢測(cè)光罩檢測(cè)影像中的異常圖示而產(chǎn)生光罩異常信息。

請(qǐng)參閱圖14及圖15，為本發(fā)明的光罩檢測(cè)方法的第二流程圖及第三流程圖，并請(qǐng)一并參閱圖1至圖7。如圖所示，本發(fā)明的光罩檢測(cè)方法優(yōu)選還可包含下列步驟：

步驟s43：利用控制模塊接收并依據(jù)第一檢驗(yàn)信號(hào)而驅(qū)使升降單元朝第一方向進(jìn)行位移，以使照明攝像模塊趨近于檢測(cè)物；

步驟s44：通過(guò)控制模塊控制旋轉(zhuǎn)位移單元驅(qū)使發(fā)光件透過(guò)開(kāi)口朝檢測(cè)物投射第一光源，并控制旋轉(zhuǎn)位移單元以步進(jìn)方式朝第二方向或第三方向進(jìn)行位移，以帶動(dòng)承載模塊進(jìn)行位移；以及

步驟s45：利用控制模塊控制照明攝像模塊獲取檢測(cè)物的若干個(gè)第一區(qū)域的影像，并產(chǎn)生若干個(gè)第一檢測(cè)影像。

進(jìn)一步來(lái)說(shuō)，光罩檢測(cè)方法優(yōu)選還可包含下列步驟：

步驟s46：通過(guò)控制模塊接收并依據(jù)第二檢驗(yàn)信號(hào)而驅(qū)使照明攝像模塊朝檢測(cè)物投射第二光源，并控制旋轉(zhuǎn)位移單元以步進(jìn)方式朝第二方向或第三方向進(jìn)行位移，以帶動(dòng)承載模塊進(jìn)行位移；以及

步驟s47：利用控制模塊控制照明攝像模塊獲取檢測(cè)物的若干個(gè)第二區(qū)域的影像，并產(chǎn)生若干個(gè)第二檢測(cè)影像。

進(jìn)一步來(lái)說(shuō)，光罩檢測(cè)方法優(yōu)選還可包含下列步驟：

步驟s48：通過(guò)控制模塊接收并依據(jù)第三檢驗(yàn)信號(hào)而驅(qū)使升降單元朝第一方向進(jìn)行位移，以使照明攝像模塊趨近于檢測(cè)物；

步驟s49：利用控制模塊控制第一照明模塊朝承載模塊位移，以使聚光單元位移至旋轉(zhuǎn)位移單元與承載模塊之間，并對(duì)應(yīng)照明攝像模塊；

步驟s50：通過(guò)控制模塊控制旋轉(zhuǎn)位移單元帶動(dòng)承載模塊進(jìn)行位移，并控制聚光單元透過(guò)開(kāi)口朝檢測(cè)物的若干個(gè)通口的其中一通口投射聚光源；以及

步驟s51：利用控制模塊控制照明攝像模塊依序獲取若干個(gè)通口的影像，并產(chǎn)生若干個(gè)通口影像。

進(jìn)一步來(lái)說(shuō)，光罩檢測(cè)方法優(yōu)選還可包含下列步驟：

步驟s450：通過(guò)控制模塊接收并依據(jù)測(cè)量信號(hào)而控制測(cè)距模塊朝檢測(cè)物投射至少一測(cè)距光源；

步驟s451：利用測(cè)距模塊接收檢測(cè)物所反射的至少一測(cè)距光源，以產(chǎn)生檢驗(yàn)距離信號(hào)；

步驟s452：通過(guò)控制模塊接收并依據(jù)第一檢驗(yàn)信號(hào)及檢驗(yàn)距離信號(hào)而驅(qū)使升降單元朝第一方向進(jìn)行位移，以使照明攝像模塊與檢測(cè)物距離預(yù)定工作距離；

步驟s453：利用控制模塊控制旋轉(zhuǎn)位移單元驅(qū)使發(fā)光件透過(guò)開(kāi)口朝檢測(cè)物投射第一光源，并控制旋轉(zhuǎn)位移單元帶動(dòng)承載模塊進(jìn)行位移；以及

步驟s454：利用控制模塊控制照明攝像模塊獲取檢測(cè)物的若干個(gè)第一區(qū)域的影像，并產(chǎn)生若干個(gè)第一檢測(cè)影像。

請(qǐng)參閱圖16，為本發(fā)明的光罩檢測(cè)方法的第四流程圖。并請(qǐng)一并參閱圖1至圖10。如圖所示，本發(fā)明的光罩檢測(cè)方法優(yōu)選還可包含下列步驟：

步驟s52：通過(guò)控制模塊接收并依據(jù)側(cè)壁檢測(cè)信號(hào)而控制旋轉(zhuǎn)位移單元帶動(dòng)承載模塊位移至第二攝像模塊的攝像區(qū)域；

步驟s53：利用控制模塊控制第一測(cè)量模塊依序朝檢測(cè)物的一面上的框架的若干個(gè)內(nèi)壁面分別投射若干個(gè)第一測(cè)量光源，第一測(cè)量模塊接收各內(nèi)壁面所反射的若干個(gè)第一測(cè)量光源，以分別產(chǎn)生第一檢測(cè)距離信號(hào)；以及

步驟s54：通過(guò)控制模塊分別依據(jù)對(duì)應(yīng)各內(nèi)壁面的若干個(gè)第一檢測(cè)距離信號(hào)而驅(qū)使旋轉(zhuǎn)位移單元依序帶動(dòng)承載模塊朝第二方向、第三方向或水平旋轉(zhuǎn)進(jìn)行位移，以調(diào)整各內(nèi)壁面與第二攝像模塊距離預(yù)定攝像距離，并控制第二照明模塊朝各內(nèi)壁面投射第三光源，以及控制第二攝像模塊依序獲取各內(nèi)壁面的影像，以產(chǎn)生若干個(gè)內(nèi)壁檢測(cè)影像。

請(qǐng)參閱圖17，為本發(fā)明的光罩檢測(cè)方法的第五流程圖，并請(qǐng)一并參閱圖1至圖12。如圖所示，本發(fā)明的光罩檢測(cè)方法優(yōu)選還可包含下列步驟：

步驟s55：通過(guò)控制模塊接收并依據(jù)平坦檢測(cè)信號(hào)而控制旋轉(zhuǎn)位移單元帶動(dòng)承載模塊位移至第三攝像模塊的攝像區(qū)域；

步驟s56：利用控制模塊控制第二測(cè)量模塊依序朝檢測(cè)物的膜體的若干個(gè)表面區(qū)域分別投射第二測(cè)量光源，并接收檢測(cè)物所反射的第二測(cè)量光源，以產(chǎn)生若干個(gè)第二檢測(cè)距離信號(hào)，并控制發(fā)光件透過(guò)開(kāi)口朝檢測(cè)物照射第一光源，以及控制第三攝像模塊對(duì)檢測(cè)物進(jìn)行影像獲取，以產(chǎn)生若干個(gè)檢測(cè)物檢驗(yàn)影像；

步驟s57：通過(guò)控制模塊控制發(fā)光件透過(guò)開(kāi)口朝檢測(cè)物照射第一光源，并依據(jù)若干個(gè)第二檢測(cè)距離信號(hào)依序控制支撐單元進(jìn)行位移，以調(diào)整第三攝像模塊與各表面區(qū)域距離預(yù)設(shè)攝像距離；

步驟s58：利用控制模塊控制第三攝像模塊分別對(duì)各表面區(qū)域進(jìn)行影像獲取，以產(chǎn)生若干個(gè)檢測(cè)物檢驗(yàn)影像；以及

步驟s59：通過(guò)控制模塊依據(jù)若干個(gè)第二檢測(cè)距離信號(hào)，以產(chǎn)生檢測(cè)物平坦度信息。

進(jìn)一步來(lái)說(shuō)，光罩檢測(cè)方法優(yōu)選還可包含下列步驟：

步驟s60：通過(guò)白光干涉影像獲取模塊接收若干個(gè)檢測(cè)物檢驗(yàn)影像，并通過(guò)白光對(duì)比干涉方式，以產(chǎn)生若干個(gè)異物尺寸信息及若干個(gè)異物位置信息。

以上所述僅為舉例性，而非為限制性。任何未脫離本發(fā)明的精神與范疇，而對(duì)其進(jìn)行的等效修改或變更，均應(yīng)包含在所附的權(quán)利要求書(shū)保護(hù)的范圍中。