本申請(qǐng)的發(fā)明涉及以各種目的朝對(duì)象物照射光的裝置以及方法。

背景技術(shù)：

光在工業(yè)上的利用在各種領(lǐng)域中正在發(fā)展，以各種目的來(lái)進(jìn)行朝對(duì)象物照射光。特別是，通過(guò)光使對(duì)象物的性質(zhì)變化的光處理的技術(shù)，在各種制品的制造工序中被廣泛利用。

例如，在液晶顯示器的制造工序中，近年，變得較多采用被稱為光取向的光處理。光取向?yàn)槿缦录夹g(shù)：在得到液晶顯示器用的取向?qū)?、視?chǎng)角補(bǔ)償膜用的取向?qū)訒r(shí)，通過(guò)對(duì)取向?qū)佑玫哪げ倪M(jìn)行光照射，由此得到取向膜(成為取向?qū)拥哪?。

在這樣的光處理的領(lǐng)域中，有時(shí)采用如下的構(gòu)成：預(yù)先向某個(gè)確定的區(qū)域照射光，將光處理的對(duì)象物(以下，稱為工件)以在該區(qū)域(以下，稱為照射區(qū)域)通過(guò)的方式進(jìn)行搬運(yùn)。在上述光取向的領(lǐng)域中，也如專利文獻(xiàn)1所示那樣，使用采用了這種構(gòu)成的裝置。

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2014－174287號(hào)公報(bào)

在進(jìn)行上述那樣的光處理的光照射裝置中，需要對(duì)工件賦予適當(dāng)?shù)墓饬?。?dāng)光量不足時(shí)，一般來(lái)說(shuō)光處理變得不充分，相反在光量過(guò)度的情況下，基于光的化學(xué)反應(yīng)發(fā)展，不能夠進(jìn)行適當(dāng)?shù)墓馓幚?。例如，光照射裝置所具備的光源，光輸出逐漸降低的情況較多。該情況是由劣化導(dǎo)致的情況較多，但即使沒(méi)有達(dá)到劣化程度，有時(shí)光輸出性能也從最初的狀態(tài)降低若干。

上述那樣的光照射裝置，以在照射區(qū)域中以規(guī)定的照度進(jìn)行光照射的情況為前提，以規(guī)定的速度對(duì)工件進(jìn)行搬運(yùn)而使其通過(guò)照射區(qū)域，由此對(duì)工件賦予規(guī)定量的光能量。由此，當(dāng)照度從預(yù)定的值降低時(shí)，直接導(dǎo)致光能量的降低，成為光處理不足。

考慮到這一點(diǎn)，日本特開(kāi)2014－174287號(hào)公報(bào)中公開(kāi)了在照射區(qū)域配置照度傳感器來(lái)確認(rèn)是否得到所希望的光照射能量的技術(shù)。在該公報(bào)中，在光照射結(jié)束后的工件的排出工序的期間中，將照度傳感器配置到照射區(qū)域，進(jìn)行光照射能量的確認(rèn)。

然而，即使在對(duì)工件進(jìn)行光照射以外的期間在照射區(qū)域中配置照度傳感器來(lái)進(jìn)行光照射能量的確認(rèn)，也不能保證在對(duì)實(shí)際的工件進(jìn)行光照射時(shí)賦予足夠的能量。例如，有可能存在如下情況：在對(duì)于工件的光照射中產(chǎn)生某種故障而光源的輸出降低、以不足的照度進(jìn)行了光照射的情況下，之后，在配置照度傳感器來(lái)進(jìn)行檢查之前的期間該故障消除(不穩(wěn)定地產(chǎn)生故障的情況)。在該情況下，成為不能夠掌握在光量不足的情況下進(jìn)行了處理的狀態(tài)。并且，在該情況下，當(dāng)在檢查后重新開(kāi)始處理時(shí)，還存在該故障又產(chǎn)生而在照度不足的情況進(jìn)行處理的情況，會(huì)進(jìn)一步進(jìn)行光量不足的處理。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本申請(qǐng)的發(fā)明是考慮到上述課題而進(jìn)行的，其目的在于提供光照射裝置以及光照射方法，在最佳的定時(shí)監(jiān)視是否對(duì)于對(duì)象物照射有適當(dāng)量的光，根據(jù)監(jiān)視結(jié)果對(duì)光源進(jìn)行適當(dāng)控制，由此常時(shí)對(duì)于對(duì)象物進(jìn)行適當(dāng)量的光照射。

為了解決上述課題，本申請(qǐng)的技術(shù)方案1記載的發(fā)明具有的構(gòu)成為，一種光照射裝置，具備朝照射區(qū)域照射光的光照射器、使對(duì)象物沿著以通過(guò)照射區(qū)域的形式設(shè)定的搬運(yùn)路搬運(yùn)的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)、以及控制器，

光照射器具備光源以及向光源供給電力的點(diǎn)亮電源，

搬運(yùn)機(jī)構(gòu)是以設(shè)定通過(guò)速度通過(guò)照射區(qū)域而搬運(yùn)對(duì)象物的機(jī)構(gòu)，該設(shè)定通過(guò)速度通過(guò)這樣的方式被確定：通過(guò)被光照射的照射區(qū)域，由此對(duì)象物所受到的光量成為規(guī)定值，

在該搬運(yùn)機(jī)構(gòu)上，設(shè)置有對(duì)在對(duì)象物通過(guò)照射區(qū)域時(shí)的光照射的強(qiáng)度或者量進(jìn)行測(cè)定的測(cè)定器，

控制器具備存儲(chǔ)部、以及對(duì)由點(diǎn)亮電源向光源供給的電力進(jìn)行控制的點(diǎn)亮控制單元，

存儲(chǔ)部存儲(chǔ)有對(duì)于對(duì)象物的光照射的強(qiáng)度或者量的基準(zhǔn)值即光基準(zhǔn)值，

點(diǎn)亮控制單元是將存儲(chǔ)部所存儲(chǔ)的光基準(zhǔn)值與測(cè)定器的測(cè)定值或者根據(jù)測(cè)定值計(jì)算出的計(jì)算值進(jìn)行比較、以其差分消失的方式向點(diǎn)亮電源發(fā)送控制指令信號(hào)的單元。

此外，為了解決上述課題，技術(shù)方案2記載的發(fā)明具有的構(gòu)成為，在上述技術(shù)方案1的構(gòu)成中，上述光基準(zhǔn)值為照度或者累計(jì)光量，

上述點(diǎn)亮控制單元是將上述光基準(zhǔn)值與從上述測(cè)定器進(jìn)行測(cè)定的結(jié)果得到的照度或者累計(jì)光量進(jìn)行比較、以使其差分消失的方式向上述點(diǎn)亮電源發(fā)送控制指令信號(hào)的單元。

此外，為了解決上述課題，技術(shù)方案3記載的發(fā)明具有的構(gòu)成為，在上述技術(shù)方案1或者2的構(gòu)成中，上述照射區(qū)域在與搬運(yùn)路交叉的方向上較長(zhǎng)，

上述光基準(zhǔn)值被設(shè)定為在上述照射區(qū)域的長(zhǎng)度方向即區(qū)域長(zhǎng)度方向上分布的光基準(zhǔn)值分布，并存儲(chǔ)于上述存儲(chǔ)部，

上述點(diǎn)亮控制單元根據(jù)上述測(cè)定器對(duì)上述強(qiáng)度或者量進(jìn)行了測(cè)定時(shí)的該測(cè)定器的區(qū)域長(zhǎng)度方向上的位置，從光基準(zhǔn)值分布中取得該位置的光基準(zhǔn)值，并通過(guò)其與所取得的光基準(zhǔn)值的比較來(lái)發(fā)送上述控制指令信號(hào)。

此外，為了解決上述課題，技術(shù)方案4記載的發(fā)明具有的構(gòu)成為，在上述技術(shù)方案1至3中任一項(xiàng)的構(gòu)成中，上述控制器遍及規(guī)定的控制間隔的光照射次數(shù)將上述測(cè)定器的測(cè)定值存儲(chǔ)于上述存儲(chǔ)部，

上述點(diǎn)亮控制單元是將基于控制間隔的光照射次數(shù)中的上述測(cè)定器的測(cè)定值的平均值或者各測(cè)定值而計(jì)算出的上述計(jì)算值的平均值與上述光基準(zhǔn)值進(jìn)行比較、以其差分消失的方式發(fā)送上述控制指令信號(hào)的單元。

此外，為了解決上述課題，技術(shù)方案5記載的發(fā)明具有的構(gòu)成為，在上述技術(shù)方案1至4中任一項(xiàng)的構(gòu)成中，上述光源設(shè)置有多個(gè)，能夠?qū)τ诟鞴庠吹拿總€(gè)設(shè)置有上述點(diǎn)亮電源，或者上述點(diǎn)亮電源能夠獨(dú)立地控制對(duì)于各光源的供給電力，

各光源對(duì)于分離的照射區(qū)域分別進(jìn)行光照射，照射區(qū)域間的區(qū)域是實(shí)際上照度成為零的區(qū)域，

在上述存儲(chǔ)部中，對(duì)于各照射區(qū)域設(shè)定有光基準(zhǔn)值并存儲(chǔ)，

上述測(cè)定器能夠?qū)τ诟髡丈鋮^(qū)域分別測(cè)定光照射的強(qiáng)度或者量，

上述點(diǎn)亮控制單元是將對(duì)于各照射區(qū)域得到的測(cè)定值或者根據(jù)該測(cè)定值計(jì)算出的計(jì)算值與對(duì)于該照射區(qū)域設(shè)定的光基準(zhǔn)值進(jìn)行比較、而向?qū)υ摴庹丈鋮^(qū)域進(jìn)行光照射的光源的點(diǎn)亮電源發(fā)送上述控制指令信號(hào)的單元。

此外，為了解決上述課題，技術(shù)方案6記載的發(fā)明具有的構(gòu)成為，在通過(guò)光照射器對(duì)照射區(qū)域照射了光的狀態(tài)下，通過(guò)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)將對(duì)象物向照射區(qū)域依次搬運(yùn)并使其以設(shè)定通過(guò)速度通過(guò)照射區(qū)域，由此對(duì)各對(duì)象物照射光的方法，

光照射器具備光源以及向光源供給電力的點(diǎn)亮電源，

設(shè)定通過(guò)速度是被確定為對(duì)象物所受到的光量成為規(guī)定值的速度，

該方法具備：

存儲(chǔ)步驟，將照射區(qū)域的光照射的強(qiáng)度或者量的基準(zhǔn)值即光基準(zhǔn)值存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部；

測(cè)定步驟，通過(guò)測(cè)定器對(duì)對(duì)象物通過(guò)照射區(qū)域時(shí)的光照射的強(qiáng)度或者量進(jìn)行測(cè)定；以及

點(diǎn)亮控制步驟，將在存儲(chǔ)步驟中存儲(chǔ)的光基準(zhǔn)值、以及在測(cè)定步驟中測(cè)定的測(cè)定值或者根據(jù)測(cè)定值計(jì)算出的計(jì)算值進(jìn)行比較，以其差分消失的方式向點(diǎn)亮電源發(fā)送控制指令信號(hào)。

此外，為了解決上述課題，技術(shù)方案7記載的發(fā)明具有的構(gòu)成為，在上述技術(shù)方案6的構(gòu)成中，上述光基準(zhǔn)值為照度或者累計(jì)光量，

上述點(diǎn)亮控制步驟是將上述光基準(zhǔn)值與上述測(cè)定器進(jìn)行測(cè)定的結(jié)果而得到的照度或者累計(jì)光量進(jìn)行比較、并以使其差分消失的方式向點(diǎn)亮電源發(fā)送控制指令信號(hào)的步驟。

此外，為了解決上述課題，技術(shù)方案8記載的發(fā)明具有的構(gòu)成為，在上述技術(shù)方案6或者7的構(gòu)成中，上述照射區(qū)域在與搬運(yùn)上述對(duì)象物的方向交叉的方向上較長(zhǎng)，

上述存儲(chǔ)步驟是將設(shè)定為在上述照射區(qū)域的長(zhǎng)度方向即區(qū)域長(zhǎng)度方向上分布的光基準(zhǔn)值分布的光基準(zhǔn)值向上述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)的步驟，

上述點(diǎn)亮控制步驟是根據(jù)上述測(cè)定器對(duì)上述強(qiáng)度或者量進(jìn)行了測(cè)定時(shí)的該測(cè)定器的區(qū)域長(zhǎng)度方向的位置、從光基準(zhǔn)值分布取得該位置的光基準(zhǔn)值，通過(guò)其與所取得的光基準(zhǔn)值的比較來(lái)發(fā)送上述控制指令信號(hào)的步驟。

此外，為了解決上述課題，技術(shù)方案9記載的發(fā)明具有的構(gòu)成為，在上述技術(shù)方案6至8中任一項(xiàng)的構(gòu)成中，上述測(cè)定步驟是遍及規(guī)定的控制間隔的光照射次數(shù)通過(guò)上述測(cè)定器對(duì)光照射的強(qiáng)度或者量進(jìn)行測(cè)定的步驟，

上述點(diǎn)亮控制步驟是將基于控制間隔的光照射次數(shù)中的上述測(cè)定器的測(cè)定值的平均值或者各測(cè)定值而計(jì)算出的上述計(jì)算值的平均值與上述光基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，以其差分消失的方式發(fā)送上述控制指令信號(hào)的步驟。

此外，為了解決上述課題，技術(shù)方案10記載的發(fā)明具有的構(gòu)成為，在上述技術(shù)方案6至9中任一項(xiàng)的構(gòu)成中，上述光源設(shè)置有多個(gè)，能夠?qū)τ诟鞴庠吹拿總€(gè)設(shè)置有上述點(diǎn)亮電源，或者上述點(diǎn)亮電源能夠獨(dú)立地控制對(duì)于各光源的供給電力，

各光源對(duì)于分離的照射區(qū)域分別進(jìn)行光照射，照射區(qū)域間的區(qū)域是實(shí)際上照度成為零的區(qū)域，

上述存儲(chǔ)步驟是將對(duì)于各照射區(qū)域設(shè)定的光基準(zhǔn)值向上述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)的步驟，

上述測(cè)定步驟是對(duì)于各照射區(qū)域分別測(cè)定光照射的強(qiáng)度或者量的步驟，

上述點(diǎn)亮控制步驟是將在上述測(cè)定步驟中根據(jù)對(duì)于各照射區(qū)域而得到的測(cè)定值或者根據(jù)該測(cè)定值計(jì)算出的計(jì)算值與對(duì)該照射區(qū)域設(shè)定的光基準(zhǔn)值進(jìn)行比較而向朝該光照射區(qū)域進(jìn)行光照射的光源的點(diǎn)亮電源發(fā)送上述控制指令信號(hào)的步驟。

發(fā)明的效果

如以下說(shuō)明的那樣，根據(jù)本申請(qǐng)的技術(shù)方案1或者6記載的發(fā)明，對(duì)朝對(duì)象物進(jìn)行光照射時(shí)的光照射的強(qiáng)度或者量進(jìn)行測(cè)定，根據(jù)其測(cè)定結(jié)果控制向光源的供給電力，因此能夠常時(shí)以最佳的強(qiáng)度或者量對(duì)于對(duì)象物進(jìn)行光照射。

此外，根據(jù)技術(shù)方案3或者8記載的發(fā)明，除了上述效果以外，光基準(zhǔn)值被設(shè)定、存儲(chǔ)為照射區(qū)域的長(zhǎng)度方向的分布，根據(jù)該方向上的測(cè)定器的測(cè)定時(shí)的位置、基于所取得的光基準(zhǔn)值來(lái)求出偏差量，因此能夠進(jìn)行極其精細(xì)、更高精度的電力控制。

此外，根據(jù)技術(shù)方案4或者9記載的發(fā)明，除了上述效果以外，在取得規(guī)定的控制間隔的次數(shù)的平均之后與光基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，因此不會(huì)由于不規(guī)則的重要因素而錯(cuò)誤地執(zhí)行控制。

此外，根據(jù)技術(shù)方案5或者10記載的發(fā)明，除了上述效果以外，由于成為多個(gè)光源分別朝分離的照射區(qū)域進(jìn)行光照射的構(gòu)成，將對(duì)于各照射區(qū)域的測(cè)定值與各個(gè)光基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，將控制指令信號(hào)向?qū)?yīng)的光源的點(diǎn)亮電源輸出，因此容易以規(guī)定的強(qiáng)度或者量進(jìn)行用于光照射的電力控制。

附圖說(shuō)明

圖1是第一實(shí)施方式的光照射裝置的立體概略圖。

圖2是第一實(shí)施方式的光照射裝置的主視概略圖。

圖3是第一實(shí)施方式的光照射裝置的側(cè)視概略圖。

圖4是對(duì)光基準(zhǔn)值進(jìn)行表示的主視概略圖。

圖5是根據(jù)處理時(shí)用照度計(jì)6的測(cè)定結(jié)果對(duì)光源11的點(diǎn)亮電源110進(jìn)行控制的控制系統(tǒng)的概略圖。

圖6是表示構(gòu)成點(diǎn)亮控制單元73的順序程序的一個(gè)例子的概略圖。

圖7是對(duì)第二實(shí)施方式的光基準(zhǔn)值的例子進(jìn)行表示的概略圖。

圖8是在第二實(shí)施方式中進(jìn)行光源11的電力控制的控制系統(tǒng)的概略圖。

圖9是對(duì)在第二實(shí)施方式中進(jìn)行電力控制的順序程序的部分進(jìn)行摘要表示的概略圖。

圖10是表示基于來(lái)自θ輸出部51以及y方向輸出部44的信息對(duì)處理時(shí)用照度計(jì)6的y方向的位置進(jìn)行確定的平面概略圖。

圖11是第三實(shí)施方式的光照射裝置的主視概略圖。

圖12是對(duì)控制器7中所安裝的順序程序的一部進(jìn)行摘要而概略地表示的流程圖。

圖13是對(duì)控制器7中所安裝的順序程序的一部進(jìn)行摘要而概略地表示的流程圖。

圖14是對(duì)關(guān)于處理時(shí)用照度計(jì)6的數(shù)量、配置的其他例子進(jìn)行表示的平面概略圖。

圖15是對(duì)處理時(shí)用照度計(jì)6的配置的另外的其他例子進(jìn)行表示的平面概略圖。

符號(hào)的說(shuō)明

1光照射器

11光源

110點(diǎn)亮電源

12鏡

13燈罩

14偏振元件

2工作臺(tái)

3搬運(yùn)機(jī)構(gòu)

31直線引導(dǎo)件

32固定件

33x方向移動(dòng)臺(tái)

4輔助移動(dòng)機(jī)構(gòu)

5θ移動(dòng)機(jī)構(gòu)

6處理時(shí)用照度計(jì)

7控制器

711臨時(shí)文件

712履歷數(shù)據(jù)文件

713順序程序

73點(diǎn)亮控制單元

732信號(hào)輸出部

74搬運(yùn)控制部

75y方向控制部

76θ移動(dòng)控制部

8光測(cè)定單元

84主照度計(jì)

85偏振光測(cè)定器

w工件

具體實(shí)施方式

接下來(lái)，對(duì)用于實(shí)施本申請(qǐng)發(fā)明的形態(tài)(以下，稱為實(shí)施方式)進(jìn)行說(shuō)明。在以下的說(shuō)明中，作為光照射的例子，列舉為了進(jìn)行光取向而照射偏振光的裝置以及方法。但是，本發(fā)明不限定于該用途的裝置以及方法。

圖1～圖3是實(shí)施方式的光照射裝置的概略圖，圖1是立體概略圖，圖2是主視概略圖，圖3是側(cè)視概略圖。圖1～圖3所示的光照射裝置具備：朝所設(shè)定的有效照射區(qū)域照射光的光照射器1；上側(cè)保持對(duì)象物w的工作臺(tái)2；沿著以通過(guò)有效照射區(qū)域的狀態(tài)設(shè)定的搬運(yùn)路搬運(yùn)對(duì)象物w的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3；以及對(duì)裝置的各部分進(jìn)行控制的控制器7。在該實(shí)施方式中，為了進(jìn)行光處理而進(jìn)行光照射。以下，將對(duì)象物w稱為工件。

首先，對(duì)有效照射區(qū)域以及搬運(yùn)路進(jìn)行說(shuō)明。

在僅稱為“照射區(qū)域”的情況下，存在廣泛地指光所照射的區(qū)域的情況、以及作為應(yīng)該照射光的區(qū)域而設(shè)定的區(qū)域的情況這兩個(gè)含義?！坝行д丈鋮^(qū)域”的含義為，被預(yù)先設(shè)定為通過(guò)作為對(duì)于工件w的光處理而有效的照度被照射光的區(qū)域的區(qū)域，是上述兩個(gè)含義中后者的含義。在本實(shí)施方式中，在照射面中實(shí)際上沒(méi)有向有效照射區(qū)域外照射的光，有效照射區(qū)域與廣泛含義的照射區(qū)域一致。由此，不需要進(jìn)行區(qū)別，在以下的說(shuō)明中，“照射區(qū)域”按照有效照射區(qū)域(設(shè)定區(qū)域)的含義來(lái)使用。

在本實(shí)施方式中，照射區(qū)域被設(shè)定為長(zhǎng)方形的區(qū)域。為了方便，將長(zhǎng)方形的長(zhǎng)邊方向稱為y方向，將短邊方向稱為x方向。搬運(yùn)路被設(shè)定通過(guò)照射區(qū)域，但在本實(shí)施方式中，搬運(yùn)路的朝向與x方向一致。即，照射區(qū)域與搬運(yùn)路交叉(在y方向上正交)。

關(guān)于工件w，當(dāng)將y方向的長(zhǎng)度作為“寬度”時(shí)，照射區(qū)域的y方向的長(zhǎng)度，與工件w的寬度相比為足夠長(zhǎng)。因此，當(dāng)工件w被沿著搬運(yùn)路搬運(yùn)而通過(guò)照射區(qū)域時(shí)，工件w的上面的整個(gè)區(qū)域被光照射。

另外，在本實(shí)施方式中，工件w成為方形板狀部件，但如后述那樣，工作臺(tái)2能夠圍繞上下方向的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，因此通過(guò)旋轉(zhuǎn)而工件w的寬度的大小變動(dòng)。由此，照射區(qū)域的大小被設(shè)定為，即使在寬度最大的情況下，照射區(qū)域的y方向的長(zhǎng)度也比工件w的寬度大。

對(duì)這樣的照射區(qū)域進(jìn)行光照射的光照射器1，由光源11、覆蓋光源11的背后的鏡12、以及對(duì)這些進(jìn)行收容的燈罩13等構(gòu)成。如上述那樣，照射區(qū)域?yàn)殚L(zhǎng)方形，因此光源11采用具有在y方向上較長(zhǎng)的發(fā)光部的棒狀的光源。本實(shí)施方式的裝置為照射紫外線的裝置，因此采用放射紫外線的高壓水銀燈、金屬鹵化物燈那樣的棒狀的放電燈。光源11被配置為長(zhǎng)邊方向與y方向一致的狀態(tài)。另外，作為光源11，能夠使用將多個(gè)由led、ld等構(gòu)成的紫外線發(fā)光元件在y方向上配置為陣列狀的光源。

光源11具備點(diǎn)亮電源110。點(diǎn)亮電源110包括將適當(dāng)?shù)碾娏ο蚬庠?1供給而使其穩(wěn)定地進(jìn)行光輸出的電源電路。

鏡12也是在y方向上較長(zhǎng)，是所謂的槽狀鏡。鏡12的反射面的x方向上的截面形狀，成為橢圓圓弧或者拋物線。

本實(shí)施方式成為光取向用的光照射裝置，光照射器11將向規(guī)定的朝向偏振了的光向照射區(qū)域照射。具體地說(shuō)，如圖1～圖3所示那樣，在燈罩13內(nèi)設(shè)置有偏振元件14。作為偏振元件14，在本實(shí)施方式中使用格柵偏振元件。格柵偏振元件，是在透明基板上形成有微小條紋(線和空間)狀的格柵的構(gòu)造的元件，且是使構(gòu)成格柵的各線狀部的分離間隔成為所偏振的光的波長(zhǎng)程度或者比其短的距離的構(gòu)造的元件。

難以通過(guò)一個(gè)偏振元件14來(lái)覆蓋寬度大的照射區(qū)域，因此在本實(shí)施方式中，采用將多個(gè)偏振元件14沿y方向排列而單元化的構(gòu)造。即，沿y方向排列的多個(gè)偏振元件14、以及由保持了各偏振元件14的未圖示的框架等形成的偏振元件單元搭載于燈罩13內(nèi)。各偏振元件14位于光源11與照射區(qū)域之間。

如圖1所示那樣，工作臺(tái)2為臺(tái)狀的部件，在本實(shí)施方式中成為在俯視中為方形的部件。工作臺(tái)2具備多個(gè)未圖示的支撐銷。各支撐銷從工作臺(tái)2的上面稍微突出。各支撐銷中的一部分為管狀，進(jìn)行用于真空吸附的吸氣。工作臺(tái)2在各支撐銷上進(jìn)行真空吸附并且進(jìn)行保持。

另外，工作臺(tái)2具備未圖示的對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)。對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)是讀取設(shè)置在工件w上的未圖示的標(biāo)記而對(duì)工件w的位置、姿勢(shì)進(jìn)行微調(diào)的機(jī)構(gòu)。

在本實(shí)施方式中，搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3成為采用了直線馬達(dá)的機(jī)構(gòu)。具體地說(shuō)，搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3具備與x方向平行地延伸的直線引導(dǎo)件31、以及磁石以沿x方向延伸的方式配置的直線馬達(dá)的定子32。然后，設(shè)置有移動(dòng)臺(tái)(以下，稱為x方向移動(dòng)臺(tái))33，該移動(dòng)臺(tái)33設(shè)置有相對(duì)于定子32被驅(qū)動(dòng)的可動(dòng)件。x方向移動(dòng)臺(tái)33的移動(dòng)通過(guò)使可動(dòng)件的各磁極的極性依次改變來(lái)進(jìn)行。另外，x方向移動(dòng)臺(tái)33具有與直線引導(dǎo)件31嵌合的槽，隨著直線馬達(dá)32的動(dòng)作，被直線引導(dǎo)件31引導(dǎo)并且在x方向上移動(dòng)。此外，作為搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，還能夠采用適用了滾珠絲杠的機(jī)構(gòu)。

此外，在本實(shí)施方式中，設(shè)置有使工作臺(tái)2沿y方向直線移動(dòng)的機(jī)構(gòu)(以下，稱為輔助移動(dòng)機(jī)構(gòu))4、以及使各工作臺(tái)2圍繞上下方向的軸旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)(以下，稱為θ移動(dòng)機(jī)構(gòu))5。關(guān)于輔助移動(dòng)機(jī)構(gòu)4，也采用直線馬達(dá)方式的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)。

然后，如圖1所示那樣，在y方向移動(dòng)臺(tái)43上固定有θ移動(dòng)機(jī)構(gòu)5，并以通過(guò)該θ移動(dòng)機(jī)構(gòu)5軸支撐的狀態(tài)安裝有工作臺(tái)2。θ移動(dòng)機(jī)構(gòu)5為如下機(jī)構(gòu)：包括伺服馬達(dá)，使工作臺(tái)2相對(duì)于基準(zhǔn)方向朝所指定的角度旋轉(zhuǎn)，并能夠保持其姿勢(shì)?；鶞?zhǔn)方向例如為x方向。通過(guò)這樣的機(jī)構(gòu)，工作臺(tái)2能夠在x方向上搬運(yùn)，并且能夠在y方向以及θ方向上移動(dòng)。

為了控制對(duì)于工件w的光照射的強(qiáng)度或者量，而具備能夠在每次處理時(shí)對(duì)照射區(qū)域中的照度進(jìn)行測(cè)定的照度計(jì)(以下，稱為處理時(shí)用照度計(jì))6。另外，在實(shí)施方式的說(shuō)明中，照度是指光照射的強(qiáng)度且是放射照度(w/m²)。照度計(jì)對(duì)照射區(qū)域的放射照度進(jìn)行測(cè)定。此外，照射量是照射區(qū)域中的光能量量，“光量”嚴(yán)格來(lái)說(shuō)為“累計(jì)光量”。累計(jì)光量(j/m²)＝照度(w/m²)×照射時(shí)間(sec)。

在實(shí)施方式中，處理時(shí)用照度計(jì)6安裝在工作臺(tái)2上，結(jié)果，能夠與工作臺(tái)2一體地移動(dòng)。具體地說(shuō)明，在本實(shí)施方式中，處理時(shí)用照度計(jì)6安裝在工作臺(tái)2的側(cè)面21上。如上所述，工作臺(tái)2是在俯視中為方形的臺(tái)狀的部件。當(dāng)將方形的一邊的方向朝向x方向的狀態(tài)設(shè)為穩(wěn)定姿勢(shì)時(shí)，在本實(shí)施方式中，固定在穩(wěn)定姿勢(shì)的工作臺(tái)2的沿著x方向的側(cè)面21上。

作為處理時(shí)用照度計(jì)6，使用將si光電二極管等用作為受光元件的照度計(jì)。處理時(shí)用照度計(jì)6以受光面朝向上方的姿勢(shì)固定。如圖3所示那樣，處理時(shí)用照度計(jì)6的受光面與載放于工作臺(tái)2的工件w的上面成為相同高度。這一點(diǎn)的意義在于，在盡可能與工件w相同的狀態(tài)下進(jìn)行照度測(cè)定。另外，關(guān)于處理時(shí)用照度計(jì)6的安裝，例如也可以采用如下模式，使用對(duì)處理時(shí)用照度計(jì)6進(jìn)行保持的支架固定在工作臺(tái)2的側(cè)面21上。

另一方面，與處理時(shí)用照度計(jì)6相區(qū)別地，裝置還具有光測(cè)定單元8。光測(cè)定單元8在通常的處理時(shí)，處于與照射區(qū)域分離的待機(jī)位置，在維護(hù)等時(shí)配置于照射區(qū)域而使用。光測(cè)定單元8除了測(cè)定照射區(qū)域的照度以外，還具有對(duì)所照射的偏振光的偏振軸的朝向進(jìn)行測(cè)定的功能。

如圖1所示那樣，光測(cè)定單元8搭載在搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3上，通常在設(shè)定于x方向的一方側(cè)的端部的待機(jī)位置進(jìn)行待機(jī)。待機(jī)位置例如被設(shè)定于裝載位置的外側(cè)(遠(yuǎn)離照射區(qū)域的一側(cè))。

光測(cè)定單元8包括搭載在直線引導(dǎo)件31以及定子32上的x方向移動(dòng)臺(tái)81、搭載在x方向移動(dòng)臺(tái)81上的y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)82以及y方向移動(dòng)臺(tái)83、固定在y方向移動(dòng)臺(tái)83上的主照度計(jì)84、以及同樣固定在y方向移動(dòng)臺(tái)83上的偏振光測(cè)定器85等。y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)82同樣是使y方向移動(dòng)臺(tái)83沿y方向移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，可以是直線馬達(dá)方式的機(jī)構(gòu)，也可以是利用滾珠絲杠的機(jī)構(gòu)。

主照度計(jì)84同樣為，將si光電二極管等光電變換元件作為受光元件而內(nèi)置。受光面的高度與設(shè)置于工作臺(tái)2的照度計(jì)6同樣，與工作臺(tái)2所保持的工件w的表面為相同高度。

偏振光測(cè)定器85是用于對(duì)向照射區(qū)域照射的偏振光的朝向進(jìn)行監(jiān)視的測(cè)定器。偏振光測(cè)定器是具備受光元件、配置在受光元件的入射側(cè)的分析器、以及使分析器圍繞光軸(在該例中為上下方向)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)等的測(cè)定器。分析器為一種偏振元件，是使某個(gè)特定方向的直線偏振光選擇性地通過(guò)的板狀的光學(xué)部件。

分析器的板面配置為與光軸垂直，并向旋轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)。通過(guò)光照射器1內(nèi)的偏振元件14而偏振的偏振光照射于照射區(qū)域。在對(duì)該偏振光的偏振軸的朝向進(jìn)行檢查的情況下，使偏振光測(cè)定器85位于照射區(qū)域內(nèi)，使分析器旋轉(zhuǎn)。通過(guò)分析器的旋轉(zhuǎn)，受光元件的輸出周期性地變化。輸出成為最高時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度，表示所照射的偏振光的偏振軸的朝向。

接下來(lái)，對(duì)使用了處理時(shí)用照度計(jì)6的光源11的供給電力控制進(jìn)行說(shuō)明?？刂破?除了對(duì)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3的動(dòng)作進(jìn)行控制以外，還如圖3所示那樣對(duì)光源11的點(diǎn)亮電源110進(jìn)行控制。然后，處理時(shí)用照度計(jì)6與控制器7連接，處理時(shí)用照度計(jì)6的測(cè)定信號(hào)向控制器7輸入。

控制器7具備存儲(chǔ)了用于裝置的各部分的控制的設(shè)定信息、順序程序713等的存儲(chǔ)部71、以及執(zhí)行順序程序713等的處理器72等。存儲(chǔ)部71、處理器72作為所謂的plc(programmablelogiccontroller：可編程邏輯控制器)的要素而具備。此外，如后述那樣，存儲(chǔ)部71、處理器72具備對(duì)光源11的點(diǎn)亮電源110進(jìn)行控制的點(diǎn)亮控制單元。

首先，對(duì)為了進(jìn)行點(diǎn)亮控制而需要的光基準(zhǔn)值進(jìn)行說(shuō)明。圖4是對(duì)光基準(zhǔn)值進(jìn)行表示的主視概略圖。

光基準(zhǔn)值是用于適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行光照射處理的照度或者基于累計(jì)光量的基準(zhǔn)值。如圖4(2)所示那樣，通過(guò)在照射區(qū)域中通過(guò)而工件w受到的光能量的全量，由照度與照射時(shí)間的積、即以下的公式表示。

【數(shù)1】

累計(jì)光量(j/m²)＝照度(w/m²)×照射時(shí)間(sec)

由此，如果得知照射區(qū)域的照度以及在照射區(qū)域中通過(guò)的工件w的速度，則能夠計(jì)算累計(jì)光量。如圖4(2)所示那樣，在沿x方向觀察時(shí)，照度為在照射區(qū)域的外側(cè)照度急劇地降低、并成為零的分布。工件w在接受如此分布的光的同時(shí)前進(jìn)。

即，為了對(duì)工件w進(jìn)行適當(dāng)?shù)墓庹丈涮幚?，需要?duì)照度計(jì)測(cè)定的照度、或者考慮了搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3所具有的工件w的速度數(shù)據(jù)(照射時(shí)間)的累計(jì)光量進(jìn)行控制。將該照度或者基于累計(jì)光量的基準(zhǔn)值設(shè)為光基準(zhǔn)值。

在實(shí)施方式那樣、工件w通過(guò)在照射區(qū)域中通過(guò)而接受光照射的構(gòu)成中，在照射區(qū)域整體中通過(guò)時(shí)的光量的全量為工件w所接受的累計(jì)光量。作為為了執(zhí)行處理所需的能量量的光量，使用該累計(jì)光量的值來(lái)設(shè)定。此時(shí)，累計(jì)光量如上所述是照度與照射時(shí)間之積，因此根據(jù)工件w在照射區(qū)域中通過(guò)的通過(guò)速度而改變。由此，作為處理所需要的能量量，首先設(shè)定成為基準(zhǔn)的累計(jì)光量(基準(zhǔn)光量)e的值，并根據(jù)與照射區(qū)域的照度之間的關(guān)系來(lái)設(shè)定通過(guò)速度v(以下，稱為設(shè)定通過(guò)速度)。將照射區(qū)域外側(cè)的區(qū)域視為照度零，來(lái)對(duì)設(shè)定通過(guò)速度v進(jìn)行設(shè)定。如此設(shè)定的基準(zhǔn)光量e和設(shè)定通過(guò)速度v存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部71。

控制器7向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3發(fā)送控制信號(hào)，以使工作臺(tái)2以設(shè)定通過(guò)速度v移動(dòng)，另一方面，使點(diǎn)亮控制單元?jiǎng)幼?，?duì)光源11的點(diǎn)亮電源110進(jìn)行控制。使用圖5對(duì)這一點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明。圖5是基于處理時(shí)用照度計(jì)6的測(cè)定結(jié)果對(duì)光源11的點(diǎn)亮電源110進(jìn)行控制的控制系統(tǒng)的概略圖。

如圖5所示那樣，點(diǎn)亮控制單元73具備：光量計(jì)算部731，根據(jù)來(lái)自處理時(shí)用照度計(jì)6的照度測(cè)定值，計(jì)算累計(jì)光量；以及信號(hào)輸出部732，將計(jì)算出的累計(jì)光量與存儲(chǔ)部71所存儲(chǔ)的基準(zhǔn)光量進(jìn)行比較，以使其差分消失的方式輸出信號(hào)。在存儲(chǔ)部71中存儲(chǔ)有將從處理時(shí)用照度計(jì)6發(fā)送的照度測(cè)定值作為照度數(shù)據(jù)而臨時(shí)記錄的臨時(shí)文件711。光量計(jì)算部731是從臨時(shí)文件711讀取照度數(shù)據(jù)而計(jì)算累計(jì)光量的單元。如圖5所示那樣，信號(hào)輸出部732與點(diǎn)亮電源110連接。從信號(hào)輸出部732輸出的信號(hào)，是使對(duì)于光源11的供給電力增減的指令信號(hào)。是與當(dāng)前的供給電力相比增加○○％、或者減少○○％這樣的信號(hào)。信號(hào)輸出部732例如為，如果所測(cè)定的照度比作為光基準(zhǔn)值的照度少2％，則將用于以使照度上升2％而累計(jì)光量成為基準(zhǔn)光量100％的方式增加供給電力的輸出信號(hào)向點(diǎn)亮電源110發(fā)送。

此外，控制器7具備搬運(yùn)控制部74、y方向控制部75以及θ方向控制部76。如后述那樣，這些部，通過(guò)順序程序713以及執(zhí)行該順序程序713的處理器72構(gòu)成，對(duì)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3、輔助移動(dòng)機(jī)構(gòu)4以及θ移動(dòng)機(jī)構(gòu)5進(jìn)行控制。

另外，臨時(shí)文件711是以規(guī)定的取樣周期對(duì)處理時(shí)用照度計(jì)6的輸出(照度測(cè)定值)進(jìn)行了記錄的文件。

此外，存儲(chǔ)部71存儲(chǔ)有記錄了對(duì)于各工件w的處理履歷的履歷數(shù)據(jù)文件712。履歷數(shù)據(jù)文件712按照對(duì)各工件w賦予的每個(gè)id(工件id)記錄了處理履歷，處理履歷還包括對(duì)該工件w進(jìn)行處理時(shí)的光量。

光量計(jì)算部731、信號(hào)輸出部732能夠通過(guò)硬件來(lái)實(shí)現(xiàn)，但在本實(shí)施方式中通過(guò)軟件來(lái)實(shí)現(xiàn)，通過(guò)由處理器72執(zhí)行的順序程序713構(gòu)成。以下，對(duì)這一點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明。圖6是表示構(gòu)成點(diǎn)亮控制單元73的順序程序的一個(gè)例子的概略圖。

本實(shí)施方式的裝置對(duì)板狀的工件w進(jìn)行單張?zhí)幚?，但在以下的說(shuō)明中，將對(duì)于某個(gè)集中數(shù)量(1批)的工件w的處理的部分作為單位進(jìn)行說(shuō)明。在開(kāi)始批的處理時(shí)，光源11的點(diǎn)亮電源110將規(guī)定的初始值電力向光源11供給而使光源11點(diǎn)亮。該情況下的規(guī)定的初始值電力，有時(shí)是被設(shè)定為實(shí)現(xiàn)能夠得到基準(zhǔn)光量的照度的電力的電力值，也有時(shí)是前次的批的處理時(shí)所控制的最后的電力值。

在初始狀態(tài)下，工作臺(tái)2處于裝載位置。如圖6所示那樣，順序程序向機(jī)器人發(fā)送控制信號(hào)，將批的最初的工件w設(shè)置于工作臺(tái)2。然后，向未圖示的對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)發(fā)送控制信號(hào)，在使其進(jìn)行了對(duì)準(zhǔn)之后，向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3發(fā)送控制信號(hào)，并進(jìn)行一系列的工件w的搬運(yùn)動(dòng)作。即，使工作臺(tái)2沿x方向移動(dòng)而通過(guò)照射區(qū)域，在反轉(zhuǎn)位置使其反轉(zhuǎn)之后，返回到裝載位置。然后，向機(jī)器人發(fā)送控制信號(hào)，從工作臺(tái)2除去工件w。這期間，從處理時(shí)用照度計(jì)6向控制器7發(fā)送照度測(cè)定值，并按照每個(gè)取樣周期記錄于存儲(chǔ)部71的臨時(shí)文件711。

時(shí)序控制器7在通過(guò)未圖示的限位開(kāi)關(guān)等確認(rèn)了工作臺(tái)2返回到裝載位置之后，進(jìn)行累計(jì)光量計(jì)算。即，從臨時(shí)文件711讀出照度測(cè)定值，基于設(shè)定通過(guò)速度計(jì)算累計(jì)光量。所計(jì)算的累計(jì)光量與該工件w的工件id一起被記錄于履歷數(shù)據(jù)文件712。

在本實(shí)施方式中，按照每一定處理次數(shù)(工件處理數(shù))來(lái)進(jìn)行基于與基準(zhǔn)光量的比較結(jié)果的電力控制。將該次數(shù)作為控制間隔。如圖6所示那樣，順序程序反復(fù)進(jìn)行工件w向工作臺(tái)2的載放、搬運(yùn)(光照射)、工件w從工作臺(tái)2的除去這樣的一系列的處理。此時(shí)，對(duì)處理的次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，如果次數(shù)達(dá)到了控制間隔，則執(zhí)行電力控制的時(shí)序。此外，在圖6中，控制間隔數(shù)作為一個(gè)例子被設(shè)定為5。即，從履歷數(shù)據(jù)文件712讀出到該控制間隔為止的各處理的累計(jì)光量的數(shù)據(jù)，并計(jì)算平均值。然后，將平均值與基準(zhǔn)光量進(jìn)行比較，對(duì)其差分進(jìn)行計(jì)算。然后，生成用于消除差分的電力的控制指令信號(hào)，并將其向光源11的點(diǎn)亮電源110輸出。

接下來(lái)，對(duì)上述構(gòu)成的實(shí)施方式的光照射裝置的動(dòng)作進(jìn)行概略說(shuō)明。以下的說(shuō)明也是光照射方法的發(fā)明的實(shí)施方式的說(shuō)明。

1批的工件w通過(guò)agv(autoguidedvehicle：自動(dòng)導(dǎo)引車)那樣的批搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3預(yù)先搬運(yùn)到未圖示的機(jī)器人的位置。光照射器1使光源11以初始值電力的條件點(diǎn)亮。在該狀態(tài)下順序程序動(dòng)作，每次一個(gè)地對(duì)工件w進(jìn)行光照射。如果處理的次數(shù)達(dá)到了控制間隔，則順序程序基于照度值或者計(jì)算出的累計(jì)光量的平均值來(lái)進(jìn)行光源11的電力控制。當(dāng)直到批的最后的工件w為止進(jìn)行這樣的處理時(shí)，該批的處理結(jié)束，進(jìn)一步對(duì)下一批的工件w同樣反復(fù)進(jìn)行。

另外，θ移動(dòng)機(jī)構(gòu)5為了相對(duì)于所照射的偏振光來(lái)任意地調(diào)整工件w的朝向，而能夠根據(jù)裝置用戶的請(qǐng)求使用。即，當(dāng)利用θ移動(dòng)機(jī)構(gòu)5使工作臺(tái)2旋轉(zhuǎn)時(shí)，工作臺(tái)2上的工件w的朝向相對(duì)于從偏振元件14出射的偏振光的偏振軸變化。因此，所照射的偏振光的偏振軸的朝向被任意地調(diào)整。

此外，輔助移動(dòng)機(jī)構(gòu)4以使對(duì)于工件w的偏振光照射更均勻化等為目的而被適當(dāng)?shù)厥褂?。即，如日本特開(kāi)2015－4896號(hào)公報(bào)所公開(kāi)的那樣，在排列多個(gè)偏振元件的偏振元件單元中，在各偏振元件14的邊界部分正下方的位置偏振光容易變?nèi)?。為了消除該影響，在去路搬運(yùn)之后、在反轉(zhuǎn)位置使輔助移動(dòng)機(jī)構(gòu)4動(dòng)作，通過(guò)與去路不同的y方向的位置而進(jìn)行回路搬運(yùn)。此外，在多個(gè)光源沿著y方向排列配置的情況下，照度分布也容易變得不均勻，因此在去路和回路中在y方向上通過(guò)不同位置，而使累計(jì)光量均勻化。

根據(jù)上述構(gòu)成以及動(dòng)作的實(shí)施方式的光照射裝置以及光照射方法，測(cè)定向工件w進(jìn)行光照射時(shí)的照度，基于其測(cè)定結(jié)果控制向光源11的供給電力，因此常時(shí)以最佳的累計(jì)光量對(duì)工件w進(jìn)行光照射。

此時(shí)，在實(shí)施方式的裝置中，處理時(shí)用照度計(jì)6安裝于工作臺(tái)2而與工作臺(tái)2一體地移動(dòng)，因此在與工件w被光照射的狀況接近的狀況下測(cè)定照度。因此，電力控制的精度提高。另外，在本實(shí)施方式中，處理時(shí)用照度計(jì)6安裝于通過(guò)照射區(qū)域的位置，在這一點(diǎn)上可以說(shuō)在與工件w完全相同的狀況下測(cè)定照度。

此外，在實(shí)施方式的裝置中，根據(jù)照度計(jì)的照度測(cè)定結(jié)果來(lái)計(jì)算光量并將其與累計(jì)光量進(jìn)行比較，根據(jù)其結(jié)果來(lái)進(jìn)行控制，因此根據(jù)這一點(diǎn)能夠進(jìn)行更高精度的控制。

并且，在本實(shí)施方式中，在根據(jù)照度計(jì)算累計(jì)光量而作為基準(zhǔn)光量進(jìn)行比較時(shí)，在取得了規(guī)定的控制間隔的次數(shù)的平均之后與基準(zhǔn)光量進(jìn)行比較，因此不會(huì)基于例如由瞬間的燈電壓變動(dòng)導(dǎo)致的照度變動(dòng)等、不規(guī)則的重要因素來(lái)執(zhí)行控制。即，其原因在于，在僅在1次處理中確認(rèn)到光量降低的情況下，有時(shí)不能夠判斷為是由于光源11的劣化那樣的隨時(shí)間經(jīng)過(guò)的重要因素的光量降低。

為了避免這樣的情況，優(yōu)選在光量不足持續(xù)了幾次的情況下才首次進(jìn)行電力控制。即，判斷是否由于隨時(shí)間經(jīng)過(guò)的重要因素而產(chǎn)生光量不足的期間(處理次數(shù))稱為控制間隔。但是，在判斷為未產(chǎn)生上述那樣的不規(guī)則的重要因素的情況下，也有時(shí)不特別采用控制間隔，而只要產(chǎn)生1次光量不足就進(jìn)行電力控制。

另外，在上述裝置的動(dòng)作中，在反復(fù)進(jìn)行了一定程度的次數(shù)的處理之后的裝置的維護(hù)時(shí)，使用光測(cè)定單元8。即，在使工作臺(tái)2向相反側(cè)退避的狀態(tài)下，使x方向移動(dòng)臺(tái)81向x方向移動(dòng)，將光測(cè)定單元8中的例如偏振光測(cè)定器85配置到照射區(qū)域內(nèi)而對(duì)偏振光進(jìn)行測(cè)定。然后，根據(jù)測(cè)定結(jié)果，確認(rèn)偏振光的偏振軸的朝向是否朝向所希望的方向。此外，在將主照度計(jì)84配置到與處理時(shí)用照度計(jì)6相同的y方向位置上之后，使其在x方向上以設(shè)定通過(guò)速度通過(guò)并且測(cè)定照度，對(duì)累計(jì)光量進(jìn)行計(jì)算而檢測(cè)其與處理時(shí)用照度計(jì)6的差異。如果差異較大，則進(jìn)行處理時(shí)用照度計(jì)6的較正。即，主照度計(jì)84能夠用于處理時(shí)用照度計(jì)6的較正用。

接下來(lái)，對(duì)第二實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。

第二實(shí)施方式的光照射裝置，在也具備控制器7、并進(jìn)行光源11的供給電力控制這一點(diǎn)上與第一實(shí)施方式同樣，但在第二實(shí)施方式中，能夠在照射區(qū)域的長(zhǎng)度方向(y方向)上在不同位置上測(cè)定照度，光基準(zhǔn)值也被設(shè)定為在y方向上分布的值。

首先，對(duì)第二實(shí)施方式的光基準(zhǔn)值進(jìn)行說(shuō)明。

在第二實(shí)施方式中，光基準(zhǔn)值既可以是照度、也可以是累計(jì)光量。在以下的說(shuō)明中，例示地設(shè)為光基準(zhǔn)值為累計(jì)光量，但是，在累計(jì)光量的計(jì)算過(guò)程使用照度，因此也會(huì)提及照度。即，累計(jì)光量即光基準(zhǔn)值(基準(zhǔn)累計(jì)光量)，被設(shè)定為在y方向(照射區(qū)域長(zhǎng)度方向)上分布的值、即光基準(zhǔn)值分布。其既可以是照度分布、也可以是累計(jì)光量分布?！胺植嫉闹怠钡暮x為，對(duì)于y方向的至少兩個(gè)不同位置設(shè)定為在該位置應(yīng)該實(shí)現(xiàn)的值。

圖7是對(duì)第二實(shí)施方式的光基準(zhǔn)值的例子進(jìn)行表示的概略圖。在圖7中，縱軸表示光量，橫軸表示y方向的位置。在該例子中，光基準(zhǔn)值對(duì)y方向不同的七個(gè)位置的累計(jì)光量進(jìn)行了設(shè)定。

圖7所示那樣的光基準(zhǔn)值，通常通過(guò)在將新品的正常的光源11搭載于光照射器1的狀態(tài)下進(jìn)行光照射測(cè)試來(lái)取得。在第二實(shí)施方式的裝置中也設(shè)置有光測(cè)定單元8，光測(cè)定單元8內(nèi)的主照度計(jì)84能夠以該目的來(lái)使用。

在照射測(cè)試中，光源11以暫定基準(zhǔn)值的電力點(diǎn)亮。暫定基準(zhǔn)值是成為能夠得到裝置用戶所要求的累計(jì)光量的照度(基準(zhǔn)照度)的電力，根據(jù)設(shè)定通過(guò)速度、照射區(qū)域的x方向的長(zhǎng)度、光源11的規(guī)格等進(jìn)行反算而選定。

然后，在使工作臺(tái)2退避到規(guī)定的退避位置的狀態(tài)下，使搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3以及輔助移動(dòng)機(jī)構(gòu)4動(dòng)作，而使光測(cè)定單元8內(nèi)的主照度計(jì)84位于照射區(qū)域內(nèi)的規(guī)定位置。例如，使主照度計(jì)84位于照射區(qū)域的中央。在該狀態(tài)下對(duì)照度進(jìn)行測(cè)定，并檢查是否成為基準(zhǔn)照度。如果未成為基準(zhǔn)照度，則以成為基準(zhǔn)照度的方式對(duì)向光源11的供給電力進(jìn)行調(diào)整，使其與基準(zhǔn)照度充分一致。以成為基準(zhǔn)照度的方式進(jìn)行了調(diào)整的最終的供給電力的值，作為初始值電力而同樣地存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部71。

接下來(lái)，在使搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3動(dòng)作而使光測(cè)定單元8一度位于照射區(qū)域外之后，與處理時(shí)同樣地使光測(cè)定單元8往復(fù)運(yùn)動(dòng)，并使其以設(shè)定通過(guò)速度通過(guò)照射區(qū)域。根據(jù)此時(shí)的主照度計(jì)84的輸出來(lái)計(jì)算累計(jì)光量，并確認(rèn)是否與基準(zhǔn)光量充分一致。之后，在再次使光測(cè)定單元8成為光源11正下方的位置之后，使y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)82動(dòng)作，使主照度計(jì)84依次位于y方向的不同位置。然后，在各位置測(cè)定照度，得到y(tǒng)方向上的照度分布。此時(shí)，對(duì)照度的均勻性進(jìn)行確認(rèn)，并檢測(cè)是否進(jìn)入規(guī)定的范圍。如果未進(jìn)入，則可以認(rèn)為其原因?yàn)楣庠?1的照度分布狀態(tài)由于某種原因而惡化，因此對(duì)光源11進(jìn)行交換。如果確認(rèn)到均勻性進(jìn)入規(guī)定的范圍，則將所得到的照度分布作為照度分布即光基準(zhǔn)值(基準(zhǔn)照度分布)而存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部71。此外，以成為基準(zhǔn)照度的方式進(jìn)行了調(diào)整的最終的供給電力的值，作為初始值電力而同樣儲(chǔ)存于存儲(chǔ)部71。

接下來(lái)，使主照度計(jì)84再次以設(shè)定通過(guò)速度往復(fù)運(yùn)動(dòng)，并在照射區(qū)域中通過(guò)。此時(shí)，使主照度計(jì)84依次位于得到基準(zhǔn)照度分布的y方向的各位置，并在各位置往復(fù)運(yùn)動(dòng)而在照射區(qū)域中通過(guò)。然后，將在各位置得到的累計(jì)光量與該y方向的位置信息一起存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部71。該光量意味著y方向的各位置的基準(zhǔn)光量，以下，稱為基準(zhǔn)光量分布。

另外，有時(shí)在所得到的照度分布中計(jì)算平均值，并以在平均值中得到基準(zhǔn)光量的方式對(duì)初始值電力進(jìn)行微調(diào)。在上述例子中，在將主照度計(jì)84配置到照射區(qū)域的中央的狀態(tài)下，以成為基準(zhǔn)照度的方式對(duì)向光源11的供給電力進(jìn)行了調(diào)整，但照射區(qū)域的中央的照度為最高的情況較多，因此在其他位置，成為比基準(zhǔn)光量少的光量。即使如此，只要其差異足夠小就沒(méi)有問(wèn)題，但也可以考慮優(yōu)選設(shè)定為在照度分布的平均值中成為基準(zhǔn)光量。在該情況下，按照照射區(qū)域的中央測(cè)定的照度與照射區(qū)域內(nèi)的照度的平均值之間的偏離量，使初始值電力提高。

接下來(lái)，使用圖8對(duì)用于基于如此設(shè)定而存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部71的光量分布即光基準(zhǔn)值來(lái)進(jìn)行光源11的電力控制的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。圖8是在第二實(shí)施方式中進(jìn)行光源11的電力控制的控制系統(tǒng)的概略圖。

如圖8所示那樣，θ移動(dòng)機(jī)構(gòu)5具備將θ方向的移動(dòng)量(旋轉(zhuǎn)角度)向控制器7輸出的θ輸出部51。θ輸出部51將工作臺(tái)2相對(duì)于基準(zhǔn)方向的旋轉(zhuǎn)角度向控制器7輸出，在此，基準(zhǔn)方向?yàn)閤方向。此外，輔助移動(dòng)機(jī)構(gòu)4具備對(duì)y方向的工作臺(tái)2的移動(dòng)量(移動(dòng)距離)進(jìn)行輸出的y方向輸出部44。y方向輸出部44以能夠在以y方向的確定位置為原點(diǎn)而將一方側(cè)作為+、將另一方側(cè)作為－的坐標(biāo)中確定y方向的位置的方式，輸出y方向的移動(dòng)量。θ輸出部51、y方向輸出部44在裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)中將工作臺(tái)2的旋轉(zhuǎn)角度、y方向位置常時(shí)向控制器7輸入。

與第一實(shí)施方式同樣，在控制器7設(shè)置有點(diǎn)亮控制單元73。點(diǎn)亮控制單元73具備：光量計(jì)算部731，根據(jù)來(lái)自處理時(shí)用照度計(jì)6的照度測(cè)定值對(duì)累計(jì)光量進(jìn)行計(jì)算；以及信號(hào)輸出部732，將計(jì)算出的累計(jì)光量與存儲(chǔ)部71所存儲(chǔ)的基準(zhǔn)光量進(jìn)行比較，以其差分消失的方式輸出信號(hào)。除此以外，在第二實(shí)施方式中，具備取得處理時(shí)用照度計(jì)6的y方向的位置信息的y方向位置取得部733。

在第二實(shí)施方式中，光量計(jì)算部731、信號(hào)輸出部732通過(guò)軟件來(lái)實(shí)現(xiàn)，成為順序程序713的一部分。圖9是對(duì)在第二實(shí)施方式中進(jìn)行電力控制的順序程序的部分進(jìn)行摘要地表示的概略圖。

如圖9所示那樣，第二實(shí)施方式的順序程序，也是對(duì)在各次處理中來(lái)自處理時(shí)用照度計(jì)6的輸出進(jìn)行累計(jì)而計(jì)算累計(jì)光量。此時(shí)，在第二實(shí)施方式中，根據(jù)從θ輸出部51、y方向輸出部44輸出的信息，確定處理時(shí)用照度計(jì)6的y方向位置。圖10是對(duì)這一點(diǎn)進(jìn)行表示的圖，且是對(duì)基于來(lái)自θ輸出部51以及y方向輸出部44的信息的處理時(shí)用照度計(jì)6的y方向的位置的確定進(jìn)行表示的平面概略圖。

如圖10所示那樣，例如，工作臺(tái)2的位置被作為工作臺(tái)2的中心(俯視方形的中心)c的位置而輸出，θ方向的旋轉(zhuǎn)軸也被設(shè)定在工作臺(tái)2的中心。在該情況下，順序程序，首先根據(jù)來(lái)自y方向輸出部44的信息取得工作臺(tái)2的中心c相對(duì)于y方向的原點(diǎn)o的y方向位置。與工作臺(tái)2的中心c相對(duì)的y方向的處理時(shí)用照度計(jì)6的分離距離l為已知的不變的信息(常量)，應(yīng)用該情況而確定不進(jìn)行θ旋轉(zhuǎn)的情況下的處理時(shí)用照度計(jì)6的y方向的位置。接下來(lái)，根據(jù)來(lái)自θ輸出部51的信息，通過(guò)l×cosα，計(jì)算工作臺(tái)2θ旋轉(zhuǎn)了α°時(shí)從y方向的中心c的位移，并通過(guò)將其與中心坐標(biāo)相來(lái)確定y坐標(biāo)，最終確定出處理時(shí)用照度計(jì)6的y方向的位置。此外，不僅可以以工作臺(tái)2的中心c為基準(zhǔn)來(lái)計(jì)算y方向的坐標(biāo)，也可以以一方的直線引導(dǎo)件的位置為基準(zhǔn)來(lái)計(jì)算y方向的坐標(biāo)。

如圖9所示那樣，順序程序?yàn)?，在確定了處理時(shí)用照度計(jì)6的y方向的位置之后，將計(jì)算出的累計(jì)光量作為該y方向位置的累計(jì)光量而記錄于存儲(chǔ)部71的履歷數(shù)據(jù)文件712。即，作為該工件w的履歷數(shù)據(jù)，記錄該工件w被處理時(shí)的處理時(shí)用照度計(jì)6的y方向位置以及該位置的累計(jì)光量。

然后，與第一實(shí)施方式同樣，在達(dá)到控制間隔的次數(shù)時(shí)，對(duì)累計(jì)光量的平均值進(jìn)行計(jì)算。然后，根據(jù)基準(zhǔn)光量分布取得該y方向位置的基準(zhǔn)光量，并將其與所測(cè)定的光量的平均值進(jìn)行比較。然后，以其差消失的方式將控制指令信號(hào)向光源11的點(diǎn)亮電源110輸出。另外，在達(dá)到控制間隔的次數(shù)之前，θ移動(dòng)機(jī)構(gòu)5或者以及輔助移動(dòng)機(jī)構(gòu)4進(jìn)行動(dòng)作而y方向位置變更的情況下，順序程序?qū)⑻幚泶螖?shù)的計(jì)數(shù)復(fù)位為零。

另外，在圖9中省略了圖示，但也有時(shí)在基準(zhǔn)光量分布中不包含與所取得的處理時(shí)用照度計(jì)6的y方向位置為相同位置的信息(基準(zhǔn)光量)。在該情況下，根據(jù)測(cè)定位置前后的2點(diǎn)的基準(zhǔn)光量，通過(guò)計(jì)算來(lái)求出該測(cè)定位置的基準(zhǔn)光量。將前后2點(diǎn)的基準(zhǔn)光量作為一次函數(shù)，根據(jù)其角度求出測(cè)定位置的基準(zhǔn)光量，并對(duì)其進(jìn)行應(yīng)用而輸出控制指令信號(hào)。

根據(jù)第二實(shí)施方式，光基準(zhǔn)值作為y方向的分布而設(shè)定、存儲(chǔ)，處理時(shí)用照度計(jì)6的測(cè)定時(shí)的y方向位置信息向控制器7輸入而基于根據(jù)該y方向位置信息來(lái)確定、取得的光基準(zhǔn)值求出偏差量，因此能夠進(jìn)行極其精細(xì)、更高精度的電力控制。

接下來(lái)，對(duì)第三實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。

圖11是第三實(shí)施方式的光照射裝置的主視概略圖。如圖11所示那樣，第三實(shí)施方式的光照射裝置在具備多個(gè)光照射器1這一點(diǎn)上與上述各實(shí)施方式不同。然后，各光照射器1的構(gòu)造、配置以及各光照射裝置所具備的光源11的控制被最佳化。

具體地說(shuō)明，在第三實(shí)施方式的裝置中，多個(gè)光照射器1形成多個(gè)分離的照射區(qū)域。圖11同時(shí)表示出第三實(shí)施方式的x方向的照度分布。如圖11所示那樣，“分離的照射區(qū)域”意味著照射區(qū)域不重疊，且意味著夾著照度實(shí)際為零的區(qū)域而排列。實(shí)際為零是指，例如照度不對(duì)工件的光處理產(chǎn)生影響的照度。以照射區(qū)域夾著照度實(shí)際為零的區(qū)域而排列的方式，選定各光照射器1的鏡12、燈罩13的尺寸形狀，并選定各光照射器1的分離距離。

在這樣的構(gòu)造中，控制器7構(gòu)成為，對(duì)于各光照射器1內(nèi)的光源11所附屬設(shè)置的各點(diǎn)亮電源110獨(dú)立地發(fā)送控制指令信號(hào)。具體地說(shuō)明，在本實(shí)施方式中也成為，處理時(shí)用照度計(jì)6安裝于工作臺(tái)2，與工作臺(tái)2一體地移動(dòng)而在照射區(qū)域中通過(guò)。因此，在工件w的處理時(shí)，處理時(shí)用照度計(jì)6的輸出向控制器7發(fā)送，并存儲(chǔ)于控制器7內(nèi)的存儲(chǔ)部71。

此外，在存儲(chǔ)部71按照每個(gè)光照射器1來(lái)存儲(chǔ)有光基準(zhǔn)值。在此，作為光基準(zhǔn)值也能夠采用照度或者累計(jì)光量，但作為一個(gè)例子設(shè)為累計(jì)光量。即，對(duì)于各光照射器1設(shè)定有成為基準(zhǔn)的光量的值，該值存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部71。

圖12以及圖13是對(duì)控制器7所安裝的順序程序的一部分進(jìn)行摘要而概略地表示的流程圖。在本實(shí)施方式中也成為，順序程序的一部分進(jìn)行光源11的電力控制，該概略圖如圖12以及圖13所示。

在圖12中表示對(duì)各照射區(qū)域中的累計(jì)光量進(jìn)行計(jì)算的部分。處理時(shí)用照度計(jì)6的輸出是每個(gè)取樣周期的照度數(shù)據(jù)，取樣的時(shí)刻信息與該時(shí)刻的照度的數(shù)據(jù)建立對(duì)應(yīng)地記錄于臨時(shí)文件711。照度的計(jì)測(cè)開(kāi)始為，在比處理時(shí)用照度計(jì)6達(dá)到照射區(qū)域的定時(shí)足夠前的定時(shí)(例如工作臺(tái)2處于裝載位置的狀態(tài))開(kāi)始。因此，最初的時(shí)刻的照度測(cè)定值常時(shí)為零。

順序程序?yàn)?，從最初的測(cè)定時(shí)刻起依次讀入照度測(cè)定值，并逐個(gè)相加(累計(jì))。然后，在照度測(cè)定值實(shí)際成為超過(guò)零的值時(shí)，向區(qū)域計(jì)數(shù)器(變量)代入1。繼續(xù)進(jìn)行照度測(cè)定值的相加，在照度測(cè)定值再次實(shí)際成為零時(shí)，在該時(shí)刻將照度的累計(jì)值作為區(qū)域1中的累計(jì)光量的計(jì)算值而臨時(shí)儲(chǔ)存于變量。然后，將照度測(cè)定值的加法值復(fù)位為零。

然后，從零開(kāi)始繼續(xù)進(jìn)行照度測(cè)定值的加法，并且在下一次照度測(cè)定值實(shí)際成為超過(guò)零的值的情況下，向區(qū)域計(jì)數(shù)器代入2。繼續(xù)進(jìn)行照度測(cè)定值的加法，然后在照度測(cè)定值成為零時(shí)，同樣將該時(shí)刻的照度的加法值作為區(qū)域2的累計(jì)光量的計(jì)算值，而臨時(shí)儲(chǔ)存于其他存儲(chǔ)器變量。然后，將照度的加法值復(fù)位為零。然后，從零開(kāi)始繼續(xù)進(jìn)行照度測(cè)定值的加法，在下一次照度測(cè)定值實(shí)際超過(guò)零的情況下，向區(qū)域計(jì)數(shù)器代入3，并反復(fù)進(jìn)行同樣的處理。在該例子中，光照射器1的數(shù)量為三個(gè)，因此如果計(jì)算出區(qū)域3中的累計(jì)光量，則累計(jì)光量計(jì)算的部分的時(shí)序結(jié)束。

接下來(lái)，順序程序與前述實(shí)施方式同樣，判斷處理次數(shù)是否達(dá)到控制間隔，如果達(dá)到，則進(jìn)行電力控制。第三實(shí)施方式的順序程序中、電力控制的部分如圖13所示。如圖13所示那樣，順序程序?qū)⒂?jì)算出的累計(jì)各光量與存儲(chǔ)部71所存儲(chǔ)的各照射區(qū)域的基準(zhǔn)光量進(jìn)行比較。然后，分別以消失差異的方式輸出控制指令信號(hào)。

即，如圖11所示那樣，按照去路的搬運(yùn)朝向的順序?qū)⒄丈鋮^(qū)域設(shè)為區(qū)域1、區(qū)域2、區(qū)域3，將對(duì)應(yīng)的光照射器設(shè)為光照射器1a、光照射器1b、光照射器1c。順序程序?qū)?duì)于區(qū)域1計(jì)算出的累計(jì)光量與光照射器1a的基準(zhǔn)光量進(jìn)行比較，并以消除其差異的方式將控制指令信號(hào)向光照射器1a的點(diǎn)亮電源110輸出。此外，順序程序?qū)?duì)于區(qū)域2計(jì)算出的累計(jì)光量與光照射器1b的基準(zhǔn)光量進(jìn)行比較，并以消除其差異的方式將控制指令信號(hào)向光照射器b的點(diǎn)亮電源110輸出。并且，將對(duì)于區(qū)域3計(jì)算出的累計(jì)光量與光照射器1c的基準(zhǔn)光量進(jìn)行比較，并以消除其差異的方式將控制指令信號(hào)向照射器b的點(diǎn)亮電源110輸出。

在本實(shí)施方式中，各基準(zhǔn)光量也可以是對(duì)于y方向的不同的多個(gè)位置分別設(shè)定的值(分布)，在該情況下，將處理時(shí)用照度計(jì)6的y方向位置的信息同樣向控制器7輸入而利用。此外，在各光照射器1a～1c所具備的光源11在型號(hào)、規(guī)格的方面全部相同的情況下，也有時(shí)能夠作為基準(zhǔn)光量而共通地設(shè)定相同的值。

無(wú)論如何，在該第三實(shí)施方式中，多個(gè)光源11成為分別對(duì)分離的照射區(qū)域進(jìn)行光照射的構(gòu)成，對(duì)各照射區(qū)域的累計(jì)光量進(jìn)行測(cè)定，并且分別與基準(zhǔn)光量進(jìn)行比較而將控制信號(hào)向?qū)?yīng)的光源11的點(diǎn)亮電源110輸出，因此容易進(jìn)行用于維持規(guī)定的光量的電力控制。在照射區(qū)域未分離的情況下，難以確定在工件w中產(chǎn)生的光量不足是由于哪個(gè)光源11的劣化。此外，在多個(gè)光源11中產(chǎn)生劣化而光量不足的情況下，難以判斷使向各個(gè)光源11的供給電力上升哪種程度。在如第三實(shí)施方式那樣照射區(qū)域分別分離而對(duì)各個(gè)測(cè)定累計(jì)光量的情況下，使向負(fù)責(zé)該照射區(qū)域的光源11的供給電力上升與累計(jì)光量降低相對(duì)應(yīng)的量即可，控制較容易。另外，在當(dāng)多個(gè)照射區(qū)域分離而分別獨(dú)立地控制光源11的點(diǎn)亮電源110時(shí)、控制較容易這一點(diǎn)上，不僅在使用對(duì)工件w在照射區(qū)域中通過(guò)時(shí)的光照射的強(qiáng)度、量進(jìn)行測(cè)定的測(cè)定器的情況下，例如在使用常時(shí)配置在燈罩內(nèi)的照度計(jì)、在工件w的處理的間隔在照射區(qū)域中通過(guò)的照度計(jì)等的情況下，也是同樣的。

在上述各實(shí)施方式中，處理時(shí)用照度計(jì)6的配置也可以是上述以外的各種的配置。以下，對(duì)這一點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明。圖14是表示與處理時(shí)用照度計(jì)6的數(shù)量、配置有關(guān)的其他例子的平面概略圖。

圖14(1)表示在俯視為方形的工作臺(tái)2上在夾著一個(gè)角部而相鄰的兩個(gè)側(cè)面的各個(gè)上安裝有處理時(shí)用照度計(jì)6的例子。此外，在圖14(2)所示的第三實(shí)施方式中，表示在俯視為方形的工作臺(tái)2的四個(gè)側(cè)面的各個(gè)上安裝有處理時(shí)用照度計(jì)6的例子。

在圖14(3)所示的例子中，與(2)的例子同樣在四個(gè)側(cè)面上安裝有處理時(shí)用照度計(jì)6，但安裝在位于沿y方向延伸的兩個(gè)邊的側(cè)面上的處理時(shí)用照度計(jì)6成為在y方向上錯(cuò)開(kāi)的位置。

在這些圖14(1)～(3)的構(gòu)成中，具有能夠在y方向(即、照射區(qū)域的長(zhǎng)度方向)上的多個(gè)位置同時(shí)測(cè)定照度這樣的意義。“同時(shí)”意味著，“在相同的1次處理時(shí)”，即、在1次處理中能夠取得y方向的多個(gè)位置上的照度、累計(jì)光量的數(shù)據(jù)(即、照度分布、累計(jì)光量分布)。在該情況下，能夠?qū)⒆鳛樗玫降臏y(cè)定值的累計(jì)光量分布與基準(zhǔn)光量分布進(jìn)行比較，以作為整體消除偏差的方式輸出控制信號(hào)。具體地說(shuō)，能夠求出各位置的累計(jì)光量的差異的平均值，并以將其消除的方式輸出控制指令信號(hào)。

此外，在所得到的累計(jì)光量分布的差別大到限度以上的情況下，即、最大值與最小值之差較大的情況下，還能夠設(shè)為處理的均勻性限度以上地降低而對(duì)該工件w記錄不良的履歷。在成為不良的情況下，采取光源11的交換這樣的適當(dāng)?shù)拇胧?/p>

另外，對(duì)累計(jì)光量分布進(jìn)行測(cè)定而判斷光源11的劣化等的優(yōu)點(diǎn)，還存在于能夠適當(dāng)?shù)嘏袛喙庠?1的交換時(shí)期這一點(diǎn)。即，例如僅在棒狀的光源11的端部的正下方通過(guò)的位置配置處理時(shí)用照度計(jì)6，不確認(rèn)分布而僅利用一個(gè)測(cè)定點(diǎn)、通過(guò)該照度計(jì)6來(lái)確認(rèn)光量的不足。在該情況下，在比該處理時(shí)用照度計(jì)6的位置更靠近中央的位置，確保足夠的光量而工件w的處理沒(méi)有特別的不良情況，但當(dāng)將端部的測(cè)定結(jié)果作為基準(zhǔn)時(shí)，會(huì)將其視為光量不足而以使向光源11的供給電力增加的方式輸出控制指令信號(hào)。在該情況下，成為比所希望的累計(jì)光量更多的累計(jì)光量，處理變得不按照設(shè)計(jì)那樣，因此不適當(dāng)。另一方面，如果在多個(gè)位置測(cè)定光量而根據(jù)光量分布來(lái)判斷是否正常，則能夠防止上述那樣的成為比所希望的累計(jì)光量更多的累計(jì)光量的情況。另外，在將光量分布存儲(chǔ)為測(cè)定值的情況下，在與對(duì)各處理時(shí)用照度計(jì)6進(jìn)行確定的id以及該處理時(shí)用照度計(jì)6的y方向位置信息建立對(duì)應(yīng)的狀態(tài)下，存儲(chǔ)計(jì)算出的各光量。

圖15是表示處理時(shí)用照度計(jì)6的配置的另外的其他例子的平面概略圖。

首先，在圖15(1)中，在位于沿著x方向的工作臺(tái)2的相面對(duì)的二邊的側(cè)面上分別安裝有處理時(shí)用照度計(jì)6。在該情況下，能夠進(jìn)行y方向的照度分布、累計(jì)光量分布的測(cè)定，特別是，能夠?qū)τ砂魻畹墓庠?1的兩端的黑化等引起的照度降低進(jìn)行監(jiān)視。

此外，在圖15(2)中，在位于沿著y方向的工作臺(tái)2的一邊的側(cè)面上安裝有多個(gè)照度計(jì)6。在該情況下，也能夠進(jìn)行y方向的照度分布、累計(jì)光量分布的測(cè)定。然后，通過(guò)適當(dāng)?shù)厥褂幂o助移動(dòng)機(jī)構(gòu)4、θ移動(dòng)機(jī)構(gòu)5，能夠適當(dāng)?shù)刈兏鼫y(cè)定位置。

此外，在圖15(3)中，表示在位于沿著x方向的工作臺(tái)2的一邊的側(cè)面上安裝有多個(gè)照度計(jì)6的例子。在該情況下，當(dāng)該邊保持沿著x方向的狀態(tài)固定時(shí)，與第一實(shí)施方式實(shí)際上相同，因此沒(méi)有設(shè)為多個(gè)的意義，但如果如在圖15(3)中由虛線所示的那樣具備向θ方向旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，則能夠進(jìn)行y方向的多個(gè)位置的照度、累計(jì)光量的測(cè)定。

此外，在圖15(4)中表示在工作臺(tái)2內(nèi)安裝有處理時(shí)用照度計(jì)6的例子。工作臺(tái)2具有用于安裝照度計(jì)6的凹部，并以陷入該凹部的狀態(tài)安裝處理時(shí)用照度計(jì)6。同樣，處理時(shí)用照度計(jì)6的受光面優(yōu)選成為與工作臺(tái)2上所載放的工件w的上面為相同高度。另外，在圖15(4)所示的例子中，雖然在工作臺(tái)2內(nèi)，但處理時(shí)用照度計(jì)6在俯視中成為工件w的載放位置的外側(cè)。即，在工作臺(tái)2上載放了工件w時(shí)，對(duì)于來(lái)自光照射器11的光，工件w為遮擋處理時(shí)用照度計(jì)6的狀態(tài)，處理時(shí)用照度計(jì)6為不遮擋工件w的狀態(tài)。在該情況下，當(dāng)在y方向上設(shè)置多個(gè)處理時(shí)用照度計(jì)6時(shí)，能夠測(cè)定照度分布、累計(jì)光量分布，因此較優(yōu)選。

另外，在上述各實(shí)施方式中，作為進(jìn)行用于利用于光源11的電力控制的測(cè)定的測(cè)定器、使用處理時(shí)用照度計(jì)6來(lái)測(cè)定照度，但也有時(shí)能夠使用其他測(cè)定器。例如，使用根據(jù)所測(cè)定的照度在內(nèi)部進(jìn)行累計(jì)而作為累計(jì)光量進(jìn)行輸出的累計(jì)光量計(jì)也是同樣的。在該情況下，光量作為測(cè)定值輸出，因此在控制器7中不需要設(shè)置光量計(jì)算部。

此外，也可以按照工件w的上面的全部面積對(duì)照度計(jì)的輸出進(jìn)行積分，將工件所受到的面內(nèi)全部能量作為測(cè)定值。在該情況下，對(duì)于光基準(zhǔn)值，也可以設(shè)為按照工件w的上面的面積(已知)進(jìn)行了積分的值。

此外，作為處理時(shí)用照度計(jì)6，也能夠使用對(duì)分光放射照度進(jìn)行測(cè)定的測(cè)定器(分光器)。

另外，在上述第三實(shí)施方式中，光照射器1a～1c分別具備點(diǎn)亮電源110，但也有時(shí)能夠通過(guò)1臺(tái)點(diǎn)亮電源使多個(gè)光源11點(diǎn)亮。在該情況下，至少，需要成為能夠獨(dú)立地控制對(duì)于各光源11的供給電力。例如，可以考慮如下構(gòu)成：相對(duì)于供給的電源電路將光源11以并聯(lián)的方式連接，在向各光源11的電力供給路徑上設(shè)置電力控制元件。

此外，在上述各實(shí)施方式中，工作臺(tái)2在俯視中為方形，但在實(shí)施本申請(qǐng)發(fā)明時(shí)，不需要限定為方形。也可以為三角形、五邊形、圓形等。在圓形的情況下，假定構(gòu)成為，相對(duì)于圓的中心以180°間隔在側(cè)面上安裝兩個(gè)處理時(shí)用照度計(jì)6、或者以90°間隔安裝四個(gè)處理時(shí)用照度計(jì)6。

另外，上述各實(shí)施方式的光照射裝置為光取向用偏振光照射裝置，但本申請(qǐng)發(fā)明也能夠構(gòu)成為其他光照射裝置。例如，也能夠構(gòu)成為為了進(jìn)行光固化性樹(shù)脂的固化等光處理而向工件w照射光的裝置。

在上述各實(shí)施方式中，也能夠如日本特開(kāi)2014－174352號(hào)公報(bào)所公開(kāi)的那樣，采用如下構(gòu)成：將兩個(gè)工作臺(tái)2夾著照射區(qū)域而在x方向的兩側(cè)分別配置工作臺(tái)2，并使其分別保持工件w而交替地在照射區(qū)域中通過(guò)，由此對(duì)各工件w進(jìn)行光照射。在該情況下，對(duì)于處理時(shí)用照度計(jì)6，可以僅安裝于一方的工作臺(tái)2來(lái)對(duì)照度或者光量進(jìn)行測(cè)定而進(jìn)行光源11的電力控制，也可以安裝于雙方來(lái)對(duì)照度或者光量進(jìn)行測(cè)定而進(jìn)行光源11的電力控制。

此外，在上述各實(shí)施方式中，工作臺(tái)在照射區(qū)域中通過(guò)而進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)，由此向工件w進(jìn)行光照射，但也有時(shí)不進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)而僅在一次通過(guò)中就結(jié)束對(duì)于工件w的光照射。在該情況下，基于處理時(shí)用照度計(jì)6的累計(jì)光量計(jì)算也是僅對(duì)一次通過(guò)時(shí)的測(cè)定值進(jìn)行累計(jì)而求出光量。

另外，照射區(qū)域成為y方向?yàn)殚L(zhǎng)尺方向的長(zhǎng)方形，但這不是必須條件，也可以是x方向(搬運(yùn)方向)為長(zhǎng)尺方向的長(zhǎng)方形、也可以為正方形。

此外，關(guān)于光源11，對(duì)將棒狀的光源11沿著y方向配置的例子進(jìn)行了說(shuō)明，但這是將長(zhǎng)條的發(fā)光部沿著y方向進(jìn)行配置的例子。此外，也有時(shí)將點(diǎn)光源排列為一條直線狀而使其等價(jià)于棒狀的光源(線狀的發(fā)光部)。并且，在將棒狀的光源沿著x方向配置的情況下，如果這樣的光源在y方向上排列多個(gè)，則也能夠視為在y方向上排列點(diǎn)光源，因此能夠使其同樣地起作用。