本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種對(duì)準(zhǔn)裝置。

背景技術(shù)：

光刻機(jī)是集成電路加工過(guò)程中最為關(guān)鍵的設(shè)備。對(duì)準(zhǔn)是光刻機(jī)的主要工藝流程之一，通過(guò)掩模、掩膜臺(tái)、硅片、工件臺(tái)上的特殊標(biāo)記確定他們之間的相對(duì)位置關(guān)系，使掩模圖形能夠精確的成像于硅片上，實(shí)現(xiàn)套刻精度。套刻精度是投影光刻機(jī)的主要技術(shù)指標(biāo)之一。對(duì)準(zhǔn)可分為掩模對(duì)準(zhǔn)和硅片對(duì)準(zhǔn)，掩模對(duì)準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)掩模與工件臺(tái)的相對(duì)位置關(guān)系，硅片對(duì)準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)硅片與工件臺(tái)的相對(duì)位置關(guān)系。掩模與硅片之間的對(duì)準(zhǔn)精度是影響套刻精度的關(guān)鍵因素。

目前，光刻設(shè)備大多采用基于光柵衍射干涉的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。該類對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)基本特征為：包含單波長(zhǎng)或多波長(zhǎng)的照明光束照射在光柵型對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記上發(fā)生衍射，產(chǎn)生的各級(jí)衍射光攜帶有關(guān)于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置信息；不同級(jí)次的光束以不同的衍射角從相位對(duì)準(zhǔn)光柵上散開(kāi)，通過(guò)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)收集各級(jí)次的衍射光束，使兩個(gè)對(duì)稱的正負(fù)衍射級(jí)次(如±1級(jí)、±2級(jí)、±3級(jí)等)在對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的像面或瞳面重疊相干，形成各級(jí)干涉信號(hào)。當(dāng)對(duì)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行掃描時(shí)，利用光電探測(cè)器記錄干涉信號(hào)的強(qiáng)度變化，通過(guò)信號(hào)處理，確定對(duì)準(zhǔn)中心位置。

現(xiàn)有技術(shù)中具有代表性的是荷蘭asml公司采用的一種離軸對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，該對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)在光源部分采用紅光、綠光雙光源照射；并采用楔塊列陣或楔板組來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記多級(jí)衍射光的重疊和相干成像，并在像面上將成像空間分開(kāi)；紅光和綠光的對(duì)準(zhǔn)信號(hào)通過(guò)一個(gè)偏振分束棱鏡來(lái)分離；通過(guò)探測(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記像透過(guò)參考光柵的透射光強(qiáng)，得到正弦輸出的對(duì)準(zhǔn)信號(hào)。該對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)存在的缺陷：首先，由于該系統(tǒng)采用偏振分束棱鏡的分光系統(tǒng)只能分離兩個(gè)波長(zhǎng)的色光，對(duì)兩個(gè)波長(zhǎng)以上的對(duì)準(zhǔn)信號(hào)則無(wú)法完成；其次，該方案僅能使用固定光柵常數(shù)的標(biāo)記進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)，無(wú)法兼容不同周期的標(biāo)記；最后，該對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)使用楔塊列陣時(shí)， 對(duì)折射正、負(fù)相同級(jí)次的兩楔塊的面型和楔角一致性要求很高，而楔板組的加工制造、裝配和調(diào)整的要求也很高，具體實(shí)施工程難度較大，成本高。

因此，如何提供一種既能夠兼容不同光柵常數(shù)標(biāo)記和多種波長(zhǎng)對(duì)準(zhǔn)，且光路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、避免使用復(fù)雜光學(xué)元件、容易實(shí)現(xiàn)的離軸對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)及對(duì)準(zhǔn)方法是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種對(duì)準(zhǔn)裝置，能夠兼容不同光柵常數(shù)標(biāo)記和多種波長(zhǎng)對(duì)準(zhǔn)，且光路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、避免使用復(fù)雜光學(xué)元件、容易實(shí)現(xiàn)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本發(fā)明提供一種對(duì)準(zhǔn)裝置，用于光刻系統(tǒng)，包括照明單元、光學(xué)單元、探測(cè)單元及處理單元；其中，

所述照明單元，用于提供垂直照射對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的光源；

所述光學(xué)單元，用于將對(duì)所述準(zhǔn)標(biāo)記產(chǎn)生的正級(jí)次與負(fù)級(jí)次的衍射光平行并匯聚到其焦面上；

所述探測(cè)單元，設(shè)置在所述光學(xué)單元的焦面，使正、負(fù)級(jí)次衍射光在探測(cè)面上成像；

所述處理單元，根據(jù)正、負(fù)級(jí)次衍射光的成像信息得到正負(fù)級(jí)次衍射光的干涉光強(qiáng)信號(hào)，根據(jù)所述干涉光強(qiáng)信號(hào)隨運(yùn)動(dòng)臺(tái)位置變化的關(guān)系計(jì)算對(duì)準(zhǔn)位置信息。

可選的，所述光源為單波段光源。

可選的，所述光學(xué)單元包括：第一光學(xué)元件，用于將所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記產(chǎn)生的正級(jí)次/負(fù)級(jí)次衍射光偏轉(zhuǎn)后與負(fù)級(jí)次/正級(jí)次衍射光平行；第二光學(xué)元件，用于將正、負(fù)級(jí)次的衍射光匯聚到后焦面上。

可選的，所述光源為寬波段光源。

可選的，所述光學(xué)單元包括：第一光學(xué)元件，用于將所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記產(chǎn)生的衍射光束分離為多個(gè)不同波長(zhǎng)的光束，并分別將不同波長(zhǎng)的正級(jí)次/負(fù)級(jí)次衍射光偏轉(zhuǎn)后與同一波長(zhǎng)的負(fù)級(jí)次/正級(jí)次衍射光平行；第二光學(xué)元件，用于將不同波長(zhǎng)的正、負(fù)級(jí)次的衍射光匯聚到后焦面上。

可選的，所述第一光學(xué)元件設(shè)置于正/負(fù)級(jí)次衍射光的方向上，并垂直設(shè)置 于所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記平面之上。

可選的，所述第一光學(xué)元件為一多面反射鏡或一柱面反射鏡。

可選的，所述第二光學(xué)元件為一匯聚透鏡。

可選的，所述探測(cè)單元包含多個(gè)探測(cè)器，每個(gè)探測(cè)器用于探測(cè)同一波長(zhǎng)下某一級(jí)次的衍射光的干涉信號(hào)。

可選的，所述探測(cè)單元包含多個(gè)探測(cè)器，每個(gè)探測(cè)器用于探測(cè)同一級(jí)次下某一波長(zhǎng)的衍射光的干涉信號(hào)。

可選的，所述探測(cè)單元包含一個(gè)探測(cè)器，用于探測(cè)不同級(jí)次的衍射光的干涉信號(hào)。

可選的，所述探測(cè)單元包含一個(gè)探測(cè)器，用于探測(cè)不同波長(zhǎng)的不同級(jí)次衍射光的干涉信號(hào)。

可選的，所述照明單元還包括一反射鏡，用于使光束垂直照射至對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。

可選的，還包括運(yùn)動(dòng)臺(tái)，用于承載所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，并帶動(dòng)所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記沿光柵周期方向移動(dòng)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的對(duì)準(zhǔn)裝置具有以下有益效果：

1、通過(guò)采用照明單元垂直照明對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，采用光學(xué)單元使正負(fù)級(jí)次衍射光平行并匯聚到其焦面上，從而干涉產(chǎn)生對(duì)準(zhǔn)信號(hào)，采用探測(cè)單元使正負(fù)級(jí)次衍射光在探測(cè)面上成像，采用處理單元根據(jù)所述干涉強(qiáng)度信號(hào)隨運(yùn)動(dòng)臺(tái)位置變化的關(guān)系計(jì)算對(duì)準(zhǔn)位置信息，從而無(wú)需使用楔板或復(fù)雜棱鏡，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，并且對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記離焦和傾斜不會(huì)影響測(cè)量精度，實(shí)現(xiàn)了高精度測(cè)量。

2、可兼容多種測(cè)量波長(zhǎng)，并且對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記兼容性好，可測(cè)量多方向的光柵型對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，亦可兼容不同周期的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，提高了工藝適應(yīng)性。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明一實(shí)施例所提供的對(duì)準(zhǔn)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2a與2b為本發(fā)明一實(shí)施例所提供的第一光學(xué)元件的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本發(fā)明一實(shí)施例所提供的對(duì)準(zhǔn)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本發(fā)明一實(shí)施例所提供的對(duì)準(zhǔn)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說(shuō)明書(shū)附圖，對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容做進(jìn)一步說(shuō)明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。

其次，本發(fā)明利用示意圖進(jìn)行了詳細(xì)的表述，在詳述本發(fā)明實(shí)例時(shí)，為了便于說(shuō)明，示意圖不依照一般比例局部放大，不應(yīng)對(duì)此作為本發(fā)明的限定。

本發(fā)明的核心思想是：通過(guò)采用照明單元垂直照明對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，采用光學(xué)單元使正負(fù)級(jí)次衍射光平行并匯聚到其焦面上，從而干涉產(chǎn)生對(duì)準(zhǔn)信號(hào)，采用探測(cè)單元使正負(fù)級(jí)次衍射光在探測(cè)面上成像，采用處理單元根據(jù)所述干涉強(qiáng)度信號(hào)隨運(yùn)動(dòng)臺(tái)位置變化的關(guān)系計(jì)算對(duì)準(zhǔn)位置信息，從而無(wú)需使用楔板或復(fù)雜棱鏡，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，并且對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記離焦和傾斜不會(huì)影響測(cè)量精度，實(shí)現(xiàn)了高精度測(cè)量。

請(qǐng)參考圖1，其為本發(fā)明一實(shí)施例所提供的對(duì)準(zhǔn)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，所述對(duì)準(zhǔn)裝置10用于光刻系統(tǒng)中硅片與工件臺(tái)的對(duì)準(zhǔn)，分別通過(guò)測(cè)量硅片與工件臺(tái)中對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的中心位置將硅片與工件臺(tái)對(duì)準(zhǔn)，其包括照明單元11、光學(xué)單元12、探測(cè)單元13及處理單元14；其中，所述照明單元11，用于提供垂直照射對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記20的光源；所述光學(xué)單元12，用于將所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記20產(chǎn)生的正級(jí)次與負(fù)級(jí)次的衍射光平行并匯聚到其焦面上；所述探測(cè)單元13，設(shè)置在所述光學(xué)單元12的焦面，使正、負(fù)級(jí)次衍射光在探測(cè)面上成像，用于探測(cè)所述衍射光的干涉信號(hào)；所述處理單元15，根據(jù)正、負(fù)級(jí)次衍射光的成像信息得到正負(fù)級(jí)次衍射光的干涉光強(qiáng)信號(hào)，根據(jù)所述干涉強(qiáng)度信號(hào)隨運(yùn)動(dòng)臺(tái)位置變化的關(guān)系計(jì)算對(duì)準(zhǔn)位置信息。

所述光學(xué)單元12包括第一光學(xué)元件121與第二光學(xué)元件122，第一光學(xué)元件121用于將所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記20產(chǎn)生的正級(jí)次衍射光偏轉(zhuǎn)后與負(fù)級(jí)次衍射光平行，或者將對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記20產(chǎn)生的負(fù)級(jí)次衍射光偏轉(zhuǎn)后與正級(jí)次衍射光平行，第二光學(xué)元件122用于將正、負(fù)級(jí)次的衍射光匯聚到后焦面上。

本發(fā)明通過(guò)采用照明單元垂直照明對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，采用光學(xué)單元使正負(fù)級(jí)次衍射光平行并匯聚到其焦面上，從而干涉產(chǎn)生對(duì)準(zhǔn)信號(hào)，采用探測(cè)單元使正負(fù)級(jí)次衍射光在探測(cè)面上成像，采用處理單元根據(jù)所述干涉強(qiáng)度信號(hào)隨運(yùn)動(dòng)臺(tái)位置變化的關(guān)系計(jì)算對(duì)準(zhǔn)位置信息，從而無(wú)需使用楔板或復(fù)雜棱鏡，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。

當(dāng)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記20發(fā)生離焦和傾斜時(shí)，衍射光線方向發(fā)生變化，在探測(cè)單元體現(xiàn)為兩個(gè)光斑不完全重合，非重疊部分不干涉，僅貢獻(xiàn)不隨對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記移動(dòng)的本底量，而干涉產(chǎn)生的信號(hào)形式、周期均不變，因此，本實(shí)施例提供的對(duì)準(zhǔn)裝置不受離焦和傾斜的影響。

所述第一光學(xué)元件121設(shè)置于正/負(fù)級(jí)次衍射光的方向上，并垂直設(shè)置于所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記20平面之上。本實(shí)施例中，所述第一光學(xué)元件121為一多面反射鏡或一柱面反射鏡，其結(jié)構(gòu)示意圖如圖2a與2b所示。如圖2a所示，所述第一光學(xué)元件121為一多面反射鏡，由121a、121b、121c和121d四個(gè)面組成，可以反射0°、45°、90°和135°對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的正級(jí)次或負(fù)級(jí)次的衍射光，從而可以兼容上述四個(gè)方向的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。在其他實(shí)施例中，所述多面反射鏡121也可以由不止四個(gè)面構(gòu)成，根據(jù)需要反射的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的光柵方向來(lái)決定。如圖2b所示，所述第一光學(xué)元件122為一柱形反射鏡，包括一反射面121e，該反射面121e可以反射任意角度的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的正級(jí)次/負(fù)級(jí)次的衍射光，從而兼容任意方向的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。

請(qǐng)繼續(xù)參考圖1，所述第二光學(xué)元件122為一匯聚透鏡，將照射至所述第二光學(xué)元件122的正負(fù)級(jí)次的衍射光匯聚到其后焦面上。所述照明單元11還包括一反射鏡111，用于使照明單元11發(fā)出的光束垂直照射至對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記20?？梢岳斫獾氖牵瓷溏R并不是必須的，也可以直接將照明單元11垂直設(shè)置于所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記20平面之上，根據(jù)對(duì)準(zhǔn)裝置的實(shí)際情況來(lái)確定是否使用反射鏡。

所述對(duì)準(zhǔn)裝置10還包括運(yùn)動(dòng)臺(tái)15，用于承載設(shè)置有所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記20的硅片(圖1中未示出)，并帶動(dòng)所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記20沿光柵周期方向移動(dòng)。需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記20為光柵型對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。

可選的，所述照明單元11提供一單波段光源，第一光學(xué)元件121將該波段下所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記20產(chǎn)生的正級(jí)次/負(fù)級(jí)次衍射光偏轉(zhuǎn)后與負(fù)級(jí)次/正級(jí)次衍射光平行，之后第二光學(xué)元件122將正、負(fù)級(jí)次的衍射光匯聚到后焦面上，并通過(guò)所述探測(cè)單元13進(jìn)行探測(cè)?？蛇x的，所述探測(cè)單元13包含一個(gè)探測(cè)器，通過(guò)同一個(gè)探測(cè)器探測(cè)多級(jí)次衍射光在其探測(cè)面的不同位置上的成像信息?？蛇x的，所述探測(cè)單元13包含多個(gè)探測(cè)器，分別用不同的探測(cè)器探測(cè)不同級(jí)次衍射光的正、負(fù)級(jí)次衍射光的成像信息。

可選的，所述照明單元11提供一多波段光源，第一光學(xué)元件121將所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記20產(chǎn)色的衍射光分離為多個(gè)不同波長(zhǎng)的光束，并分別將不同波長(zhǎng)的正的正級(jí)次/負(fù)級(jí)次衍射光偏轉(zhuǎn)后與同一波長(zhǎng)的負(fù)級(jí)次/正級(jí)次衍射光平行，之后第二光學(xué)元件122將不同波長(zhǎng)的正、負(fù)級(jí)次的衍射光匯聚到后焦面上，并通過(guò)所述探測(cè)單元13進(jìn)行探測(cè)?？蛇x的，所述探測(cè)單元13包含一個(gè)探測(cè)器，所述探測(cè)器的感光面需要覆蓋不同波長(zhǎng)的光斑會(huì)聚位置，通過(guò)同一個(gè)探測(cè)器探測(cè)不同波長(zhǎng)的多級(jí)次衍射光在其探測(cè)面的不同位置上的成像信息?？蛇x的，所述探測(cè)單元13包含多個(gè)探測(cè)器，分別用不同的探測(cè)器探測(cè)不同波長(zhǎng)的、多級(jí)次衍射光的正、負(fù)級(jí)次衍射光的成像信息。

所述探測(cè)單元13可以包含有一個(gè)或多個(gè)探測(cè)器，用于探測(cè)所述衍射光的干涉信號(hào)。在圖1中，所述探測(cè)單元13為一探測(cè)器，用于探測(cè)多波長(zhǎng)不同級(jí)次的衍射光的干涉信號(hào)。所述探測(cè)單元13的感光面需要覆蓋不同波長(zhǎng)的光斑會(huì)聚位置，由于光強(qiáng)信號(hào)僅與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記位置、對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記光柵常數(shù)有關(guān)，而與波長(zhǎng)無(wú)關(guān)，故本實(shí)施例既可以根據(jù)工藝情況挑選工藝適應(yīng)性好的波長(zhǎng)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)，也可以同時(shí)使用多波長(zhǎng)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)。當(dāng)測(cè)量不同級(jí)次對(duì)準(zhǔn)信號(hào)時(shí)，需要對(duì)采集到的不同頻率的正弦信號(hào)進(jìn)行提取，從而得到各級(jí)次的對(duì)準(zhǔn)位置。級(jí)次越高，對(duì)準(zhǔn)精度越高，但對(duì)準(zhǔn)范圍越小，因此本實(shí)施例提供的對(duì)準(zhǔn)裝置可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)較大的對(duì)準(zhǔn)范圍和高精度測(cè)量。

所述探測(cè)單元13也可以包含多個(gè)探測(cè)器，每個(gè)探測(cè)器用于探測(cè)同一波長(zhǎng)某一級(jí)次的衍射光的干涉信號(hào)，或者每個(gè)探測(cè)器用于探測(cè)同一級(jí)次某一波長(zhǎng)的衍射光的干涉信號(hào)，如圖3與圖4所示。在圖3中，所述探測(cè)單元包含探測(cè)器131與探測(cè)器132，所述探測(cè)器131用于探測(cè)某一波長(zhǎng)λ1下+1級(jí)與-1級(jí)衍射光的干涉信號(hào)，所述探測(cè)器132用于探測(cè)某一波長(zhǎng)λ1下+2級(jí)與-2級(jí)衍射光的干涉信號(hào)，同時(shí)也可以增加多個(gè)探測(cè)器，例如n個(gè)，第n個(gè)探測(cè)器用于探測(cè)某一波長(zhǎng)λ1下+n級(jí)與-n級(jí)衍射光的干涉信號(hào)，即所有的探測(cè)器探測(cè)同一波長(zhǎng)λ1下不同級(jí)次的衍射光的干涉信號(hào)。在圖4中，所述探測(cè)單元包含探測(cè)器231與探測(cè)器232，所述探測(cè)器231用于探測(cè)同一級(jí)次(例如+1級(jí)與-1級(jí))下波長(zhǎng)λ1的衍射光的干涉信號(hào)，所述探測(cè)器232用于探測(cè)同一級(jí)次(例如+1級(jí)與-1級(jí))下波長(zhǎng)λ2的衍射光的干涉信號(hào)，同時(shí)也可以增加多個(gè)探測(cè)器，例如n個(gè)，第n個(gè)探測(cè)器用于探 測(cè)同一級(jí)次(例如+1級(jí)與-1級(jí))下波長(zhǎng)λn的衍射光的干涉信號(hào)，即所有的探測(cè)器探測(cè)同一級(jí)次(例如+1級(jí)與-1級(jí))下不同波長(zhǎng)的衍射光的干涉信號(hào)。與圖1所示的一個(gè)探測(cè)器的情況相比，設(shè)置多個(gè)探測(cè)器探測(cè)同一波長(zhǎng)不同級(jí)次或同一級(jí)次不同波長(zhǎng)的衍射光的干涉信號(hào)，雖然探測(cè)器的數(shù)量增大，但是探測(cè)器的難度降低，探測(cè)器的成本也會(huì)隨著降低。

需要說(shuō)明的是，在圖3與圖4所示的情況下，也可以僅設(shè)置一個(gè)探測(cè)器，用于探測(cè)衍射光的干涉信號(hào)。例如，在圖3中，僅設(shè)置一個(gè)探測(cè)器131，用于探測(cè)某一波長(zhǎng)λ1下+1級(jí)與-1級(jí)衍射光的干涉信號(hào)，在圖4中，僅設(shè)置一個(gè)探測(cè)器231，用于探測(cè)同一級(jí)次(例如+1級(jí)與-1級(jí))下波長(zhǎng)λ1的衍射光的干涉信號(hào)，最終通過(guò)處理單元根據(jù)所述干涉信號(hào)的強(qiáng)度隨運(yùn)動(dòng)臺(tái)位置變化的關(guān)系計(jì)算對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的中心位置。此種方案不但降低探測(cè)器的數(shù)量而且不會(huì)增加探測(cè)器的探測(cè)量，但是對(duì)準(zhǔn)精度下降。具體使用哪一種探測(cè)器，需根據(jù)實(shí)際情況來(lái)選擇。

綜上所述，本發(fā)明提供的對(duì)準(zhǔn)裝置，通過(guò)采用照明單元垂直照明對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，采用光學(xué)單元使正負(fù)級(jí)次衍射光平行并匯聚到其焦面上，從而干涉產(chǎn)生對(duì)準(zhǔn)信號(hào)，采用探測(cè)單元使正負(fù)級(jí)次衍射光在探測(cè)面上成像，采用處理單元根據(jù)所述干涉強(qiáng)度信號(hào)隨運(yùn)動(dòng)臺(tái)位置變化的關(guān)系計(jì)算對(duì)準(zhǔn)位置信息，從而無(wú)需使用楔板或復(fù)雜棱鏡，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，并且對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記離焦和傾斜不會(huì)影響測(cè)量精度，實(shí)現(xiàn)了高精度測(cè)量；可兼容多種測(cè)量波長(zhǎng)，并且對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記兼容性好，可測(cè)量多方向的光柵型對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，亦可兼容不同周期的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，提高了工藝適應(yīng)性。

上述描述僅是對(duì)本發(fā)明較佳實(shí)施例的描述，并非對(duì)本發(fā)明范圍的任何限定，本發(fā)明領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書(shū)的保護(hù)范圍。