技術特征：

技術總結
本發(fā)明涉及一種高精度對準光學元件和玻璃平板的裝置與方法。適用于精密器械裝調領域，提供了光學元件表面平行度的對準裝置，包括支撐第一光學元件的第一支架、支撐第二光學元件的第二支架、激光自準直儀及控制器；激光自準直儀包括主機和與主機配套的分光鏡及表面反射鏡，分光鏡貼設于第一光學元件表面，表面反射鏡貼設于第二光學元件表面；第一支架上設有第一調節(jié)件，第二支架上設有第二調節(jié)件。本發(fā)明采集了分光鏡和表面反射鏡轉動時的多組數據，在激光自準直儀精度不夠時，通過多次測量可提高重復精度，激光自準直儀存在系統(tǒng)偏差時可以相互抵消；通過對分光鏡和表面反射鏡進行旋轉并取光點軌跡中心進行計算，消除了分光鏡和表面反射鏡自身厚度不均帶來的偏差，提高了光學元件平行度檢測精度和效率。

技術研發(fā)人員：黃輝;趙志輝;王華茂;劉建輝;羅菁冬
受保護的技術使用者：深圳市睿晟自動化技術有限公司
技術研發(fā)日：2016.02.01
技術公布日：2017.08.08