技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及用于將基材轉(zhuǎn)移入光刻裝置(301)中的真空腔室中以及從光刻裝置中的真空腔室轉(zhuǎn)移的裝置和方法。加載鎖定系統(tǒng)包括：加載鎖定腔室(310)以及轉(zhuǎn)移裝置，加載鎖定腔室設(shè)置有開口(311)，用于允許基材通過而進出加載鎖定腔室，轉(zhuǎn)移裝置包括至少部分地布置在加載鎖定腔室中的子框架、通過其近端連接至子框架的臂、以及連接至臂的遠(yuǎn)端的基材接納單元。臂包括至少三個鉸接臂部分，其中，第一臂部分和第二臂部分通過其近端鉸接地連接至子框架。第三臂部分鉸接地連接至第一臂部分和第二臂部分的遠(yuǎn)端。各臂部分被布置成形成四連桿機構(gòu)。

技術(shù)研發(fā)人員：M·P·丹斯伯格;S·赫斯達爾;J·P·R·喬葛尼爾
受保護的技術(shù)使用者：邁普爾平版印刷IP有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.11.12
技術(shù)公布日：2017.08.29