1.一種自由光瞳照明方法，其特征在于，包括如下步驟：
步驟1、設置LED陣列光源，所述LED陣列光源由若干LED光源組合而成，具有光源主軸；
步驟2、設置可變視場光闌在所述光源主軸上；
步驟3、設置控制單元，所述控制單元與所述LED陣列光源和可變視場光闌分別連接；
步驟4、根據(jù)所需光瞳能量分布需求，及曝光視場范圍，通過所述控制單元控制相應的LED光源出射光的功率，及所述可變視場光闌的攔光范圍，完成相應的自由光瞳照明。
2.如權利要求1所述的自由光瞳照明方法，其特征在于，還包括：
步驟5、測試整個視場范圍內(nèi)，光瞳能量分布是否符合需求，如果不符合，修正各LED光源出射光的功率。
3.如權利要求1所述的自由光瞳照明方法，其特征在于，所述LED陣列光源由若干個同一類型的LED光源按照圓形的排列方式緊密排布組合而成，且若干個LED光源關于所述LED陣列光源中心對稱分布。
4.如權利要求3所述的自由光瞳照明方法，其特征在于，每個所述LED光源均與所述控制單元相連。
5.如權利要求1所述的自由光瞳照明方法，其特征在于，所述LED陣列光源的波長為365nm、248nm或以下。
6.如權利要求1所述的自由光瞳照明方法，其特征在于，所述LED陣列光源的出射截面為24mm。
7.一種自由光瞳照明系統(tǒng)，其特征在于，包括LED陣列光源、第一中繼鏡組、勻光單元、可變視場光闌、第二中繼鏡組以及控制單元，所述LED陣列光源、第一中繼鏡組、勻光單元、可變視場光闌以及第二中繼鏡組依次排列，所述第一中繼鏡組、勻光單元以及可變視場光闌設置在所述LED陣列光源的主軸上，所述控制單元與所述LED陣列光源和可變視場光闌分別連接，用于根據(jù)光瞳能量分布需求，及曝光視場范圍，通過所述控制單元控制所述LED陣列光源出射 光的功率，及所述可變視場光闌的攔光范圍，完成相應的自由光瞳照明。
8.如權利要求7所述的自由光瞳照明系統(tǒng)，其特征在于，所述勻光單元包括微透鏡陣列和匯聚鏡組，所述匯聚鏡組的入瞳面位于所述微透鏡陣列的后表面。
9.如權利要求8所述的自由光瞳照明系統(tǒng)，其特征在于，所述微透鏡陣列的前表面位于所述第一中繼鏡組的像面。
10.如權利要求8所述的自由光瞳照明系統(tǒng)，其特征在于，所述可變視場光闌位于所述匯聚鏡組的像面。
11.如權利要求8所述的自由光瞳照明系統(tǒng)，其特征在于，所述第二中繼鏡組的物面位于所述匯聚鏡組的像面。
12.如權利要求8所述的自由光瞳照明系統(tǒng)，其特征在于，所述微透鏡陣列包括兩塊相同的微透鏡，每塊微透鏡由前后兩面分別相互垂直的柱面鏡疊加而成。
13.如權利要求8所述的自由光瞳照明系統(tǒng)，其特征在于，所述匯聚鏡組和可變視場光闌之間還設有石英棒。
14.如權利要求13所述的自由光瞳照明系統(tǒng)，其特征在于，所述石英棒的入光端面位于所述匯聚鏡組的像面，所述可變視場光闌位于所述石英棒的出光端。
15.如權利要求7所述的自由光瞳照明系統(tǒng)，其特征在于，所述第一中繼鏡組的物面位于所述LED陣列光源的出光端。