驅(qū)動裝置及掃描狹縫單元的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種驅(qū)動裝置及掃描狹縫單元，通過支撐架上設(shè)置第一軸承，刀背上設(shè)置第二軸承，彈簧一端固定于所述第一軸承的一連接點上，彈簧另一端固定于所述第二軸承的一連接點上，當(dāng)馬達驅(qū)動所述刀背運動時，彈簧將發(fā)生一定的伸縮運動，此時彈簧與支撐架以及刀背之間將發(fā)生一定的轉(zhuǎn)動，該轉(zhuǎn)動分別由轉(zhuǎn)動性能比較好的第一軸承及第二軸承完成，由此能夠避免彈簧與支撐架以及刀背(轉(zhuǎn)動)摩擦，進而能夠避免碎屑、顆粒的產(chǎn)生，提高了驅(qū)動裝置的可靠性，保證了掃描狹縫的清潔，曝光的平整性。
【專利說明】驅(qū)動裝置及掃描狹縫單元

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及集成電路制造設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種驅(qū)動裝置及掃描狹縫單元。

【背景技術(shù)】
[0002]大規(guī)模集成電路生產(chǎn)是現(xiàn)代微電子技術(shù)的核心，而半導(dǎo)體設(shè)備是發(fā)展集成電路的基礎(chǔ)。在當(dāng)前半導(dǎo)體制造設(shè)備中，光刻設(shè)備占據(jù)最重要地位。光刻技術(shù)在經(jīng)歷了接近/接觸式、掃描投影式、步進投影式幾個重大技術(shù)發(fā)展階段后，步進掃描投影式已發(fā)展成為目前的主流技術(shù)。
[0003]步進掃描投影光刻機中最重要的一個部件為曝光系統(tǒng)，曝光系統(tǒng)將產(chǎn)生曝光視場。在一個曝光視場的起始與終止位置，部分照明視場的位置位于曝光視場之外，超出曝光視場范圍的照明視場會照射到相鄰曝光視場上。掃描狹縫單元作為步進掃描光刻機曝光系統(tǒng)中重要的攔光裝置，其作用是限定掩模面照明視場大小及其中心位置，避免成像光束對曝光視場以外的區(qū)域曝光。
[0004]掃描狹縫單元通常包括四個刀片，該四個刀片兩兩相對設(shè)置，組成兩組刀片對。每個刀片上設(shè)置有驅(qū)動該刀片運動的驅(qū)動裝置，在驅(qū)動裝置的驅(qū)動下，其中一對刀片能夠?qū)崿F(xiàn)X軸方向運動，另一對刀片能夠?qū)崿F(xiàn)Y軸方向運動。通過控制兩組刀片對的相對位置，可以實現(xiàn)曝光視場設(shè)置和同步掃描曝光。現(xiàn)有的驅(qū)動裝置，容易產(chǎn)生顆粒，從而影響掃描狹縫的平整性，導(dǎo)致曝光不平整；以及產(chǎn)生的顆粒也容易導(dǎo)致驅(qū)動裝置對于刀片控制的不夠精確。
[0005]請參考圖1，其為現(xiàn)有的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，所述驅(qū)動裝置I包括:支撐架10，所述支撐架10上設(shè)置有第一固定扣11 ;刀背12，所述刀背12上設(shè)置有第二固定扣13 ;彈簧14,所述彈簧14 一端套接于所述第一固定扣11上,所述彈簧14另一端套接于所述第二固定扣13上；馬達15，所述馬達15能夠驅(qū)動所述刀背12運動。進一步的，通過刀背12的運動帶動相應(yīng)的刀片運動。在此，由于彈簧14 一端套接于第一固定扣11上，另一端套接于第二固定扣13上，在刀背12運動的過程中，彈簧14將發(fā)生一定的伸縮運動，由此彈簧14與第一固定扣11以及第二固定扣13之間將發(fā)生一定的(轉(zhuǎn)動)摩擦，從而將產(chǎn)生一些碎屑、顆粒，進而影響掃描狹縫的平整性，導(dǎo)致曝光不平整；以及導(dǎo)致驅(qū)動裝置對于刀片控制的不夠精確。
實用新型內(nèi)容
[0006]本實用新型的目的在于提供一種驅(qū)動裝置及掃描狹縫單元，以解決現(xiàn)有的驅(qū)動裝置，容易產(chǎn)生顆粒，從而影響掃描狹縫的平整性，導(dǎo)致曝光不平整；以及產(chǎn)生的顆粒也容易導(dǎo)致驅(qū)動裝置對于刀片控制的不夠精確的問題。
[0007]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置包括:
[0008]支撐架及設(shè)置于所述支撐架上的第一軸承；
[0009]刀背及設(shè)置于所述刀背上的第二軸承；
[0010]彈簧，所述彈簧一端固定于所述第一軸承的一連接點上，所述彈簧另一端固定于所述第二軸承的一連接點上；及
[0011]驅(qū)動所述刀背運動的馬達。
[0012]可選的，在所述的驅(qū)動裝置中，所述第一軸承及第二軸承外均套有保護蓋。
[0013]可選的，在所述的驅(qū)動裝置中，所述保護蓋為透明保護蓋。
[0014]可選的，在所述的驅(qū)動裝置中，所述第一軸承及第二軸承上均設(shè)置有注入口。
[0015]可選的，在所述的驅(qū)動裝置中，所述彈簧一端通過螺紋連接方式固定于所述第一軸承的一連接點上，所述彈簧另一端通過螺紋連接方式固定于所述第二軸承的一連接點上。
[0016]可選的，在所述的驅(qū)動裝置中，所述支撐架包括連接條及固定于所述連接條上平行排列的兩根導(dǎo)軌。
[0017]可選的，在所述的驅(qū)動裝置中，所述馬達驅(qū)動所述刀背沿所述兩根導(dǎo)軌運動。
[0018]可選的，在所述的驅(qū)動裝置中，所述第一軸承設(shè)置于所述連接條上。
[0019]本發(fā)明還提供一種掃描狹縫單元，所述掃描狹縫單元包括:
[0020]四個刀片，所述四個刀片兩兩相對設(shè)置，組成兩組刀片對；
[0021]每個刀片上設(shè)置有如上所述的驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置能夠驅(qū)動所述刀片運動。
[0022]在本實用新型提供的驅(qū)動裝置及掃描狹縫單元中，通過支撐架上設(shè)置第一軸承，刀背上設(shè)置第二軸承，彈簧一端固定于所述第一軸承的一連接點上，彈簧另一端固定于所述第二軸承的一連接點上，當(dāng)馬達驅(qū)動所述刀背運動時，彈簧將發(fā)生一定的伸縮運動，此時彈簧與支撐架以及刀背之間將發(fā)生一定的轉(zhuǎn)動，該轉(zhuǎn)動分別由轉(zhuǎn)動性能比較好的第一軸承及第二軸承完成，由此能夠避免彈簧與支撐架以及刀背(轉(zhuǎn)動)摩擦，進而能夠避免碎屑、顆粒的產(chǎn)生，提高了驅(qū)動裝置的可靠性，保證了掃描狹縫的清潔，曝光的平整性。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1是現(xiàn)有的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2是本實用新型實施例的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖3是本實用新型實施例的掃描狹縫單元的示意圖。

【具體實施方式】
[0026]以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型提出的驅(qū)動裝置及掃描狹縫單元作進一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0027]請參考圖2，其為本實用新型實施例的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，在本申請實施例中，所述驅(qū)動裝置2包括:
[0028]支撐架20及設(shè)置于所述支撐架20上的第一軸承21 ；
[0029]刀背22及設(shè)置于所述刀背22上的第二軸承23 ；
[0030]彈簧24，所述彈簧24 —端固定于所述第一軸承21的一連接點上，所述彈簧24另一端固定于所述第二軸承23的一連接點上；及
[0031]驅(qū)動所述刀背運動的馬達25。
[0032]在本申請實施例中，通過支撐架20上設(shè)置第一軸承21，刀背22上設(shè)置第二軸承23，彈簧24 —端固定于所述第一軸承21的一連接點上，彈簧24另一端固定于所述第二軸承23的一連接點上，當(dāng)馬達25驅(qū)動所述刀背22運動時，彈簧24將發(fā)生一定的伸縮運動，此時彈簧24與支撐架20以及刀背22之間將發(fā)生一定的轉(zhuǎn)動，該轉(zhuǎn)動分別由轉(zhuǎn)動性能比較好的第一軸承21及第二軸承23完成，由此能夠避免彈簧24與支撐架20以及刀背22發(fā)生(轉(zhuǎn)動)摩擦，進而能夠避免碎屑、顆粒的產(chǎn)生，提高了驅(qū)動裝置2的可靠性，保證了掃描狹縫的清潔，曝光的平整性。特別的，彈簧24—端固定于所述第一軸承21的一連接點上，彈簧24另一端固定于所述第二軸承23的一連接點上，由此，即使彈簧24與第一軸承21以及第二軸承23之間發(fā)生一定的轉(zhuǎn)動，由于連接面積非常小，所產(chǎn)生的(轉(zhuǎn)動)摩擦也將非常小，從而能夠避免碎屑、顆粒的產(chǎn)生。
[0033]進一步的，所述第一軸承21及第二軸承23外均套有保護蓋(圖2中未示出)，由此，即使所述第一軸承21及第二軸承23在轉(zhuǎn)動過程中產(chǎn)生一定的碎屑、顆粒，也能夠通過所述保護蓋將碎屑、顆粒圍起來，防止所述碎屑、顆粒影響到掃描狹縫以及馬達等的工作。
[0034]優(yōu)選的，所述保護蓋為透明保護蓋，即所述保護蓋內(nèi)的狀況可見。由此，當(dāng)所述第一軸承21及第二軸承23在轉(zhuǎn)動過程中產(chǎn)生一定的碎屑、顆粒時，能夠被及時發(fā)現(xiàn)，從而對所述第一軸承21及第二軸承23做出相應(yīng)處理，例如更換等。此外，當(dāng)所述保護蓋內(nèi)積攢有較多碎屑、顆粒時，也能夠被及時發(fā)現(xiàn)，從而進行相應(yīng)的清潔工作等。
[0035]在本申請實施例中，所述第一軸承21及第二軸承23上均設(shè)置有注入口，具體的，所述第一軸承21上設(shè)置有第一注入口 26，所述第二軸承23上設(shè)置有第二注入口 27。通過在所述第一軸承21及第二軸承23上設(shè)置注入口，可向所述第一軸承21及第二軸承23注入潤滑油，從而使得所述第一軸承21及第二軸承23的轉(zhuǎn)動更加順滑，避免所述第一軸承21及第二軸承23在轉(zhuǎn)動過程中產(chǎn)生碎屑、顆粒。
[0036]在本申請實施例中，所述彈簧24 —端通過螺紋連接方式固定于所述第一軸承21的一連接點上，所述彈簧24另一端通過螺紋連接方式固定于所述第二軸承23的一連接點上。具體的，可以在所述第一軸承21的一連接點設(shè)置螺紋口，同樣的，在所述第二軸承23的一連接點也設(shè)置螺紋口，所述彈簧24的兩端設(shè)置成螺紋柱形式，由此通過螺紋旋緊，所述彈簧24便可與第一軸承21及第二軸承23固定連接。所述彈簧24通過螺紋連接方式與第一軸承21及第二軸承23固定連接，可以提高彈簧24、第一軸承21及第二軸承23的使用壽命，具體的，當(dāng)其中一個部件損壞需要更換時，其余兩個部件能夠不受影響。
[0037]在本申請實施例中，所述支撐架20包括連接條200及固定于所述連接條200上平行排列的兩根導(dǎo)軌201。所述馬達25能夠驅(qū)動所述刀背22沿所述兩根導(dǎo)軌201運動。所述第一軸承21設(shè)置于所述連接條200上。
[0038]相應(yīng)的，本實施例還提供一種掃描狹縫單元，所述掃描狹縫單元包括:四個刀片，所述四個刀片兩兩相對設(shè)置，組成兩組刀片對；每個刀片上設(shè)置有如上所述的驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置能夠驅(qū)動所述刀片運動，所述驅(qū)動裝置的刀背與所述刀片連接。
[0039]具體的，可參考圖3，其為本實用新型實施例的掃描狹縫單元的示意圖。在圖3中，為了清楚地、突出地示出掃描狹縫單元的結(jié)構(gòu)(主要是四個刀片之間的位置關(guān)系)，將驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)弱化，以一長方形代替。如圖3所示，刀片30與刀片31相對設(shè)置，組成一組刀片對，在驅(qū)動裝置2的驅(qū)動下沿X軸方向運動；刀片32與刀片33相對設(shè)置，組成一組刀片對，在驅(qū)動裝置2的驅(qū)動下沿Y軸方向運動，通過刀片30、31、32及33的運動，便可實現(xiàn)曝光視場設(shè)置和同步掃描曝光。
[0040]上述描述僅是對本實用新型較佳實施例的描述，并非對本實用新型范圍的任何限定，本實用新型領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種驅(qū)動裝置，其特征在于，包括: 支撐架及設(shè)置于所述支撐架上的第一軸承； 刀背及設(shè)置于所述刀背上的第二軸承； 彈簧，所述彈簧一端固定于所述第一軸承的一連接點上，所述彈簧另一端固定于所述第二軸承的一連接點上 '及驅(qū)動所述刀背運動的馬達。
2.如權(quán)利要求1所述的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述第一軸承及第二軸承外均套有保護蓋。
3.如權(quán)利要求2所述的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述保護蓋為透明保護蓋。
4.如權(quán)利要求1所述的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述第一軸承及第二軸承上均設(shè)置有注入口。
5.如權(quán)利要求1所述的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述彈簧一端通過螺紋連接方式固定于所述第一軸承的一連接點上，所述彈簧另一端通過螺紋連接方式固定于所述第二軸承的一連接點上。
6.如權(quán)利要求1?5中任一項所述的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述支撐架包括連接條及固定于所述連接條上平行排列的兩根導(dǎo)軌。
7.如權(quán)利要求6所述的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述馬達驅(qū)動所述刀背沿所述兩根導(dǎo)軌運動。
8.如權(quán)利要求6所述的驅(qū)動裝置，其特征在于，所述第一軸承設(shè)置于所述連接條上。
9.一種掃描狹縫單元，其特征在于，包括: 四個刀片，所述四個刀片兩兩相對設(shè)置，組成兩組刀片對； 每個刀片上設(shè)置有如權(quán)利要求1?8中任一項所述的驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置能夠驅(qū)動所述刀片運動。
【文檔編號】G03F7/20GK203965800SQ201420381081
【公開日】2014年11月26日 申請日期:2014年7月10日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月10日
【發(fā)明者】于濺波, 何軍 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司