一種具有真空氣壓監(jiān)控功能的fpc板曝光裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種具有真空氣壓監(jiān)控功能的FPC板曝光裝置，它包括真空氣壓監(jiān)控裝置、上層裝載框架（1）、下層裝載框架（19）、曝光箱（2）和裝載箱（3），上層裝載框架（1）和下層裝載框架（19）均包括上框架（17）和下框架（18），下框架（18）設(shè)置有抽真空通道、抽真空氣孔（11）和抽真空接頭（12）。本實(shí)用新型的有益效果是：解決了菲林與FPC板對(duì)位速度慢的問(wèn)題，提高了生產(chǎn)效率；兩個(gè)裝載框架交替進(jìn)行曝光，節(jié)省了取、裝料操作對(duì)曝光效率的影響；能夠準(zhǔn)確的檢測(cè)下透光板和上透光板之間的真空氣壓數(shù)據(jù)，確保真空氣壓數(shù)值，從而保證曝光質(zhì)量。
【專利說(shuō)明】
一種具有真空氣壓監(jiān)控功能的FPC板曝光裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種具有真空氣壓監(jiān)控功能的FPC板曝光裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]在FPC板制造工藝中，主要有FPC板的清洗、印刷(烘烤)、曝光顯影、圖像電鍍極大工序。其中，在曝光顯影工序中有一道外層曝光的工序，該工序使用一種手動(dòng)曝光機(jī)。該手動(dòng)曝光機(jī)包括一個(gè)玻璃臺(tái)面，用以放置待曝光的FPC板，以及一個(gè)貼膜層，用以貼敷定位所述FPC板。玻璃臺(tái)面與貼敷膜層之間，還設(shè)有抽氣口，工作時(shí)，先將FPC板放置于所述玻璃臺(tái)面上，再將貼敷膜層貼敷在所述FPC板的表面，然后通過(guò)所述抽氣口抽氣，開(kāi)啟光源，對(duì)待曝光的FPC板的下表面進(jìn)行曝光。此裝置僅能完成FPC板的單面曝光，對(duì)于需要雙面曝光的FPC板需要進(jìn)行兩次曝光操作，效率低，耗時(shí)長(zhǎng)。
[0003]現(xiàn)有FPC板在曝光前需要疊上菲林，然后將菲林邊上定位焊環(huán)與FPC板定位孔目視對(duì)準(zhǔn)后，利用膠紙對(duì)貼，之后將板放進(jìn)曝光機(jī)進(jìn)行曝光，曝光后則撕下板表面的菲林，完成曝光。之后采用同樣的方法來(lái)操作第二塊FPC板，這種工作模式不僅速度慢、準(zhǔn)確度低而且浪費(fèi)人工。
[0004]并且，目前使用的曝光機(jī)一般通過(guò)目測(cè)憑經(jīng)驗(yàn)估計(jì)腔體內(nèi)的的真空度，誤差大，且無(wú)法控制腔體內(nèi)的真空度，可能會(huì)引起真空度抽氣過(guò)度而導(dǎo)致玻璃蓋板爆裂，或者由于真空度太低，空氣殘留過(guò)多，造成曝光不良。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供一種對(duì)位和曝光可同時(shí)完成、提高生產(chǎn)效率的具有真空氣壓監(jiān)控功能的FPC板曝光裝置。
[0006]本實(shí)用新型的目的通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):一種具有真空氣壓監(jiān)控功能的FPC板曝光裝置，它包括真空氣壓監(jiān)控裝置、上層裝載框架、下層裝載框架、以及依次連接為一體的曝光箱和裝載箱，曝光箱和裝載箱上均設(shè)置有用于安裝上層裝載框架的上層水平導(dǎo)軌，曝光箱和裝載箱上均設(shè)置有用于安裝下層裝載框架的下層水平導(dǎo)軌，曝光箱位于上層水平導(dǎo)軌的上側(cè)和下層水平導(dǎo)軌的下側(cè)均設(shè)置有曝光光源，所述的上層裝載框架和下層裝載框架結(jié)構(gòu)相同，上層裝載框架和下層裝載框架均包括上框架和下框架，上框架和下框架通過(guò)設(shè)置于后側(cè)面上的合頁(yè)連接為一體，上框架的底面上設(shè)置有上透光板，下框架的頂面上設(shè)置有容置上框架的凹槽，該凹槽的底面上設(shè)置有下透光板，所述的下透光板的上表面上設(shè)置有四個(gè)定位柱，底面菲林固定安裝于定位柱上，下框架內(nèi)部設(shè)置有抽真空通道，下框架位于上透光板和下透光板之間的部分上設(shè)置有抽真空氣孔，下框架上還設(shè)置有用于連接抽真空管路的抽真空接頭，抽真空接頭通過(guò)抽真空通道與抽真空氣孔連通，所述的下框架的左右兩側(cè)均設(shè)置有水平凸棱，上層裝載框架的水平凸棱滑動(dòng)安裝于曝光箱和裝載箱的上層水平導(dǎo)軌內(nèi)，下層裝載框架的水平凸棱滑動(dòng)安裝于曝光箱和裝載箱的上層水平導(dǎo)軌內(nèi)，所述的真空氣壓監(jiān)控裝置包括真空泵、氣壓傳感器和控制器，抽真空接頭通過(guò)氣路與真空泵吸氣口相連，氣路上設(shè)置有控制氣路通斷的電磁閥，氣壓傳感器安裝于下框架的抽真空通道內(nèi)，氣壓傳感器與控制器的輸入端連接，真空泵和電磁閥分別與控制器的輸出端連接。
[0007]所述的底面菲林的上方依次疊放有安裝于定位柱上的FPC板和頂面菲林。
[0008]所述的定位柱的高度不小于底面菲林、FPC板和頂面菲林的厚度之和。
[0009]所述的上層裝載框架和下層裝載框架的上框架的前端面上均安裝有把手。
[0010]所述的上層裝載框架和下層裝載框架的上框架的前端面設(shè)置有凸塊，下框架上設(shè)置有與凸塊相配合的缺口，凸塊的前端面與下框架的前端面相平齊，把手安裝于凸塊的前端面上。
[0011]本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型解決了現(xiàn)有裝置菲林與FPC板對(duì)位速度慢的問(wèn)題。整個(gè)工作過(guò)程中對(duì)位和曝光可以通過(guò)同一個(gè)操作者同時(shí)完成，提高了生產(chǎn)效率，降低了人工成本。
[0012]本實(shí)用新型可以對(duì)FPC板兩個(gè)表面貼附的感光膜同時(shí)進(jìn)行曝光，從而提高了曝光效率，裝載框架的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使得裝載裝置與曝光光源安裝結(jié)構(gòu)為分體結(jié)構(gòu)，裝載工作方便、容易進(jìn)行，同時(shí)能夠滿足真空條件的工況需求。兩個(gè)平行設(shè)置的上層裝載框架和下層裝載框架能夠交替進(jìn)行曝光，從而節(jié)省了取、裝料操作對(duì)曝光效率的影響，同樣提高了效率。
[0013]通過(guò)設(shè)置真空氣壓監(jiān)控裝置，從而能夠準(zhǔn)確的檢測(cè)下透光板和上透光板之間的真空氣壓數(shù)據(jù)，確保曝光過(guò)程中下透光板和上透光板之間的真空氣壓數(shù)值，從而保證曝光質(zhì)量；當(dāng)抽真空達(dá)到要求的真空氣壓數(shù)值時(shí)，控制器會(huì)控制電磁閥關(guān)閉、控制真空泵停止工作，從而延長(zhǎng)真空泵的使用壽命。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖
[0015]圖2本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖
[0016]圖2為本實(shí)用新型的裝載框架的俯視結(jié)構(gòu)示意圖
[0017]圖3為圖2沿A-A截面的剖視圖
[0018]圖4為本實(shí)用新型的裝載框架的上框架打開(kāi)時(shí)的俯視結(jié)構(gòu)示意圖
[0019]圖5為本實(shí)用新型的底面菲林、FPC板和頂面菲林在定位柱上的安裝結(jié)構(gòu)示意圖
[0020]圖6為本實(shí)用新型另一種工作狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖
[0021]圖7為本實(shí)用新型真空氣壓監(jiān)控裝置的框圖
[0022]圖中，1-上層裝載框架，2-曝光箱，3-裝載箱，4-上層水平導(dǎo)軌A，5_上層水平導(dǎo)軌B，6-曝光光源，7-合頁(yè)，8-上透光板，9-凹槽，10-下透光板，11-抽真空氣孔，12-抽真空接頭，13-水平凸棱，14-把手，15-凸塊，16-缺口，17-上框架，18-下框架，19-下層裝載框架，20-下層水平導(dǎo)軌A，21-下層水平導(dǎo)軌B，22-定位柱，23-底面菲林，24-FPC板，25-頂面菲林。

【具體實(shí)施方式】
[0023]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的描述，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不局限于以下所述:
[0024]如圖1所示，一種具有真空氣壓監(jiān)控功能的FPC板曝光裝置，它包括真空氣壓監(jiān)控裝置、上層裝載框架1、下層裝載框架19、以及依次連接為一體的曝光箱2和裝載箱3，曝光箱2和裝載箱3上均設(shè)置有用于安裝上層裝載框架I的上層水平導(dǎo)軌，曝光箱2和裝載箱3上均設(shè)置有用于安裝下層裝載框架19的下層水平導(dǎo)軌，下層水平導(dǎo)軌位于上層水平導(dǎo)軌的正下方，曝光箱2內(nèi)的上層水平導(dǎo)軌A4與裝載箱3的上層水平導(dǎo)軌B5連接為連續(xù)的上層水平導(dǎo)軌，曝光箱2內(nèi)的下層水平導(dǎo)軌A20與裝載箱3的下層水平導(dǎo)軌B21連接為連續(xù)的下層水平導(dǎo)軌，曝光箱2位于上層水平導(dǎo)軌的上側(cè)和下層水平導(dǎo)軌的下側(cè)均設(shè)置有曝光光源6，所述的上層裝載框架I和下層裝載框架19結(jié)構(gòu)相同，如圖2、圖3、圖4所示，上層裝載框架I和下層裝載框架19均包括上框架17和下框架18，上框架17和下框架18通過(guò)設(shè)置于后側(cè)面上的合頁(yè)7連接為一體，上框架17的底面上設(shè)置有上透光板8，下框架18的頂面上設(shè)置有容置上框架17的凹槽9,該凹槽9的底面上設(shè)置有下透光板10,上框架17和下框架18均為由四個(gè)邊框圍成的矩形框架，透光板的四個(gè)邊緣均與對(duì)應(yīng)側(cè)的邊框緊密固定連接，如圖4所示，所述的下透光板10的上表面上設(shè)置有四個(gè)定位柱22，底面菲林23固定安裝于定位柱22上，下框架18內(nèi)部設(shè)置有抽真空通道，下框架18位于上透光板8和下透光板10之間的部分上設(shè)置有抽真空氣孔11，下框架18上還設(shè)置有用于連接抽真空管路的抽真空接頭12，抽真空接頭12通過(guò)抽真空通道與抽真空氣孔11連通，所述的下框架18的左右兩側(cè)均設(shè)置有水平凸棱13，上層裝載框架I的水平凸棱13滑動(dòng)安裝于曝光箱2和裝載箱3的上層水平導(dǎo)軌內(nèi)，下層裝載框架19的水平凸棱13滑動(dòng)安裝于曝光箱2和裝載箱3的上層水平導(dǎo)軌內(nèi)，
[0025]如圖7所示，所述的真空氣壓監(jiān)控裝置包括真空泵、氣壓傳感器和控制器，抽真空接頭12通過(guò)氣路與真空泵吸氣口相連，氣路上設(shè)置有控制氣路通斷的電磁閥，氣壓傳感器安裝于下框架18的抽真空通道內(nèi)，氣壓傳感器與控制器的輸入端連接，真空泵和電磁閥分別與控制器的輸出端連接。
[0026]所述的凹槽9僅設(shè)置于非安裝合頁(yè)7的邊框上，為了提高氣密性，上框架17在安裝合頁(yè)7的邊框的下表面設(shè)置有密封條，上框架17在非安裝合頁(yè)7的邊框的凹槽9的側(cè)面設(shè)置有密封條；為了進(jìn)一步提高氣密性，下框架18在安裝合頁(yè)7的邊框的上表面設(shè)置有密封條，下框架18在非安裝合頁(yè)7的邊框的側(cè)面設(shè)置有密封條，所述的抽真氣孔設(shè)置于下框架18非安裝合頁(yè)7的邊框上。
[0027]如圖4、圖5所示，所述的底面菲林23的上方依次疊放有安裝于定位柱22上的FPC板24和頂面菲林25，F(xiàn)PC板24和頂面菲林25上也設(shè)置有與定位柱22相配合的定位孔。
[0028]所述的定位柱22的高度不小于底面菲林23、FPC板24和頂面菲林25的厚度之和，優(yōu)選的定位柱22的高度略大于底面菲林23、FPC板24和頂面菲林25的厚度之和，如定位柱22的高度大于底面菲林23、FPC板24和頂面菲林25的厚度之和O?5mm，這樣既能夠滿足FPC板24與頂面菲林25的順利安裝，又利于上透光板對(duì)底面菲林23、FPC板24和頂面菲林25的壓緊，保證空氣被完全抽出。
[0029]所述的上層裝載框架I和下層裝載框架19的上框架17的前端面上均安裝有把手14。
[0030]所述的上層裝載框架I和下層裝載框架19的上框架17的前端面設(shè)置有凸塊15，下框架18上設(shè)置有與凸塊15相配合的缺口 16，凸塊15的前端面與下框架18的前端面相平齊，把手14安裝于凸塊15的前端面上。
[0031]本實(shí)用新型的工作過(guò)程如下:上層裝載框架I和下層裝載框架19輪流交替進(jìn)行上下料和曝光操作，當(dāng)其中一個(gè)裝載框架進(jìn)行曝光時(shí)，另一個(gè)裝載框架進(jìn)行上下料操作。
[0032]所述的裝載框架的上料操作為:通過(guò)把手14翻開(kāi)上框架17，上框架17繞合頁(yè)7旋轉(zhuǎn)打開(kāi)，將待曝光的FPC板24套裝于定位柱22上，使FPC板24的底面與底面菲林23接觸，再將頂面菲林25套裝于定位柱22上，使頂面菲林25與FPC板24接觸，然后蓋合上框架17，由真空泵通過(guò)抽真空氣孔11對(duì)下透光板10和上透光板8之間進(jìn)行抽真空，由上透光板8和下透光板10壓緊依次疊放的底面菲林23、FPC板24和頂面菲林25，此時(shí)，操作者可使用滾筒、壓板等裝置在上透光板8上滾壓或推壓，以將下透光板10與上透光板8之間的空氣完全抽出，氣壓傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)抽真空通道內(nèi)的氣壓變化，并將感應(yīng)信號(hào)傳輸至控制器，當(dāng)抽真空通道內(nèi)的氣壓達(dá)到設(shè)定值時(shí)，控制器控制關(guān)閉電磁閥、真空泵停止工作。
[0033]所述的裝載框架的曝光操作為:推動(dòng)完成上料的裝載框架的下框架18沿導(dǎo)軌滑動(dòng)，整個(gè)裝載框架進(jìn)入曝光箱2，同時(shí)反向拉出另一個(gè)完成曝光的裝載框架，進(jìn)入曝光箱2的裝載框架由分別位于裝載框架上部和下部的光源對(duì)裝載于上透光板8和下透光板10之間的FPC板24的兩個(gè)表面同時(shí)進(jìn)行曝光，如圖6所示，在此過(guò)程中，若氣壓傳感器監(jiān)測(cè)到抽真空通道內(nèi)的氣壓變化至未達(dá)到設(shè)定值時(shí)，控制器控制真空泵開(kāi)始工作、打開(kāi)電磁閥，對(duì)下透光板10和上透光板8之間進(jìn)行抽真空，保證下透光板10和上透光板8之間的真空氣壓數(shù)值，從而保證曝光質(zhì)量。
[0034]完成曝光的裝載框架，解除真空狀態(tài)，翻開(kāi)上框架17依次取下頂面菲林25和FPC板24，然后安裝下一塊FPC板24，再將頂面菲林25安裝于FPC板24上部，從而解決了現(xiàn)有裝置菲林與FPC板24對(duì)位速度慢的問(wèn)題。整個(gè)工作過(guò)程中對(duì)位和曝光可以通過(guò)同一個(gè)操作者同時(shí)完成，提高了生產(chǎn)效率，降低了人工成本。
[0035]本實(shí)用新型可以對(duì)FPC板24兩個(gè)表面貼附的感光膜同時(shí)進(jìn)行曝光，從而提高了曝光效率，裝載框架的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使得裝載裝置與曝光光源6安裝結(jié)構(gòu)為分體結(jié)構(gòu)，裝載工作方便、容易進(jìn)行，同時(shí)能夠滿足真空條件的工況需求。兩個(gè)平行設(shè)置的上層裝載框架I和下層裝載框架能夠交替進(jìn)行曝光，從而節(jié)省了取、裝料操作對(duì)曝光效率的影響，同樣提高了效率。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置真空氣壓監(jiān)控裝置，從而能夠準(zhǔn)確的檢測(cè)下透光板10和上透光板8之間的真空氣壓數(shù)據(jù)，確保曝光過(guò)程中下透光板10和上透光板8之間的真空氣壓數(shù)值，從而保證曝光質(zhì)量；當(dāng)抽真空達(dá)到要求的真空氣壓數(shù)值時(shí)，控制器會(huì)控制電磁閥關(guān)閉、控制真空泵停止工作，從而延長(zhǎng)真空泵的使用壽命。
【權(quán)利要求】
1.一種具有真空氣壓監(jiān)控功能的FPC板曝光裝置，其特征在于:它包括真空氣壓監(jiān)控裝置、上層裝載框架(I)、下層裝載框架(19)、以及依次連接為一體的曝光箱(2)和裝載箱(3),曝光箱(2)和裝載箱(3)上均設(shè)置有用于安裝上層裝載框架(I)的上層水平導(dǎo)軌，曝光箱(2)和裝載箱(3)上均設(shè)置有用于安裝下層裝載框架(19)的下層水平導(dǎo)軌，曝光箱(2)位于上層水平導(dǎo)軌的上側(cè)和下層水平導(dǎo)軌的下側(cè)均設(shè)置有曝光光源(6)，所述的上層裝載框架(I)和下層裝載框架(19 )結(jié)構(gòu)相同，上層裝載框架(I)和下層裝載框架(19 )均包括上框架(17)和下框架(18)，上框架(17)和下框架(18)通過(guò)設(shè)置于后側(cè)面上的合頁(yè)(7)連接為一體，上框架(17)的底面上設(shè)置有上透光板(8)，下框架(18)的頂面上設(shè)置有容置上框架(17)的凹槽(9)，該凹槽(9)的底面上設(shè)置有下透光板(10)，所述的下透光板(10)的上表面上設(shè)置有四個(gè)定位柱(22)，底面菲林(23)固定安裝于定位柱(22)上，下框架(18)內(nèi)部設(shè)置有抽真空通道，下框架(18)位于上透光板(8)和下透光板(10)之間的部分上設(shè)置有抽真空氣孔(11 )，下框架(18)上還設(shè)置有用于連接抽真空管路的抽真空接頭(12)，抽真空接頭(12)通過(guò)抽真空通道與抽真空氣孔(11)連通，所述的下框架(18)的左右兩側(cè)均設(shè)置有水平凸棱(13)，上層裝載框架(I)的水平凸棱(13)滑動(dòng)安裝于曝光箱(2)和裝載箱(3)的上層水平導(dǎo)軌內(nèi)，下層裝載框架(19)的水平凸棱(13)滑動(dòng)安裝于曝光箱(2)和裝載箱(3)的上層水平導(dǎo)軌內(nèi)，所述的真空氣壓監(jiān)控裝置包括真空泵、氣壓傳感器和控制器，抽真空接頭(12)通過(guò)氣路與真空泵吸氣口相連，氣路上設(shè)置有控制氣路通斷的電磁閥，氣壓傳感器安裝于下框架(18)的抽真空通道內(nèi)，氣壓傳感器與控制器的輸入端連接，真空泵和電磁閥分別與控制器的輸出端連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有真空氣壓監(jiān)控功能的FPC板曝光裝置，其特征在于:所述的底面菲林(23)的上方依次疊放有安裝于定位柱(22)上的FPC板(24)和頂面菲林(25)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種具有真空氣壓監(jiān)控功能的FPC板曝光裝置，其特征在于:所述的定位柱(22)的高度不小于底面菲林(23)、FPC板(24)和頂面菲林(25)的厚度之和。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有真空氣壓監(jiān)控功能的FPC板曝光裝置，其特征在于:所述的上層裝載框架(I)和下層裝載框架(19)的上框架(17)的前端面上均安裝有把手(14)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有真空氣壓監(jiān)控功能的FPC板曝光裝置，其特征在于:所述的上層裝載框架(I)和下層裝載框架(19)的上框架(17)的前端面設(shè)置有凸塊(15)，下框架(18)上設(shè)置有與凸塊(15)相配合的缺口(16)，凸塊(15)的前端面與下框架(18)的前端面相平齊，把手(14)安裝于凸塊(15)的前端面上。
【文檔編號(hào)】G03F7/20GK203930326SQ201420218764
【公開(kāi)日】2014年11月5日 申請(qǐng)日期:2014年4月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月30日
【發(fā)明者】劉維軍, 郭寶貴 申請(qǐng)人:遂寧市維海電子科技有限公司