用于制作光分路器的玻璃光波導(dǎo)的生產(chǎn)工藝的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了用于制作光分路器的玻璃光波導(dǎo)的生產(chǎn)工藝，包括如下步驟：研磨層制作，在玻璃基片上濺射一層鋁，作為離子交換時的掩膜層；光刻處理，將需要的波導(dǎo)圖形用光刻膠保護；去掉鋁膜，采用化學(xué)腐蝕，將波導(dǎo)上部的鋁膜取掉；溝道型光波導(dǎo)制作，將做好掩膜的玻璃基片放入含銀離子和鈉離子的混合溶液中，進(jìn)行離子交換，得到溝道型光波導(dǎo)；掩埋型玻璃光波導(dǎo)制作，對溝道型光波導(dǎo)施以電場，將銀離子趨向玻璃基片深處，得到掩埋型玻璃光波導(dǎo)。本發(fā)明通過上述原理，能夠讓銀離子和鈉離子的交換更徹底快速，銀離子能更好的趨向玻璃基片深處，制得的玻璃光波導(dǎo)品質(zhì)更好。
【專利說明】用于制作光分路器的玻璃光波導(dǎo)的生產(chǎn)工藝

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光分路器制作領(lǐng)域，具體涉及用于制作光分路器的玻璃光波導(dǎo)的生產(chǎn)工藝。

【背景技術(shù)】
[0002]與同軸電纜傳輸系統(tǒng)一樣，光網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)也需要將光信號進(jìn)行耦合、分支、分配，這就需要光分路器來實現(xiàn)。光分路器又稱分光器，是光纖鏈路中重要的無源器件之一，是具有多個輸入端和多個輸出端的光纖匯接器件，常用MXN來表不一個分路器有M個輸入端和N個輸出端。在光纖CATV系統(tǒng)中使用的光分路器一般都是I X2、1X3以及由它們組成的IXN光分路器。光分路器一般在六種材料上制作，包括銀酸鋰、半導(dǎo)體化合物、二氧化娃、絕緣體上硅、聚合物和玻璃，如今采用玻璃光導(dǎo)制作光分路器，由于現(xiàn)有制作工藝沒有鋁膜層，或者設(shè)置鋁膜層到后來卻沒有將其去除掉，導(dǎo)致最后離子交換不徹底到位，導(dǎo)致最后制得玻璃光波導(dǎo)品質(zhì)不佳。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供用于制作光分路器的玻璃光波導(dǎo)的生產(chǎn)工藝，能夠讓銀離子和鈉離子的交換更徹底快速，銀離子能更好的趨向玻璃基片深處，制得的玻璃光波導(dǎo)品質(zhì)更好。
[0004]為解決上述的技術(shù)問題，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:用于制作光分路器的玻璃光波導(dǎo)的生產(chǎn)工藝，包括如下步驟:
A、研磨層制作，在玻璃基片上濺射一層鋁，作為離子交換時的掩膜層；
B、光刻處理，將需要的波導(dǎo)圖形用光刻膠保護；
C、去掉鋁膜，采用化學(xué)腐蝕，將波導(dǎo)上部的鋁膜取掉；
D、溝道型光波導(dǎo)制作，將做好掩膜的玻璃基片放入含銀離子和鈉離子的混合溶液中，進(jìn)行離子交換，得到溝道型光波導(dǎo)；
E、掩埋型玻璃光波導(dǎo)制作，對溝道型光波導(dǎo)施以電場，將銀離子趨向玻璃基片深處，得到掩埋型玻璃光波導(dǎo)。在該工藝中通過濺射一層鋁作為離子交換的掩膜層，在不需要的時候還可通過化學(xué)腐蝕的方法將其按需要去掉，保證銀離子和鈉離子的交換更徹底快速，銀離子能更好的趨向玻璃基片深處，制得的玻璃光波導(dǎo)品質(zhì)更好。
[0005]步驟D中離子交換溫度范圍在25° -35°之間。在該溫度范圍內(nèi)離子交換更快速，提聞制得廣品的時間。
[0006]步驟B中鋁膜的腐蝕用稀酸腐蝕或者是堿腐蝕。均能達(dá)到腐蝕掩膜層的效果，選擇余地更覽。
[0007]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是:
1、在該工藝中通過濺射一層鋁作為離子交換的掩膜層，在不需要的時候還可通過化學(xué)腐蝕的方法將其按需要去掉，保證銀離子和鈉離子的交換更徹底快速，銀離子能更好的趨向玻璃基片深處，制得的玻璃光波導(dǎo)品質(zhì)更好。
[0008]2、離子交換溫度范圍在25° -35°之間。在該溫度范圍內(nèi)離子交換更快速，提高制得產(chǎn)品的時間。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本發(fā)明的工藝流程圖。

【具體實施方式】
[0010]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步闡述，本發(fā)明的實施例不限于此。
[0011]實施例1:
如圖1所示，本發(fā)明包括用于制作光分路器的玻璃光波導(dǎo)的生產(chǎn)工藝，包括如下步驟:
A、研磨層制作，在玻璃基片上濺射一層鋁，作為離子交換時的掩膜層；
B、光刻處理，將需要的波導(dǎo)圖形用光刻膠保護；
C、去掉鋁膜，采用化學(xué)腐蝕，將波導(dǎo)上部的鋁膜取掉；
D、溝道型光波導(dǎo)制作，將做好掩膜的玻璃基片放入含銀離子和鈉離子的混合溶液中，進(jìn)行離子交換，得到溝道型光波導(dǎo)；
E、掩埋型玻璃光波導(dǎo)制作，對溝道型光波導(dǎo)施以電場，將銀離子趨向玻璃基片深處，得到掩埋型玻璃光波導(dǎo)。在該工藝中通過濺射一層鋁作為離子交換的掩膜層，在不需要的時候還可通過化學(xué)腐蝕的方法將其按需要去掉，保證銀離子和鈉離子的交換更徹底快速，銀離子能更好的趨向玻璃基片深處，制得的玻璃光波導(dǎo)品質(zhì)更好。
[0012]實施例2:
本實施例在實施例1的基礎(chǔ)上優(yōu)選方案如下:步驟D中離子交換溫度范圍在25。-35°之間。在該溫度范圍內(nèi)離子交換更快速，提高制得產(chǎn)品的時間。
[0013]步驟B中鋁膜的腐蝕用稀酸腐蝕或者是堿腐蝕。
[0014]如上所述便可實現(xiàn)該發(fā)明。
【權(quán)利要求】
1.用于制作光分路器的玻璃光波導(dǎo)的生產(chǎn)工藝，其特征在于，包括如下步驟: 研磨層制作，在玻璃基片上濺射一層鋁，作為離子交換時的掩膜層； 光刻處理，將需要的波導(dǎo)圖形用光刻膠保護； 去掉鋁膜，采用化學(xué)腐蝕，將波導(dǎo)上部的鋁膜取掉； 溝道型光波導(dǎo)制作，將做好掩膜的玻璃基片放入含銀離子和鈉離子的混合溶液中，進(jìn)行離子交換，得到溝道型光波導(dǎo)； 掩埋型玻璃光波導(dǎo)制作，對溝道型光波導(dǎo)施以電場，將銀離子趨向玻璃基片深處，得到掩埋型玻璃光波導(dǎo)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制作光分路器的玻璃光波導(dǎo)的生產(chǎn)工藝，其特征在于:步驟D中離子交換溫度范圍在25° -35°之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制作光分路器的玻璃光波導(dǎo)的生產(chǎn)工藝，其特征在于:步驟B中鋁膜的腐蝕用稀酸腐蝕或者是堿腐蝕。
【文檔編號】G02B6/13GK104375240SQ201410595039
【公開日】2015年2月25日 申請日期:2014年10月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月30日
【發(fā)明者】余波, 宗瑞朝, 黎林, 青曉英, 杜澤永 申請人:成都康特電子高新科技有限責(zé)任公司