彩膜基板及其制備方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及液晶顯示【技術領域】，公開了一種彩膜基板及其制備方法。該彩膜基板的黑矩陣和隔墊物由制備帶通濾光層的膜層形成，大大簡化了彩膜基板的制備工藝，降低了生產成本。同時，由于帶通濾光層和黑矩陣同時形成，帶通濾光層不再搭接在黑矩陣上，從而不會出現(xiàn)角斷差區(qū)域，形成在黑矩陣上的隔墊物也不會由于基底不平坦而出現(xiàn)變形問題。
【專利說明】彩膜基板及其制備方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示【技術領域】，特別是涉及一種彩膜基板及其制備方法。
【背景技術】
[0002]液晶顯示器的顯示面板包括對盒設置的彩膜基板和陣列基板，以及填充在彩膜基板和陣列基板之間的液晶分子層。其中，彩膜基板(Color Filter，簡稱CF)用于實現(xiàn)彩色畫面的顯示。
[0003]現(xiàn)有技術中，結合圖1-圖3所示，液晶顯示器的彩膜基板包括襯底基板10，在襯底基板10的上底面上形成有黑矩陣(Black Matrix，簡稱BM) 20，以及由黑矩陣20限定的多個亞像素區(qū)域30，其中，亞像素區(qū)域30與陣列基板上的像素單元對應。亞像素區(qū)域30內設置有透射不同顏色光線的帶通濾光層，通常是紅色濾光層40 (R)、綠色濾光層50 (G)或藍色濾光層60 (B)。在濾光層之上還設置有平坦層(或保護層)90，在平坦層90上對應黑矩陣的區(qū)域內設置有隔墊物(Photo Spacer，簡稱PS) 70，通常為柱狀，起到支撐作用，用于在彩膜基板和陣列基板之間形成一定的空間，填充液晶分子層。在襯底基板10的下底面上還可以形成一透明導電層80，起到電磁屏蔽的作用。
[0004]相應地，彩膜基板的制備流程為:經過曝光顯影工藝，在襯底基板10上依次形成黑矩陣20、紅色濾光層40、綠色濾光層50、藍色濾光層60和隔墊物70，至少需要5次構圖工藝才能完成彩膜基板的制備，不僅工藝繁瑣，而且成本較高。同時，在黑矩陣20上形成帶通濾光膜層，經過曝光顯影工藝，形成帶通濾光層的圖案時，容易導致帶通濾光層搭接在黑矩陣20上，形成角斷差區(qū)域A，如圖3所示，而形成在該區(qū)域A上方的隔墊物70會由于基底不平坦而出現(xiàn)變形。

【發(fā)明內容】

[0005]本發(fā)明提供一種彩膜基板及其制備方法，用以解決現(xiàn)有技術中彩膜基板的制備工藝繁瑣，成本較高的問題。
[0006]為解決上述技術問題，本發(fā)明提供一種彩膜基板的制備方法，包括在一襯底基板上形成黑矩陣、多個帶通濾光層和多個隔墊物的步驟，所述黑矩陣限定多個亞像素區(qū)域，所述帶通濾光層位于對應的亞像素區(qū)域內，透射特定顏色的光線，所述隔墊物位于黑矩陣所在的區(qū)域內，其中，
[0007]形成透射特定顏色光線的帶通濾光層的步驟包括:
[0008]在襯底基板上形成透射所述特定顏色光線的帶通濾光膜層；
[0009]圖形化所述帶通濾光膜層，形成位于對應亞像素區(qū)域的帶通濾光層圖案和對應黑矩陣所在區(qū)域的亞濾光層圖案，并在所述亞濾光層的上表面形成多個凸起結構，所述凸起結構對應隔墊物所在的區(qū)域；
[0010]透射不同顏色光線的多個亞濾光層疊層形成所述黑矩陣；透射不同顏色光線的凸起結構疊層形成所述隔墊物。[0011]本發(fā)明還提供一種彩膜基板，包括襯底基板和形成在襯底基板上的黑矩陣和多個隔墊物，所述黑矩陣限定多個亞像素區(qū)域，所述隔墊物位于黑矩陣所在的區(qū)域內，其特征在于，還包括多個圖形化的帶通濾光膜層，所述帶通濾光膜層透射特定顏色的光線；
[0012]透射特定顏色光線的帶通濾光膜層包括:
[0013]帶通濾光層，位于對應的亞像素區(qū)域內；
[0014]亞濾光層，對應黑矩陣所在區(qū)域；
[0015]凸起結構，形成在亞濾光層的上表面；
[0016]透射不同顏色光線的多個亞濾光層疊層形成所述黑矩陣；透射不同顏色光線的凸起結構疊層形成所述隔墊物。
[0017]本發(fā)明的上述技術方案的有益效果如下:
[0018]上述技術方案中，通過制備帶通濾光層的工藝同時形成彩膜基板的黑矩陣和隔墊物，大大簡化了彩膜基板的制備工藝，降低了生產成本。同時，由于帶通濾光層和黑矩陣同時形成，帶通濾光層不再搭接在黑矩陣上，從而不會出現(xiàn)角斷差區(qū)域，形成在黑矩陣上的隔墊物也不會由于基底不平坦而出現(xiàn)變形問題。本技術方案中的隔墊物是由各帶通濾光層的凸起結構逐漸層疊形成，每個帶通濾光層都形成凸起結構，隔墊物的高度逐步增加，這樣形成的隔墊物工藝上實現(xiàn)更容易，且形成的隔墊物的支撐效果也更好。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0020]圖1表示現(xiàn)有技術中彩膜基板的結構示意圖；
[0021]圖2表示圖1沿B-B方向的剖視圖；
[0022]圖3表示圖1沿C-C方向的剖視圖；
[0023]圖4-圖6表示本發(fā)明實施例中彩膜基板制備過程示意圖；
[0024]圖7表示圖6沿B-B方向的剖視圖；
[0025]圖8表示圖6沿C-C方向的剖視圖。
【具體實施方式】
[0026]下面將結合附圖和實施例，對本發(fā)明的【具體實施方式】作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。
[0027]實施例一
[0028]本發(fā)明實施例中提供一種彩膜基板的制備方法，通過制備帶通濾光層的工藝同時形成彩膜基板的黑矩陣和隔墊物，用于解決現(xiàn)有技術中液晶顯示器的彩膜基板制備工藝繁瑣,生產成本高的問題。
[0029]該制備方法具體包括:
[0030]在一襯底基板上形成黑矩陣、多個帶通濾光層和多個隔墊物。
[0031]其中，所述黑矩陣限定多個亞像素區(qū)域，且黑矩陣所在的區(qū)域不允許光線透過，保證液晶顯示器顯示屏的對比度。所述隔墊物位于黑矩陣所在的區(qū)域內，起到支撐作用，用于在彩膜基板和陣列基板之間形成一定的空間，填充液晶分子層。所述帶通濾光層透射特定顏色的光線，一般包括紅色濾光層(R)、綠色濾光層(G)和藍色濾光層(B)，當然還可以包括黃色濾光層(Y)和白色濾光層(W)等，在此不再一一列舉。
[0032]這些帶通濾光層按一定規(guī)則分布，即透射特定顏色的帶通濾光層位于對應的亞像素區(qū)域內，使得不同的亞像素區(qū)域具有特定的透射光線，實現(xiàn)彩色畫面的顯示。
[0033]本實施例中，形成透射特定顏色光線的帶通濾光層的步驟包括:
[0034]在襯底基板上形成透射所述特定顏色光線的帶通濾光膜層；
[0035]圖形化所述帶通濾光膜層，形成位于對應亞像素區(qū)域的帶通濾光層圖案和對應黑矩陣所在區(qū)域的亞濾光層圖案，并在所述亞濾光層的上表面形成多個凸起結構，所述凸起結構對應隔墊物所在的區(qū)域；
[0036]透射不同顏色光線的多個亞濾光層疊層形成所述黑矩陣；透射不同顏色光線的凸起結構疊層形成所述隔墊物。
[0037]上述技術方案中，通過制備帶通濾光層的膜層形成彩膜基板的黑矩陣和隔墊物，省略了單獨制備黑矩陣和隔墊物的工藝，節(jié)省了大量的材料成本、時間成本、設備成本和人力成本。同時，由于帶通濾光層和黑矩陣同時形成，帶通濾光層不再搭接在黑矩陣上，從而不會出現(xiàn)角斷差區(qū)域，形成在黑矩陣上的隔墊物也不會由于基底不平坦而出現(xiàn)變形問題。
[0038]本發(fā)明技術方案的工作原理為:透射不同顏色光線的亞濾光層疊層時，該疊層區(qū)域是不允許光線透射的，從而可以形成黑矩陣。同時，透射不同顏色光線的凸起結構疊層形成隔墊物，更容易保證隔墊物具有所需的支撐高度，且疊層結構可以增加隔墊物的結構穩(wěn)定性，支撐效果更好。
[0039]進一步地，每個隔墊物中，還可以設置靠近襯底基板一側的凸起結構位于遠離襯底基板一側的凸起結構所在的區(qū)域內，增加了隔墊物與陣列基板的接觸面積，從而降低了對陣列基板表面平整度的要求，在顯示面板受到撞擊時不易出現(xiàn)滑動(該滑動會摩擦陣列基板的取向膜，影響液晶分子的取向)，能夠承受較大的撞擊力。
[0040]進一步地，每個隔墊物中，設置遠離襯底基板一側的凸起結構覆蓋靠近襯底基板一側的凸起結構，即每個隔墊物中，相鄰凸起結構具有縱向交疊部分，且遠離襯底基板一側的凸起結構的頂面高于靠近襯底基板一側的凸起結構的頂面，用于進一步增加隔墊物的結構穩(wěn)定性。具體的，對于具有RGB帶通濾光層的彩膜基板，首先形成2.0-2.5 μ m厚的紅色濾光層，同時形成紅色亞濾光層和紅色凸起結構，紅色凸起結構的橫截面尺寸為30?40 μ m,高度(相對于紅色亞濾光層頂面的高度)為0.5?1.1 μ m ;然后形成2.0-2.5 μ m厚的綠色濾光層，同時形成綠色亞濾光層和綠色凸起結構，綠色凸起結構的橫截面尺寸比紅色凸起結構增加約10 μ m，高度(相對于綠色亞濾光層頂面的高度)比紅色凸起結構增高0.7-1.3 μ m，紅色凸起結構的頂部與綠色凸起結構的底部縱向交疊約0.3 μ m ;最后形成2.0-2.5 μ m厚的藍色濾光層，同時形成藍色亞濾光層和藍色凸起結構，藍色凸起結構的橫截面尺寸比綠色凸起結構增加約10 μ m，高度(相對于藍色亞濾光層頂面的高度)比綠色凸起結構增高0.9-1.5 μ m，綠色凸起結構的頂部與藍色凸起結構的底部縱向交疊約1.2μπι;最終得到的隔墊物的橫截面尺寸為30+10+10?40+10+10 μ m，高度(相對于RGB濾光層頂面的高度)為
0.5+0.7+0.9=2.1?1.1+1.3+1.5=3.9 μ m。由此可見,通過每個帶通濾光膜層中形成的凸起結構的疊層更易形成隔墊物，且各層凸起結構都有一定的支撐作用，支持效果更好，同時凸起結構的縱向交疊使得隔墊物的結構更加穩(wěn)定。
[0041]需要說明的是，在此并不是限定帶通濾光層的形成順序和顏色組合，它們的順序是可以變換的，也可以是其他顏色組合，只要將透射不同顏色光線的帶通濾光層按預設的規(guī)則形成在對應的亞像素區(qū)域內即可。至于該預設的規(guī)則，現(xiàn)有技術中已有成熟的技術，在此不再贅述。
[0042]在形成帶通濾光層、黑矩陣和隔墊物之后，還需要在襯底基板上形成平坦層，以保證彩膜基板表面的平整度。
[0043]進一步地，為了更好地保證彩膜基板表面的平整度，本實施例中設置彩膜基板包括三個帶通濾光膜層，每個帶通濾光膜層中亞濾光層的厚度小于帶通濾光層的厚度，具體地，每個帶通濾光膜層中亞濾光層的厚度為帶通濾光層的厚度的1/5至1/2，優(yōu)選每個帶通濾光膜層中亞濾光層的厚度為帶通濾光層的厚度的1/3，使得透射不同顏色的多個亞濾光層疊層形成的黑矩陣厚度與帶通濾光層厚度大致相同，保證了彩膜基板表面的平整度。如:對于具有RGB帶通濾光層的彩膜基板，紅色亞濾光層的厚度為紅色濾光層的厚度的1/3、綠色亞濾光層的厚度為綠色濾光層的厚度的1/3、藍色亞濾光層的厚度為藍色濾光層的厚度的1/3，則紅色亞濾光層、綠色亞濾光層和藍色亞濾光層疊層形成的黑矩陣和RGB帶通濾光層的厚度大致相同。
[0044]下面以具有RGB帶通濾光層的彩膜基板的制備工藝過程為例，來具體說明本發(fā)明的制備方法。
[0045]步驟100、結合圖4、圖7和圖8所示，在襯底基板10上形成厚度為2.0?2.5 μ m的紅色濾光膜層(圖中未示出)，采用灰階掩膜版或半階掩膜版對所述紅色濾光膜層進行曝光，顯影，形成位于對應亞像素區(qū)域30內的紅色濾光層40、對應黑矩陣所在區(qū)域的紅色亞濾光層41以及對應隔墊物所在區(qū)域的紅色凸起結構42，其中，紅色亞濾光層41的厚度為紅色濾光層40厚度的1/3，紅色凸起結構42的橫截面尺寸為30?40 μ m,高度(相對于紅色亞濾光層41頂面的高度)為0.5?1.1 μ m ;
[0046]步驟101、結合圖5、圖7和圖8所示，在襯底基板10形成厚度為2.0?2.5 μ m的綠色濾光膜層(圖中未示出)，對所述綠色濾光膜層進行曝光，顯影，形成位于對應亞像素區(qū)域30內的綠色濾光層50、對應黑矩陣所在區(qū)域的綠色亞濾光層51以及對應隔墊物所在區(qū)域的綠色凸起結構52，其中，綠色亞濾光層51的厚度為綠色濾光層50厚度的1/3，綠色凸起結構52的橫截面尺寸為40?50 μ m,高度(相對于綠色亞濾光層51頂面的高度)為1.2?
2.4 μ m，紅色凸起結構42的頂部與綠色凸起結構52的底部縱向交疊0.3 μ m ;
[0047]步驟102、結合圖6、圖7和圖8所示，在襯底基板10形成厚度為2.0?2.5 μ m的藍色濾光膜層(圖中未示出)，對所述藍色濾光膜層進行曝光，顯影，形成位于對應亞像素區(qū)域30內的藍色濾光層60、對應黑矩陣所在區(qū)域的藍色亞層濾光61以及對應隔墊物所在區(qū)域的藍色凸起結構62，其中，藍色亞層濾光61的厚度為藍色濾光層60厚度的1/3，藍色凸起結構62的橫截面尺寸為50?60 μ m,高度(相對于藍色亞濾光層61頂面的高度)為2.1?
3.9 μ m，綠色凸起結構52的頂部與藍色凸起結構62的底部交疊1.5 μ m。
[0048]紅色凸起結構42、綠色凸起結構52和藍色凸起結構62疊層形成隔墊物70，通過上述步驟得到的隔墊物70的高度(相對于藍色濾光層60頂面的高度)為2.1?3.9 μ m。[0049]結合圖7和圖8所示，在襯底基板10上與帶通濾光層相對的另一面還可以形成透明導電層80，如:氧化銦錫、氧化銦鋅，對顯示面板起到電磁屏蔽的作用。
[0050]其中，對透射特定顏色光線的帶通濾光膜層進行一次構圖工藝，形成位于對應亞像素區(qū)域內的帶通濾光層的圖案、對應黑矩陣所在區(qū)域的亞濾光層圖案以及對應隔墊物所在區(qū)域的凸起結構圖案的步驟具體包括:
[0051]采用灰階掩膜版或半階掩膜版對帶通濾光膜層進行曝光，顯影，形成具有第一厚度的帶通濾光膜層、具有第二厚度的帶通濾光膜層、具有第三厚度的帶通濾光膜層和帶通濾光膜層不保留區(qū)，其中，所述第一厚度大于所述第二厚度，所述第三厚度大于所述第二厚度，所述具有第一厚度的帶通濾光膜層形成位于對應亞像素區(qū)域的帶通濾光層圖案，所述具有第二厚度的帶通濾光膜層形成對應黑矩陣所在區(qū)域的亞濾光層圖案，所述具有第三厚度的帶通濾光膜層高出所述具有第二厚度的帶通濾光膜層的部分形成對應隔墊物所在區(qū)域的凸起結構圖案。
[0052]其中，帶通濾光膜層不保留區(qū)對應透射其他顏色光線的帶通濾光層所在的區(qū)域，如:對于具有RGB帶通濾光層的彩膜基板，對紅色濾光膜層進行成像顯影操作，制備紅色濾光層時，帶通濾光膜層不保留區(qū)對應綠色濾光層和藍色濾光層所在的區(qū)域。
[0053]實施例二
[0054]基于同一發(fā)明構思，本實施例中提供一種彩膜基板，其包括襯底基板和形成在襯底基板上的黑矩陣和多個隔墊物，所述黑矩陣限定多個亞像素區(qū)域，且黑矩陣所在的區(qū)域不允許光線透過，保證液晶顯示器顯示屏的對比度。所述隔墊物位于黑矩陣所在的區(qū)域內，用于在彩膜基板和陣列基板之間形成一定的空間，填充液晶分子層。
[0055]所述彩膜基板還包括多個圖形化的帶通濾光膜層，所述帶通濾光膜層透射特定顏色的光線。
[0056]透射特定顏色光線的帶通濾光膜層包括位于對應的亞像素區(qū)域內的帶通濾光層、對應黑矩陣所在區(qū)域的亞濾光層以及形成在亞濾光層的上表面的凸起結構。其中，透射不同顏色光線的多個亞濾光層疊層形成所述黑矩陣，透射不同顏色光線的凸起結構疊層形成所述隔墊物。透射不同顏色光線的帶通濾光層按一定規(guī)則分布，位于對應的亞像素區(qū)域內，使得不同的亞像素區(qū)域具有特定的透射光線，實現(xiàn)彩色畫面的顯示。
[0057]上述技術方案中，黑矩陣和隔墊物由制備帶通濾光層的膜層形成，省略了單獨制備黑矩陣和隔墊物的工藝,節(jié)省了大量的材料成本、時間成本、設備成本和人力成本。同時，由于帶通濾光層和黑矩陣同時形成，帶通濾光層不再搭接在黑矩陣上，從而不會出現(xiàn)角斷差區(qū)域，形成在黑矩陣上的隔墊物也不會由于基底不平坦而出現(xiàn)變形問題。
[0058]其中，帶通濾光層一般包括紅色濾光層、綠色濾光層和藍色濾光層。當然還可以包括黃色濾光層(Y)和白色濾光層(W)等，在此不再一一列舉。
[0059]需要說明的是在此并不是對帶通濾光層透射光線的顏色組合進行限定，只要能實現(xiàn)彩色畫面的顯示即可。
[0060]本實施例中，透射特定顏色光線的亞濾光層的上表面均具有多個凸起結構，所述凸起結構對應隔墊物所在的區(qū)域，透射不同顏色光線的凸起結構的疊層可以墊高隔墊物所在的區(qū)域，更易形成隔墊物結構。同時各層的凸起結構都起到一定的支撐作用，使得隔墊物的支撐效果更好。[0061]進一步地，每個隔墊物中，還可以設置靠近襯底基板一側的凸起結構位于遠離襯底基板一側的凸起結構所在的區(qū)域內，增加了隔墊物與陣列基板的接觸面積，從而降低了對陣列基板表面平整度的要求，在顯示面板受到撞擊時不易出現(xiàn)滑動(該滑動會摩擦陣列基板的取向膜，影響液晶分子的取向)，能夠承受較大的撞擊力。
[0062]進一步地，每個隔墊物中，設置遠離襯底基板一側的凸起結構覆蓋靠近襯底基板一側的凸起結構，即每個隔墊物中，相鄰凸起結構具有縱向交疊部分，且遠離襯底基板一側的凸起結構的頂面高于靠近襯底基板一側的凸起結構的頂面，用于進一步增加隔墊物的結構穩(wěn)定性。
[0063]在形成帶通濾光層、黑矩陣和隔墊物之后，還需要在襯底基板上形成平坦層，以保證彩膜基板表面的平整度。
[0064]進一步地，為了更好地保證彩膜基板表面的平整度，本實施例中設置彩膜基板包括三個帶通濾光膜層，每個帶通濾光膜層中亞濾光層的厚度小于帶通濾光層的厚度，具體地，每個帶通濾光膜層中亞濾光層的厚度為帶通濾光層的厚度的1/5至1/2，優(yōu)選每個帶通濾光膜層中亞濾光層的厚度為帶通濾光層的厚度的1/3，使得透射不同顏色的多個亞濾光層疊層形成的黑矩陣厚度與帶通濾光層厚度大致相同，保證了彩膜基板表面的平整度。如:對于具有RGB帶通濾光層的彩膜基板，紅色亞濾光層的厚度為紅色濾光層的厚度的1/3、綠色亞濾光層的厚度為綠色濾光層的厚度的1/3、藍色亞濾光層的厚度為藍色濾光層的厚度的1/3，則紅色亞濾光層、綠色亞濾光層和藍色亞濾光層疊層形成的黑矩陣和RGB帶通濾光層的厚度大致相同。
[0065]以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā)明技術原理的前提下，還可以做出若干改進和替換，這些改進和替換也應視為本發(fā)明的保護范圍。
【權利要求】
1.一種彩膜基板的制備方法，包括在一襯底基板上形成黑矩陣、多個帶通濾光層和多個隔墊物的步驟，所述黑矩陣限定多個亞像素區(qū)域，所述帶通濾光層位于對應的亞像素區(qū)域內，透射特定顏色的光線，所述隔墊物位于黑矩陣所在的區(qū)域內，其特征在于，形成透射特定顏色光線的帶通濾光層的步驟包括:在襯底基板上形成透射所述特定顏色光線的帶通濾光膜層；圖形化所述帶通濾光膜層，形成位于對應亞像素區(qū)域的帶通濾光層圖案和對應黑矩陣所在區(qū)域的亞濾光層圖案，并在所述亞濾光層的上表面形成多個凸起結構，所述凸起結構對應隔墊物所在的區(qū)域；透射不同顏色光線的多個亞濾光層疊層形成所述黑矩陣；透射不同顏色光線的多個凸起結構疊層形成所述隔墊物。
2.根據(jù)權利 要求1所述的制備方法，其特征在于，每個隔墊物中，靠近襯底基板一側的凸起結構位于遠離襯底基板一側的凸起結構所在的區(qū)域內。
3.根據(jù)權利要求2所述的制備方法，其特征在于，每個隔墊物中，遠離襯底基板一側的凸起結構覆蓋靠近襯底基板一側的凸起結構。
4.根據(jù)權利要求2或3所述的制備方法，其特征在于，所述圖形化所述帶通濾光膜層，形成位于對應亞像素區(qū)域的帶通濾光層圖案和對應黑矩陣所在區(qū)域的亞濾光層圖案，并在所述亞濾光層的上表面形成多個凸起結構，所述凸起結構對應隔墊物所在的區(qū)域的步驟包括:對所述帶通濾光膜層進行一次構圖工藝，形成位于對應亞像素區(qū)域的帶通濾光層圖案和對應黑矩陣所在區(qū)域的亞濾光層圖案，并在所述亞濾光層的上表面形成多個凸起結構，所述凸起結構對應隔墊物所在的區(qū)域。
5.根據(jù)權利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述對所述帶通濾光膜層進行一次構圖工藝，形成位于對應亞像素區(qū)域的帶通濾光層圖案和對應黑矩陣所在區(qū)域的亞濾光層圖案，并在所述亞濾光層的上表面形成多個凸起結構，所述凸起結構對應隔墊物所在的區(qū)域的步驟包括:采用灰階掩膜版或半灰階掩膜版對帶通濾光膜層進行曝光，顯影，形成具有第一厚度的帶通濾光膜層、具有第二厚度的帶通濾光膜層、具有第三厚度的帶通濾光膜層和帶通濾光膜層不保留區(qū)，其中，所述第一厚度大于第二厚度，所述第三厚度大于所述第二厚度，所述具有第一厚度的帶通濾光膜層形成位于對應亞像素區(qū)域的帶通濾光層圖案，所述具有第二厚度的帶通濾光膜層形成對應黑矩陣所在區(qū)域的亞濾光層圖案，所述具有第三厚度的帶通濾光膜層高出所述具有第二厚度的帶通濾光膜層的部分形成對應隔墊物所在區(qū)域的凸起結構圖案，帶通濾光膜層不保留區(qū)對應其他區(qū)域。
6.一種彩膜基板，包括襯底基板和形成在襯底基板上的黑矩陣和多個隔墊物，所述黑矩陣限定多個亞像素區(qū)域，所述隔墊物位于黑矩陣所在的區(qū)域內，其特征在于，還包括多個圖形化的帶通濾光膜層，所述帶通濾光膜層透射特定顏色的光線；透射特定顏色光線的帶通濾光膜層包括:帶通濾光層，位于對應的亞像素區(qū)域內；亞濾光層，對應黑矩陣所在區(qū)域；凸起結構，形成在亞濾光層的上表面；所述黑矩陣由透射不同顏色光線的多個亞濾光層疊層形成；所述隔墊物由透射不同顏色光線的凸起結構疊層形成。
7.根據(jù)權利要求6所述的彩膜基板，其特征在于，每個隔墊物中，靠近襯底基板一側的凸起結構位于遠離襯底基板一側的凸起結構所在的區(qū)域內。
8.根據(jù)權利要求7所述的彩膜基板，其特征在于，每個隔墊物中，遠離襯底基板一側的凸起結構的覆蓋靠近襯底基板一側的凸起結構。
9.根據(jù)權利要求6所述的彩膜基板，其特征在于，所述彩膜基板包括三個所述帶通濾光膜層;每個帶通濾光膜層中，所述亞濾光層的厚度小于所述帶通濾光層的厚度。
10.根據(jù)權利要求9所述的彩膜基板，其特征在于，每個帶通濾光膜層中，所述亞濾光層的厚度為所述帶通濾光層的厚度的1/5至1/2。
11.根據(jù)權利要求9所述的彩膜基板，其特征在于，每個帶通濾光膜層中，所述亞濾光層的厚度為所述帶通濾光層的厚度的1/3。
12.根據(jù)權利要求6所述 的彩膜基板，其特征在于，所述隔墊物的高度為2.1-3.9 μ m。
【文檔編號】G02F1/1335GK103605231SQ201310566686
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2013年11月13日 優(yōu)先權日:2013年11月13日
【發(fā)明者】肖宇, 吳洪江, 黎敏, 姜晶晶, 董明, 馮賀 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 北京京東方顯示技術有限公司