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一種應(yīng)用于60GHzROF系統(tǒng)的集成光子晶體MZI調(diào)制器的制造方法與工藝

文檔序號:11432650閱讀:來源:國知局
一種應(yīng)用于60GHz ROF系統(tǒng)的集成光子晶體MZI調(diào)制器的制造方法與工藝

技術(shù)特征:
1.一種應(yīng)用60GHzROF系統(tǒng)的集成光子晶體馬赫曾德爾干涉儀(MZI)調(diào)制器的實現(xiàn)方法,其中:該調(diào)制器是在介質(zhì)背景空氣孔光子晶體中利用分束器、合波器、慢光波導(dǎo)和耦合波導(dǎo)集成而成,通過分別優(yōu)化分束器、合波器、慢光波導(dǎo)和耦合波導(dǎo)的參數(shù)實現(xiàn)低驅(qū)動電壓、超小結(jié)構(gòu)的可以應(yīng)用于60GHzROF系統(tǒng)的單片MZI調(diào)制器,且將三角晶格光子晶體的Y型結(jié)構(gòu)和60°彎曲波導(dǎo)集成為MZI調(diào)制器...
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