技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種多次掃描電子束刻蝕制作高頻光柵的方法，其在普通掃描電鏡中，利用電鏡自身的電子束進(jìn)行多次掃描，并選擇適當(dāng)掃描電鏡工作參數(shù)，在涂有電子束感光膠的基片表面制備出了高質(zhì)量的高頻光柵，這種高頻光柵可以廣泛應(yīng)用在電子束云紋法測(cè)量中。

技術(shù)研發(fā)人員：趙燕茹;邢永明;侯小虎;白樸存;郎風(fēng)超;姜愛峰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：內(nèi)蒙古工業(yè)大學(xué)
文檔號(hào)碼：201310112436
技術(shù)研發(fā)日：2013.03.18
技術(shù)公布日：2017.03.01