專利名稱：分束棱鏡調整機構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種光學領域的調整機構，尤其涉及一種分束棱鏡的調整機構。
背景技術：
隨著半導體工藝日益趨于精密化和生產力要求的不斷提高，半導體制造設備的精密性不斷提升，相應地對產品的檢測儀器的精密性要求也不斷提高。在投影光刻系統中，為了提高對硅片標記的對準精度，對對準分系統采用的鏡頭的精度提出了越來越高的要求，而分束棱鏡作為鏡頭組成的重要部件，其安裝傾斜精度是影響鏡頭精度的的主要影響因素
之一 O目前分束棱鏡安裝傾斜精度一般通過以下方法的實現將分束棱鏡固定在分束棱鏡固定座中，分束棱鏡固定座提供精度比較高的基準面，以此作為分束棱鏡的調節(jié)基準，以保證分束棱鏡在鏡頭中的傾斜安裝精度。此種方法對加工精度要求比較高，特別是對小尺寸分束棱鏡，往往無法滿足要求。請參考附圖1，其為現有技術中的分束棱鏡固定裝置的剖視結構示意圖，圖中400為分束棱鏡，401為分束棱鏡固定座，402為頂絲，403為點膠孔，現有技術的分束棱鏡固定裝置中，分束棱鏡400固定安裝在分束棱鏡固定座401中，分束棱鏡400通過頂絲402或在點膠孔403中點膠固定在分束棱鏡座401中，圖中面Ql與面Q2是分束棱鏡與分束棱鏡座的安裝基準。要求面Ql與基準面N傾斜偏差小于3分，面Q2與基準面M的傾斜偏差小于3分，基準面N與基準面M分別是成像光路與照明光路傾斜測量的參考面。為了達到面Ql與基準面N傾斜偏差小于3分，需機械加工保證面Ql與面Q3平行度小于O. 0065mm,面Q3與基準面N的平行度小于O. Olmm ;為了達到面Q2與基準面M的傾斜偏差小于3分，需機械加工保證面Q2與成像光路定位孔平行度小于O. 0065mm,基準面M與成像光路定位孔的平行度小于O. Olmm ;這樣要求加工精度比較高，風險大，且加工完成后不方便調整。

實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是分束棱鏡不易精確、靈活地調整角度。為了解決以上技術問題，本實用新型提供了一種分束棱鏡調整機構，包括調整座、固定座、若干頂絲與兩塊壓板，所述固定座內設有供放置分束棱鏡的矩形槽，所述固定座設在所述調整座內，所述兩塊壓板固定安裝在所述調整座上，所述兩塊壓板位于所述固定座的兩側，所述壓板的內側表面分別設有內凹球面，所述固定座的兩側分別設有與所述內凹球面匹配的外凸側壁，所述外凸側壁與所述內凹球面滑動連接，所述頂絲穿過所述調整座頂住所述固定座，所述固定座通過所述頂絲進行微調。所述調整座包括一個頂蓋，兩個相對的側壁和一個底座，所述頂蓋蓋在所述固定座的頂部，所述底座墊在所述固定座的底部，所述外凸側壁與調整座的兩個相對的側壁垂直。[0010]所述調整座的頂蓋上設有與所述矩形槽匹配的矩形口。兩塊壓板上的內凹球面屬于同一球面。所述兩塊壓板和所述固定座對應分束棱鏡處設有供光路通過的圓形孔。所述調整座的頂蓋和底座上分別設有四個用于裝配所述頂絲的螺紋孔，四個螺紋孔圍繞著所述矩形槽均勻分布，所述螺紋孔穿過調整座的頂蓋或底座連接至所述固定座。所述調整座的兩個側壁上分別設有兩個用于裝配所述頂絲的螺紋孔，所述螺紋孔穿過調整座的側壁連接至所述固定座。所述壓板通過四個角上的螺釘與螺孔固定安裝在所述調整座上。所述壓板與所述螺釘之間設有彈性墊片?！に龉潭ㄗ木匦尾鄣乃闹芊謩e設有點膠孔，分束棱鏡通過在所述點膠孔中點膠固定在所述固定座上。本實用新型通過將固定座放置在調整座中，實現了對固定座的調整,通過對內凹球面與外凸側壁的引入，使得固定座能夠進行微調旋轉，再通過頂絲實現全方位多角度地微調，從而實現對分束棱鏡的角度進行精確、靈活地調整。

附圖I是現有技術的分束棱鏡固定裝置的剖視結構示意圖；附圖2是本實用新型一實施例的分束棱鏡調整機構的立體結構示意圖之一；附圖3是本實用新型一實施例的分束棱鏡調整機構的立體結構示意圖之二 ；附圖4是本實用新型一實施例的分束棱鏡調整機構的剖視結構示意圖；附圖5是本實用新型一實施例的分束棱鏡調整機構的固定座的結構示意圖；附圖6是本實用新型一實施例的分束棱鏡調整機構使用狀態(tài)示意圖；圖中，I一調整座；2 —固定座；3—頂絲；4一螺釘；5—壓板；6—彈性墊片；7—分束棱鏡；8—側壁；9一頂蓋；10—底座；11 一圓形孔；12—外凸側壁；13—內凹球面；14一螺紋孔；15—點膠孔；16—矩形槽；17—矩形口 ；100—分束棱鏡調整機構；200—照明光路；300—成像光路。
具體實施方式
現參考附圖2飛對本實用新型的形狀和構造進行詳細的描述，其中表示了本實用新型的一優(yōu)選的實施例，并結合附圖6針對本實用新型的一實施例的使用方法進行闡述。請參考附圖2或附圖3，并結合附圖4，本實施例提供了一種分束棱鏡調整機構，包括調整座I、固定座2、若干頂絲3與兩塊壓板5，所述固定座2上設有供放置分束棱鏡7的矩形槽16，所述固定座2設在所述調整座I內，所述兩塊壓板5固定安裝在所述調整座I上，所述兩塊壓板5位于所述固定座2的兩側,所述壓板5的內側表面分別設有內凹球面13,所述固定座2的兩側分別設有與所述內凹球面13匹配的外凸側壁12，所述外凸側壁12與所述內凹球面13滑動連接，所述頂絲3穿過所述調整座I頂住所述固定座2，所述固定座2通過所述頂絲3進行微調。。固定在固定座2內的分束棱鏡7通過固定座2在調整座I內的微調轉動，實現分束棱鏡7的微調轉動，而固定座2的微調轉動則通過內凹球面13與外凸側壁12之間的滑動實現。當旋轉頂住固定座2的頂絲3，頂絲3沿其軸向發(fā)生移動，進而推動固定座2發(fā)生移動，同時，由于內凹球面13與外凸側壁12之間的滑動，外凸側壁12則會發(fā)生旋轉，固定座2也隨之發(fā)生旋轉，進而帶動分束棱鏡7進行旋轉微調。請參考附圖2或3，并結合附圖4，所述調整座I包括一個頂蓋9，兩個相對的側壁8和一個底座10，所述頂蓋9設在所述固定座2的頂部，所述底座10設在所述固定座的底部，所述固定座2包括兩個相對的外凸側壁12，所述外凸側壁12與調整座I的兩個相對的側壁8垂直。調整座I將固定座2的位置固定在調整座I內，從而使得固定座2只能做旋轉運動而不發(fā)生位置的變化，避免了固定座2和分束棱鏡7的位置變化對分束棱鏡7的角度調整所帶來的影響。請參考附圖2，并結合附圖6，所述矩形槽16設在所述固定座2的頂部，所述調整座I的頂蓋9上設有與所述矩形槽16匹配的矩形口 17。矩形槽16與矩形口 17 —方面是供放置分束棱鏡7，另一方面也是供照明光路200通過。兩個所述壓板5上的內凹球面13屬于同一球面，便于外凸側壁12與內凹球面13之間滑動旋轉而不至于卡死。兩塊壓板5和所述固定座2上對應分束棱鏡處設有供光路通過的圓形孔11，用以供成像光路300通過。所述調整座I的頂蓋9和底座10上分別設有四個用于裝配所述頂絲3的螺紋孔14，四個螺紋孔14圍繞著所述矩形槽16均勻分布，所述螺紋孔14穿過調整座I的頂蓋9或底座10連接至所述固定座2。所述調整座I的兩個側壁8上分別設有兩個用于裝配所述頂絲3的螺紋孔14，所述螺紋孔14穿過調整座I的側壁8連接至所述固定座2。每個螺紋孔14內均設有連接至所述固定座2的頂絲3。頂絲3通過螺紋孔14頂住固定座2，旋轉頂絲3推動固定座2，由于外凸側壁12與內凹球面13的滑動連接，固定座2則會發(fā)生旋轉，共12個頂絲，可以有效地使得固定座2全方位多角度地旋轉調整。其中，頂蓋9和底座10上的八個頂絲3可以使得固定座2做垂直方向上的旋轉，而側壁上8的4個頂絲3可以使得固定座2做水平方向上的旋轉。參考附圖2或3，所述壓板5通過四個角上的螺釘4與螺孔(圖未示)固定安裝在所述調整座I上。使得壓板5相對于調整座I的位置是固定不變的，進而保證固定座2的旋轉調整可以準確帶動分束棱鏡7旋轉至需要的角度。所述壓板5與所述螺釘4之間設有彈性墊片，為壓板5和螺釘4的連接提供了預緊力，增強連接的可靠性和緊密性。請參考附圖5，所述固定座I上的矩形槽17的四周分別設有四個點膠孔15，分束棱鏡7通過在所述點膠孔15中點膠固定在所述固定座上。使得分束棱鏡7的位置更牢固。參考附圖6，在使用本實施例的分束棱鏡調整機構100對分束棱鏡7進行角度調整時，基準面M是照明光路200垂向測量的參考面，基準面N是成像光路300垂向測量參考面。要求分束棱鏡相對于基準面M、N傾斜偏差小于3分，則調整步驟如下I.在基準面M、N處分別貼上反射鏡，并分別架上內調焦望遠鏡，調整2臺內調焦望遠鏡，使其光軸與反射鏡垂直；[0044]2.去除反射鏡，用內調焦望遠鏡觀測分束棱鏡的面U、面V，測量面U、面V的傾斜角度，確認偏差在3分以內；3.若分束棱鏡的傾斜超過3分，則調整分束調整機構上頂絲3。以牙距O. 5mm,頂絲間距20mm (可以根據需要擴大頂絲間距)，手感旋轉3度計算，分束棱鏡7傾斜角度的調整分辨率為I. 4分，可以滿足調整到3分以內的要求。
權利要求1.一種分束棱鏡調整機構，其特征在于包括調整座、固定座、若干頂絲與兩塊壓板，所述固定座內設有供放置分束棱鏡的矩形槽，所述固定座設在所述調整座內，所述兩塊壓板固定安裝在所述調整座上，所述兩塊壓板位于所述固定座的兩側，所述壓板的內側表面分別設有內凹球面，所述固定座的兩側分別設有與所述內凹球面匹配的外凸側壁，所述外凸側壁與所述內凹球面滑動連接，所述頂絲穿過所述調整座頂住所述固定座，所述固定座通過所述頂絲進行微調。
2.如權利要求I所述的分束棱鏡調整機構，其特征在于所述調整座包括一個頂蓋，兩個相對的側壁和一個底座，所述頂蓋蓋在所述固定座的頂部，所述底座墊在所述固定座的底部，所述外凸側壁與調整座的兩個相對的 側壁垂直。
3.如權利要求2所述的分束棱鏡調整機構，其特征在于所述調整座的頂蓋上設有與所述矩形槽匹配的矩形口。
4.如權利要求I所述的分束棱鏡調整機構，其特征在于兩塊壓板上的內凹球面屬于同一球面。
5.如權利要求I所述的分束棱鏡調整機構，其特征在于所述兩塊壓板和所述固定座對應分束棱鏡處設有供光路通過的圓形孔。
6.如權利要求2所述的分束棱鏡調整機構，其特征在于所述調整座的頂蓋和底座上分 別設有四個用于裝配所述頂絲的螺紋孔，四個螺紋孔圍繞著所述矩形槽均勻分布，所述螺紋孔穿過調整座的頂蓋或底座連接至所述固定座。
7.如權利要求2所述的分束棱鏡調整機構，其特征在于所述調整座的兩個側壁上分別設有兩個用于裝配所述頂絲的螺紋孔，所述螺紋孔穿過調整座的側壁連接至所述固定座。
8.如權利要求I所述的分束棱鏡調整機構，其特征在于所述壓板通過四個角上的螺釘與螺孔固定安裝在所述調整座上。
9.如權利要求8所述的分束棱鏡調整機構，其特征在于所述壓板與所述螺釘之間設有彈性墊片。
10.如權利要求I所述的分束棱鏡調整機構，其特征在于所述固定座的矩形槽的四周分別設有點膠孔，分束棱鏡通過在所述點膠孔中點膠固定在所述固定座上。
專利摘要本實用新型提供了一種分束棱鏡調整機構，包括調整座、固定座、若干頂絲與兩塊壓板，所述固定座內設有供放置分束棱鏡的矩形槽，所述固定座設在所述調整座內，所述兩塊壓板固定安裝在所述調整座上，所述兩塊壓板位于所述固定座的兩側，所述壓板的內側表面分別設有內凹球面，所述固定座的兩側分別設有與所述內凹球面匹配的外凸側壁，所述外凸側壁與所述內凹球面滑動連接，所述頂絲穿過所述調整座頂住所述固定座，所述固定座通過所述頂絲進行微調。本實用新型通過將固定座放置在調整座中，實現了對固定座的調整，進而通過外凸側壁、內凹球面以及頂絲的引入實現對分束棱鏡的角度進行精確、靈活地調整。
文檔編號G02B7/18GK202771092SQ201220377239
公開日2013年3月6日 申請日期2012年7月31日 優(yōu)先權日2012年7月31日
發(fā)明者陳宇環(huán) 申請人:上海微電子裝備有限公司