專利名稱：一種背向點(diǎn)針顯微鏡系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種微光顯微鏡(PEM)系統(tǒng)，特別是涉及一種用于指示PEM機(jī)臺背向點(diǎn)針位置的顯微鏡系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在微電子技術(shù)領(lǐng)域，出于縮減產(chǎn)品成本的需要和高端產(chǎn)品的高度集成化需求，芯片的尺寸不斷減小，導(dǎo)致芯片焊墊(pad)的尺寸和間距也在不斷減小。微光顯微鏡(PEM)系統(tǒng)是應(yīng)用于微電子器件定位和分析的有效工具。目前在PEM機(jī)臺背向定位點(diǎn)針過程中，使用一套折返式背向點(diǎn)針顯微鏡系統(tǒng)區(qū)分探針和焊墊的位置。該顯微鏡系統(tǒng)原理如圖I所示，在該系統(tǒng)中，光源為機(jī)臺自帶光源，經(jīng)由光路末端的折射鏡折射后照射在芯片表面，返回的光線經(jīng)由原路返回且被光路末端的影像傳感器收集成像。實(shí)際使用時，該系統(tǒng)顯示效果較差，特別是在應(yīng)用于小尺寸的芯片時很難區(qū)分焊墊位置和探針位置，不能滿足背向定位點(diǎn)針的需求。

實(shí)用新型內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本實(shí)用新型的目的在于提高背向點(diǎn)針顯示效果，使操作人員能在背向點(diǎn)針時更清晰地分辨焊墊分布和探針位置。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出一種背向點(diǎn)針顯微鏡系統(tǒng)，包括機(jī)臺自帶光源、設(shè)置在光路末端的折射鏡、設(shè)置在另一光路末端的影像傳感器、加裝在載物臺下方的附加光源。進(jìn)一步地，在上述背向點(diǎn)針顯微鏡系統(tǒng)中，所述附加光源與折射鏡、影像傳感器形成暗場顯微鏡效果。進(jìn)一步地，在上述背向點(diǎn)針顯微鏡系統(tǒng)中，所述附加光源照射角度、位置以及光強(qiáng)均可調(diào)整。進(jìn)一步地，在上述背向點(diǎn)針顯微鏡系統(tǒng)中，所述附加光源位于芯片下方側(cè)向位置。在上述系統(tǒng)中，機(jī)臺自帶光源發(fā)出的光線經(jīng)由光路末端的折射鏡折射后照射在芯片表面，返回的光線經(jīng)由原路返回且被另一光路末端的影像傳感器收集成像，形成明場顯微效果。同時，加裝在載物臺下方的側(cè)向附加光源的照射角度、位置以及光強(qiáng)均可調(diào)整，經(jīng)調(diào)整后其發(fā)出的光線直接照射在芯片表面，經(jīng)芯片表面折射后照射在折射鏡上，經(jīng)折射鏡再次折射被另一光路末端的影像傳感器同時收集成像，形成暗場顯微效果。與現(xiàn)有技術(shù)相比，附加光源的光線經(jīng)芯片和反射鏡反射形成的暗場顯微鏡效果能與機(jī)臺自帶光源形成的明場顯微鏡效果共同發(fā)生作用，提高背向點(diǎn)針顯示效果，使工作人員有效區(qū)分焊墊分布以及探針位置，順利完成后續(xù)點(diǎn)針步驟。上述光發(fā)射顯微鏡系統(tǒng)的附加光源最好位于芯片下方側(cè)向位置，與芯片表面成一定角度，以獲得明顯的暗場顯微鏡效果。
圖I為現(xiàn)有技術(shù)中背向點(diǎn)針顯微鏡系統(tǒng)工作原理圖；圖2為本實(shí)用新型的工作原理圖；圖3為使用本實(shí)用新型前后效果對比圖。
具體實(shí)施方式
為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。如圖2所示，本實(shí)用新型提供一種背向點(diǎn)針顯微鏡系統(tǒng)，包括機(jī)臺自帶光源I、設(shè)置于光路末端的反射鏡2、設(shè)置于另一光路末端的影像傳感器4、加裝于載物臺下方與芯片3成一定角度的側(cè)向附加光源5。工作人員在背向點(diǎn)針時，開啟機(jī)臺自帶光源及側(cè)向附加光源。機(jī)臺自帶光源I發(fā)出的光線經(jīng)由光路末端的折射鏡2折射后照射在芯片3的表面，返回的光線經(jīng)由原路返回且被另一光路末端的影像傳感器4收集成像，形成明場顯微鏡效果。同時，工作人員調(diào)節(jié)側(cè)向附加光源5的角度、位置及光強(qiáng)，使側(cè)向附加光源5發(fā)出的光線射向芯片表面，經(jīng)芯片3表面折射后照射在折射鏡2上，經(jīng)折射鏡2再次折射被另一光路末端的影像傳感器4同時收集成像，形成暗場顯微鏡效果。本實(shí)用新型特別適用于在PEM機(jī)臺上的背向點(diǎn)針操作過程。因芯片焊盤邊緣存在高低落差，探針和芯片表面也存在高低差別，使用本實(shí)用新型提供的背向點(diǎn)針顯微鏡系統(tǒng)，在明場顯微鏡效果和暗場顯微鏡效果的共同作用下，能清晰地顯示焊盤分布和探針位置，從而可以順利完成后續(xù)的點(diǎn)針等步驟。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并非用來限定本實(shí)用新型的實(shí)施范圍；如果不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍，對本實(shí)用新型進(jìn)行修改或者等同替換，均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍當(dāng)中。
權(quán)利要求1.一種背向點(diǎn)針顯微鏡系統(tǒng)，包括機(jī)臺自帶光源，設(shè)置在光路末端的折射鏡，設(shè)置在另一光路末端的影像傳感器，加裝在載物臺下方的附加光源。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的背向點(diǎn)針顯微鏡系統(tǒng)，其特征在于附加光源與折射鏡、影像傳感器形成暗場顯微鏡效果。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的背向點(diǎn)針顯微鏡系統(tǒng)，其特征在于附加光源照射角度、位置以及光強(qiáng)均可調(diào)整。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的背向點(diǎn)針顯微鏡系統(tǒng)，其特征在于附加光源位于芯片下方側(cè)向位置。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種利用暗場顯微作用提高背向點(diǎn)針顯示效果的背向點(diǎn)針顯微鏡系統(tǒng)，包括機(jī)臺自帶光源、設(shè)置在光路末端的折射鏡、設(shè)置在另一光路末端的影像傳感器、加裝在載物臺下方的附加光源。采用本實(shí)用新型，能有效提高背向點(diǎn)針顯示效果，使操作人員更準(zhǔn)確高效地完成后續(xù)點(diǎn)針步驟。
文檔編號G02B21/12GK202794691SQ20122023536
公開日2013年3月13日 申請日期2012年5月24日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月24日
發(fā)明者劉永祥, 宋朝剛, 孔亮 申請人:和艦科技(蘇州)有限公司