專利名稱：金屬光罩的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及ー種金屬光 罩的技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種增加花紋于金屬光罩表面，在使用于各式顯示器或觸控面板的玻璃基板的制程中，所増加花紋能延長(zhǎng)金屬光罩的替換周期、提升生產(chǎn)的品質(zhì)、以及降低生產(chǎn)的成本。
背景技術(shù)：
在目前各式顯示器或觸控面板之中，例如液晶顯示器、薄型化顯示器、液晶電視、薄型化電視機(jī)、觸控面板、觸控顯示器、具有觸控功能的銀幕. 等中，會(huì)利用光罩在制程中于玻璃基板上沉積出ー些不同材料的薄膜，而過(guò)程中包含涂布、曝光、蝕刻、顯影、清洗、烘烤等步驟，利用多個(gè)不同的光罩依序運(yùn)作，一層ー層規(guī)劃出所設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)。光罩成本中最高的是采用石英材料，此類光罩能滿足精密度要求嚴(yán)格的制程條件，但在ー些精密度求不高的制程中，若采用石英材料的光罩，成本太高，制程過(guò)于復(fù)雜，因此有些SiO2沉積制程則采用金屬光罩，如此就能取代涂布、曝光、蝕刻、顯影、清洗、烘烤等制程，減少加工流程，降低生產(chǎn)的成本。而對(duì)生產(chǎn)廠商而言，亦能減少購(gòu)買前述涂布、曝光、蝕刻、顯影、清洗、烘烤等設(shè)備的數(shù)量，對(duì)設(shè)備投資的支出相對(duì)減少。一般金屬光罩的要求，主要包括有三點(diǎn)1.厚度要??；2.具有受磁性，以利具有磁性的夾持裝置與的吸附，而將欲加工的玻璃基板固定于金屬光罩與夾持裝置之間；3.表面須光滑、無(wú)毛邊，避免在夾持或制程運(yùn)作中刮傷玻璃基板。然而傳統(tǒng)的金屬光罩為避免刮傷玻璃基板，兩相對(duì)表面皆為光滑表面，在制程中沉積于基板的薄膜材料也會(huì)沉積于金屬光罩表面，隨著金屬光罩連續(xù)使用并沉積，金屬光罩表面所累積的薄膜厚度也増加，此時(shí)光滑表面就容易讓貼附表面的薄膜在制程中剝離，掉落至原本欲加工的玻璃基板上，而產(chǎn)生不良品，因此為維持生產(chǎn)的良率，就必須一段時(shí)間后，取出并委托外部專業(yè)公司清洗，以延續(xù)金屬光罩的使用壽命，如此會(huì)降低設(shè)備稼動(dòng)率，亦減少設(shè)備的產(chǎn)能；加上単一金屬光罩的單價(jià)也相當(dāng)昂貴，取出次數(shù)愈多，不當(dāng)操作而產(chǎn)生破損機(jī)率也愈高。有鑒于此，本實(shí)用新型提出一金屬光罩。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的是能于特定表面提高其表面積與粗糙度的金屬光罩，主要是于金屬光罩ー表面處形成有立體花紋，期許于生產(chǎn)制程中提升所能承受的沉積次數(shù)、延長(zhǎng)替換周期，讓使用此金屬光罩的設(shè)備的稼動(dòng)率上升，產(chǎn)能提升，同步能減少生產(chǎn)的成本。為達(dá)上述的目的，本實(shí)用新型提出ー種金屬光罩，其形狀為ー框體，該框體形成有至少為ー的開(kāi)ロ單元，該金屬光罩包括有能與玻璃基板接觸的第一表面，及位置為第一表面相對(duì)面的第二表面，該第一表面為光滑面，該第二表面上形成有至少為ー的非平坦區(qū)，該非平坦區(qū)位置鄰近該開(kāi)ロ單元，非平坦區(qū)內(nèi)分布著立體的花紋。在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，該非平坦區(qū)是呈環(huán)狀分布于該開(kāi)ロ單元外圍的第二表面處。[0008]在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，該非平坦區(qū)是由連續(xù)性的花紋分布于該環(huán)狀區(qū)域內(nèi)。在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，該非平坦區(qū)內(nèi)分布著相同且重復(fù)性的花紋。在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，該非平坦區(qū)是采化學(xué)蝕刻制程于第二表面處加工而成的非平坦區(qū)。在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，該非平坦面分布于該第二表面的局部區(qū)域。在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，該非平坦面分布區(qū)域涵蓋整個(gè)第二表面。在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，該金屬光罩的厚度介于0. 15 0. 7_。在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，該金屬光罩的厚度介于0. 25 0. 5_。本實(shí)用新型在金屬光罩上形成有立體的花紋，主要目的能増加表面積及提高粗糙度。増加表面積能提高表面所能承受的沉積的次數(shù)，延長(zhǎng)此金屬光罩的使用周期，降低替換率，亦減少設(shè)備停機(jī)更換的次數(shù)，提高設(shè)備稼動(dòng)率。而提高表面粗糙度能避免制程中附著金屬光罩表面的材料發(fā)生不正常的剝離，降低不良率，使品質(zhì)提升。以下配合附圖及元件符號(hào)對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方式做更詳細(xì)的說(shuō)明，以使本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在研讀本說(shuō)明書(shū)后能據(jù)以實(shí)施。

圖I為本實(shí)用新型的平面圖；圖2A為本實(shí)用新型局部放大的平面圖；圖2B為本實(shí)用新型局部放大的立體圖；圖3為本實(shí)用新型非平坦區(qū)的第二種花紋的平面示意圖；圖4為本實(shí)用新型非平坦區(qū)的第三種花紋的平面示意圖；圖5為本實(shí)用新型非平坦區(qū)的第四種花紋的平面示意圖。其中，附圖標(biāo)記說(shuō)明如下金屬光罩 I開(kāi)ロ單元 11第一表面 13第二表面 14非平坦面 15花紋151花紋15IA花紋151B花紋151C
具體實(shí)施方式
圖I、圖2A和圖2B分別為本實(shí)用新型的平面圖、局部放大圖及立體圖。本實(shí)用新型為ー金屬光罩1，能運(yùn)用于各式顯示器或觸控面板的制程中，相關(guān)產(chǎn)品如液晶顯示器、薄型化顯示器、液晶電視、薄型化電視機(jī)、觸控面板、觸控顯示器、具有觸控功能的銀幕...等，主要是于制程中的玻璃基板上沉積特定材料的薄膜，在實(shí)施例中指Si02薄膜。該金屬光罩I為ー框體，形成有至少為ー的開(kāi)ロ單元11，該開(kāi)ロ単元11形狀對(duì)應(yīng)沉積的圖樣，在本實(shí)施例中該框體所遮蔽的區(qū)域(即非開(kāi)ロ單元的區(qū)域)，為制程中欲形成的線路。該金屬光罩I具有兩相對(duì)的表面，其中第一表面13供與欲加工的玻璃基板相接觸貼合，為一光滑平整的表面；第二表面14處于第一表面13的相對(duì)面，該第二表面14的部分區(qū)域會(huì)被設(shè)備的夾持裝置所接觸夾持，部分區(qū)域亦會(huì)在制程中讓沉積于基板表面的薄膜材料沉積于此。本實(shí)用新型主要設(shè)計(jì)是于該第二表面14形成有至少為ー的非平坦區(qū)15，在圖I中以斜線表示其位置，詳細(xì)的形狀請(qǐng)參閱圖2A及圖2B。該非平坦區(qū)15位置鄰近該開(kāi)ロ單元11，在本實(shí)施例中該非平坦區(qū)15呈環(huán)狀分布于該開(kāi)ロ單元11外圍的第二表面14處。該非平坦區(qū)15由立體的花紋151所形成，所謂立體的花紋151是由高低不同的峰面圖樣及谷面圖樣所形成。在本實(shí)施例中該非平坦區(qū)15由連續(xù)性的花紋151均勻分布于環(huán)狀區(qū)域內(nèi)，但并不以此為限，部分位置可因有金屬光罩I原有的設(shè)計(jì)如定位孔、夾持裝置欲接觸處、或設(shè)計(jì)上須預(yù)留空白處的關(guān)系而空缺，但間隔愈小最好。再者，在本實(shí)施例中該非平坦區(qū)15由相同且重復(fù)性的花紋151所形成，目的為使各區(qū)域所能達(dá)成的效果相同。再者，在本施實(shí)例中，該非平坦區(qū)15僅形成第二表面14的局部區(qū)域，但并不以此為限，也能為涵蓋第二表面14的所有表面。另外在本施實(shí)中多個(gè)非平坦區(qū)15彼此相連分布第二表面14上，但也并非以此為限，亦能個(gè)別獨(dú)立彼此不相連，或于單ー開(kāi)ロ單元11外圍分布著多個(gè)非平坦區(qū)15。該花紋151的圖樣可為單純的幾何形狀，例如在本實(shí)例中該花紋151由兩個(gè)同中心、呈凹陷狀的六角形環(huán)所構(gòu)成，但并不以此為限。例如圖3該花紋151A為單ー凹陷的六角形環(huán)。在圖3至圖5中，以交錯(cuò)狀的剖面線表示凹陷的位置。圖4該花紋151B為中心呈凹陷的六角形、外圍另具呈凹陷的六角形環(huán)。如圖5該花紋151C為單ー凹陷的六角形。由此可知，本實(shí)用新型花紋151并非限制須為特定的圖樣，亦可為非幾何圖樣或不規(guī)則的圖樣所形成的立體造型，或是由ー個(gè)或多個(gè)圖樣所構(gòu)成的立體造型。再者，本實(shí)用新型的金屬光罩考慮其制程上的限制，其厚度須在0. 15 0. 7mm,最佳的實(shí)施例為0. 25mm，但為了方便更換及降低更換時(shí)破裂的機(jī)率，一般使用厚度約為
0.5mm。在如此薄的金屬光罩I欲于表面形成立體的花紋151,利用傳統(tǒng)的機(jī)械加工方式有相當(dāng)?shù)睦щy度，表面各處花紋的一致性也較不易控制。因此本實(shí)用新型系采用化學(xué)蝕刻制程于金屬光罩I的第二表面14處形成該非平坦區(qū)15，如此能使非平坦區(qū)15內(nèi)各處形成相同一致性的立體花紋151。接著就本實(shí)用新型設(shè)計(jì)的目的及功效作ー說(shuō)明本實(shí)用新型的金屬光罩I保有光滑的第一表面13與欲加工的玻璃基板接觸貼合，能避免刮傷該基板，維持原有制程上須具有的品質(zhì)。而于第二表面14形成有非平坦區(qū)15，該非平坦區(qū)15利用分布其上的立體花紋151能增加原本第二表面14的表面積及提高粗糙度，如此在進(jìn)行基板加工的制程中，增加的表面積能承受更多的薄膜材料沉積其中，粗糙的表面能使沉積其中的薄膜材料的間較不容易剝離，兩者相互加持之下，能延長(zhǎng)此金屬光罩I的使用周期，與傳統(tǒng)兩面皆為光滑面的金屬光罩相較，本實(shí)用新型可増加5倍以上的使用時(shí)間，因此，停機(jī)取下金屬光罩I的次數(shù)減少，提高設(shè)備稼動(dòng)率，讓設(shè)備發(fā)揮最大的產(chǎn)能，而減少洗清金屬光罩的次數(shù)，亦能降低生產(chǎn)的成本。以上所述者，僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非用來(lái)限定本實(shí)用新型實(shí)施例的范圍。即凡依本實(shí)用新型權(quán)利要求所作的均等變化及修飾，皆為本實(shí)用新型的專利范圍 所涵蓋。
權(quán)利要求1.一種金屬光罩，為一框體并形成有至少為一的開(kāi)口單兀，該金屬光罩包括有能與玻璃基板接觸的第一表面，及位置為該第一表面相對(duì)面的第二表面，該第一表面為光滑面，其特征在于該第二表面上形成有至少為一的非平坦區(qū)，該非平坦區(qū)位置鄰近該開(kāi)口單元，該非平坦區(qū)內(nèi)分布著立體的花紋。
2.如權(quán)利要求I所述的金屬光罩，其特征在于，該非平坦區(qū)是呈環(huán)狀分布于該開(kāi)口單元外圍的第二表面處。
3.如權(quán)利要求2所述的金屬光罩，其特征在于，該非平坦區(qū)是由連續(xù)性的花紋分布于該環(huán)狀區(qū)域內(nèi)。
4.如權(quán)利要求I所述的金屬光罩，其特征在于，該非平坦區(qū)內(nèi)分布著相同且重復(fù)性的花紋。
5.如權(quán)利要求I所述的金屬光罩，其特征在于，該非平坦區(qū)是采化學(xué)蝕刻制程于第二表面處加工而成的非平坦區(qū)。
6.如權(quán)利要求I所述的金屬光罩，其特征在于，該非平坦面分布于該第二表面的局部區(qū)域。
7.如權(quán)利要求I所述的金屬光罩，其特征在于，該非平坦面分布區(qū)域涵蓋整個(gè)第二表面。
8.如權(quán)利要求I所述的金屬光罩，其特征在于，該金屬光罩的厚度介于O.15 O. 7mm。
9.如權(quán)利要求8所述的金屬光罩,其特征在于,該金屬光罩的厚度介于O.25 O. 5mm。
專利摘要本實(shí)用新型提出一種金屬光罩，用于各式顯示器或觸控面板的玻璃基板的制程中，為一框體并形成有至少為一的開(kāi)口單元，該框體所遮蔽的區(qū)域即制程中形成線路之處。該金屬光罩包括有能與玻璃基板接觸的第一表面，及位置為第一表面相對(duì)面的第二表面，該第一表面為光滑面，而該第二表面上形成有至少為一的非平坦區(qū)，該非平坦區(qū)位置鄰近該開(kāi)口單元，區(qū)內(nèi)分布著立體的花紋，其目的為提高表面積與粗糙度，以避免表面沉積物剝離、掉落，借此提升制程的品質(zhì)，延長(zhǎng)金屬光罩的替換周期。
文檔編號(hào)G03F7/20GK202548531SQ201220181330
公開(kāi)日2012年11月21日 申請(qǐng)日期2012年4月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月20日
發(fā)明者陳學(xué)哲 申請(qǐng)人:世禾科技股份有限公司