專利名稱：薄膜狀產(chǎn)品的制造方法、薄膜狀產(chǎn)品的制造裝置、及掩膜的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種薄膜狀產(chǎn)品的制造方法、薄膜狀產(chǎn)品的制造裝置、及掩膜。
背景技術(shù)：
已公知的薄膜狀產(chǎn)品的制 造方法是在薄膜上曝光一整幅圖案，并在曝光與曝光之間搬運(yùn)一幅圖案長(zhǎng)度的薄膜的制造方法(例如專利文獻(xiàn)I)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I專利公開(kāi)平4-97155號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題然而，采用上述方法，需要相當(dāng)于最終所希望的一幅圖案以上的曝光面積的掩膜、光源及場(chǎng)地，存在薄膜狀產(chǎn)品的制造裝置變大的問(wèn)題。解決技術(shù)問(wèn)題的手段在本發(fā)明的第一方式中，提供一種薄膜狀產(chǎn)品的制造方法，其包括搬運(yùn)步驟，其沿長(zhǎng)度方向搬運(yùn)長(zhǎng)條狀的薄膜；曝光步驟，使用對(duì)預(yù)定曝光區(qū)域進(jìn)行曝光的曝光裝置將所述薄膜曝光；在所述搬運(yùn)步驟及所述曝光步驟中，曝光比所述曝光裝置的所述曝光區(qū)域中的所述長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度還要長(zhǎng)、且沒(méi)有斷縫的所述薄膜。在本發(fā)明的第二方式中，提供一種薄膜狀產(chǎn)品的制造裝置，其包括搬運(yùn)部，沿長(zhǎng)度方向搬運(yùn)長(zhǎng)條狀的薄膜；曝光部，在預(yù)定曝光區(qū)域里曝光所述薄膜；曝光比在所述曝光區(qū)域的所述長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度還長(zhǎng)、且沒(méi)有斷縫的所述薄膜。在本發(fā)明的第三方式中，提供一種掩膜，是為了沿長(zhǎng)度方向搬運(yùn)長(zhǎng)條狀薄膜的同時(shí)，用來(lái)自偏振光輸出部的第I偏振光及第2偏振光對(duì)所述薄膜進(jìn)行曝光的掩膜,所述掩膜包括透射第I偏振光的第I透射區(qū)域，以及透射與所述第I偏振光的偏振光方向交叉的第2偏振光的第2透射區(qū)域；所述第I透射區(qū)域及所述第2透射區(qū)域，至少有一部分配置在與所述長(zhǎng)度方向交叉的寬度方向上的不同的位置上。在本發(fā)明的第四方式中，提供一種掩膜，是沿長(zhǎng)度方向搬運(yùn)長(zhǎng)條狀薄膜的同時(shí)，用偏振光輸出部發(fā)出的偏振光來(lái)曝光所述薄膜的掩膜，所述掩膜在與所述長(zhǎng)度方向交叉的寬度方向上延伸，并配置在所述偏振光輸出部和所述薄膜之間，具有透射所述偏振光的透射區(qū)域。再有，上述發(fā)明的概要并未將本發(fā)明的全部必要特征列都列舉出來(lái)。并且，這些特征群的次級(jí)組合也能構(gòu)成本發(fā)明。


圖I是本實(shí)施方式涉及的相位差板的整體平面圖。
圖2是沿圖I的II-II線的縱向剖面圖。圖3是本實(shí)施方式涉及的相位差板制造裝置的整體結(jié)構(gòu)圖。圖4是曝光部的整體立體圖。圖5是掩膜的仰視圖。圖6是沿圖5的VI-VI線的縱向剖面圖。圖7是上游側(cè)張力輥及下游側(cè)張力輥的立體圖。
圖8是另一實(shí)施方式涉及的一對(duì)張力輥的立體圖。圖9是圖8的上游側(cè)張力輥的側(cè)面圖。圖10是另一實(shí)施方式涉及的掩膜的仰視圖。圖11是另一實(shí)施方式涉及的掩膜的仰視圖。圖12是另一實(shí)施方式涉及的掩膜的仰視圖。圖13是另一實(shí)施方式涉及的掩膜的仰視圖。圖14是另一實(shí)施方式涉及的掩膜的仰視圖。
具體實(shí)施例方式下面通過(guò)發(fā)明的實(shí)施方式來(lái)說(shuō)明本發(fā)明，但下述的實(shí)施方式并不限定權(quán)利要求涉及的發(fā)明。并且，在實(shí)施方式中說(shuō)明的特征組合并非全部都是發(fā)明的解決手段所必須的。圖I是本實(shí)施方式涉及的相位差板的整體平面圖。相位差板100是通過(guò)本實(shí)施方式的薄膜狀產(chǎn)品的制造方法進(jìn)行曝光后的薄膜的一個(gè)例子。相位差板100設(shè)置在立體圖像顯示裝置的液晶圖像生成部的輸出側(cè)，輸出右眼用圖像及左眼用圖像。相位差板100被制成一邊為數(shù)cm 數(shù)m的長(zhǎng)方形形狀。如圖I所示，相位差板100具有切割薄膜102、偏振光調(diào)制部104及偏振光調(diào)制部106。切割薄膜102是將樹(shù)脂制的長(zhǎng)條狀薄膜90切割成一定長(zhǎng)度而形成的。切割薄膜102支撐偏振光調(diào)制部104及偏振光調(diào)制部106。切割薄膜102可以由環(huán)狀烯烴系薄膜構(gòu)成。作為環(huán)狀烯烴系薄膜，可以使用環(huán)狀烯烴聚合物(= COP)、優(yōu)選使用是環(huán)狀烯烴聚合物的共聚體的環(huán)狀烯烴共聚物(=C0C)。作為COP薄膜，能夠舉出日本吉恩( > )公司的ZEONOR薄膜(Film ZE0N0R)ZF14。并且，切割薄膜102也可由包含三乙酰纖維素(=TAC)的材料構(gòu)成。TAC薄膜能舉出富士照片膠卷公司制造的富士達(dá)(FUJITAC)T80SZ。再有，使用環(huán)狀烯烴系薄膜時(shí)，從脆弱性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選使用高韌性類型的薄膜。偏振光調(diào)制部104及偏振光調(diào)制部106，在平面視圖上，制作成相同的形狀。偏振光調(diào)制部104及偏振光調(diào)制部106為沿切割薄膜102的長(zhǎng)度方向延伸的長(zhǎng)方形形狀。偏振光調(diào)制部104和偏振光調(diào)制部106彼此以一條邊相接觸的狀態(tài)交互配置。偏振光調(diào)制部104及偏振光調(diào)制部106調(diào)制透射的偏振光的偏振光狀態(tài)。偏振光調(diào)制部104及偏振光調(diào)制部106的一個(gè)例子是1/4波長(zhǎng)板。偏振光調(diào)制部104例如具有與圖I中偏振光調(diào)制部104的右端記載的箭頭110相平行的光學(xué)軸。由此，偏振光調(diào)制部104例如當(dāng)偏振光方向?yàn)樽约^110旋轉(zhuǎn)了 45°的直線偏振光一入射，就將其偏振光調(diào)制為具有相鄰箭頭112所示的左旋的偏振光方向的圓偏振光后輸出。偏振光調(diào)制部106，例如具有與圖I中的偏振光調(diào)制部106右端記載的箭頭114平行的、且與偏振光調(diào)制部104的光學(xué)軸正交的光學(xué)軸。由此，偏振光調(diào)制部106例如當(dāng)具有從箭頭110旋轉(zhuǎn)了 45°的偏振光方向的直線偏振光一入射，就將該偏振光調(diào)制成具有相鄰的箭頭116所不的右旋的偏振光方向的圓偏振光并輸出。結(jié)果，具有相同偏振光方向的直線偏振光即便入射到偏振光調(diào)制部104及偏振光調(diào)制部106,偏振光調(diào)制部106輸出的偏振光的偏振光方向和偏振光調(diào)制部104輸出的偏振光的偏振光方向也是不同的。例如，偏振光調(diào)制部106輸出的偏振光的偏振光方向是偏振光調(diào)制部104輸出的偏振光的偏振光方向的反轉(zhuǎn)方向。使用者能夠通過(guò)用右眼或者左眼看這些偏振光來(lái)視認(rèn)立體圖像。圖2是沿圖I的II-II線的縱向剖面圖。如圖2所示，各偏振光調(diào)制部104及偏振光調(diào)制部106具有取向膜120和液晶膜122。取向膜120形成于在切割薄膜102的面上且形成有偏振光調(diào)制部104及偏振光調(diào)制部106的區(qū)域上。取向膜120可以使用公知的光取向性化合物。作為光取向性化合物的例子，可以舉出光解型、光二次量子化型、光異構(gòu)化型等的化合物。取向膜120中，在偏振光調(diào)制部104的區(qū)域上形成的取向膜120與偏振光調(diào)制部104的光學(xué)軸對(duì)應(yīng)取向。取向膜120中，在偏振光調(diào)制部106的區(qū)域上形成的取向膜120與偏振光調(diào)制部106的光學(xué)軸對(duì)應(yīng)取向。液晶膜122可由經(jīng)紫外線或者加熱等能夠硬化的液晶聚合物構(gòu)成。液晶膜122的分子沿取向膜120的取向來(lái)取向。從而，形成偏振光調(diào)制部104的區(qū)域的液晶膜122的分子與偏振光調(diào)制部104的光學(xué)軸對(duì)應(yīng)取向。并且，形成偏振光調(diào)制部106的區(qū)域的液晶膜122的分子與偏振光調(diào)制部106的光學(xué)軸對(duì)應(yīng)取向。圖3是本實(shí)施方式的相位差板制造裝置的整體結(jié)構(gòu)圖。以圖3中箭頭示出的上下作為相位差板制造裝置的上下方向。并且，上游及下游為搬運(yùn)方向上的上游及下游。再有，搬運(yùn)方向與薄膜90的長(zhǎng)度方向是同方向。相位差板制造裝置10是薄膜狀產(chǎn)品的制造裝置的一個(gè)例子。如圖3所示，相位差板制造裝置10包括送出輥12、取向膜涂敷部14、取向膜干燥部16、曝光部18、液晶膜涂敷部20、液晶膜取向部22、液晶膜硬化部24、隔膜供給部26、卷繞輥28。送出輥12配置在薄膜90的搬運(yùn)路徑的最上游側(cè)。送出輥12的外圍卷繞著供給用的薄膜90。送出輥12被可旋轉(zhuǎn)地支撐。由此，送出輥12能夠保持可送出薄膜90的狀態(tài)。送出輥12即可設(shè)計(jì)為能通過(guò)電機(jī)等驅(qū)動(dòng)設(shè)備旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)，也可設(shè)計(jì)為能隨著卷繞輥28的旋轉(zhuǎn)而可以從動(dòng)的結(jié)構(gòu)?；蛘撸部稍O(shè)置在搬運(yùn)路徑途中來(lái)驅(qū)動(dòng)薄膜90。取向膜涂敷部14是涂敷部的一個(gè)例子。取向膜涂敷部14配置在送出輥12的下游側(cè)的曝光部18的上游側(cè)。取向膜涂敷部14配置在所搬運(yùn)的薄膜90的搬運(yùn)路徑的上方。取向膜涂敷部14向薄膜90的上面供給并涂敷作為曝光材料的一個(gè)例子的液體狀取向膜120。取向膜干燥部16配置在取向膜涂敷部14的下游側(cè)。取向膜干燥部16通過(guò)加熱、光照射或者送風(fēng)等，使通過(guò)其內(nèi)部的薄膜90上所涂敷的取向膜120干燥。 曝光部18配置在取向膜干燥部16的下游側(cè)。曝光部18具有上游側(cè)空氣吐出部32、偏振光光源34、掩膜38、掩膜保持部40、下游側(cè)空氣吐出部42、一對(duì)上游側(cè)張力輥44及下游側(cè)張力輥46。曝光部18通過(guò)隔著掩膜38向涂敷在薄膜90上的取向膜120照射從偏振光光源34輸出的偏振光,使取向膜120取向。由此,曝光部18在薄膜90的取向膜120上曝光圖案。偏振光光源34輸出的偏振光的一個(gè)例子是紫外線。偏振光光源34的下方是曝光薄膜90的預(yù)定曝光區(qū)域80的一個(gè)例子。液晶膜涂敷部20配置在曝光部18的下游側(cè)。液晶膜涂敷部20配置在薄膜90的搬運(yùn)路徑上方。液晶膜涂敷部20將液晶膜122供給并涂敷在形成于薄膜90上的取向膜120 上。液晶膜取向部22配置在液晶膜涂敷部20的下游側(cè)。液晶膜取向部22通過(guò)加熱、光照射或者送風(fēng)等，使通過(guò)內(nèi)部的取向膜120上形成的液晶膜122沿取向膜120的取向方向來(lái)取向，同時(shí)干燥。液晶膜硬化部24配置在液晶膜取向部22的下游側(cè)。液晶膜硬化部24通過(guò)照射紫外線，使液晶膜122硬化。由此，沿取向膜120的取向而取向的液晶膜122的分子的取向被固定。隔膜供給部26配置在液晶膜硬化部24和卷繞輥28之間。隔膜供給部26向薄膜90的液晶膜122上供給隔膜92并貼合。再有，也可省略隔膜供給部26。卷繞輥28配置在液晶膜硬化部24的下游側(cè)的搬運(yùn)路徑的最下游側(cè)。卷繞輥28受到支持并可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。卷繞輥28卷繞形成取向膜120及液晶膜122并形成了圖案的薄膜90。圖4是曝光部的整體立體圖。曝光部18是曝光裝置的一個(gè)例子。如圖4所示，上游側(cè)空氣吐出部32配置在取向膜干燥部16的下游側(cè)的上游側(cè)張力輥44的上游側(cè)。上游側(cè)空氣吐出部32配置在薄膜90的搬運(yùn)路徑的上方。上游側(cè)空氣吐出部32向下方被搬運(yùn)的薄膜90吐出空氣。由此，搬運(yùn)中的薄膜90被壓向下方。偏振光光源34配置在薄膜90的搬運(yùn)路徑的上方。偏振光光源34具有上游側(cè)偏振光輸出部50以及下游側(cè)偏振光輸出部52。上游側(cè)偏振光輸出部50的底面作為輸出第I偏振光的上游側(cè)偏振光輸出面51發(fā)揮作用。下游側(cè)偏振光輸出部52的底面作為輸出第2偏振光的下游側(cè)偏振光輸出面53發(fā)揮作用。上游側(cè)偏振光輸出面51及下游側(cè)偏振光輸出面53配置在上游側(cè)張力輥44和下游側(cè)張力輥46之間。上游側(cè)偏振光輸出部50是第I偏振光輸出部的一個(gè)例子，向下方輸出第I偏振光。下游側(cè)偏振光輸出部52配置在薄膜90的長(zhǎng)度方向上,位于不同于上游側(cè)偏振光輸出部50位置的、上游側(cè)偏振光輸出部50的下游側(cè)。下游側(cè)偏振光輸出部52是第2偏振光輸出部的一個(gè)例子。下游側(cè)偏振光輸出部52向下方輸出第2偏振光,所述第2偏振光具有的偏振光方向不同于上游側(cè)偏振光輸出部50輸出的第I偏振光的偏振光方向。上游側(cè)偏振光輸出部50輸出的第I偏振光的偏振光方向與下游側(cè)偏振光輸出部52輸出的第2偏振光的偏振光方向正交。再有，上游側(cè)偏振光輸出部50輸出的第I偏振光的偏振光方向也可為以任意角度與下游側(cè)偏振光輸出部52輸出的第2偏振光的偏振光方向交叉。上游側(cè)偏振光輸出部50和下游側(cè)偏振光輸出部52為一體光源時(shí)，也可設(shè)置遮蔽彼此偏振光的遮光壁。
掩膜38透射偏振光光源34發(fā)出的偏振光的一部分,并遮蔽剩下的部分。由此,薄膜90被曝光為規(guī)定的圖案。掩膜38配置在偏振光光源34和薄膜90之間。舉例來(lái)說(shuō),掩膜38配置在薄膜90上方數(shù)百ym處。掩膜38具有掩膜基材56和遮光層58。遮光層58上形成有作為上游側(cè)透射區(qū)域62發(fā)揮作用的開(kāi)口和作為下游側(cè)透射區(qū)域66發(fā)揮作用的開(kāi)□。在寬度方向上可相對(duì)薄膜90移動(dòng)地保持掩膜保持部40。掩膜保持部40保持掩膜38。由此，掩膜38通過(guò)電機(jī)或者致動(dòng)器等可與掩膜保持部40 —同移動(dòng)。下游側(cè)空氣吐出部42被配置在下游側(cè)張力輥46的下游側(cè)。下游側(cè)空氣吐出部42配置在薄膜90的搬運(yùn)路徑的上方。下游側(cè)空氣吐出部42向在下方被搬運(yùn)的薄膜90吐出空氣。由此，搬運(yùn)中的薄膜90被壓向下方。上游側(cè)張力輥44被配置在偏振光光源34及掩膜38的上游側(cè)，且上游側(cè)空氣吐出部32的下游側(cè)。下游側(cè)張力輥46配置在偏振光光源34及掩膜38的下游側(cè)、下游側(cè)空氣吐出部42的上游側(cè)。上游側(cè)張力輥44及下游側(cè)張力輥46被可轉(zhuǎn)動(dòng)地支持。上游側(cè)張力輥44及下游側(cè)張力輥46可構(gòu)成為能通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)等進(jìn)行自轉(zhuǎn)，也可構(gòu)成為能通過(guò)卷繞輥28等的驅(qū)動(dòng)力來(lái)從動(dòng)。上游側(cè)張力輥44及下游側(cè)張力輥46配置在搬運(yùn)路徑之下。由此，上游側(cè)張力輥44及下游側(cè)張力輥46與薄膜90的面中，未形成有薄膜90的取向膜120的面的下表面接觸并按壓。如上所述，薄膜90被上游側(cè)空氣吐出部32及下游側(cè)空氣吐出部42向下方按壓。從而，上游側(cè)張力輥44及下游側(cè)張力輥46在下方對(duì)受按壓的薄膜90施予長(zhǎng)度方向的張力。對(duì)薄膜90施予的張力，舉例來(lái)說(shuō)350mm寬時(shí)優(yōu)選為約50N。上游側(cè)張力輥44及下游側(cè)張力輥46配置為夾隔曝光區(qū)域80。上游側(cè)張力輥44配置為比上游側(cè)透射區(qū)域62的上游側(cè)端部還向上游側(cè)，下游側(cè)張力輥46配置為比下游側(cè)透射區(qū)域66的下游側(cè)端部還向下游側(cè)。由此，上游側(cè)偏振光輸出部50及下游側(cè)偏振光輸出部52輸出的第I偏振光及第2偏振光，在透射薄膜90后經(jīng)上游側(cè)張力輥44及下游側(cè)張力輥46反射后曝光薄膜90的情況會(huì)有所減少。上游側(cè)張力輥44和下游側(cè)張力輥46之間的距離能設(shè)置得比一般的液晶顯示裝置中設(shè)置的數(shù)cm以上的相位差板100的長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度還短。由此，能夠?qū)ι嫌蝹?cè)張力輥44和下游側(cè)張力輥46之間的薄膜90施予足夠的長(zhǎng)度方向的張力。圖5是掩膜的仰視圖。圖6是沿圖5的VI-VI線的縱向剖面圖。圖5的透射區(qū)域內(nèi)所示的箭頭是透過(guò)透射區(qū)域的偏振光的偏振光方向的一個(gè)例子。如圖5及圖6所示，掩膜38的掩膜基材56制成矩形的板狀。掩膜基材56由石英玻璃等材料構(gòu)成。在薄膜90的長(zhǎng)度方向上，掩膜基材56長(zhǎng)度的一個(gè)例子是約為300mm。遮光層58形成在掩膜基材56的下表面。遮光層58由鉻等可遮蔽光的材料構(gòu)成。如上述那樣在遮光層58上形成有作為上游側(cè)透射區(qū)域62及下游側(cè)透射區(qū)域66發(fā)揮作用的開(kāi)口。上游側(cè)透射區(qū)域62及下游側(cè)透射區(qū)域66沿長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度的一個(gè)例子是約為30mm。即上游側(cè)透射區(qū)域62及下游側(cè)透射區(qū)域66沿長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度能比一般的液晶顯示裝置中設(shè)置的數(shù)cm以上的相位差板100長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度短。上游側(cè)透射區(qū)域62及下游側(cè)透射區(qū)域66寬度方向的長(zhǎng)度的一個(gè)例子是約為100 μ m。上游側(cè)透射區(qū)域62沿寬度方向排列。上游側(cè)透射區(qū)域62透過(guò)含有第I偏振光的光。上游側(cè)透射區(qū)域62配置在上游側(cè)偏振光輸出部50和薄膜90之間。由此，上游側(cè)偏振光輸出部50輸出的第I偏振光透過(guò)上游側(cè)透射區(qū)域62,并將薄膜90曝光。下游側(cè)透射區(qū)域66沿寬度方向排列。下游側(cè)透射區(qū)域66配置為比上游側(cè)透射區(qū)域62還向下游側(cè)。下游側(cè)透射區(qū)域66透過(guò)含有第2偏振光的光。下游側(cè)透射區(qū)域66配、置在下游側(cè)偏振光 輸出部52和薄膜90之間。由此，下游側(cè)偏振光輸出部52輸出的第2偏振光透過(guò)下游側(cè)透射區(qū)域66，并曝光薄膜90。上游側(cè)透射區(qū)域62及下游側(cè)透射區(qū)域66配置在在長(zhǎng)度方向上彼此不重疊的不同位置。下游側(cè)透射區(qū)域66形成在寬度方向上與上游側(cè)透射區(qū)域62不同的位置上。上游側(cè)透射區(qū)域62及下游側(cè)透射區(qū)域66，配置在與長(zhǎng)度方向交叉的寬度方向上彼此不重疊的不同位置上。由此，被上游側(cè)透射區(qū)域62曝光的區(qū)域和被下游側(cè)透射區(qū)域66曝光的區(qū)域形成在薄膜90上不重疊的不同位置上。換言之，與長(zhǎng)度方向平行的下游側(cè)透射區(qū)域66的任意一邊，位于與長(zhǎng)度方向平行的上游側(cè)透射區(qū)域62的邊的延長(zhǎng)線上。由此，薄膜90以被上游側(cè)透射區(qū)域62曝光的區(qū)域和被下游側(cè)透射區(qū)域66曝光的區(qū)域之間無(wú)縫隙的狀態(tài)被曝光?？杀簧嫌蝹?cè)偏振光輸出部50輸出的第I偏振光曝光的區(qū)域是第I曝光區(qū)域81?？杀幌掠蝹?cè)偏振光輸出部52輸出的第2偏振光曝光的區(qū)域是第2曝光區(qū)域82。再有，上游側(cè)透射區(qū)域62也可由僅可透射第I偏振光的偏振光板構(gòu)成。并且，下游側(cè)透射區(qū)域66也可由僅可透射第2偏振光的偏振光板構(gòu)成。由此，能夠在抑制透射下游側(cè)透射區(qū)域66的第I偏振光的同時(shí)，抑制透射上游側(cè)透射區(qū)域62的第2偏振光。圖7是上游側(cè)張力輥及下游側(cè)張力輥的立體圖。上游側(cè)張力輥44及下游側(cè)張力輥46制成圓柱形狀。再有，上游側(cè)張力輥44及下游側(cè)張力輥46的圓度優(yōu)選高的。并且，在將上游側(cè)張力輥44及下游側(cè)張力輥46制成圓筒形時(shí)，優(yōu)選圓柱度高的。進(jìn)而，上游側(cè)張力輥44的旋轉(zhuǎn)軸及下游側(cè)張力輥46的旋轉(zhuǎn)軸需要彼此高精度地平行。根據(jù)這些，能夠減少旋轉(zhuǎn)時(shí)上游側(cè)張力輥44及下游側(cè)張力輥46的晃動(dòng)，同時(shí)能夠減少搬運(yùn)中的薄膜90的搖動(dòng)。接下來(lái)，對(duì)作為薄膜狀產(chǎn)品的制造方法的一個(gè)例子的相位差板100的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。首先，準(zhǔn)備卷繞在送出輥12上的長(zhǎng)條狀薄膜90。此處，薄膜90全長(zhǎng)，例如約為IOOOm0薄膜90寬，例如約為lm。此后，將薄膜90的一端固定在卷繞輥28上。以此狀態(tài)，配置薄膜90通過(guò)上游側(cè)張力輥44及下游側(cè)張力輥46的上表面。接下來(lái)，卷繞輥28的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)開(kāi)始。結(jié)果，薄膜90被送出輥12送出，薄膜90在長(zhǎng)度方向上被搬運(yùn)。薄膜90的搬運(yùn)速度的一個(gè)例子是2m/分 IOm/分。送出的薄膜90通過(guò)取向膜涂敷部14的下方。由此，在薄膜90的上表面，除了兩端部以外，由取向膜涂敷部14在寬度方向上的大致整個(gè)區(qū)域涂敷取向膜120。在薄膜90的搬運(yùn)中連續(xù)執(zhí)行取向膜120的涂敷。從而，在薄膜90的上面，除両端的一部分外，在長(zhǎng)度方向的全長(zhǎng)內(nèi)連續(xù)涂敷取向膜120。搬運(yùn)涂敷了取向膜120的薄膜90使其通過(guò)取向膜干燥部16的內(nèi)部。由此涂敷在薄膜90上表面的取向膜120被干燥。此后，薄膜90從上游側(cè)空氣吐出部32的下方、及上游側(cè)張力輥44的上面通過(guò)。涂敷了取向膜120的區(qū)域的薄膜90通過(guò)上游側(cè)透射區(qū)域62的下方。由此，形成在通過(guò)上游側(cè)透射區(qū)域62下方區(qū)域的薄膜90的取向膜120被上游側(cè)偏振光輸出部50輸出的、透射掩膜38的上游側(cè)透射區(qū)域62的第I偏振光曝光。此處，薄膜90被卷繞輥28連續(xù)地以一定的速度持續(xù)搬運(yùn)，同時(shí)被曝光。從而，通過(guò)上游側(cè)透射區(qū)域62下方的取向膜120，沿長(zhǎng)度方向連續(xù)地被上游側(cè)偏振光輸出部50輸出的第I偏振光曝光。由此，通過(guò)上游側(cè)透射區(qū)域62下方的取向膜120沿長(zhǎng)度方向被呈帶狀地曝光。由此，變?yōu)楸仍谄毓獠?8的偏振光光源34的曝光區(qū)域80上的長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度還長(zhǎng)、沒(méi)有斷縫的薄膜90被曝光。并且，由于該區(qū)域的取向膜120被上游側(cè)偏振光輸出部50輸出的第I偏振光曝光，因此該區(qū)域的取向膜120與被曝光的第I偏振光對(duì)應(yīng)取向。此后，搬運(yùn)涂敷有取向膜120的區(qū)域的薄膜90通過(guò)下游側(cè)透射區(qū)域66的下方。由此，形成在通過(guò)下游側(cè)透射區(qū)域66下方區(qū)域的薄膜90上的取向膜120被下游側(cè)偏振光輸出部52輸出的、透射下游側(cè)透射區(qū)域66的第2偏振光曝光。再有，由于薄膜90被繼續(xù)搬運(yùn)，所以該區(qū)域的取 向膜120也被呈帶狀地曝光。由于該區(qū)域的取向膜120被下游側(cè)偏振光輸出部52輸出的第2偏振光曝光,所以該區(qū)域的取向膜120與被曝光的偏振光對(duì)應(yīng)取向。此處，下游側(cè)偏振光輸出部52輸出的第2偏振光的偏振光方向與上游側(cè)偏振光輸出部50輸出的第I偏振光的偏振光方向正交。由此，通過(guò)下游側(cè)透射區(qū)域66下方的區(qū)域的取向膜120和通過(guò)上游側(cè)透射區(qū)域62下方的區(qū)域的取向膜120取向?yàn)楸舜苏环较颉２⑶?，上游?cè)透射區(qū)域62和下游側(cè)透射區(qū)域66在寬度方向上，形成在不同的位置上。由此，被上游側(cè)透射區(qū)域62曝光的取向膜120的區(qū)域、和被下游側(cè)透射區(qū)域66曝光的取向膜120的區(qū)域，在寬度方向變?yōu)椴煌奈恢?。從而，在取向?20上形成具有2個(gè)區(qū)域的圖案，所述2個(gè)區(qū)域的圖案包含與偏振光調(diào)制部104及偏振光調(diào)制部106對(duì)應(yīng)的不同取向。此處，由于上游側(cè)空氣吐出部32及下游側(cè)空氣吐出部42向薄膜90上吐出空氣，所以薄膜90被壓向下方。由此，在上游側(cè)張力輥44及下游側(cè)張力輥46之間向薄膜90施予長(zhǎng)度方向的張力。并且，由于上游側(cè)張力輥44制成圓柱狀，所以薄膜90的寬度方向的移動(dòng)小。此后，曝光了取向膜120的薄膜90，通過(guò)下游側(cè)空氣吐出部42下方，到達(dá)液晶膜涂敷部20下方。由此，液晶膜122被涂敷在取向膜120的上面。由于液晶膜122被連續(xù)涂敷在搬運(yùn)中的薄膜90的取向膜120的上面，所以液晶膜122變?yōu)橥糠罂绫∧?0長(zhǎng)度方向的全長(zhǎng)。此后，搬運(yùn)涂敷了液晶膜122的薄膜90通過(guò)液晶膜取向部22，由此，液晶膜122被液晶膜取向部22加熱、液晶膜122的分子沿形成在下面的取向膜120而取向的同時(shí)被干燥。接下來(lái)，涂敷的液晶膜122已被取向的薄膜90，通過(guò)液晶膜硬化部24。由此，紫外線照射在液晶膜122上，液晶膜122以取向的狀態(tài)而硬化。結(jié)果，液晶膜122的分子與通過(guò)上游側(cè)透射區(qū)域62下方區(qū)域的取向膜120及通過(guò)下游側(cè)透射區(qū)域66下方區(qū)域的取向膜120各自對(duì)應(yīng)地取向。如圖I及圖2所示，由取向膜120及液晶膜122形成的偏振光調(diào)制部104及偏振光調(diào)制部106交互形成于薄膜90的寬度方向上。接下來(lái)，將隔膜92供給在液晶膜122的上面并貼合在上面。而且，上面貼了隔膜92的薄膜90被卷繞輥28卷繞。此后，直到卷繞在送出輥12上的薄膜90的供給結(jié)束為止，由卷繞輥28不斷搬運(yùn)薄膜90同時(shí)繼續(xù)薄膜90的曝光。而且，一旦卷繞在送出輥12上的薄膜90被全部供給后即停止。再有，也可在停止了的薄膜90的后端上，連接下一個(gè)新的薄膜90的前端，連續(xù)曝光薄膜90。最后，薄膜90被切割為規(guī)定的長(zhǎng)度，完成如圖I及圖2所示的相位差板100。如上所述，在采用本實(shí)施方式的相位差板制造方法及相位差板制造裝置10中，曝光長(zhǎng)度比曝光區(qū)域80的長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度還長(zhǎng)、沒(méi)有斷縫的薄膜90。由此，采用本實(shí)施方式，能以長(zhǎng)度方向比一般的液晶顯示裝置中設(shè)置的數(shù)cm以上的相位差板100還短的曝光區(qū)域80來(lái)曝光，能制造比曝光區(qū)域80還長(zhǎng)的相位差板100。結(jié)果，由于能在長(zhǎng)度方向縮小偏振光光源34、掩膜38、曝光區(qū)域80，所以能夠?qū)⑾辔徊畎逯圃煅b置10小型化。
由于在本實(shí)施方式中，曝光長(zhǎng)度比曝光區(qū)域80的長(zhǎng)度方向還長(zhǎng)、沒(méi)有斷縫的薄膜90，所以能夠減少薄膜90上沒(méi)有曝光圖案的區(qū)域。尤其，薄膜90的曝光開(kāi)始后，到薄膜90的供給停止為止，持續(xù)進(jìn)行薄膜90的曝光。從而，薄膜90的曝光一開(kāi)始，薄膜90上就形成沒(méi)有斷縫的圖案。由此，能進(jìn)一步減少薄膜90上未形成圖案的區(qū)域。結(jié)果，能從薄膜90制造的相位差板100的張數(shù)增加，能夠提高收益率。并且，通過(guò)連續(xù)形成圖案，像間歇曝光時(shí)那樣，對(duì)相鄰圖案的間隔調(diào)整的控制也能夠撤去。在本實(shí)施方式中，搬運(yùn)薄膜90的同時(shí)連續(xù)曝光。換言之，采用本實(shí)施方式，通過(guò)同時(shí)進(jìn)行薄膜90的搬運(yùn)及曝光，變得省去搬運(yùn)時(shí)間或者曝光時(shí)間。由此，由于能夠減少薄膜90未搬運(yùn)及未曝光的時(shí)間，所以，能減少薄膜90的制造時(shí)間。并且，通過(guò)削減薄膜90的搬運(yùn)停止的時(shí)間，能減少薄膜90的加速及減速所需的時(shí)間。進(jìn)而，由于將薄膜90的搬運(yùn)維持在一定的速度即可，所以能夠?qū)⒈∧?0的搬運(yùn)控制簡(jiǎn)化。在本實(shí)施方式中，通過(guò)掩膜38曝光薄膜90，所述掩膜38與一般的液晶顯示裝置設(shè)置的數(shù)cm以上的相位差板100相比較，具有長(zhǎng)度方向上極短的上游側(cè)透射區(qū)域62及下游側(cè)透射區(qū)域66。由此，由于變?yōu)閷⑸嫌蝹?cè)偏振光輸出部50及下游側(cè)偏振光輸出部52輸出的光集中在小區(qū)域中曝光，所以能夠以短時(shí)間來(lái)曝光薄膜90。由此，本實(shí)施方式能夠進(jìn)一步減少制造時(shí)間。并且，由于能夠減小上游側(cè)偏振光輸出部50及下游側(cè)偏振光輸出部52的輸出，所以能夠降低設(shè)備成本。在本實(shí)施方式中，在薄膜90的長(zhǎng)度方向上連續(xù)曝光圖案。由此，即便在掩膜38的上游側(cè)透射區(qū)域62或者下游側(cè)透射區(qū)域66的一部分有異物附著，也能經(jīng)透射了未附著異物的、寬度方向的位置相同、長(zhǎng)度方向的位置不同的區(qū)域的上游側(cè)透射區(qū)域62或者下游側(cè)透射區(qū)域66來(lái)曝光薄膜90的該區(qū)域。由此，由于即便是附著了異物的區(qū)域，通過(guò)異物下方的薄膜90的區(qū)域也會(huì)被曝光，所以能夠減少異物的影響，提高收益率。例如在長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度是30mm的上游側(cè)透射區(qū)域62上，附著了長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度是Imm的異物時(shí)，與停止薄膜90并進(jìn)行了曝光時(shí)相比，能夠?qū)愇锏挠绊懸种频?/30。在本實(shí)施方式中，由于能夠在長(zhǎng)度方向上縮短第I曝光區(qū)域81、第2曝光區(qū)域82、及掩膜38，所以能夠縮短上游側(cè)張力輥44和下游側(cè)張力輥46之間的距離。由此，對(duì)上游側(cè)張力輥44和下游側(cè)張力輥46之間的薄膜90施予足夠的長(zhǎng)度方向的張力，能夠減少該各位置的薄膜90松弛。結(jié)果，能夠省去用于支持上游側(cè)張力輥44和下游側(cè)張力輥46之間薄膜90的臺(tái)架。并且，上游側(cè)張力輥44配置為比上游側(cè)透射區(qū)域62還向上游側(cè)，下游側(cè)張力輥46配置為比下游側(cè)透射區(qū)域66還向下游側(cè)。由此，能夠減少偏振光光源34輸出的、透射了薄膜90的偏振光被臺(tái)架、或者上游側(cè)張力輥44及下游側(cè)張力輥46反射。因此，能夠減少反射光導(dǎo)致的薄膜90的不必要曝光，能夠提高相位差板100的品質(zhì)。在本實(shí)施方式中，由于在薄膜90的長(zhǎng)度方向上連續(xù)曝光圖案，所以通過(guò)改變薄膜90的各切割位置，能夠自由改變相位差板100的完成品長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度。結(jié)果，本實(shí)施方式能夠提高相位差板100長(zhǎng)度方向的自由度。在本實(shí)施方式中，上游側(cè)張力輥44及下游側(cè)張力輥46與薄膜90的上、下表面中未涂敷取向膜120的下表面相接觸。由此，能夠避免由涂敷在薄膜90上的取向膜120與輥接觸導(dǎo)致的取向不良。進(jìn)而，通過(guò)上游側(cè)空氣吐出部32及下游側(cè)空氣吐出部42吐出的空氣，按壓形成有取向膜120的薄膜90的上表面，對(duì)薄膜90施予張力。即，本實(shí)施方式能夠不與形成有取向膜120的薄膜90的上表面直接接觸而對(duì)薄膜90施予張力。接下來(lái)，對(duì)縮短上述相位差板100的制造時(shí)間進(jìn)行具體說(shuō)明。首先，說(shuō)明本實(shí)施方式及比較例的通用條件。要曝光薄膜90所需的每單位面積的能量是20mJ/cm2。為曝光薄膜90而使用的偏振光光源34輸出的紫外線照射的每單位面積的強(qiáng)度是120mW/cm2。薄膜90的搬運(yùn)速度是IOm/分。再有，此處說(shuō)的搬運(yùn)速度是薄膜90變?yōu)楣潭ㄋ俣鹊臓顟B(tài)下的搬運(yùn)速度。I張相位差板100的完 成品的沿長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度是I. lm。采用上述條件，實(shí)施了本實(shí)施方式后，用于曝光I張相位差板100所需的時(shí)間變?yōu)?1張相位差板的長(zhǎng)度[m])/(搬運(yùn)速度[m/分])=I. 1/10 = O. 11[分]。再有，采用本實(shí)施方式，由于同時(shí)實(shí)行曝光和搬運(yùn)，所以只要考慮搬運(yùn)I張相位差板100所需的時(shí)間即可，故本實(shí)施方式曝光I張相位差板100所需的時(shí)間變?yōu)镺. 11分、即6. 6秒。另一方面，比較例是分開(kāi)實(shí)行曝光和搬運(yùn)的間歇曝光方法。因此，需要分別考慮搬運(yùn)所需的時(shí)間和曝光所需的時(shí)間。首先，搬運(yùn)所需的時(shí)間的加速及減速所需的時(shí)間分別為I. O秒、用于搬運(yùn)I張相位差板100的搬運(yùn)時(shí)間為(固定速度部分的相位差板的長(zhǎng)度[m])/(搬運(yùn)速度[m/分])=0.934/10 =O. 0934[分]=5.6[秒]。因此，在比較例中，在固定速度部分中所需的時(shí)間是5. 6秒，進(jìn)一步地，加速及減速所需的時(shí)間分別加上I秒。結(jié)果，搬運(yùn)所需的時(shí)間變?yōu)?. 6秒。接下來(lái)，在比較例中，曝光所需的時(shí)間如下所述。首先，包含上下方向上掩膜和薄膜之間的間隔調(diào)整的曝光間隙的調(diào)整所需的時(shí)間是2. O秒。接下來(lái)，通過(guò)第I偏振光的曝光需要I. 2秒，即為打開(kāi)快門的時(shí)間O. 5秒、第I偏振光進(jìn)行的曝光時(shí)間O. 2秒與關(guān)閉快門的時(shí)間O. 5秒之和。用于移動(dòng)第I偏振光用掩膜和第2偏振光用掩膜所需的時(shí)間是2. O秒。第2偏振光進(jìn)行的曝光與和第I偏振光進(jìn)行的曝光一樣，需要I. 2秒。由這些的總和，曝光所需的時(shí)間變?yōu)?. 4秒。從而,米用比較例，用于曝光I張相位差板100所需的時(shí)間變?yōu)?4秒。根據(jù)上述內(nèi)容，采用本實(shí)施方式，用于曝光I張相位差板100所需的時(shí)間是6. 6秒，采用比較例，用于曝光I張相位差板100所需的時(shí)間是14秒。通過(guò)這些內(nèi)容顯而易見(jiàn)，用比較例制造I張相位差板100的時(shí)間，本實(shí)施方式能夠制造2. I張相位差板100。圖8是采用另一實(shí)施方式的一對(duì)張力輥的立體圖。圖9是上游側(cè)張力輥的側(cè)面圖。如圖8及圖9所示，上游側(cè)張力輥144是在寬度方向的中央部形成有凹部的凹形輥。例如，上游側(cè)張力輥144的端部半徑比上游側(cè)張力輥144的中央部半徑約大100 μ m左右。作為這樣的上游側(cè)張力輥144，能夠舉出端部直徑是120. 2mm、中央部直徑是120mm的例子。由此，上游側(cè)張力輥144的兩端部附近的周速度比上游側(cè)張力輥144的中央部附近的周速度還快。從而，在寬度方向上，薄膜90的兩端部被上游側(cè)張力輥144的兩端部向外側(cè)拉伸。結(jié)果，薄膜90以寬度方向上的松弛被減少的狀態(tài)，通過(guò)偏振光光源34及掩膜38的下方，所以能夠減少被曝光的圖案的失真。并且，也可以是上游側(cè)張力輥144使用圓柱狀的輥，下游側(cè)張力輥46使用凹形輥。進(jìn)而，也可以是上游側(cè)張力輥144及下游側(cè)張力輥46使用凹形輥。再有，當(dāng)上游側(cè)張力輥144及下游側(cè)張力輥46的其中一方使用凹形輥時(shí)，優(yōu)選上游側(cè)張力輥144使用凹形輥。這是為了能夠以減少寬度方向松弛的狀態(tài)將薄膜90搬運(yùn)到掩膜38的下方。圖10是采用另一實(shí)施方式的掩膜的仰視圖。圖10的透射區(qū)域內(nèi)所示的箭頭是透射各透射區(qū)域的偏振光的偏振光方向的一個(gè)例子。如圖10所不,米用本實(shí)施方式,掩膜138具有透射光的掩膜基材156、在掩膜基材156上形成的遮光層158。遮光層158上形成有開(kāi)口，所述開(kāi)口作為透射第I偏振光的第I透射區(qū)域162及透射第2偏振光的第2透射區(qū)域166發(fā)揮作用，所述第2偏振光具有與所述第I偏振光交叉的偏振光方向。第I透射區(qū)域162和第2透射區(qū)域166配置在長(zhǎng) 度方向及搬運(yùn)方向的相同位置上。換言之，第I透射區(qū)域162和第2透射區(qū)域166沿寬度方向排列在一列上。米用本實(shí)施方式，偏振光光源134具有輸出第I偏振光的第I偏振光輸出部152和輸出第2偏振光的第2偏振光輸出部154。第I偏振光輸出部152具有輸出第I偏振光的偏振光光源，同時(shí)第2偏振光輸出部154具有輸出第2偏振光的偏振光光源。再有,也可設(shè)置輸出是非偏振光的光的通用的光源，第I偏振光輸出部152及第2偏振光輸出部154各自的輸出面上設(shè)置具有與第I偏振光的偏振光方向平行的透射軸的偏振光板及具有與第2偏振光的偏振光方向平行的透射軸的偏振光板。第I偏振光輸出部152和第2偏振光輸出部154配置在長(zhǎng)度方向及搬運(yùn)方向的相同位置上。換言之,第I偏振光輸出部152和第2偏振光輸出部154沿寬度方向排列在一列上。第I偏振光輸出部152和第2偏振光輸出部154分別配置在第I透射區(qū)域162和第2透射區(qū)域166的上方。圖11是采用另一實(shí)施方式的掩膜的仰視圖。圖11的透射區(qū)域內(nèi)所示的箭頭，是透射各透射區(qū)域的偏振光的偏振光方向的一個(gè)例子。如圖11所不，本實(shí)施方式的掩膜238具有掩膜基材256和形成在掩膜基材256的下表面上的遮光層258。遮光層258上形成有作為上游側(cè)透射區(qū)域262及下游側(cè)透射區(qū)域266發(fā)揮作用的開(kāi)口部。在掩膜238上，在寬度方向上，上游側(cè)透射區(qū)域262和下游側(cè)透射區(qū)域266之間留有間隔A。被掩膜238曝光了的相位差板，由掩膜238的間隔A形成的遮光層258而形成隨機(jī)取向部。隨機(jī)取向部是取向膜120及液晶膜122由于未被曝光而未取向的區(qū)域。隨機(jī)取向部與掩膜238的間隙A對(duì)應(yīng)，形成在圖I中偏振光調(diào)制部104及偏振光調(diào)制部106之間。圖12是采用另一實(shí)施方式的掩膜的仰視圖。如圖12所示，本實(shí)施方式的掩膜338具有掩膜基材356和形成在掩膜基材356的下表面上的遮光層358。遮光層358上形成有作為上游側(cè)透射區(qū)域362及下游側(cè)透射區(qū)域366發(fā)揮作用的開(kāi)口部。在掩膜338上，在寬度方向上形成有與上游側(cè)透射區(qū)域362和下游側(cè)透射區(qū)域366重復(fù)的重復(fù)區(qū)域B。由此，薄膜90的一部分被透射上游側(cè)透射區(qū)域362的第I偏振光和透射下游側(cè)透射區(qū)域366的第2偏振光兩方曝光。結(jié)果，制造的相位差板對(duì)應(yīng)掩膜基材356的重復(fù)區(qū)域B，形成有與圖I中的偏振光調(diào)制部104及偏振光調(diào)制部106之間具有不同取向的區(qū)域。圖13是采用另一實(shí)施方式的掩膜的仰視圖。如圖13所示，在本實(shí)施方式的掩膜438上，掩膜基材具有上游側(cè)掩膜基材45、和與上游側(cè)掩膜基材45為不同部件的下游側(cè)掩膜基材556。在上游側(cè)掩膜基材456的下表面上形成有上游側(cè)遮光層458。在上游側(cè)遮光層458上，形成有作為上游側(cè)透射區(qū)域462發(fā)揮作用的多個(gè)開(kāi)口。在下游側(cè)掩膜基材556的下表面上，形成有下游側(cè)遮光層558。在下游側(cè)遮光層558上，形成有作為下游側(cè)透射區(qū)域566發(fā)揮作用的多個(gè)開(kāi)口。圖14是采用另一實(shí)施方式的掩膜的仰視圖。如圖14所示，本實(shí)施方式的掩膜638具有掩膜基材656和形成在掩膜基材656的下表面上的遮光層658。在遮光層658上,形成有作為透射區(qū)域662發(fā)揮作用的開(kāi)口部。透射區(qū)域662制成為在與薄膜90的長(zhǎng)度方向交叉的寬度方向上延伸的矩形形狀。在本實(shí)施方式中，具有輸出偏振光的偏振光輸出部634。掩膜638的透射區(qū)域662配置在偏振光輸出部634和薄膜90之間，具有透射偏振光輸出部634輸出的偏振光的透射區(qū)域。由此，搬運(yùn)薄膜90的同時(shí)，通過(guò)隔著掩膜638曝光薄膜90，能夠制造整個(gè)面都具有同一方向的光學(xué)軸、透射一個(gè)方向的偏振光的偏振光板或者相位差板等。再有，當(dāng)曝光整個(gè)面都具有一個(gè)方向的光學(xué)軸、透射一個(gè)方向的偏振光的偏振光板或者相位差板時(shí)，也可不設(shè)置掩膜地曝光。以上用實(shí)施方式說(shuō)明了本發(fā)明，但本發(fā)明的技術(shù)范圍并不受上述實(shí)施方式所述的范圍限定。本領(lǐng)域技術(shù)人員明顯知道， 可以在上述實(shí)施方式上施加多種改變或改良。加入了這種改變或者改良的方式也包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)，這從專利權(quán)利要求的內(nèi)容是顯而易見(jiàn)的。應(yīng)該注意的是，在專利權(quán)利要求、說(shuō)明書和在附圖中示出了的裝置、系統(tǒng)、程序，和在方法中的動(dòng)作、次序、步驟和階段等的各處理的實(shí)施順序，只要沒(méi)有特別注明“比…先”、“在…之前”等，或者只要不是后邊的處理必須使用前面的處理的輸出，就可以以任意的順序?qū)嵤?。有關(guān)權(quán)利要求、說(shuō)明書和附圖中的動(dòng)作流程，為了說(shuō)明上的方便，說(shuō)明中使用了“首先”、“接下來(lái)”等字樣，但即使這樣也不意味著以這個(gè)程序?qū)嵤┦潜仨毜臈l件。下面對(duì)部分變更上述實(shí)施方式的一種實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。在上述實(shí)施方式中，例舉了相位差板100作為通過(guò)薄膜狀產(chǎn)品的制造方法制造的薄膜的一個(gè)例子，但本發(fā)明也適用于相位差板以外的薄膜狀產(chǎn)品的制造方法。例如，也可將本發(fā)明用于使用正型及負(fù)型光致抗蝕劑制造的薄膜狀產(chǎn)品及其制造方法。上述的實(shí)施方式的各結(jié)構(gòu)的配置、形狀、個(gè)數(shù)可調(diào)整。例如，采用上述實(shí)施方式，取向膜涂敷部14、取向膜干燥部16、液晶膜涂敷部20、液晶膜取向部22、液晶膜硬化部24的配置可做適宜改變。舉例來(lái)說(shuō)，可將取向膜涂敷部14及液晶膜涂敷部20的任意一個(gè)或全部配置在薄膜90的下方。從而，取向膜120及液晶膜122也可構(gòu)成為涂敷在薄膜90的下表面上。在上述的實(shí)施方式中，使第I偏振光及第2偏振光的偏振光方向彼此正交,第I偏振光的偏振光方向和第2偏振光的偏振光方向的關(guān)系，通過(guò)制造的相位差板100的設(shè)計(jì)能夠以任意角度交叉。隨之，根據(jù)第I偏振光及第2偏振光，移動(dòng)的取向膜120及液晶膜122的各區(qū)域的取向方向也只需交叉即可，不必非要正交。在上述的實(shí)施方式中，是一邊搬運(yùn)薄膜90 —邊曝光，但也可將搬運(yùn)薄膜90的搬運(yùn)步驟和曝光薄膜90的曝光步驟交互實(shí)施。此處，在一次搬運(yùn)步驟中，搬運(yùn)小于等于曝光區(qū)域的長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度的薄膜90。在上述實(shí)施方式中，為了對(duì)薄膜90施予張力，在上游側(cè)張力輥44和下游側(cè)張力輥46的兩側(cè)設(shè)置上游側(cè)空氣吐出部32及下游側(cè)空氣吐出部42，但也可設(shè)置輥來(lái)代替上游側(cè)空氣吐出部32及下游側(cè)空氣吐出部42。在上述實(shí)施方式中，是夾隔薄膜90，將偏振光光源34及掩膜38設(shè)置在上游側(cè)張力輥44及下游側(cè)張力輥46的相反側(cè)，，但也可將上游側(cè)張力輥44、下游側(cè)張力輥46、偏振光光源34、及掩膜38配置在薄膜90的同側(cè)。即，上游側(cè)張力輥44、下游側(cè)張力輥46、偏振光光源34及掩膜38也可配置在薄膜90的下側(cè)或者上側(cè)。由此，能夠進(jìn)一步減少偏振光光源34輸出的、透過(guò)薄膜90的偏振光被上游側(cè)張力輥44及下游側(cè)張力輥46反射后曝光薄膜90。符號(hào)說(shuō)明10相位差板制造裝置12送出輥14取向膜涂敷部16取向膜干燥部18曝光部20液晶膜涂敷部22液晶膜取向部24液晶膜硬化部26隔膜供給部28卷繞輥32上游側(cè)空氣吐出部34偏振光光源38 掩膜40掩膜保持部42下游側(cè)空氣吐出部44上游側(cè)張力輥46下游側(cè)張力輥50上游側(cè)偏振光輸出部51上游側(cè)偏振光輸出面52下游側(cè)偏振光輸出部53下游側(cè)偏振光輸出面56掩膜基材58遮光層62上游側(cè)透射區(qū)域66下游側(cè)透射區(qū)域80曝光區(qū)域81第I曝光區(qū)域82第2曝光區(qū)域90 薄膜、
92 隔膜100相位差板102切割薄膜104偏振光調(diào)制部106偏振光調(diào)制部110 箭頭
112 箭頭114 箭頭116 箭頭120取向膜122液晶膜134偏振光光源138 掩膜144上游側(cè)張力輥152第I偏振光輸出部154第2偏振光輸出部156掩膜基材158遮光層162第I透射區(qū)域166第2透射區(qū)域238 掩膜256掩膜基材258遮光層262上游側(cè)透射區(qū)域266下游側(cè)透射區(qū)域338 掩膜356掩膜基材358遮光層362上游側(cè)透射區(qū)域366下游側(cè)透射區(qū)域438 掩膜456上游側(cè)掩膜基材458上游側(cè)遮光層462上游側(cè)透射區(qū)域556下游側(cè)掩膜基材558下游側(cè)遮光層566下游側(cè)透射區(qū)域634偏振光輸出部638 掩膜
656掩膜基材658遮光層662透射區(qū)域
權(quán)利要求
1.ー種薄膜狀產(chǎn)品的制造方法，其特征在于包括 搬運(yùn)步驟，沿長(zhǎng)度方向搬運(yùn)長(zhǎng)條狀的薄膜； 曝光步驟，使用曝光預(yù)定曝光區(qū)域的曝光裝置來(lái)曝光所述薄膜；其中， 在所述搬運(yùn)步驟及所述曝光步驟中，曝光比所述曝光裝置的所述曝光區(qū)域中的所述長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度還要長(zhǎng)的、且沒(méi)有斷縫的所述薄膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的薄膜狀產(chǎn)品的制造方法，其特征在于 所述曝光區(qū)域包含被第I偏振光曝光的第I曝光區(qū)域，及被偏振光方向不同于所述第I偏振光的第2偏振光曝光的第2曝光區(qū)域； 所述第I曝光區(qū)域及所述第2曝光區(qū)域配置在長(zhǎng)度方向上的不同位置上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的薄膜狀產(chǎn)品的制造方法，其特征在于 在所述曝光步驟里，包含由所述第I偏振光及所述第2偏振光曝光所述薄膜的步驟，所述第I偏振光由第I偏振光輸出部輸出并透過(guò)掩膜，所述第2偏振光由第2偏振光輸出部輸出并透過(guò)所述掩膜，所述第2偏振光輸出部配置在長(zhǎng)度方向上異于所述第I偏振光輸出部的位置上； 所述掩膜，具有 第I透射區(qū)域，其配置在所述第I偏振光輸出部和所述薄膜之間，透射所述第I偏振光; 第2透射區(qū)域，其配置在所述第2偏振光輸出部和所述薄膜之間，透射所述第2偏振光; 所述第I透射區(qū)域及所述第2透射區(qū)域，至少有一部分配置在與所述長(zhǎng)度方向交叉的寬度方向上的不同的位置上。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的薄膜狀產(chǎn)品的制造方法，其特征在于 在所述曝光步驟里，包含以被偏振光輸出部輸出的、透射掩膜的偏振光來(lái)曝光所述薄膜的步驟； 所述掩膜在與所述長(zhǎng)度方向交叉的寬度方向上延伸，配置在所述偏振光輸出部和所述薄膜之間，具有透射所述偏振光的透射區(qū)域。
5.根據(jù)權(quán)利要求I 4中任意一項(xiàng)所述的薄膜狀產(chǎn)品的制造方法，其特征在于 在所述曝光步驟里，所述薄膜由夾隔所述曝光區(qū)域而配置的一對(duì)張カ輥所施予的張力來(lái)支持。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的薄膜狀產(chǎn)品的制造方法，其特征在于 所述ー對(duì)張カ輥中至少一方是在與長(zhǎng)度方向交叉的寬度方向的中央部形成有凹部的凹形輥。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的薄膜狀產(chǎn)品的制造方法，其特征在于 所述ー對(duì)張カ輥中，搬運(yùn)方向的上游側(cè)的張カ輥是所述凹形輥。
8.根據(jù)權(quán)利要求I 7中任意一項(xiàng)所述的薄膜狀產(chǎn)品的制造方法，其特征在于 在所述曝光步驟里，在通過(guò)所述搬運(yùn)步驟搬運(yùn)所述薄膜的同時(shí)曝光所述薄膜。
9.根據(jù)權(quán)利要求I 7中任意一項(xiàng)所述的薄膜狀產(chǎn)品的制造方法，其特征在于 所述曝光步驟和所述搬運(yùn)步驟交互實(shí)施； 在所述搬運(yùn)步驟里，在所述曝光區(qū)域的長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度以下，搬運(yùn)所述薄膜。
10.ー種薄膜狀產(chǎn)品的制造裝置，其包括其特征在于 沿長(zhǎng)度方向搬運(yùn)長(zhǎng)條狀薄膜的搬運(yùn)部；以及 在預(yù)定的曝光區(qū)域里曝光所述薄膜的曝光部； 曝光比所述曝光區(qū)域中的所述長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度還長(zhǎng)的、沒(méi)有斷縫的所述薄膜。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的薄膜狀產(chǎn)品的制造裝置，其中其特征在于所述曝光部具有用于輸出第I偏振光的第I偏振光輸出部，以及輸出第2偏振光的第2偏振光輸出部，所述第2偏振光具有與所述第I偏振光的偏振光方向不同的偏振光方向；所述第I偏振光輸出部及所述第2偏振光輸出部，配置在長(zhǎng)度方向中的不同位置上。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的薄膜狀產(chǎn)品的制造裝置，其特征在于 所述曝光部具有掩膜，所述掩膜具有 第I透射區(qū)域，其配置在所述第I偏振光輸出部和所述薄膜之間，透射所述第I偏振光；以及 第2透射區(qū)域，其配置在所述第2偏振光輸出部和所述薄膜之間，透射所述第2偏振光; 所述第I透射區(qū)域及所述第2透射區(qū)域，至少有一部分配置在與所述長(zhǎng)度方向交叉的寬度方向上的不同的位置。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的薄膜狀產(chǎn)品的制造裝置，其特征在于 所述曝光部具有輸出偏振光的偏振光輸出部和透射所述偏振光的掩膜； 所述掩膜在與所述長(zhǎng)度方向交叉的寬度方向上延伸，被配置在所述偏振光輸出部和所述薄膜之間，具有透射所述偏振光的透射區(qū)域。
14.根據(jù)權(quán)利要求10 13中任意一項(xiàng)所述的薄膜狀產(chǎn)品的制造裝置，其特征在于 所述曝光部具有夾隔所述曝光區(qū)域而配置的、向所述薄膜施加張カ的ー對(duì)張カ輥。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的薄膜狀產(chǎn)品的制造裝置，其特征在于 所述ー對(duì)張カ輥中的上游側(cè)的張カ輥是在與長(zhǎng)度方向交叉的寬度方向的中央部形成有凹部的凹形輥。
16.根據(jù)權(quán)利要求14或15所述的薄膜狀產(chǎn)品的制造裝置，其特征在于 還包括涂敷部，其被配置在比所述曝光部還靠近搬運(yùn)方向的上游側(cè)，對(duì)所述薄膜涂敷隱光材料； 所述ー對(duì)張カ輥按壓所述薄膜的面中的未被涂敷所述曝光材料的面。
17.根據(jù)權(quán)利要求10 16中任意一項(xiàng)所述的薄膜狀產(chǎn)品的制造裝置，其特征在于 繼續(xù)由所述搬運(yùn)部進(jìn)行的所述薄膜搬運(yùn)的同時(shí)，由所述曝光部曝光所述薄膜。
18.—種掩膜,是為了在長(zhǎng)度方向上搬運(yùn)長(zhǎng)條狀薄膜的同時(shí)，用來(lái)自偏振光輸出部的第I偏振光及第2偏振光曝光所述薄膜的掩膜，其特征在于所述掩膜包括 透射第I偏振光的第I透射區(qū)域；以及 透射與所述第I偏振光的偏振光方向交叉的第2偏振光的第2透射區(qū)域； 所述第I透射區(qū)域及所述第2透射區(qū)域，至少有一部分配置在與所述長(zhǎng)度方向交叉的寬度方向上的不同的位置上。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的掩膜，其特征在于 所述第I透射區(qū)域及所述第2透射區(qū)域，配置在所述薄膜的長(zhǎng)度方向上的不同位置上。
20.ー種掩膜，其特征在于 在長(zhǎng)度方向上搬運(yùn)長(zhǎng)條狀薄膜的同時(shí)，以偏振光輸出部發(fā)出的偏振光來(lái)曝光所述薄膜的掩膜 所述掩膜在與所述長(zhǎng)度方向交叉的寬度方向上延伸，并配置在所述偏振光輸出部和所述薄膜之間，具有透射所述偏振光的透射區(qū)域。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種薄膜狀產(chǎn)品的制造方法、薄膜狀產(chǎn)品的制造裝置、及掩膜?，F(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題是所需的掩膜、光源及場(chǎng)地大于最終要得到的一整幅圖案曝光面積，使制造裝置變大。薄膜狀產(chǎn)品的制造方法包括搬運(yùn)步驟，沿長(zhǎng)度方向搬運(yùn)長(zhǎng)條狀的薄膜；曝光步驟，使用曝光預(yù)定曝光區(qū)域的曝光裝置來(lái)曝光所述薄膜；其中，在所述搬運(yùn)步驟及所述曝光步驟中，曝光比所述曝光裝置的所述曝光區(qū)域中的所述長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度還要長(zhǎng)的、且沒(méi)有斷縫的所述薄膜。
文檔編號(hào)G03F1/26GK102629080SQ20121002111
公開(kāi)日2012年8月8日 申請(qǐng)日期2012年1月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月1日
發(fā)明者佐藤達(dá)彌, 政所敏夫 申請(qǐng)人:株式會(huì)社有澤制作所