專利名稱：一種廣視角液晶顯示器的電極絕緣層的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及廣視角液晶顯示器技術(shù)領(lǐng)域，更具體的說是涉及一種廣視角液晶顯示器的電極絕緣層的制作方法。
背景技術(shù)：
為了解決傳統(tǒng)液晶顯示器由于觀看者角度不同而產(chǎn)生亮度以及對比度的差異的現(xiàn)象，廣視角液晶顯示屏應(yīng)運(yùn)而生。廣視角液晶顯示器是應(yīng)用橫向電場廣視角技術(shù)(IPS) 制作而成，具有廣視角、高光效、高對比度等優(yōu)點(diǎn)?；跈M向電場廣視角技術(shù)的廣角液晶顯示器的通用電極和像素電極是制作在同一玻璃基板上的，在通用電極和像素電極之間設(shè)置有電極絕緣層(或者稱為電場絕緣層)。 制作該電極絕緣層的方式主要有化學(xué)氣相沉積、物理濺射沉積、狹縫涂布或旋轉(zhuǎn)涂布等方式。例如，等離子化學(xué)氣相沉積技術(shù)，是采用輝光放電裝置解離相應(yīng)的氣體，使氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)和等離子反應(yīng)在陣列基板(陣列基板是已經(jīng)完成像素電極或通用電極制作的基板) 上沉積形成一層固態(tài)薄膜得到絕緣層。電極絕緣層會有一定的厚度可以起到隔離通用電極和像素電極的作用，并能保護(hù)基板上的薄膜晶體管。但是在制作電極絕緣層的過程中會產(chǎn)生數(shù)量較多且體積較大的導(dǎo)電微粒，這些導(dǎo)電微粒可能會將像素電極和絕緣電極導(dǎo)通，從而使得制成的廣視角顯示器在顯示時屏幕中會出現(xiàn)一些亮點(diǎn)或斷線，影響廣視角顯示器的顯示效果，降低了廣視角液晶顯示器的生產(chǎn)合格率。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明提供一種廣視角液晶顯示器的電極絕緣層的制作方法，該方法在制作電極絕緣層時，能降低生成的導(dǎo)電微粒導(dǎo)通通用電極和像素電極的概率，從而提高生產(chǎn)的廣視角顯示器的產(chǎn)品合格率。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種廣視角液晶顯示器的電極絕緣層的制作方法， 包括提供完成像素電極或通用電極制作的陣列基板；在所述陣列基板上制作具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜；在所述第一絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜以生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層。優(yōu)選的，所述第一絕緣膜的厚度小于所述電極絕緣層的厚度。優(yōu)選的，所述在所述陣列基板上制作具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜，包括采用化學(xué)氣相沉積技術(shù)在所述陣列基板上沉積具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜；或，采用物理濺射沉積的方式在所述陣列基板上沉積具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜；或，采用狹縫涂布的方式在所述陣列基板上制作具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜；或，采用旋轉(zhuǎn)涂布的方式在所述陣列基板上制作具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜。
優(yōu)選的，所述在所述第一絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜，包括采用化學(xué)氣相沉積技術(shù)在所述第一絕緣膜上沉積具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜； 或，采用物理濺射沉積的方式在所述第一絕緣膜上沉積具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜；或，采用狹縫涂布的方式在所述第一絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜；或，采用旋轉(zhuǎn)涂布的方式在所述第一絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜。優(yōu)選的，在所述第一絕緣膜上制作絕緣性質(zhì)的絕緣膜以生成具有預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層，包括在所述第一絕緣膜上通過一次或多次制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜來生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層。優(yōu)選的，在所述陣列基板上制作具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜之后，還包括清潔所述第一絕緣膜表面產(chǎn)生的導(dǎo)電微粒。優(yōu)選的，所述清潔所述第一絕緣膜表面產(chǎn)生的導(dǎo)電微粒，包括采用清潔溶劑、高壓水噴淋和/或超聲波振動來清洗沉積有所述第一絕緣膜的陣列基板，以減少第一絕緣膜上附著的導(dǎo)電微粒。優(yōu)選的，當(dāng)采用化學(xué)氣相沉積或物理濺射技術(shù)在所述陣列基板上制作所述第一絕緣膜時，所述清潔所述第一絕緣膜表面產(chǎn)生的導(dǎo)電微粒，包括采用氣體等離子體對所述第一絕緣膜進(jìn)行清潔，以減少所述第一絕緣膜表面的導(dǎo)電微粒。優(yōu)選的，當(dāng)在所述第一絕緣膜上通過多次制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜來生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層時，還包括每次在所述第一絕緣膜上生成一層具有絕緣性質(zhì)的絕緣薄膜后，清潔所述在第一絕緣膜上制作生成的絕緣膜上附著的導(dǎo)電微粒，并繼續(xù)在已生成的絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜直至生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層。優(yōu)選的，當(dāng)在所述第一絕緣膜上通過制作一次具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層時，所述第一絕緣膜的厚度小于或等于所述電極絕緣層厚度的1/2。經(jīng)由上述的技術(shù)方案可知，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明公開提供了一種廣視角液晶顯示器的電極絕緣層的制作方法，該制作方法在陣列基板制作具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜，進(jìn)而在第一絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜以生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層，在第一絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜可以將第一絕緣膜上的導(dǎo)電微粒覆蓋住，減少導(dǎo)電微粒在此處積聚的可能性，降低了導(dǎo)電微粒的體積，使得導(dǎo)電微粒不能貫通通用電極和像素電極，也就無法導(dǎo)通通用電極和電極。同時，在第一絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜的過程中生成的導(dǎo)電微粒，由于第一絕緣膜的阻隔也不可能導(dǎo)通像素電極和通用電極，進(jìn)而提高了廣視角液晶顯示器的顯示效果，提高了廣視角液晶顯示器的產(chǎn)品合格率。


為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。
圖1為本發(fā)明一種廣視角液晶顯示器的電極絕緣層的制作方法實(shí)施例一的步驟流程圖；圖2為發(fā)明一種廣視角液晶顯示器的電極絕緣層的制作方法實(shí)施例二的步驟流程圖。
具體實(shí)施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍?，F(xiàn)有技術(shù)中在陣列基板上生成電極絕緣層的過程中會生成數(shù)量較多且體積較大的導(dǎo)電微粒，這些導(dǎo)電微?？赡軙┩鸽姌O絕緣層將通用電極和像素電極導(dǎo)通，從而使得影響廣視角液晶顯示屏的質(zhì)量，進(jìn)而導(dǎo)致當(dāng)廣視角液晶顯示器在顯示時會在顯示屏上出現(xiàn)亮點(diǎn)和斷線。經(jīng)發(fā)明人研究發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有技術(shù)中在陣列基板上生成電極絕緣層均為一次成型，即， 采用現(xiàn)有技術(shù)在陣列基板上進(jìn)過一次沉積或涂布直接生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層。例如， 采用化學(xué)氣相沉積技術(shù)在陣列基板上講過一次沉積直接生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層。采用這種一次成型的方式制作電極絕緣層時，導(dǎo)電微粒的數(shù)量會不斷增加，且導(dǎo)電微粒會在同一個地方逐漸積聚最終形成貫通電極絕緣層的粒子，因此該體積較大的導(dǎo)電微粒可以導(dǎo)通像素電極和絕緣電極。由于導(dǎo)電微粒的產(chǎn)生與生成電極絕緣層的材料、制作電極絕緣層的裝置以及工藝參數(shù)等均有關(guān)系，本領(lǐng)域技術(shù)人員也許會想到通過調(diào)節(jié)工藝參數(shù)，或者通過減少制作電極絕緣層的裝置內(nèi)的雜質(zhì)等方法來減少導(dǎo)電粒子的數(shù)量，并降低導(dǎo)電粒子的體積。但是導(dǎo)電微粒的產(chǎn)生是受以上三個因素的影響，單純就某一方面進(jìn)行調(diào)整不可能有效的降低導(dǎo)電微粒導(dǎo)通通用電極和像素電極的現(xiàn)象。因此本發(fā)明人轉(zhuǎn)化思考角度，將通過一次成型的方式在陣列基板上生成電極絕緣層的過程改為在陣列基板上制作多層絕緣膜之間生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層，也就是說在陣列基板上逐層生成絕緣膜，直至絕緣膜的厚度達(dá)到預(yù)設(shè)厚度生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層。如，在陣列基板上經(jīng)過多次化學(xué)氣相沉積來生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層。首先在完成像素電極或通用電極制作的陣列基板上制作絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜，之后在第一絕緣膜上繼續(xù)制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜，這樣第一絕緣膜上的導(dǎo)電微粒會被后續(xù)生成的絕緣膜覆蓋住，阻隔第一絕緣膜上的導(dǎo)電微粒導(dǎo)通通用電極和像素電極。由于第一絕緣層上的導(dǎo)電微粒被后續(xù)生成的絕緣膜覆蓋住，也進(jìn)一步減少了導(dǎo)電微粒的數(shù)量。同時在第一絕緣膜上進(jìn)行氣體離子沉積或旋轉(zhuǎn)涂布絕緣材料生成絕緣膜過程中，在第一絕緣膜上制作的絕緣膜上的導(dǎo)電微粒由于第一絕緣膜的阻隔導(dǎo)通像素電極和通用電極的可能性較低，進(jìn)而提高了廣視角液晶顯示器的顯示效果，提高了生產(chǎn)廣視角液晶顯示器的產(chǎn)品合格率。參見圖1，本發(fā)明一種廣視角液晶顯示器的電極絕緣層的制作方法實(shí)施例一的步驟流程圖，本實(shí)施例的制作方法包括步驟SlOl 提供完成通用電極或像素電極制作的陣列基板；
基于橫向電場轉(zhuǎn)化技術(shù)的廣視角液晶顯示屏的通用電極和像素電極是制作于同一玻璃基板上的，本發(fā)明實(shí)施例中的陣列基板與現(xiàn)有技術(shù)中制作電極絕緣膜的陣列基板相同。步驟S102 在所述陣列基板上制作具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜；在陣列基板上生成第一絕緣薄膜，該第一絕緣薄膜與電極絕緣層的構(gòu)成以及作用相同，但第一絕緣薄膜的厚度要小于電極絕緣層的厚度。在陣列基板上制作第一絕緣膜的方式有多種，可以為采用化學(xué)氣相沉積技術(shù)在所述陣列基板上沉積具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜；或，采用物理濺射沉積在所述陣列基板上沉積具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜；或，采用狹縫涂布的方式在所述陣列基板上制作具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜；或，采用旋轉(zhuǎn)涂布的方式在所述陣列基板上制作具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜。當(dāng)然，還可以采用其他制作電極絕緣層的方式在陣列基板上制作第一絕緣膜， 具體采用哪種方式可以根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)定。步驟S103 在所述第一絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜以生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層。在第一絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜時也可以有多種方式，可以為采用化學(xué)氣相沉積技術(shù)在第一絕緣膜上上沉積具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜；或，采用物理濺射沉積在第一絕緣膜上沉積具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜；或，采用狹縫涂布的方式在第一絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜；或，采用旋轉(zhuǎn)涂布的方式在第一絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜。在第一絕緣膜上制作絕緣膜時同樣可以根據(jù)需要選擇絕緣膜的制作方式。在第一絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜時，可以采用與在陣列基板制作第一絕緣膜相同的制作方式，也可以采用不同的方式。例如，當(dāng)采用化學(xué)氣相沉積的方式在陣列基板上制作第一絕緣膜時，在第一絕緣膜上也可以繼續(xù)采用化學(xué)氣相沉積的方式制作絕緣膜。當(dāng)然，還可以為在陣列基板上采用化學(xué)氣相沉積的方式制作第一絕緣膜，而在第一絕緣膜上采用其他的方式來制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜。當(dāng)在陣列基板上生成第一絕緣膜的過程中，一些導(dǎo)電微粒會逐漸聚集在第一絕緣膜的某位置處，從而在第一絕緣膜中生成一些體積較大的導(dǎo)電微粒，為了防止該導(dǎo)電微粒體積繼續(xù)增大，在該第一絕緣膜上制作覆蓋在第一絕緣膜的具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜，直至包含第一絕緣膜在內(nèi)的整個絕緣膜厚度達(dá)到預(yù)設(shè)厚度，從而得到預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層。 其中，該電極絕緣層的厚度要大于第一絕緣膜的厚度。在第一絕緣膜上生成具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜的過程中也會有一些導(dǎo)電微粒逐漸積聚，但是由于第一絕緣膜上導(dǎo)電微粒聚集的位置和后續(xù)在第一絕緣膜上生成電極絕緣層過程中導(dǎo)電微粒聚集的位置不可能完全相同，這樣在第一絕緣膜上繼續(xù)生成絕緣膜的過程中，第一絕緣膜上積聚的導(dǎo)電微粒就會被在第一絕緣膜上后續(xù)生成的絕緣膜覆蓋住，從而避免了第一絕緣膜上導(dǎo)電微粒導(dǎo)通通用電極和像素電極。另外，在第一絕緣膜上進(jìn)行氣體離子沉淀或旋轉(zhuǎn)涂布絕緣材料的過程中產(chǎn)生的導(dǎo)電微粒也由于被第一絕緣膜阻隔也不能導(dǎo)通像素電極和通用電極，這樣可以減少廣視角液晶顯示器成像時屏幕上出現(xiàn)的亮點(diǎn)和斷線數(shù)量，提高了廣視角液晶顯示器的顯示效果。需要說明的是，當(dāng)在陣列基板上生成第一絕緣膜后，可以在第一絕緣膜上經(jīng)過一次或多次制作絕緣性質(zhì)的絕緣膜來生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層。也就是說，在第一絕緣膜上生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層可以是一次完成，也可以是多次沉積或涂布生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層。例如，當(dāng)在陣列基板上生成第一絕緣膜后，可以采用一次化學(xué)氣相沉積來生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層；也可以在第一絕緣膜上采用化學(xué)氣相沉積生成具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜，在繼續(xù)進(jìn)行化學(xué)氣相沉積已生成絕緣膜，直至生成的絕緣膜的總厚度達(dá)到預(yù)設(shè)厚度，得到預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層。也可以在第一絕緣膜上采用一次化學(xué)氣相沉積生成絕緣膜，并在已生成的絕緣膜上涂布有機(jī)絕緣材料生成絕緣膜，并最終得到預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層。 當(dāng)然，在第一絕緣膜上采用一次或多次制作絕緣膜生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層的方式有多種，在此不一一列舉。當(dāng)在第一絕緣膜上采用某制作方式一次成型制作出預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層時，第一絕緣膜的厚度可以設(shè)定為該電極絕緣層厚度的1/2，也可以將第一絕緣膜的厚度設(shè)定為小于該電極絕緣層厚度的1/2，當(dāng)然第一絕緣膜的厚度也可以根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)定。如，當(dāng)在第一絕緣膜上通過一次化學(xué)氣相沉積成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層時，第一絕緣層的厚度可以為電極絕緣層厚度的一半。。為了使電極絕緣層上導(dǎo)電微粒的數(shù)量減少的更多，在陣列基板上制作具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜之后，還可以包括清潔所述第一絕緣膜表面產(chǎn)生的導(dǎo)電微粒。清潔第一絕緣膜表面產(chǎn)生的導(dǎo)電微粒的方式可以有多種，可以為采用清潔溶劑、高壓水噴淋和/或超聲波振動來清洗沉積有所述第一絕緣膜的陣列基板，以減少第一絕緣膜上附著的導(dǎo)電微粒。進(jìn)一步的，當(dāng)采用化學(xué)氣相沉積或物理濺射沉積的方式在陣列基板上制作第一絕緣膜時，還可以采用氣體等離子體對所述第一絕緣膜進(jìn)行清潔，以減少所述第一絕緣膜表面的導(dǎo)電微粒。采用氣體等離子體清洗第一絕緣膜表面上的導(dǎo)電微粒，可以去除懸浮在第一絕緣膜表面和反應(yīng)腔體內(nèi)部的導(dǎo)電微粒，進(jìn)而減少生成的電極絕緣層中導(dǎo)電微粒的數(shù)量。另外，由于采用化學(xué)氣相沉積或物理濺射沉積的方式生成電極絕緣層的過程是在真空下生成的，針對該種方式生成第一絕緣膜后，還可以采用真空抽氣和充氣的循環(huán)過程來減少反應(yīng)腔體內(nèi)部和第一絕緣膜上的導(dǎo)電微粒。對于在第一絕緣膜上采用多次制作絕緣膜來生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層時，每次在第一絕緣膜上生成一層具有絕緣性質(zhì)的絕緣薄膜后，清潔在第一絕緣膜上制作生成的絕緣膜的附著的導(dǎo)電微粒，并繼續(xù)在已生成的絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜，直至生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層。也就是說，當(dāng)在第一絕緣膜上多次進(jìn)行化學(xué)氣相沉積或物理濺射沉積來生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層的過程還可以包括每次在第一絕緣膜上進(jìn)行化學(xué)氣相沉積或物理濺射沉積得到絕緣薄膜后，清潔第一絕緣膜上沉積得到的絕緣膜上附著的導(dǎo)電微粒，并繼續(xù)進(jìn)行化學(xué)氣相沉積或物理濺射沉積(當(dāng)然也可以采用涂布的方式)直至生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層。為了更清楚的描述生成電極絕緣層的過程，參見圖2，為本發(fā)明一種廣視角液晶顯示器的電極絕緣層的制作方法實(shí)施例二的步驟流程圖，本實(shí)施例以采用化學(xué)氣相沉積來生成電極絕緣層為例進(jìn)行介紹，本實(shí)施例的制作方法包括步驟S201 提供完成通用電極或像素電極制作的陣列基板；
步驟S202 在陣列基板上進(jìn)行化學(xué)氣相沉積生成具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜；步驟203 清除第一絕緣膜表面的生成的導(dǎo)電微粒；步驟S204 在第一絕緣膜上繼續(xù)進(jìn)行化學(xué)氣相沉積生成中間狀態(tài)絕緣膜；中間狀態(tài)絕緣膜是指在第一絕緣膜上進(jìn)行化學(xué)氣相沉積得到的厚度大于第一絕緣膜的絕緣膜或絕緣層。步驟S205 清潔所述中間狀態(tài)絕緣膜表面的導(dǎo)電微粒；步驟S206 判斷中間狀態(tài)絕緣膜的厚度是否達(dá)到預(yù)設(shè)厚度，如果是，則電極絕緣層生成，結(jié)束；如果否，則進(jìn)入步驟S207 ；步驟S207 在中間狀態(tài)絕緣膜上進(jìn)行化學(xué)氣相沉積以增加中間狀態(tài)絕緣膜的厚度，進(jìn)入步驟S205。需要說明的是，當(dāng)在陣列基板上采用化學(xué)氣相沉積生成第一絕緣膜時，在第一絕緣膜上制作中間狀態(tài)絕緣膜也可以采用其他的方式，在此不加以限制。采用物理濺射沉積、狹縫涂布、或旋轉(zhuǎn)涂布等方式在陣列基板上來制作電極絕緣層的過程與實(shí)施例二的步驟相似，在此不再贅述。本說明書中各個實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。對所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。 對這些實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求
1.一種廣視角液晶顯示器的電極絕緣層的制作方法，其特征在于，包括 提供完成像素電極或通用電極制作的陣列基板；在所述陣列基板上制作具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜；在所述第一絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜以生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述第一絕緣膜的厚度小于所述電極絕緣層的厚度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述在所述陣列基板上制作具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜，包括采用化學(xué)氣相沉積技術(shù)在所述陣列基板上沉積具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜； 或，采用物理濺射沉積的方式在所述陣列基板上沉積具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜； 或，采用狹縫涂布的方式在所述陣列基板上制作具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜； 或，采用旋轉(zhuǎn)涂布的方式在所述陣列基板上制作具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述在所述第一絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜，包括采用化學(xué)氣相沉積技術(shù)在所述第一絕緣膜上沉積具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜； 或，采用物理濺射沉積的方式在所述第一絕緣膜上沉積具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜； 或，采用狹縫涂布的方式在所述第一絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜； 或，采用旋轉(zhuǎn)涂布的方式在所述第一絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述在所述第一絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜以生成具有預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層，包括在所述第一絕緣膜上通過一次或多次制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜來生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述在所述陣列基板上制作具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜之后，還包括清潔所述第一絕緣膜表面產(chǎn)生的導(dǎo)電微粒。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制作方法，其特征在于，所述清潔所述第一絕緣膜表面產(chǎn)生的導(dǎo)電微粒，包括采用清潔溶劑、高壓水噴淋和/或超聲波振動來清洗沉積有所述第一絕緣膜的陣列基板，以減少第一絕緣膜上附著的導(dǎo)電微粒。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制作方法，其特征在于，當(dāng)采用化學(xué)氣相沉積或物理濺射技術(shù)在所述陣列基板上制作所述第一絕緣膜時，所述清潔所述第一絕緣膜表面產(chǎn)生的導(dǎo)電微粒，包括采用氣體等離子體對所述第一絕緣膜進(jìn)行清潔，以減少所述第一絕緣膜表面的導(dǎo)電微粒。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制作方法，其特征在于，當(dāng)在所述第一絕緣膜上通過多次制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜來生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層時，還包括每次在所述第一絕緣膜上生成一層具有絕緣性質(zhì)的絕緣薄膜后，清潔所述在第一絕緣膜上制作生成的絕緣膜上附著的導(dǎo)電微粒，并繼續(xù)在已生成的絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜直至生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制作方法，其特征在于，當(dāng)在所述第一絕緣膜上通過制作一次具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層時，所述第一絕緣膜的厚度小于或等于所述電極絕緣層厚度的1/2。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種廣視角液晶顯示器的電極絕緣層的制作方法，該制作方法包括提供完成通用電極或像素電極制作的陣列基板；在陣列基板上制作具有絕緣性質(zhì)的第一絕緣膜；在該第一絕緣膜上制作具有絕緣性質(zhì)的絕緣膜以生成預(yù)設(shè)厚度的電極絕緣層。該制作方法制作出的電極絕緣層中導(dǎo)電微粒的數(shù)量較少，體積較小，能降低生成的導(dǎo)電微粒導(dǎo)通通用電極和像素電極的概率，從而提高廣視角顯示器的顯示效果。
文檔編號G02F1/1362GK102244036SQ20111019105
公開日2011年11月16日 申請日期2011年7月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月8日
發(fā)明者于春崎, 何基強(qiáng), 李建華, 胡君文, 謝凡, 郝付潑 申請人:信利半導(dǎo)體有限公司