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彩色濾光片基板的制作方法

文檔序號(hào):2792977閱讀:109來源:國知局
專利名稱:彩色濾光片基板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明是關(guān)于一種彩色濾光片基板的制作方法,尤指一種提升彩色濾光片基板生產(chǎn)良率的制作方法。
背景技術(shù)
為加強(qiáng)液晶顯示面板的功能多樣性及改善顯示質(zhì)量,現(xiàn)今已有于彩色濾光片基板設(shè)置雙面結(jié)構(gòu)的制程技術(shù)的發(fā)展。舉例而言,在廣視角技術(shù)的平面內(nèi)轉(zhuǎn)換型an-Plane Switching, IPS)面板以及邊緣電場(chǎng)轉(zhuǎn)換型(Fringe Field Switching, FFS)面板中,可于彩色濾光片基板面對(duì)顯示面的一側(cè)增設(shè)透明導(dǎo)電層以減少電荷的累積,此抗靜電處理可避免靜電對(duì)廣視角技術(shù)面板的顯示質(zhì)量造成影響。另外,在電容式觸控液晶顯示面板中,可設(shè)置透明導(dǎo)電層于彩色濾光片基板面對(duì)顯示面的一側(cè),以形成觸控感應(yīng)墊層。由上述可知,液晶顯示面板發(fā)展的相關(guān)技術(shù)中,常見需于彩色濾光片基板面對(duì)液晶分子的入光面的相對(duì)一側(cè),也就是面對(duì)顯示面的一側(cè),另外形成一透明導(dǎo)電層。然而在進(jìn)行此一面對(duì)顯示面的透明導(dǎo)電層的制程時(shí),將可能對(duì)彩色濾光片基板上面對(duì)入光面的已形成的結(jié)構(gòu)造成化學(xué)上或物理上的損傷,因此,如何避免此類異常對(duì)具有雙面結(jié)構(gòu)的彩色濾光片基板的良率影響為相關(guān)技術(shù)者所關(guān)注的議題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的之一在于提供一種彩色濾光片基板的制作方法,以增加彩色濾光片
基板生產(chǎn)良率。本發(fā)明的第一較佳實(shí)施例提供一種制造彩色濾光片基板的方法,包括下列步驟。 提供一基板,且基板具有一第一表面及一第二表面。形成復(fù)數(shù)個(gè)色阻單元于基板的第二表面上。形成一保護(hù)結(jié)構(gòu)于基板的第二表面上,且此保護(hù)結(jié)構(gòu)覆蓋色阻單元。翻轉(zhuǎn)基板。形成一透明導(dǎo)電層于基板的第一表面上。最后,以一剝除手段去除保護(hù)結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的第二較佳實(shí)施例提供一種制造彩色濾光片基板的方法,包括下列步驟。 提供一基板,且基板具有一第一表面及一第二表面。形成一第一透明導(dǎo)電層于基板的第一表面上。形成一第一保護(hù)結(jié)構(gòu)于基板的第一表面上,且第一保護(hù)結(jié)構(gòu)覆蓋第一透明導(dǎo)電層。 翻轉(zhuǎn)基板。形成復(fù)數(shù)個(gè)色阻單元于基板的第二表面上。形成一第二透明導(dǎo)電層于基板的第二表面上。形成一第二保護(hù)結(jié)構(gòu)于基板的第二表面上,且第二保護(hù)結(jié)構(gòu)覆蓋第二透明導(dǎo)電層與色阻單元。再次翻轉(zhuǎn)基板。圖案化第一透明導(dǎo)電層。最后,以一剝除手段去除第一保護(hù)結(jié)構(gòu)及第二保護(hù)結(jié)構(gòu)。本發(fā)明在具有雙面結(jié)構(gòu)的彩色濾光片基板制造過程中,使用一保護(hù)結(jié)構(gòu)覆蓋位于同一表面上的已形成結(jié)構(gòu),當(dāng)基板的另一相對(duì)表面上進(jìn)行制程時(shí),保護(hù)結(jié)構(gòu)可避免覆蓋的已形成結(jié)構(gòu)因非預(yù)期的影響而損傷,并在彩色濾光片基板的雙面結(jié)構(gòu)完成后,將此保護(hù)結(jié)構(gòu)去除。本發(fā)明保護(hù)結(jié)構(gòu)的設(shè)置有助于維護(hù)制程中各已形成組件的功能完整,藉以提升彩色濾光片基板的生產(chǎn)良率。


圖1至圖5繪示了本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的制造彩色濾光片基板的方法示意圖。圖6至圖10繪示了本發(fā)明第二較佳實(shí)施例的制造彩色濾光片基板的方法示意圖。主要組件符號(hào)說明
10基底12第一表面14第二表面16色阻單元18黑色矩陣層20平坦層22光阻間隙子24保護(hù)結(jié)構(gòu)26透明導(dǎo)電層28滾輪30第一透明導(dǎo)電層32第一保護(hù)結(jié)構(gòu)34第二透明導(dǎo)電層36第二保護(hù)結(jié)構(gòu)
具體實(shí)施例方式請(qǐng)參考圖1至圖5,圖1至圖5繪示了本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的制造彩色濾光片基板的方法示意圖。如圖1所示,首先,提供一基板10,基板10的材料可為玻璃或其它透光材料例如透明高分子材料,但不以此為限,且基板10具有一第一表面12及一第二表面14, 此時(shí),將基板的第二表面14朝上。接著,形成復(fù)數(shù)個(gè)色阻單元16于基板10的第二表面14 上。色阻單元16的材料可為染色型樹脂,用以將入射光染為所需色光,例如紅光、綠光或藍(lán)光。在第二表面上14也可選擇性形成一黑色矩陣層18 (Black matrix)于各色阻單元16 之間,用以阻隔相鄰色阻單元16的入射光的漏光,本實(shí)施例的黑色矩陣層18可在色阻單元 16形成之前設(shè)置,但不以此為限,黑色矩陣層18也可在色阻單元16形成之后設(shè)置,或設(shè)置于相對(duì)的另一基板(圖未示)上。然后,選擇性形成一平坦層20于第二表面14上,平坦層 20位于色阻單元16及黑色矩陣層18上用以提供一平整面,平坦層20可為透明絕緣材料例如樹脂,但不以此限。此外,也可選擇性形成至少一光阻間隙子22 (Photo spacer)于平坦層20上,用以維持基板10及相對(duì)基板的另一基板之間的固定間距。如圖2所示,形成一保護(hù)結(jié)構(gòu)M于基板10的第二表面14上,且保護(hù)結(jié)構(gòu)M可全面性覆蓋第二表面14與位于第二表面上14已形成的各結(jié)構(gòu)例如黑色矩陣層18、色阻單元16、平坦層20以及光阻間隙子22等。保護(hù)結(jié)構(gòu)M的材料可包括酚醛樹脂,其組成成份比例例如酚醛樹脂15%至25%,尤以17%為較佳;光反應(yīng)起始劑(Wioto-initiatoiOO. 5% 至3%,尤以2. 2%為較佳;以及溶劑例如丙二醇單甲基醚酯(PGMEA)大于70%,尤以80. 8%為較佳,但不以此為限。在保護(hù)結(jié)構(gòu)對(duì)覆蓋第二表面上14所有已形成結(jié)構(gòu)后,如圖3所示, 翻轉(zhuǎn)基板10,使基板10的朝上面轉(zhuǎn)為第一表面12,此時(shí),相對(duì)第一表面12的第二表面14 由圖1至圖2中的基板的朝上面轉(zhuǎn)為基板10的朝下面。翻轉(zhuǎn)動(dòng)作可藉由機(jī)械手臂完成,將基板10進(jìn)行180度旋轉(zhuǎn),但不以此為限,值得注意的是,任何可將基板10朝向固定方向的原始面改為與原始面相對(duì)的另一平面的動(dòng)作皆屬此處所述的翻轉(zhuǎn),此外,文中所述的朝上面、朝下面、第一表面及第二表面皆為相對(duì)位置的描述,也就是說朝上面、朝下面、第一表面及第二表面的垂直軸可沿立體空間中的任一方向。在經(jīng)過翻轉(zhuǎn)使第一表面12朝上后,如圖4所示,形成一透明導(dǎo)電層沈于基板10的第一表面12上,透明導(dǎo)電層沈的材料可包括氧化銦錫(ITO)或氧化銦鋅(IZO),但不以此為限。值得注意的是,形成透明導(dǎo)電層26的手段例如可采用一氧化銦錫濺鍍制程,但不以此為限,在此過程中,反應(yīng)機(jī)臺(tái)的傳送用機(jī)械手臂(圖未示)及滾輪觀會(huì)與基板10的朝下面有所接觸,覆蓋基板10的第二表面14 (目前基板的朝下面)的保護(hù)結(jié)構(gòu)M可做為一緩沖層,以釋放接觸點(diǎn)的應(yīng)力,避免其直接作用于第二表面14上的已形成結(jié)構(gòu)造成破壞, 例如刮傷Scratch)或輪痕(Roller mark)等等。在第一表面12完成透明導(dǎo)電層沈的制作后,如圖5所示,以一剝除手段去除第二表面14上的保護(hù)結(jié)構(gòu)M,例如可使用一堿性剝除液除去保護(hù)結(jié)構(gòu)對(duì),堿性剝除液的成分包括氫氧化鉀(KOH),但不以此為限。至此,完成本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的彩色濾光片基板。當(dāng)此彩色濾光片基板提供于液晶顯示器包括平面內(nèi)轉(zhuǎn)換型面板或邊緣電場(chǎng)轉(zhuǎn)換型面板時(shí),透明導(dǎo)電層26可作為一靜電防護(hù)層。在本實(shí)施例中,保護(hù)結(jié)構(gòu)M全面覆蓋其下方所有已形成的結(jié)構(gòu),于第一表面12進(jìn)行透明導(dǎo)電層26制程時(shí),提供具有保護(hù)結(jié)構(gòu)M的第二表面14完整防護(hù),使位于第二表面 14上的已形成結(jié)構(gòu)不會(huì)與化學(xué)反應(yīng)氣體或是機(jī)臺(tái)機(jī)械組件直接接觸,避免非預(yù)期的異常發(fā)生,有利于后續(xù)彩色濾光片基板的生產(chǎn)良率。本發(fā)明的彩色濾光片基板并不以上述實(shí)施例為限。下文將依序介紹本發(fā)明的其它較佳實(shí)施例的彩色濾光片基板制作方法,且為了便于比較各實(shí)施例的相異處并簡(jiǎn)化說明, 在下文的各實(shí)施例中使用相同的符號(hào)標(biāo)注相同的組件,且主要針對(duì)各實(shí)施例的相異處進(jìn)行說明,而不再對(duì)重復(fù)部分進(jìn)行贅述。請(qǐng)參考圖6至圖10,圖6至圖10繪示了本發(fā)明第二較佳實(shí)施例的制造彩色濾光片基板的方法示意圖。如圖6所示,首先,提供一基板10,基板10具有一第一表面12及一第二表面14,且將基板的第一表面12朝上。接著,形成一第一透明導(dǎo)電層30于基板10的第一表面12上,第一透明導(dǎo)電層30的材料可包括氧化銦錫(ITO)或氧化銦鋅(IZO),但不以此為限。然后,形成一第一保護(hù)結(jié)構(gòu)32于基板10的第一表面12上,此時(shí),第一透明導(dǎo)電層 30位于第一保護(hù)結(jié)構(gòu)32與基板10之間。第一保護(hù)結(jié)構(gòu)32的材料包括酚醛樹脂,其組成成份比例例如酚醛樹脂15%至25%,尤以17%為較佳;光反應(yīng)起始劑(Wioto-initiatoiOO. 5% 至3%,尤以2. 2%為較佳;以及溶劑例如丙二醇單甲基醚酯(PGMEA)大于70%,尤以80. 8%為較佳,但不以此為限。第一保護(hù)結(jié)構(gòu)32可選擇性進(jìn)行一圖案化制程,例如使用一光罩搭配微影暨蝕刻制程。在其它實(shí)施例中,第一保護(hù)結(jié)構(gòu)可不進(jìn)行圖案化制程,或是于后續(xù)制程中再進(jìn)行圖案化。接著,如圖7所示,翻轉(zhuǎn)基板10,使基板10的朝上面轉(zhuǎn)為第二表面14,此時(shí),相對(duì)第二表面14的第一表面12會(huì)由第6圖中的基板的朝上面轉(zhuǎn)為基板10的朝下面,也就是說,經(jīng)過翻轉(zhuǎn)后,第一透明導(dǎo)電層30以及第一保護(hù)結(jié)構(gòu)32會(huì)位于基板10的朝下面。翻轉(zhuǎn)動(dòng)作可藉由機(jī)械手臂完成,將基板進(jìn)行180度旋轉(zhuǎn),但不以此為限,值得注意的是,任何可將基板10朝向固定方向的原始面改為與原始面相對(duì)的另一平面的動(dòng)作皆屬此處所述的翻轉(zhuǎn),此外,文中所述的朝上面、朝下面、第一表面及第二表面皆為相對(duì)位置的描述。使第二表面14朝上后,請(qǐng)繼續(xù)參考圖7,與第一實(shí)施例相同依序形成復(fù)數(shù)個(gè)色阻單元16、選擇性形成一黑色矩陣層18以及選擇性形成一平坦層20于基板10的第二表面14 上。與第一實(shí)施例不同之處在于本實(shí)施例中另形成一第二透明導(dǎo)電層34于基板10的第二表面上14,第二透明導(dǎo)電層34的材料可包括氧化銦錫(ITO)或氧化銦鋅(IZO),但不以此為限。值得注意的是,在本實(shí)施例中,基板10的第一表面12具有第一保護(hù)結(jié)構(gòu)32,可對(duì)其下方的第一透明導(dǎo)電層30提供保護(hù),使第一透明導(dǎo)電層30在第二表面14進(jìn)行上述制程時(shí)不受到影響,例如在形成第二透明導(dǎo)電層34例如進(jìn)行一氧化銦錫濺鍍制程時(shí),第一保護(hù)結(jié)構(gòu)32可做為緩沖層,使第一透明導(dǎo)電層30不會(huì)直接接觸反應(yīng)機(jī)臺(tái)的傳送用機(jī)械手臂(圖未示)及滾輪觀,避免第一透明導(dǎo)電層30上發(fā)生刮傷或輪痕等缺陷。在其它實(shí)施例中,第二透明導(dǎo)電層34也可選擇性進(jìn)行一圖案化制程,第一保護(hù)結(jié)構(gòu)32在第二透明導(dǎo)電層34進(jìn)行圖案化制程時(shí),可作為一屏蔽層,隔絕光阻液、蝕刻液或是清洗液等化學(xué)溶劑接觸第一表面12上受第一保護(hù)結(jié)構(gòu)32覆蓋的第一透明導(dǎo)電層30,避免第一透明導(dǎo)電層30發(fā)生未預(yù)期的化學(xué)反應(yīng)引起的結(jié)構(gòu)毀損或化學(xué)溶劑殘留。另外,再形成一第二保護(hù)結(jié)構(gòu)36于基板10的第二表面14上,且第二保護(hù)結(jié)構(gòu)36 覆蓋所有已形成于第二表面14上的結(jié)構(gòu),舉例而言,第二透明導(dǎo)電層34、平坦層20、色阻單元16以及黑色矩陣層18等。第二保護(hù)結(jié)構(gòu)的36材料包括酚醛樹脂,其組成成份比例例如酚醛樹脂15%至25%,尤以17%為較佳;光反應(yīng)起始劑(Photo-initiator) 0. 5%至3%,尤以 2. 2%為較佳;以及溶劑例如丙二醇單甲基醚酯(PGMEA)大于70%,尤以80. 8%為較佳,但不以此為限。隨后,如圖8所示,再次翻轉(zhuǎn)基板10,使基板10的朝上面轉(zhuǎn)為第一表面12,此時(shí), 相對(duì)第一表面12的第二表面14會(huì)由第7圖中的基板10的朝上面轉(zhuǎn)為基板10的朝下面, 也就是說,經(jīng)過此翻轉(zhuǎn)后,第一透明導(dǎo)電層30以及第一保護(hù)結(jié)構(gòu)32目前位于基板10的朝上面。接下來,如圖9所示,對(duì)第一透明導(dǎo)電層30進(jìn)行一圖案化制程。在本實(shí)施例中,第一保護(hù)結(jié)構(gòu)32已進(jìn)行過圖案化,因此可使用已圖案化的第一保護(hù)結(jié)構(gòu)32作為蝕刻屏蔽,定義第一透明導(dǎo)電層30的圖案。在其它實(shí)施例中,例如在第一保護(hù)結(jié)構(gòu)尚未進(jìn)行圖案化的實(shí)施例,則可對(duì)未圖案化的第一保護(hù)結(jié)構(gòu)與第一透明導(dǎo)電層使用相同光罩以定義出相同圖案,但不以此為限。值得注意的是,在本實(shí)施例中,基板10的第二表面14具有第二保護(hù)結(jié)構(gòu)36,可對(duì)其覆蓋的第二表面14提供保護(hù),使第二表面14上已形成的各結(jié)構(gòu)在基板10的第一表面12進(jìn)行其它制程時(shí)不受到影響,例如第二保護(hù)結(jié)構(gòu)36可做為緩沖層,使第二表面 14上已形成的各結(jié)構(gòu)不會(huì)直接接觸反應(yīng)機(jī)臺(tái)的傳送用機(jī)械手臂(圖未示)及滾輪觀,避免第二表面14上已形成的各結(jié)構(gòu)發(fā)生刮傷或輪痕等缺陷。此外,第二保護(hù)結(jié)構(gòu)36在第一透明導(dǎo)電層30進(jìn)行圖案化制程時(shí),也可做為一屏蔽層,隔絕光阻液、蝕刻液或是清洗液等化學(xué)溶劑接觸第二表面14上已形成的各結(jié)構(gòu),避免第二表面上14已形成的各結(jié)構(gòu)發(fā)生未預(yù)期的化學(xué)反應(yīng)引起的結(jié)構(gòu)毀損或化學(xué)溶劑殘留。分別位于基板10的第一表面12及第二表面14的雙面結(jié)構(gòu)設(shè)置完成后,如圖10所示,同時(shí)以一剝除手段去除第一保護(hù)結(jié)構(gòu)32及第二保護(hù)結(jié)構(gòu)36,例如使用一堿性剝除液, 堿性剝除液的成分包括氫氧化鉀(KOH),但不以此為限。值得注意的是,第一保護(hù)結(jié)構(gòu)32及第二保護(hù)結(jié)構(gòu)36于接觸光阻液、蝕刻液或是清洗液時(shí),需維護(hù)其下方的各已形成結(jié)構(gòu)的完整,因此,第一保護(hù)結(jié)構(gòu)32及第二保護(hù)結(jié)構(gòu)36的材料需具低化學(xué)活性,尤以耐酸性材料為佳,且為能以堿性剝除液去除,第一保護(hù)結(jié)構(gòu)32及第二保護(hù)結(jié)構(gòu)36的材料更佳為同時(shí)具備耐酸性及不耐堿性。至此,完成本發(fā)明第二較佳實(shí)施例的彩色濾光片基板。當(dāng)此彩色濾光片基板應(yīng)用在電容式觸控面板時(shí),第一透明導(dǎo)電層30可為一觸控感應(yīng)墊層,用于偵測(cè)觸控發(fā)生時(shí)的電容改變,并藉此電容改變量計(jì)算出觸控點(diǎn)所在位置。綜上所述,本發(fā)明在具有雙面結(jié)構(gòu)的彩色濾光片基板制造過程中,使用一耐酸不耐堿性質(zhì)的保護(hù)結(jié)構(gòu)覆蓋位于同一表面上的已形成結(jié)構(gòu),當(dāng)基板的另一相對(duì)表面上進(jìn)行制程時(shí),保護(hù)結(jié)構(gòu)可避免覆蓋的已形成結(jié)構(gòu)因非預(yù)期的影響而損傷,并在彩色濾光片基板的雙面結(jié)構(gòu)完成后,以堿性剝除液將此保護(hù)結(jié)構(gòu)去除。本發(fā)明保護(hù)結(jié)構(gòu)的設(shè)置有助于維護(hù)制程中各已形成組件的功能完整,藉以提升彩色濾光片基板的生產(chǎn)良率。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例,凡依本發(fā)明申請(qǐng)專利范圍所做的均等變化與修飾,皆應(yīng)屬本發(fā)明的涵蓋范圍。
權(quán)利要求
1.一種制造彩色濾光片基板的方法,其特征在于,包括 提供一基板,該基板包含一第一表面及一第二表面; 形成復(fù)數(shù)個(gè)色阻單元于該基板的該第二表面上;形成一保護(hù)結(jié)構(gòu)于該基板的該第二表面上,且該保護(hù)結(jié)構(gòu)覆蓋該等色阻單元; 翻轉(zhuǎn)該基板;形成一透明導(dǎo)電層于該基板的該第一表面上;以及以一剝除手段去除該保護(hù)結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造彩色濾光片基板的方法,其特征在于所述保護(hù)結(jié)構(gòu)是全面性覆蓋該基板的該第二表面與該等色阻單元。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造彩色濾光片基板的方法,其特征在于所述保護(hù)結(jié)構(gòu)的材料包括酚醛樹脂。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造彩色濾光片基板的方法,其特征在于其中于形成該保護(hù)結(jié)構(gòu)之前,另包括形成一平坦層于該基板的該第二表面上,且該保護(hù)結(jié)構(gòu)覆蓋該平坦層。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制造彩色濾光片基板的方法,其特征在于其中于形成該保護(hù)結(jié)構(gòu)之前,另包括形成至少一光阻間隙子于該平坦層上,且該保護(hù)結(jié)構(gòu)覆蓋該光阻間隙子。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造彩色濾光片基板的方法,其特征在于所述透明導(dǎo)電層包括一靜電防護(hù)層。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造彩色濾光片基板的方法,其中該剝除手段包括以一堿性剝除液除去該保護(hù)結(jié)構(gòu)。
8.—種制造彩色濾光片基板的方法,其特征在于,包括 提供一基板,該基板包含一第一表面及一第二表面; 形成一第一透明導(dǎo)電層于該基板的該第一表面上;形成一第一保護(hù)結(jié)構(gòu)于該基板的該第一表面上,且該第一保護(hù)結(jié)構(gòu)覆蓋該第一透明導(dǎo)電層;翻轉(zhuǎn)該基板;形成復(fù)數(shù)個(gè)色阻單元于該基板的該第二表面上; 形成一第二透明導(dǎo)電層于該基板的該第二表面上;形成一第二保護(hù)結(jié)構(gòu)于該基板的該第二表面上,且該第二保護(hù)結(jié)構(gòu)覆蓋該第二透明導(dǎo)電層與該等色阻單元; 翻轉(zhuǎn)該基板;圖案化該第一透明導(dǎo)電層;以及以一剝除手段去除該第一保護(hù)結(jié)構(gòu)及該第二保護(hù)結(jié)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造彩色濾光片基板的方法,其特征在于另包括對(duì)該第一保護(hù)結(jié)構(gòu)進(jìn)行一圖案化制程。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制造彩色濾光片基板的方法,其特征在于所述圖案化制程是于形成該等色阻單元之前進(jìn)行。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制造彩色濾光片基板的方法,其特征在于所述圖案化制程是于形成該第二保護(hù)結(jié)構(gòu)之后進(jìn)行。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造彩色濾光片基板的方法,其特征在于所述第一保護(hù)結(jié)構(gòu)及該第二保護(hù)結(jié)構(gòu)的材料包括酚醛樹脂。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造彩色濾光片基板的方法,其特征在于另包括于形成該第二透明導(dǎo)電層之前,先形成一平坦層于該基板的該第二表面上。
14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造彩色濾光片基板的方法,其特征在于所述第一透明導(dǎo)電層包括一觸控感應(yīng)墊層。
15.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造彩色濾光片基板的方法,其特征在于所述剝除手段包括以一堿性剝除液除去該第一保護(hù)結(jié)構(gòu)及該第二保護(hù)結(jié)構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種彩色濾光片基板的制作方法,包括下列步驟。提供一基板,且基板具有一第一表面及一第二表面。形成復(fù)數(shù)個(gè)色阻單元于基板的第二表面上。形成一保護(hù)結(jié)構(gòu)于基板的第二表面上,且此保護(hù)結(jié)構(gòu)覆蓋色阻單元。翻轉(zhuǎn)基板。形成一透明導(dǎo)電層于基板的第一表面上。最后,以一剝除手段去除保護(hù)結(jié)構(gòu)。
文檔編號(hào)G02F1/1335GK102213862SQ201110173078
公開日2011年10月12日 申請(qǐng)日期2011年6月24日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月24日
發(fā)明者湯逢錦, 洪文進(jìn), 謝文仁 申請(qǐng)人:中華映管股份有限公司, 福州華映視訊有限公司
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