專利名稱：用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)及陣列檢測設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及液晶顯示技術(shù)，尤其涉及一種用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)及陣 列檢測設(shè)備。
背景技術(shù)：
液晶顯示器是目前常用的平板顯示器，其中薄膜晶體管液晶顯示器(ThinFilm Transistor Liquid Crystal Display，簡稱TFT-LCD)是液晶顯示器中的主流產(chǎn)品。TFT-IXD制造過程大概可以分為三個(gè)階段。第一個(gè)階段為矩陣(Array)工藝，該工藝在一張較大的玻璃基板上形成若干獨(dú)立 的TFT像素陣列電路，每個(gè)像素陣列區(qū)對應(yīng)一個(gè)液晶顯示屏(panel)。第二個(gè)階段為單元(cell)工藝，該工藝在TFT基板上涂布液晶，覆蓋彩色濾光片， 拼合成LCD面板并切割成獨(dú)立的液晶顯示屏。第三個(gè)階段為液晶顯示屏安裝背光源，偏振片以及周邊電路，形成完整的TFT-IXD 顯示模塊。在矩陣工藝中，玻璃基板上沉積形成TFT像素陣列電路后，需要在陣列測試 (Array Test)設(shè)備上進(jìn)行TFT電學(xué)參數(shù)的測量。陣列檢測設(shè)備上的主要部件為光學(xué)系統(tǒng)?，F(xiàn)有技術(shù)中，光學(xué)系統(tǒng)如圖1所示，包括光信號收集裝置1、光罩2及mount (固定 檢測部件的外殼3)。光信號收集裝置1包括光源及電荷耦合器件(Charge Coupled Device，CCD)相機(jī) ((XD Camera)，用來收集光信號。光罩2中空，頂部固定在光信號收集裝置1，底部通過懸掛 卡扣31固定在外殼3上。光信號收集裝置1收集的光信號在光罩2的內(nèi)部空間達(dá)到外殼 3，防止測試光線受外界影響。外殼3內(nèi)設(shè)置有光信號檢測裝置來檢測接收到的光信號?，F(xiàn)有技術(shù)中，光學(xué)系統(tǒng)各個(gè)組件簡單地通過重力作用懸掛在外殼上，若使用一段 時(shí)間，外殼與光信號收集裝置之間的光路就會出現(xiàn)偏差，這種情況下，只能依靠操作人員的 經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行敲擊調(diào)整，且在調(diào)整過程中經(jīng)常使整個(gè)光路有一定旋角，調(diào)整難度非常大。而光學(xué) 系統(tǒng)調(diào)試的準(zhǔn)確性對檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性有很大的作用，因此，采用敲擊調(diào)整很難滿足很好 的檢測出各種TFT電學(xué)不良的要求，導(dǎo)致設(shè)備無法正常運(yùn)行造成資源的浪費(fèi)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)及陣列檢測設(shè)備，以實(shí)現(xiàn)光學(xué) 系統(tǒng)的光路調(diào)節(jié)。本實(shí)用新型提供一種用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)，包括光罩及外殼，其中，所述 外殼的表面設(shè)置有凹槽，所述凹槽的槽壁上具有螺紋孔；所述用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)還包括調(diào)節(jié)板，設(shè)置于所述凹槽中，所述調(diào)節(jié)板具有與所述光罩的底部匹配的通孔，所述 光罩通過所述通孔與所述外殼連通，所述調(diào)節(jié)板的邊緣與所述凹槽的內(nèi)壁之間存在縫隙，所述調(diào)節(jié)板的側(cè)面具有滑動(dòng)軌道；滑動(dòng)條，設(shè)置于所述滑動(dòng)軌道中，所述滑動(dòng)條具有凹部；位移調(diào)節(jié)螺絲，螺接于所述凹槽的槽壁上的螺紋孔中，頂端位于所述凹部中；限位片，部分覆蓋于所述凹槽的頂部，且位于所述調(diào)節(jié)板的上方。如上所述的用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)，其中，所述調(diào)節(jié)板可具有多個(gè)側(cè)面，優(yōu) 選地，所述調(diào)節(jié)板具有四個(gè)側(cè)面，所述四個(gè)側(cè)面均可具有所述滑動(dòng)軌道，所述滑動(dòng)條有四 個(gè)，對應(yīng)設(shè)置在所述滑動(dòng)軌道中?；蛘?，所述調(diào)節(jié)板四個(gè)側(cè)面中相鄰的兩個(gè)側(cè)面可均具有所述滑動(dòng)軌道，所述滑動(dòng) 條有兩個(gè)，對應(yīng)設(shè)置在所述滑動(dòng)軌道中；所述調(diào)節(jié)板的其余兩個(gè)側(cè)面與所述凹槽的槽壁之 間設(shè)置有彈簧?；蛘?，所述調(diào)節(jié)板四個(gè)側(cè)面中的三個(gè)側(cè)面可均具有所述滑動(dòng)軌道，所述滑動(dòng)條有 三個(gè)，對應(yīng)設(shè)置在所述滑動(dòng)軌道中；所述調(diào)節(jié)板的其余一個(gè)側(cè)面與所述凹槽的槽壁之間設(shè)
置有彈簧。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)中，所述光罩的底 部邊緣可具有螺紋，所述調(diào)節(jié)板的上表面可設(shè)置有旋角調(diào)節(jié)螺絲，所述旋角調(diào)節(jié)螺絲與所 述光罩底部邊緣的螺紋相螺接。所述旋角調(diào)節(jié)螺絲可通過兩個(gè)支撐塊設(shè)置于所述調(diào)節(jié)板的上表面。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)還可包括用于固定 所述位移調(diào)節(jié)螺絲的卡扣裝置，設(shè)置于所述位移調(diào)節(jié)螺絲上，位于所述調(diào)節(jié)板與所述外殼 凹槽的槽壁之間。所述卡扣裝置可為螺母，螺接在所述位移調(diào)節(jié)螺絲上?；蛘撸隹垩b置可包括插條，所述位移調(diào)節(jié)螺絲上具有與所述插條相匹配的 插孔，所述插條可活動(dòng)地插接在所述插孔中。本實(shí)用新型還提供一種陣列檢測設(shè)備，包括上述任一種用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué) 系統(tǒng)。本實(shí)用新型提供的用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)及陣列檢測設(shè)備，通過調(diào)節(jié)板、 調(diào)節(jié)螺絲及調(diào)節(jié)板上的滑動(dòng)軌道及滑動(dòng)條，解決了現(xiàn)有陣列基板電學(xué)檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng) 出現(xiàn)光路偏差后無法迅速、準(zhǔn)確地調(diào)整光學(xué)系統(tǒng)的問題，實(shí)現(xiàn)了光路的準(zhǔn)確調(diào)節(jié)，可以有效 減少陣列基板電學(xué)檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)調(diào)整時(shí)間，增加可操作性，減少設(shè)備維護(hù)人員勞動(dòng) 強(qiáng)度。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型第一實(shí)施例提供的用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意 圖；圖3A為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)中調(diào)節(jié)板的結(jié)構(gòu) 示意圖；圖;3B為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)中滑動(dòng)條的結(jié)構(gòu) 示意圖；[0032]圖3C 圖3H為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)中調(diào)節(jié)板 具有不同數(shù)量滑動(dòng)軌道時(shí)的不同側(cè)面的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實(shí)用新型第二實(shí)施例提供的用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意 圖；圖5為本實(shí)用新型第三實(shí)施例提供的用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意 圖；圖6為本實(shí)用新型第四實(shí)施例提供的用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意 圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新 型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描 述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施 例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于 本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。本實(shí)用新型第一實(shí)施例如圖2、圖3A所示，用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)包括光 罩4、外殼5、調(diào)節(jié)板6、滑動(dòng)條7、位移調(diào)節(jié)螺絲81及限位片9。外殼5的上表面設(shè)置有凹槽51，凹槽51的槽壁上具有螺紋孔。調(diào)節(jié)板6設(shè)置于外殼5的凹槽51中，調(diào)節(jié)板6如圖3A所示，具有與光罩4的底部 匹配的通孔61。光罩4的底部固定在通孔61上，光罩4通過通孔61與外殼5連通。調(diào)節(jié)板6的邊緣與凹槽51的內(nèi)壁之間存在縫隙，以保證調(diào)節(jié)板6能在凹槽51內(nèi) 移動(dòng)，達(dá)到光路調(diào)節(jié)的目的。調(diào)節(jié)板6的四個(gè)側(cè)面具有滑動(dòng)軌道62，滑動(dòng)條7設(shè)置于滑動(dòng)軌道62中，以保證滑 動(dòng)條7位置固定的情況下，調(diào)節(jié)板6能夠相對移動(dòng)。調(diào)節(jié)板6的四個(gè)側(cè)面均如圖3C所示。如圖:3B所示，滑動(dòng)條7具有凹部71，位移調(diào)節(jié)螺絲81的頂端位于凹部71中，以便 于位移調(diào)節(jié)螺絲81轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)相對于滑動(dòng)條7的位置是固定的。位移調(diào)節(jié)螺絲81有四個(gè)，凹槽51四個(gè)槽壁上的螺紋孔中均螺接有一個(gè)位移調(diào)節(jié) 螺絲81，以通過調(diào)節(jié)板6的兩個(gè)對邊上的位移調(diào)節(jié)螺絲81的旋進(jìn)或旋出，來控制調(diào)節(jié)板6 沿位移調(diào)節(jié)螺絲81的旋緊或旋出方向移動(dòng)。假設(shè)光罩4向左偏移，則旋進(jìn)調(diào)節(jié)板6的左邊 的位移調(diào)節(jié)螺絲81，同時(shí)相應(yīng)旋出調(diào)節(jié)板6的右邊的位移調(diào)節(jié)螺絲81，這樣，調(diào)節(jié)板6前后 兩個(gè)邊上的滑動(dòng)條7沿前后兩個(gè)邊上的滑動(dòng)軌道62向左移動(dòng)，相應(yīng)地，調(diào)節(jié)板6帶動(dòng)光罩 4向右移動(dòng)，達(dá)到了糾正光罩4向左的偏移量。如圖2所示，限位片9部分覆蓋于凹槽51的頂部，且位于調(diào)節(jié)板6的上方。具體 地，限位片9有四個(gè)，通過螺栓10固定于外殼5的四個(gè)角上，將調(diào)節(jié)板6限制在凹槽51中， 以使調(diào)節(jié)板6在垂直方向上的位置保持不變。本實(shí)用新型通過在原有的光學(xué)系統(tǒng)上添加如圖2所示的位置調(diào)整裝置，可以有效 減少陣列基板電學(xué)檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)調(diào)整時(shí)間，增加可以操作性，減少設(shè)備維護(hù)人員勞 動(dòng)強(qiáng)度。[0047]本實(shí)用新型第二實(shí)施例如圖4所示，用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)不僅包括光罩 4、外殼5、調(diào)節(jié)板6、滑動(dòng)條7 (圖中未示出)、位移調(diào)節(jié)螺絲81及限位片9，還包括彈簧52。其中，調(diào)節(jié)板6的三個(gè)側(cè)面均具有滑動(dòng)軌道62，每個(gè)滑動(dòng)軌道62中均設(shè)置有一個(gè) 滑動(dòng)條7。假設(shè)調(diào)節(jié)板6的左右側(cè)及前側(cè)均設(shè)有滑動(dòng)軌道62，則調(diào)節(jié)板6的前側(cè)如圖3C所 示，左側(cè)如圖3E所示，右側(cè)如圖3F所示，未設(shè)滑動(dòng)軌道62的側(cè)面即后側(cè)如圖3D所示。彈簧52設(shè)置于調(diào)節(jié)板6沒有滑動(dòng)軌道62的側(cè)面與凹槽51的側(cè)壁之間，以保證調(diào) 節(jié)板6在被位移調(diào)節(jié)螺絲81推動(dòng)調(diào)節(jié)至彈簧52 —側(cè)后，在彈簧52的彈力作用下仍能返回 到原來的位置，以保證在調(diào)節(jié)光路的同時(shí)，簡化光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型第三實(shí)施例如圖5所示，用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)不僅包括光罩 4、外殼5、調(diào)節(jié)板6、滑動(dòng)條7 (圖中未示出)、位移調(diào)節(jié)螺絲81、限位片9及彈簧52，還包括 旋角調(diào)節(jié)螺絲82，且光罩4的底部邊緣具有螺紋41，光罩4的底部與調(diào)節(jié)板6上的通孔61 活動(dòng)連接，以保證光罩4可相對于調(diào)節(jié)板6及外殼5旋轉(zhuǎn)。其中，調(diào)節(jié)板6的兩個(gè)相鄰側(cè)面均具有滑動(dòng)軌道62，這里，調(diào)節(jié)板6的后側(cè)及右側(cè) 各設(shè)置有滑動(dòng)軌道62，相應(yīng)地，調(diào)節(jié)板6的后側(cè)及右側(cè)均設(shè)置有一個(gè)位移調(diào)節(jié)螺絲81，前側(cè) 和左側(cè)均設(shè)置有彈簧52用來起到固定和位置還原作用。調(diào)節(jié)板6后側(cè)如圖3F，右側(cè)如圖 3E所示，前側(cè)如圖3H所示，左側(cè)如圖3G所示。每個(gè)滑動(dòng)軌道62中均設(shè)置有一個(gè)滑動(dòng)條7。彈簧52設(shè)置于調(diào)節(jié)板6的其余兩個(gè) 側(cè)面與凹槽51的側(cè)壁之間，以保證在調(diào)節(jié)光路的同時(shí)，進(jìn)一步簡化光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。旋角調(diào)節(jié)螺絲82通過兩個(gè)支撐塊83設(shè)置于調(diào)節(jié)板6的上表面，與光罩4底部邊 緣的螺紋41咬合，旋轉(zhuǎn)旋角調(diào)節(jié)螺絲82，旋角調(diào)節(jié)螺絲82上的螺紋驅(qū)動(dòng)光罩4底部邊緣的 螺紋41運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)光罩4旋轉(zhuǎn)，達(dá)到了調(diào)節(jié)旋角的目的。本實(shí)用新型第四實(shí)施例如圖6所示，用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)在第三實(shí)施例 的基礎(chǔ)上，還進(jìn)一步包括卡扣裝置84，用于固定位移調(diào)節(jié)螺絲81，防止位移調(diào)節(jié)螺絲81在 陣列檢測設(shè)備震動(dòng)時(shí)移動(dòng)，保證調(diào)節(jié)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性?？垩b置84設(shè)置于位移調(diào)節(jié)螺絲81上，位于調(diào)節(jié)板6與外殼凹槽51的槽壁之間?？垩b置84可為螺母，螺接在位移調(diào)節(jié)螺絲81上。當(dāng)位移調(diào)節(jié)螺絲81需要固定 時(shí)，旋緊螺母與滑動(dòng)條7相抵，即可進(jìn)一步保證位移調(diào)節(jié)螺絲81的位置不變?；蛘呖垩b置84可包括插條，相應(yīng)地，位移調(diào)節(jié)螺絲81上具有與插條相匹配的插 孔，插條可活動(dòng)地插接在插孔中。如在位移調(diào)節(jié)螺絲81旋進(jìn)或旋出調(diào)節(jié)光罩4的位移時(shí)，可 將插條拔出插孔，當(dāng)調(diào)節(jié)好位移后，將插條插進(jìn)插孔中，以進(jìn)一步保證位移調(diào)節(jié)螺絲81的 位置固定不變。進(jìn)一步地，旋角調(diào)節(jié)螺絲82上也可設(shè)置有卡扣裝置84，防止旋角調(diào)節(jié)螺絲82在陣 列檢測設(shè)備震動(dòng)時(shí)移動(dòng)，保證旋角調(diào)節(jié)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。使用本實(shí)施例提供的用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)調(diào)整光學(xué)系統(tǒng)時(shí)，在調(diào)整前后 方向的準(zhǔn)確性時(shí)，打開調(diào)節(jié)板6后側(cè)位移調(diào)節(jié)螺絲81上的卡扣裝置84，通過旋進(jìn)或旋出位 移調(diào)節(jié)螺絲81，以及前側(cè)彈簧52的彈力調(diào)整前后位置。調(diào)節(jié)板6右側(cè)設(shè)置有滑動(dòng)軌道62 及滑動(dòng)條7，右側(cè)的位移調(diào)節(jié)螺絲81頂端位于滑動(dòng)條7的凹部71中，在調(diào)整前后方向時(shí)由 于左右方向的卡扣裝置84沒有打開，保證了調(diào)節(jié)板6前后移動(dòng)時(shí)，滑動(dòng)條7沿滑動(dòng)軌道62 滑動(dòng)，且右側(cè)的位移調(diào)節(jié)螺絲81位置不變，即調(diào)節(jié)板6的左右位置固定，不會發(fā)生改變，保
6證了光路的左右方向不會改變。前后方向的光路調(diào)整好后，用卡扣裝置84固定后側(cè)的位移 調(diào)節(jié)螺絲81，保證調(diào)整好后的光路的前后方向固定不變。類似地，可調(diào)整光路的左右方向，同時(shí)可保證光路的前后方向不會改變。之后用卡 扣裝置84固定右側(cè)的位移調(diào)節(jié)螺絲81，保證調(diào)整好后的光路的左右方向固定不變。防止在 檢測設(shè)備進(jìn)行測試時(shí)產(chǎn)生的位移影響設(shè)備的測試準(zhǔn)確性。當(dāng)前后左右方向的光路調(diào)整完成后，如果外殼5與光信號收集裝置1有一定的旋 角，則可以打開旋角調(diào)節(jié)螺絲82上的卡扣裝置，利用旋角調(diào)節(jié)螺絲82與光罩4上的螺紋41 的配合，進(jìn)行光路旋角的調(diào)整。當(dāng)旋角調(diào)整完成后固定好卡扣裝置，防止測試過程中光路再 次出現(xiàn)旋角影響測試的準(zhǔn)確性。由于整個(gè)操作過程是利用螺絲的旋轉(zhuǎn)圈數(shù)控制，非常便于 操作很大程度上降低了光路矯正難度。本實(shí)用新型上述實(shí)施例中的調(diào)節(jié)螺絲與卡扣裝置都可由步進(jìn)馬達(dá)控制，以達(dá)到可 以完全自動(dòng)調(diào)整的功能，更加簡化光學(xué)系統(tǒng)光路準(zhǔn)確性調(diào)整的可操作性。本發(fā)明實(shí)施例提供的陣列檢測設(shè)備包括光學(xué)系統(tǒng)，該光學(xué)系統(tǒng)可為上述實(shí)施例提 供的任一種用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)，能夠準(zhǔn)確進(jìn)行前后左右及旋角的光路調(diào)節(jié)，且 易于操作。最后應(yīng)說明的是以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對其限制； 盡管參照前述實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解: 其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等 同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù) 方案的精神和范圍。
權(quán)利要求1.一種用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)，包括光罩及外殼，其特征在于，所述外殼的表面 設(shè)置有凹槽，所述凹槽的槽壁上具有螺紋孔；所述用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)還包括調(diào)節(jié)板，設(shè)置于所述凹槽中，所述調(diào)節(jié)板具有與所述光罩的底部匹配的通孔，所述光罩 通過所述通孔與所述外殼連通，所述調(diào)節(jié)板的邊緣與所述凹槽的內(nèi)壁之間存在縫隙，所述 調(diào)節(jié)板的側(cè)面具有滑動(dòng)軌道；滑動(dòng)條，設(shè)置于所述滑動(dòng)軌道中，所述滑動(dòng)條具有凹部；位移調(diào)節(jié)螺絲，螺接于所述凹槽的槽壁上的螺紋孔中，頂端位于所述凹部中；限位片，部分覆蓋于所述凹槽的頂部，且位于所述調(diào)節(jié)板的上方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述調(diào)節(jié)板具 有四個(gè)側(cè)面，所述四個(gè)側(cè)面均具有所述滑動(dòng)軌道，所述滑動(dòng)條有四個(gè)，對應(yīng)設(shè)置在所述滑動(dòng) 軌道中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述調(diào)節(jié)板具 有四個(gè)側(cè)面，其中相鄰的兩個(gè)側(cè)面均具有所述滑動(dòng)軌道，所述滑動(dòng)條有兩個(gè)，對應(yīng)設(shè)置在所 述滑動(dòng)軌道中；所述調(diào)節(jié)板的其余兩個(gè)側(cè)面與所述凹槽的槽壁之間設(shè)置有彈簧。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述調(diào)節(jié)板具 有四個(gè)側(cè)面，其中三個(gè)側(cè)面均具有所述滑動(dòng)軌道，所述滑動(dòng)條有三個(gè)，對應(yīng)設(shè)置在所述滑動(dòng) 軌道中；所述調(diào)節(jié)板的其余一個(gè)側(cè)面與所述凹槽的槽壁之間設(shè)置有彈簧。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述 光罩的底部邊緣具有螺紋，所述調(diào)節(jié)板的上表面設(shè)置有旋角調(diào)節(jié)螺絲，所述旋角調(diào)節(jié)螺絲 與所述光罩底部邊緣的螺紋相螺接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述旋角調(diào)節(jié) 螺絲通過兩個(gè)支撐塊設(shè)置于所述調(diào)節(jié)板的上表面。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，還包 括用于固定所述位移調(diào)節(jié)螺絲的卡扣裝置，設(shè)置于所述位移調(diào)節(jié)螺絲上，位于所述調(diào)節(jié)板 與所述外殼凹槽的槽壁之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述卡扣裝置 為螺母，螺接在所述位移調(diào)節(jié)螺絲上。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述卡扣裝置 包括插條，所述位移調(diào)節(jié)螺絲上具有與所述插條相匹配的插孔，所述插條可活動(dòng)地插接在 所述插孔中。
10.一種陣列檢測設(shè)備，其特征在于，包括上述權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的用于陣列檢 測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)及陣列檢測設(shè)備，光學(xué)系統(tǒng)包括光罩及外殼，其中，所述外殼的表面設(shè)置有凹槽，所述凹槽的槽壁上具有螺紋孔；所述用于陣列檢測設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)還包括調(diào)節(jié)板，設(shè)置于所述凹槽中，所述調(diào)節(jié)板具有與所述光罩的底部匹配的通孔，所述光罩通過所述通孔與所述外殼連通，所述調(diào)節(jié)板的邊緣與所述凹槽的內(nèi)壁之間存在縫隙，所述調(diào)節(jié)板的側(cè)面具有滑動(dòng)軌道；滑動(dòng)條，設(shè)置于所述滑動(dòng)軌道中，所述滑動(dòng)條具有凹部；位移調(diào)節(jié)螺絲，螺接于所述凹槽的槽壁上的螺紋孔中，頂端位于所述凹部中；限位片，部分覆蓋于所述凹槽的頂部，且位于所述調(diào)節(jié)板的上方。
文檔編號G02B7/00GK201886194SQ201020613318
公開日2011年6月29日 申請日期2010年11月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月17日
發(fā)明者卜云龍, 白國曉, 趙海生 申請人:北京京東方光電科技有限公司