專利名稱：兼有宏-微視場觀測的超分辨差動(dòng)共焦顯微鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于光學(xué)顯微成像及光學(xué)精密測量技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種兼 有宏-微視場觀測的超分辨差動(dòng)共焦顯微鏡，可用于樣品的三維表面形 貌、三維微細(xì)結(jié)構(gòu)、微臺(tái)階、微溝槽、微位移、集成電路線寬的高精 度測量。
背景技術(shù)：
1957年美國M.Minsky等學(xué)者在對(duì)顯微鏡進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，力圖 消除雜散光的研究中首先提出共焦顯微思想，并于1961年獲得美 國專利局授權(quán)，專利號(hào)為US3013467。共焦顯微鏡的成像原理是 將點(diǎn)光源、點(diǎn)被測物和點(diǎn)探測器三者放置在彼此對(duì)應(yīng)的共軛的位 置，構(gòu)成了光學(xué)成像中的點(diǎn)照明和點(diǎn)探測的具有層析功能的顯微 成像系統(tǒng)。典型的共焦顯微鏡的基本結(jié)構(gòu)如圖1所示，光源1發(fā) 出的光經(jīng)過擴(kuò)束器針孔27、分光鏡5、物鏡7匯聚，在被測物表 面聚焦成光斑并被反射，反射光沿原路返回，測量光束被分光鏡 5反射后進(jìn)入探測器18前的針孔17中，在探測器18處形成點(diǎn)探 測，探測器18主要接收從物鏡7焦點(diǎn)處反射的信號(hào)光，焦點(diǎn)以外 的反射光被針孔17遮擋。當(dāng)被測點(diǎn)位于物鏡7的焦平面A時(shí)， 探測器18接收到的光能最大，當(dāng)被測點(diǎn)偏離焦平面A時(shí)，反射 光被聚焦在針孔17的前或后的某一位置，針孔17和探測器18就 處于離焦?fàn)顟B(tài)，此時(shí)探測器18就僅能接收到一小部分光的能量， 因此探測器18接收到的信號(hào)光的強(qiáng)度會(huì)隨著被測點(diǎn)的位置變化 而變化，這樣就可以通過探測器檢測到光強(qiáng)信號(hào)的強(qiáng)弱變化來測 得被測點(diǎn)相對(duì)于焦平面的位置。當(dāng)驅(qū)動(dòng)被測物使被測物沿垂直于 光軸方向的X-Y平面做掃描運(yùn)動(dòng)時(shí)，共焦顯微鏡就可以根據(jù)光軸 Z方向的離焦信號(hào)、X和Y方向的位移大小，構(gòu)建出被測物體的 三維輪廓。
共焦顯微鏡因?yàn)榫哂袑游龀上竦哪芰Χ粡V泛應(yīng)用于生物醫(yī) 學(xué)和工業(yè)樣品的成像檢測，并且由于其分辨率很高，可以對(duì)生物
4活體樣本和微小工業(yè)產(chǎn)品進(jìn)行微細(xì)成像，提供樣品的微觀信息而
成為醫(yī)學(xué)觀察和制造業(yè)檢測的有力工具；但是由于其成像原理是點(diǎn)掃描，可以測量的范圍和觀察視場小，在使用的過程中需要對(duì)被測物體的位置進(jìn)行嚴(yán)格的對(duì)焦找正，不僅需要其他設(shè)備輔助而且也會(huì)耗費(fèi)使用者大量的時(shí)間和精力，給使用帶來了極大的不便。近年來，圍繞共焦顯微鏡的研究方面，出現(xiàn)了4PI共焦顯微鏡、共焦干涉顯微鏡和多光子顯微鏡等；并且圍繞共焦顯微鏡的性能改進(jìn)方面也已經(jīng)研究出了光瞳濾波、移相掩膜、變形照明等技術(shù)。總體上看，上述的對(duì)共焦顯微鏡的改進(jìn)提高了共焦顯微鏡的分辨性能，但是它們都沒有涉及到共焦顯微鏡的定焦粗找正問題。
傳統(tǒng)的光學(xué)成像技術(shù)具有視場大，光路簡單，便于調(diào)節(jié)，成像直觀易于觀察分析等特點(diǎn)，并且隨著近年來的CCD探測技術(shù)的發(fā)展，與CCD成像技術(shù)的結(jié)合可以實(shí)現(xiàn)觀察測量的數(shù)字化，其測
量效率和精度表現(xiàn)出很大的發(fā)展?jié)摿?。近年來傳統(tǒng)光學(xué)成像技術(shù)與CCD探測技術(shù)結(jié)合用于定焦成像的技術(shù)快速發(fā)展。例如《光電工程》的《用二次傅里葉變換實(shí)現(xiàn)CCD的精密定焦》，提出利用傅立葉變換原理和幾何光學(xué)成像原理對(duì)CCD探測器正焦和離焦時(shí)的成像特點(diǎn)進(jìn)行了理論分析，達(dá)到了很高的定焦精度。而使用光學(xué)成像技術(shù)與CCD探測技術(shù)結(jié)合，用圖像分析的方法對(duì)差動(dòng)共焦顯微鏡的樣品位置進(jìn)行粗找正，繼而實(shí)現(xiàn)共焦顯微鏡在宏觀視場的觀察的報(bào)道，迄今為止尚未見到。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服已有技術(shù)用于三維形貌和三維微細(xì)結(jié)構(gòu)測量時(shí)存在的上述不足，融合光學(xué)成像技術(shù)和差動(dòng)共焦顯微技術(shù)，提出一種兼有宏-微視場觀測的超分辨差動(dòng)共焦顯微鏡。該共焦顯微鏡在改善共焦顯微鏡超分辨成像能力的同時(shí)，還能提供宏視場觀察，極大的簡化了樣品的定焦粗找正過程。
本發(fā)明的目的是通過下述裝置實(shí)現(xiàn)的。
一種兼有宏-微視場觀測的超分辨差動(dòng)共焦顯微鏡，其特征在于包括激光器(1)，依次放在激光器(1)發(fā)射端的擴(kuò)束器(2)、偏振分光鏡(5);放置在偏振分光鏡(5)透射方向的入/4玻片(6)、測量物鏡
(7);位于偏振分光鏡(5)反射方向反方向的差動(dòng)共焦系統(tǒng)(25);
還包括一個(gè)光學(xué)成像光源部分(28)和一個(gè)光學(xué)成像接收系統(tǒng)(29);其中光學(xué)成像光源部分(28)位于擴(kuò)束器(2)與偏振分光鏡(5)之間，用于對(duì)樣品的宏視場成像提供照明；光學(xué)成像接收系統(tǒng)(29)位于偏振分光鏡(5)和差動(dòng)共焦系統(tǒng)(25)之間，用于接收系統(tǒng)對(duì)樣品所成的像。
差動(dòng)共焦系統(tǒng)(25)包括第三分光鏡(15)，依次放置在第三分光鏡的透射方向的第一聚光鏡(16)、第一針孔(17)和貼近針孔的第一探測器(18);依次放置在第三分光鏡(15)的反射方向的第二聚光鏡(19)、第二針孔(20)和貼近針孔的第二探測器(21);光學(xué)成像光源部分(28)包括依次排列的一個(gè)用作宏視場成像光源的LED發(fā)光二極管(12)、匯聚透鏡(13)和第一分光鏡(4);光學(xué)成像接收系統(tǒng)(29)包括第二分光鏡(9)、位于第二分光鏡(9)反射方向的成像物鏡(10)和CCD探測器(11)。
光學(xué)成像光源部分(28)還可以位于A /4玻片(6)與測量物鏡(7)之間或者位于入/4玻片(6)與偏振分光鏡(5)之間。
本發(fā)明裝置還可以包括用于控制光路中的光源在LED發(fā)光二極管(12)與激光器(1)之間切換的第一電子開關(guān)(3)、第二電子開關(guān)
(14);其中第一電子開關(guān)(3)位于激光器(1)和第一分光鏡(4)之間，第二電子開關(guān)(14)位于光學(xué)成像光源部分(28)中的匯聚透鏡(13)和第一分光鏡(4)之間。
本發(fā)明裝置還可以包括一個(gè)光瞳濾波器(26)，可以位于第一電子開關(guān)(3)之前，也可以位于第一電子開關(guān)(3)之后，還可以放置在偏振分光鏡(5)和A /4玻片(6)之間或入/4玻片(6)和測量物鏡(7)之間或偏振分光鏡(5)和第二分光鏡(9)之間或第二分光鏡(9)和第三分光鏡(15)之間；還可以使用兩個(gè)相同的光瞳濾波器，分別位于差動(dòng)共焦系統(tǒng)(25)中的第三分光鏡(15)與兩個(gè)聚焦鏡之間；加入光瞳濾波器(26)是用于壓縮測量物鏡(7)的焦深，提高定焦靈敏度。
6本發(fā)明還可以包括分別與第一探測器(18)、第二探測器(21)
相連的第一信號(hào)處理系統(tǒng)(23)、第二信號(hào)處理系統(tǒng)(22)和一個(gè)數(shù)據(jù)處理計(jì)算機(jī)(24)，其中兩個(gè)信號(hào)處理系統(tǒng)(23、 22)接收兩個(gè)探測器(18、 21)的探測信號(hào)，經(jīng)過放大處理后，由計(jì)算機(jī)(24)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。
本發(fā)明對(duì)比已有的技術(shù)裝置具有以下顯著優(yōu)點(diǎn)
1. 首次提出將光學(xué)成像技術(shù)與共焦顯微技術(shù)結(jié)合，利用被測樣品在CCD探測器上的成像信息作為顯微鏡物鏡定焦的判斷依據(jù)，對(duì)樣品進(jìn)行定焦粗找正。
2. 融合共焦顯微技術(shù)與光學(xué)成像技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了共焦顯微鏡的大視場檢測與微區(qū)域掃描的結(jié)合，壓縮了實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
3. 采用了低相干的LED發(fā)光二極管作為CCD探測器成像光源，與差動(dòng)共焦成像的光源分離，避免了激光光源的相干成像問題。
4. 融合共焦顯微技術(shù)與光學(xué)成像技術(shù)，采用電子開關(guān)分別控制兩者光源，實(shí)現(xiàn)了共焦顯微鏡的大視場檢測與微區(qū)域掃描測量的自動(dòng)切換，無需重新定焦，簡化了操作過程。


圖1為已有的共焦顯微鏡原理圖2為本發(fā)明兼有宏-微視場觀測的超分辨差動(dòng)共焦顯微鏡原理圖；圖3為本裝置差動(dòng)響應(yīng)曲線圖。
其中1-高穩(wěn)定度激光器、2-擴(kuò)束器、3-第一電子開關(guān)、4-第一分光鏡、5-偏振分光鏡、6-A/4玻片、7-測量物鏡、8-被測樣品、9-第二分光鏡、10-成像物鏡、ll-CCD探測器、12-LED發(fā)光二極管、13-匯聚透鏡、14-第二電子開關(guān)、15-第三分光鏡、16-第一聚光鏡、17-第一針孔、18-第一探測器、19-第二聚光鏡、20-第二針孔、21-第二探測器、22-第二信號(hào)處理系統(tǒng)、23-第一信號(hào)處理系統(tǒng)、24-計(jì)算機(jī)、25-差動(dòng)共焦系統(tǒng)、26-光瞳濾波器、27-擴(kuò)束器針孔、28-光學(xué)成像光源部分、29-光學(xué)成像接收部分。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。本發(fā)明技術(shù)原理為采用差動(dòng)共焦顯微成像技術(shù)將共焦顯微鏡接收光路布置為焦前和焦后兩路探測光路，通過兩路探測器探測到的具有不同位相的兩路強(qiáng)度響應(yīng)信號(hào)差動(dòng)相減達(dá)到改善軸向分辨力和提高抗干擾能力的目的；另外，引入低相干光學(xué)成像系統(tǒng)，使用CCD探測器接收成像信號(hào)，使系統(tǒng)兼有宏視場觀察功能，便于系統(tǒng)的定焦和被測樣品的粗找正，達(dá)到了簡化了操作過程的目的。
本發(fā)明兼有宏-微視場觀測的超分辨差動(dòng)共焦顯微鏡結(jié)構(gòu)圖如圖2所示，包括激光器(1),放在激光器(1)發(fā)射端的擴(kuò)束器(2)、光學(xué)成像光源部分(28)、偏振分光鏡(5)，放置在偏振分光鏡(5)透射方向的入/4玻片(6)、測量物鏡(7)、位于偏振分光鏡(5)反射方向反方向的光學(xué)成像接收系統(tǒng)(29)和差動(dòng)共焦系統(tǒng)(25);其中差動(dòng)共焦系統(tǒng)(25)包括第三分光鏡(15);依次位于第三分光鏡(15)的透射方向的第一聚光鏡(16)、第一針孔(17)和貼近針孔的第一探測器(18);依次位于第三分光鏡(15)的反射方向的第二聚光鏡(19)、第二針孔(20)和貼近針孔的第二探測器(21);光學(xué)成像光源部分(28)包括第一分光鏡(4)、 一個(gè)位于第一分光鏡(4)的一個(gè)入射方向的用作宏視場成像光源的LED發(fā)光二極管(12)和匯聚透鏡(13);光學(xué)成像接收系統(tǒng)(29)包括第二分光鏡(9)、位于第二分光鏡(9)反射方向的成像物鏡(10)和CCD探測器(11)。
本發(fā)明裝置中的光學(xué)成像光源部分(28)還可以位于A /4玻片(6)與測量物鏡(7)之間或者位于入/4玻片(6)與偏振分光鏡(5)之間。用于控制光路中的光源在LED發(fā)光二極管(12)與激光器(1)之間切換的第一電子開關(guān)(3)、第二電子開關(guān)(14);其中第一電子開關(guān)(3)位于激光器(1)和第一分光鏡(4)之間，第二電子開關(guān)(14)位于光學(xué)成像光源部分(28)中的匯聚透鏡(13)和第一分光鏡(4)之間。
本發(fā)明裝置中還可以包括一個(gè)光瞳濾波器(26)，該光瞳濾波器(26)可以位于第一電子開關(guān)(3)之前，也可以位于第一電子開關(guān)(3)之后，還可以放置在偏振分光鏡(5)和A/4玻片(6)之間、A/4玻片(6)和測量物鏡(7)之間、偏振分光鏡(5)和第二分光鏡(9)之間、第二分光鏡(9)和第三分光鏡(15)之間或者使用兩個(gè)相同的光瞳濾波器，分別位于差動(dòng)共焦系統(tǒng)(25)中的第三分光鏡(15)與
8兩個(gè)聚焦鏡之間，用于壓縮測量物鏡(7)的焦深，提高定焦靈敏度。本發(fā)明裝置中還可以包括分別與第一探測器(18)、第二探測器(21)相連的第一信號(hào)處理系統(tǒng)(23)、第二信號(hào)處理系統(tǒng)(22)和一個(gè)數(shù)據(jù)處理計(jì)算機(jī)(24)，其中兩個(gè)信號(hào)處理系統(tǒng)(23、 22)接收兩個(gè)探測器(18、 21)的探測信號(hào)，經(jīng)過放大處理后，由計(jì)算機(jī)(24)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。
本發(fā)明兼有宏-微視場觀測的超分辨差動(dòng)共焦顯微鏡測量原理如圖2所示打開第二電子開關(guān)14，關(guān)閉第一電子開關(guān)3， LED發(fā)光二極管12發(fā)出的光經(jīng)過匯聚透鏡13匯聚成平行光，經(jīng)過第二電子開關(guān)14被第一分光鏡4反射后透過偏振分光鏡5變?yōu)槠穹较蚱叫杏诩埫娴膒光，該p光透過A /4玻片6被測量物鏡7聚焦在被測樣品8表面，被被測樣品反射后返回光路，再次透過入/4玻片6變?yōu)槠穹较虼怪庇诩埫娴膕光，該s光被偏振分光鏡反射到第二分光鏡9，被第二分光鏡9反射到成像透鏡10后匯聚成像到位于成像透鏡焦面上的CCD探測器11上，通過對(duì)CCD探測器接收到的圖像進(jìn)行分析，可以對(duì)被測樣品進(jìn)行宏視場觀察，并且以此為判斷依據(jù)對(duì)被測樣品進(jìn)行定焦粗找正，無需外界設(shè)備輔助，簡化了找正過程。
然后打開第一電子開關(guān)3，關(guān)閉第二電子開關(guān)14，高穩(wěn)定度激光器1發(fā)出的激光經(jīng)過擴(kuò)束器2擴(kuò)束成寬光束激光后經(jīng)過第一電子開關(guān)3，透過第一分光鏡后和偏振分光鏡5后變?yōu)槠穹较蚱叫杏诩埫娴膒光，該p光透過入/4玻片6被測量物鏡7聚焦在被測樣品8表面，后被被測樣品反射后返回光路，再次透過入/4玻片6變?yōu)槠穹较虼怪庇诩埫娴膕光，該s光被偏振分光鏡反射到第二分光鏡9，透過第二分光鏡9后被第三分光鏡分成兩束， 一束被第一聚光鏡16匯聚后進(jìn)入位于第一聚光鏡16焦點(diǎn)前距離為M的位置的第一針孔17，被第一探測器18接收；另一束被第二聚光鏡19匯聚后進(jìn)入位于第二聚光鏡19焦點(diǎn)后距離為M的位置的第二針孔20，被第二探測器21接收。第二信號(hào)處理系統(tǒng)22和第一信號(hào)處理系統(tǒng)23將探測到的兩個(gè)具有一定相位大小的信號(hào)放大處理后送入計(jì)算機(jī)24進(jìn)行做差并且處理，即可實(shí)現(xiàn)具有微視場測量的超分辨顯微探測。整個(gè)兼有宏-微視場觀測的超分辨差動(dòng)共焦顯微鏡中，第一分光鏡4、第二分光鏡9和第三分光鏡15的透
9反比為l: 1。
在測量過程中當(dāng)被測樣品表面處于焦平面或者離焦時(shí)，激光器1、
擴(kuò)束器2、偏振分光鏡5、 A/4玻片6、測量物鏡7、第一聚光鏡16、第一針孔17和第一探測器18構(gòu)成"準(zhǔn)共焦顯微鏡"，第一探測器18
探測到的強(qiáng)度響應(yīng)/; ("!，)為
sin("j / 2)
A("i)=
(w,/2)
其中W為軸向歸一化坐標(biāo)，，/fl為入射光強(qiáng)，。
激光器l、擴(kuò)束器2、偏振分光鏡5、入/4玻片6、測量物鏡7、第二聚光鏡19、第二針孔20和第二探測器21構(gòu)成"準(zhǔn)共焦顯微鏡"，第二探測器21探測到的強(qiáng)度響應(yīng)/2 "2)為
<formula>formula see original document page 10</formula>
將/; U)和/2 ("2)做差后得到<formula>formula see original document page 10</formula>
計(jì)算機(jī)依據(jù)/#進(jìn)行實(shí)時(shí)處理和計(jì)算，由^#強(qiáng)度曲線光強(qiáng)大小，重
構(gòu)出被測樣品的微觀三維形貌和三維尺度。
以上結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作了說明，但這些說明不能被理解為限制了本發(fā)明的范圍，本發(fā)明的保護(hù)范圍由隨附的權(quán)利要求書限定，任何在本發(fā)明權(quán)利要求基礎(chǔ)上的改動(dòng)都是本發(fā)明的保護(hù)范
權(quán)利要求
1. 一種兼有宏-微視場觀測的超分辨差動(dòng)共焦顯微鏡，其特征在于包括激光器(1)，依次放在激光器(1)發(fā)射端的擴(kuò)束器(2)、偏振分光鏡(5)；放置在偏振分光鏡(5)透射方向的λ/4玻片(6)、測量物鏡(7)；位于偏振分光鏡(5)反射方向反方向的差動(dòng)共焦系統(tǒng)(25)；還包括一個(gè)光學(xué)成像光源部分(28)和一個(gè)光學(xué)成像接收系統(tǒng)(29)；其中光學(xué)成像光源部分(28)位于擴(kuò)束器(2)與偏振分光鏡(5)之間，用于對(duì)樣品的宏視場成像提供照明；光學(xué)成像接收系統(tǒng)(29)位于偏振分光鏡(5)和差動(dòng)共焦系統(tǒng)(25)之間，用于接收系統(tǒng)對(duì)樣品所成的像。
2. 根據(jù)權(quán)利1所述的兼有宏-微視場觀測的超分辨差動(dòng)共焦顯微 鏡，其特征在于差動(dòng)共焦系統(tǒng)(25)包括第三分光鏡(15),依 次放置在第三分光鏡的透射方向的第一聚光鏡(16)、第一針孔(17) 和貼近針孔的第一探測器(18);依次放置在第三分光鏡(15)的反 射方向的第二聚光鏡(19)、第二針孔(20)和貼近針孔的第二探測 器(21);光學(xué)成像光源部分(28)包括依次排列的一個(gè)用作宏視場 成像光源的LED發(fā)光二極管(12)、匯聚透鏡(13)和第一分光鏡(4); 光學(xué)成像接收系統(tǒng)(29)包括第二分光鏡(9)、位于第二分光鏡(9) 反射方向的成像物鏡(10)和CCD探測器(11)。
3. 根據(jù)權(quán)利1和2所述的兼有宏-微視場觀測的超分辨差動(dòng)共焦 顯微鏡，其特征在于光學(xué)成像光源部分(28)還可以位于入/4玻片(6)與測量物鏡(7)之間或者位于入/4玻片(6)與偏振分光鏡(5) 之間；
4. 根據(jù)權(quán)利要求1和2所述的宏-微視場觀測的超分辨差動(dòng)共焦 顯微鏡，其特征在于還可以包括用于控制光路中的光源在LED發(fā) 光二極管(12)與激光器(1)之間切換的第一電子開關(guān)(3)、第二 電子開關(guān)(14);其中第一電子開關(guān)(3)位于激光器(1)和第一分 光鏡(4)之間，第二電子開關(guān)(14)位于光學(xué)成像光源部分(28) 中的匯聚透鏡(13)和第一分光鏡(4)之間。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1和2所述的宏-微視場觀測的超分辨差動(dòng)共焦 顯微鏡，其特征在于還可以包括一個(gè)光瞳濾波器(26)，可以位于第 一電子開關(guān)(3)之前，也可以位于第一電子開關(guān)(3)之后，還可以放置在偏振分光鏡(5)和A/4玻片(6)之間或入/4玻片(6)和測 量物鏡(7)之間或偏振分光鏡(5)和第二分光鏡(9)之間或第二 分光鏡(9)和第三分光鏡(15)之間；還可以使用兩個(gè)相同的光瞳 濾波器，分別位于差動(dòng)共焦系統(tǒng)(25)中的第三分光鏡(15)與兩個(gè) 聚焦鏡之間；加入光瞳濾波器(26)是用于壓縮測量物鏡(7)的焦 深，提高定焦靈敏度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1和2所述的宏-微視場觀測的超分辨差動(dòng)共焦 顯微鏡，其特征在于還可以包括分別與第一探測器(18)、第二探 測器(21)相連的第一信號(hào)處理系統(tǒng)(23)、第二信號(hào)處理系統(tǒng)(22) 和一個(gè)數(shù)據(jù)處理計(jì)算機(jī)(24)，其中兩個(gè)信號(hào)處理系統(tǒng)(23、 22)接 收兩個(gè)探測器(18、21)的探測信號(hào)，經(jīng)過放大處理后，由計(jì)算機(jī)(24) 進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。
全文摘要
本發(fā)明屬于光學(xué)顯微成像及光學(xué)精密測量技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種兼有宏-微視場觀測的超分辨差動(dòng)共焦顯微鏡，主要包括激光器(1)、擴(kuò)束器(2)、分光鏡(4)、偏振分光鏡(5)、量程擴(kuò)展跟綜測量系統(tǒng)(6)、測量物鏡(7)、聚光鏡(16)和(19)以及針孔(17)、(20)和探測器(18)、(21)，還包括位于分光鏡反射方向反方向的LED發(fā)光二極管(12)，和位于分光鏡(9)的反射方向的CCD探測器(11)。本發(fā)明中的LED發(fā)光二極管和CCD探測器，對(duì)被測樣品的表面面型的進(jìn)行成像，來實(shí)現(xiàn)共焦顯微鏡的宏視場觀察，并采用差動(dòng)共焦顯微鏡的光路布置提高共焦顯微鏡的軸向分辨力。
文檔編號(hào)G02B21/00GK101498833SQ200910079328
公開日2009年8月5日 申請(qǐng)日期2009年3月6日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月6日
發(fā)明者允 王, 趙維謙, 邱麗榮 申請(qǐng)人:北京理工大學(xué)