專利名稱：正性光敏樹脂組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及正性光敏樹脂組合物。更具體地，本發(fā)明涉及具有優(yōu)異耐熱性和能夠提供高靈敏度和高分辨率精細(xì)圖案的正性光敏樹脂組合物。
背景技術(shù)：
近年來，由于半導(dǎo)體和液晶顯示設(shè)備趨于需要更高的集成度、更高的可信度(置信度)和更高的密度，研究人員已積極進(jìn)行對于使用具有高純度和可操作性的有機材料的研究。因此，半導(dǎo)體設(shè)備的表面保護層和層間絕緣層需要具有優(yōu)異耐熱性和優(yōu)異的電氣和機械特性的樹脂組合物。此外，為了滿足表面保護層與層間絕緣層更高集成度的需求，能夠形成高分辨率精細(xì)圖案的樹脂組合物已經(jīng)引起關(guān)注。使用樹脂組合物為表面保護層和層間絕緣層形成圖案是核心技術(shù)，其中表面保護層和層間絕緣層具有優(yōu)異耐熱性和優(yōu)異的電氣和機械特性以及能夠形成精細(xì)的高分辨率圖案，它允許超高集成半導(dǎo)體的產(chǎn)生。通過加入對聚酰胺聚合物具有光敏性的酯化醌二疊氮化物，或通過共價鍵合聚酰胺聚合物和醌二疊氮化物來制備傳統(tǒng)的正性光敏樹脂組合物。使用組合物的一般圖案形成方法包括將光敏樹脂組合物暴露于具有圖案化掩模的一定波長的光下。在暴露部分，醌二疊氮化合物發(fā)生化學(xué)變化轉(zhuǎn)化為羧酸。隨后，暴露層接觸到某種物質(zhì)(傳統(tǒng)上，堿性顯影水溶液)。包括轉(zhuǎn)化的羧酸的組合物部分增大了對堿性顯影液的溶解度，因此能夠選擇性地顯影。然后該圖案層被加熱以提供固化圖案。以使用表面保護層或?qū)娱g絕緣層技術(shù)的觀點來看，需要開發(fā)固化工藝后具有高耐熱性和優(yōu)異機械特性的組合物材料和具有高分辨率和高靈敏度的光特性的圖案材料。然而，為了改善保護層的功能，它應(yīng)該被設(shè)計用來提供較大量的芳香化合物、較高的聚合物分子量、較高的交聯(lián)度和較低的流動性，但為了改善光特性，它應(yīng)該被設(shè)計用來提供較少量的芳香化合物、較低的聚合物分子量、較低的交聯(lián)度和較高的流動性，因此不容易開發(fā)出滿足這種具沖突特性的材料。特別是，由于傳統(tǒng)的聚酰胺精細(xì)圖案特性與固化后的層特性成反比，改善光敏樹脂組合物的開發(fā)是有限的。此外，雖然可溶性聚酰亞胺可以提高機械層特性，但其由于封閉的環(huán)狀結(jié)構(gòu)而惡化了暴露光的波長透光率，所以最終降低了分辨率和靈敏度，并使得形成精細(xì)圖案的特性惡化。如上所示，傳統(tǒng)的光敏樹脂組合物仍然存在無法滿足更精細(xì)圖案的要求和對于高度集成的半導(dǎo)體設(shè)備改進(jìn)來說改善的機械特性要求的問題。因此，有必要開發(fā)能夠克服傳統(tǒng)材料的限制的新型光敏樹脂材料。

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問題本發(fā)明典型的實施方式提供了正性光敏樹脂組合物。
本發(fā)明另一實施方式提供了具有優(yōu)異耐熱性和能夠形成具有高靈敏度和高分辨率精細(xì)圖案的正性光敏樹脂。本發(fā)明進(jìn)一步的實施方式提供了使用光敏樹脂組合物制造光敏圖案的方法。本發(fā)明進(jìn)一步的實施方式提供了光敏樹脂層和使用正性光敏樹脂組合物制造的半導(dǎo)體電子元件。本發(fā)明實施方式并不限于上述技術(shù)目的，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以了解其他技術(shù)目的。技術(shù)方案根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式，提供的正性光敏樹脂組合物包括(A)具有下式1的聚酰胺聚合物，(B)酯化醌二疊氮化合物，(C)含酚基化合物和(D)溶劑。[化學(xué)式1]
權(quán)利要求
1. 一種正性光敏樹脂組合物，包括(A)由下式1表示的聚酰胺聚合物；(B)酯化醌二疊氮化合物；(C)含酚基化合物；和 ⑶溶劑；[化學(xué)式1]
2.根據(jù)權(quán)利要求1的正性光敏樹脂組合物，其中，基于100重量份的所述聚酰胺聚合物，包含1至50重量份的所述酯化醌二疊氮化合物，基于100重量份的所述聚酰胺聚合物，包含0. 1至30重量份的所述含酚基化合物，以及包含的所述溶劑和所述聚酰胺聚合物的重量比為20 80至90 10。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的正性光敏樹脂組合物，其中，制備所述聚酰胺的方法包括二胺單體與選自由四羧酸二酐、二羧酸酐、二羧酸、及其活性衍生物組成的組中的酸單體反應(yīng)以得到反應(yīng)產(chǎn)物；以及所述反應(yīng)產(chǎn)物與封端單體反應(yīng)，以將所述反應(yīng)產(chǎn)物的胺基轉(zhuǎn)化為酰胺基。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的正性光敏樹脂組合物，其中，所述二胺單體由X(NH2) 2表示，其中X 與化學(xué)式1中的&或)(2相同。
5.根據(jù)權(quán)利要求3的正性光敏樹脂組合物，其中，所述二胺單體包括非硅二胺單體和含硅二胺單體，所述非硅二胺單體由X(NH2)2表示，其中X與化學(xué)式1中的&或&相同。
6.根據(jù)權(quán)利要求3的正性光敏樹脂組合物，其中，所述酸單體是由Y(COOH)2表示的二羧酸單體，其中Y與化學(xué)式ι中的Y1或t相同。
7.根據(jù)權(quán)利要求3的正性光敏樹脂組合物，其中，所述酸單體由Y(C0K')2表示，其中 Y與化學(xué)式1中的Y1或ι相同，且K ‘是Y (COOH) 2與鹵素反應(yīng)所得的部分，或是Y (COOH) 2 與1-羥基-1，2，3-苯并三唑反應(yīng)所得的部分。
8.根據(jù)權(quán)利要求3的正性光敏樹脂組合物，其中，所述酸單體是由下式8表示的四羧酸酐[化學(xué)式8]
9.一種制作光敏圖案的方法，包括將根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項所述的正性光敏樹脂組合物涂覆在支撐基底上并將其干燥成為樹脂組合物層；將所述樹脂組合物層暴露；將暴露的所述樹脂組合物層用堿性顯影液顯影；以及將顯影的所述樹脂組合物層加熱。
10.一種使用根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項所述的正性光敏樹脂組合物制作的光敏樹脂層。
11.一種用于半導(dǎo)體的電子元件，包括根據(jù)權(quán)利要求10所述的光敏樹脂層。
全文摘要
本發(fā)明涉及正性光敏樹脂組合物，其包括(A)聚酰胺聚合物，(B)酯化醌二疊氮化合物，(C)含酚基化合物，和(D)溶劑。正性光敏樹脂組合物具有優(yōu)異的耐熱性，并能夠提供高靈敏度和高分辨率的精細(xì)圖案。
文檔編號G03F7/039GK102177469SQ200880131449
公開日2011年9月7日 申請日期2008年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月7日
發(fā)明者俞龍植, 李吉成, 李種和, 趙顯龍, 鄭斗瑛, 鄭知英, 鄭閔鞠 申請人:第一毛織株式會社