專利名稱：基板支撐裝置及利用該裝置的lcd單元密封圖案檢驗(yàn)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在檢驗(yàn)(examine)基板或者各種面板時(shí)，用于支撐或 對(duì)準(zhǔn)(align)基板或者各種面板的裝置。更具體地，本發(fā)明涉及一種通過利 用固定臺(tái)架(stage)和可移動(dòng)臺(tái)架來支撐或?qū)?zhǔn)基板或者各種面板的裝置， 所述可移動(dòng)臺(tái)架與所述固定臺(tái)架分離并且適于旋轉(zhuǎn)。
背景技術(shù)：
本領(lǐng)域所公知的是，各種電路板或面板制造工序中，多利用傳送式輸送 帶或者其它傳送裝置在各個(gè)工序之間傳送基板。而且，在各個(gè)工序開始之前， 各種裝置用于使傳送的基板位于準(zhǔn)確的位置。
而需要較高精度的半導(dǎo)體制造工序或者LCD面板制造工序中，基板的 準(zhǔn)確定位尤為重要。這里，LCD(液晶顯示器)是指用于顯示圖象的裝置。該 裝置包括兩個(gè)基板，該兩個(gè)基板相對(duì)，并且具有它們各自的電極；和液晶， 該液晶注入所述兩個(gè)基板之間，從而當(dāng)電壓施加在所述兩個(gè)電極上時(shí)，施加 電壓所形成的電場(chǎng)移動(dòng)液晶分子，并且變化光的透過率(transmittance)。
在此簡(jiǎn)單說明液晶面板的制造工序(又稱之為單元工序)。
單元工序包括關(guān)于其上排列有薄膜晶體管的陣列基板和其上形成有濾 色器的濾色器基板，沿同一方向配向(orient)液晶的配向工序；結(jié)合(bond) 兩個(gè)基板以維持預(yù)定間隙的單元間隙形成工序；單元切割工序；以及液晶注 入工序。
下面參照?qǐng)D1詳細(xì)說明所述各個(gè)單元工序。
在第一工序，即配向膜形成工序中，在具有為各個(gè)象素設(shè)置的薄膜晶體 管的陣列基板及與所述陣列基板的各個(gè)象素相應(yīng)地形成有紅色、綠色和藍(lán)色濾色器的濾色器基板上涂覆聚合體聚酰亞胺(polyimide)，以形成配向膜 (Sl)。在陣列基板及濾色器基板的整個(gè)表面上， 一般通過輥涂法(roll coating
method)以預(yù)定圖案印刷均一厚度的聚酰亞胺配向膜。之后，對(duì)所述兩個(gè)基
板進(jìn)行預(yù)干燥及烘干工序，以使所述配向膜硬化。
對(duì)其上具有硬化配向膜的上、下基板進(jìn)行第二單元工序，即研磨 (rubbing)工序(S2)。將所述硬化配向膜的表面用研磨布以均勻壓力和速
度進(jìn)行研磨，使配向膜表面上的聚合體鏈沿著預(yù)定方向?qū)?zhǔn)。所述研磨工序
是決定液晶初始排列方向的重要工序，可確保液晶被正常驅(qū)動(dòng)并具有均勻的
顯示特性。
在研磨 工序結(jié)束后，對(duì)經(jīng)過研磨的兩個(gè)基板進(jìn)行第三步，即密封圖案形 成、銀(Ag)涂布及襯墊粉(spacer)散布工序(S3)。對(duì)下基板即陣列基 板進(jìn)行密封圖案形成及銀涂布工序，而對(duì)上基板即濾色器基板進(jìn)行襯墊粉散 布工序?？蛇x擇地，對(duì)濾色器基板進(jìn)行密封圖案形成及銀涂布工序，而對(duì)陣 列基板進(jìn)行襯墊粉散布工序。液晶面板的密封圖案起著兩個(gè)作用 一是形成 用于注入液晶的間隙，二是防止注入的液晶外漏。在所述密封圖案形成工序 中，熱硬化性樹脂密封劑(sealant)用于在基板的邊緣形成所需圖案。這一 工序通過利用密封劑絲網(wǎng)印刷(screen printing)裝置的印網(wǎng)掩模法(screen mask method)或者利用密封劑分配裝置的分配法在基板上形成密封圖案。 近來，隨著基板的大型化，分配法成為主流。
然后，在形成密封圖案的陣列基板(濾色器基板)上進(jìn)行銀涂布工序。 在該工序中，為了電導(dǎo)通上、下基板，在陣列基板的預(yù)定位置上涂布預(yù)定量 的銀漿。
在所述陣列基板(濾色器基板)進(jìn)行密封圖案形成和銀涂布工序的過程 中，為了在濾色器基板(陣列基板)的作用區(qū)(active region)中形成單元間 隙，進(jìn)行在濾色器基板的整個(gè)表面以均勻的密度散布球狀襯墊粉的襯墊粉散布工序。襯墊粉散布方式有干法和濕法。多使用使襯墊粉充電，從而使襯墊 粉散布而不聚集在一起的干法工序。近來，為了維持單元間隙，建議在制造 濾色器基板時(shí)，在所述濾色器基板上形成彼此具有預(yù)定間距的圖案化襯墊 粉。在該種情況下，可以省略襯墊粉散布工序。
然后，在所述陣列基板(或?yàn)V色器基板)完成密封圖案形成及銀涂布工 序，并且所述濾色器基板(或陣列基板)完成襯墊粉散布工序之后，進(jìn)行第
四個(gè)工序——結(jié)合工序(S4)。
為了彼此結(jié)合陣列基板和濾色器基板，需要把上基板的濾色器圖案和下 基板的象素精確地對(duì)準(zhǔn)(結(jié)合對(duì)準(zhǔn))。所述結(jié)合對(duì)準(zhǔn)度由設(shè)計(jì)各基板時(shí)為各 基板設(shè)置的余裕(margin)決定。結(jié)合余裕依賴于濾色器基板上的黑色矩陣 (blackmatrix)和陣列基板上象素電極之間的重疊程度， 一般要求幾個(gè)微米 的精密度。如果超過兩個(gè)基板的結(jié)合對(duì)準(zhǔn)誤差范圍，就會(huì)造成漏光，無法獲 得液晶單元驅(qū)動(dòng)時(shí)希望的畫質(zhì)特性。經(jīng)過結(jié)合對(duì)準(zhǔn)，使所述上、下基板彼此 結(jié)合，以形成圓面板。對(duì)所述圓面板施加均勻壓力，同時(shí)對(duì)所述密封圖案加 熱，從而在維持恒定的單元間隙的情況下，使所述密封圖案硬化。
然后，進(jìn)行切割圓面板的單元切割工序(S5)。該工序是將經(jīng)過前一步 驟制造出來的圓面板切成單位單元的工序。單元切割工序包括利用由比玻璃 基板硬度高的鉆石材料或者硬金屬制成的切割輪在圓面板表面上標(biāo)記切割 線的劃線(scribing)工序和向所述切割線施加力而使面板破斷分離的破斷 (breaking)工序。
然后，對(duì)通過所述切割工序切割成單位單元的液晶面板進(jìn)行液晶注入工 序(S6)。在該工序中，在將具有幾個(gè)微米單元間隙的液晶面板內(nèi)部抽真空 后，利用毛細(xì)現(xiàn)象和大氣壓差向所述液晶面板內(nèi)部注入液晶。結(jié)束液晶注入 后，用密封劑密封所述注入液晶的注入口，并用紫外線照射密封劑，以使其 硬化。然后，進(jìn)行除去液晶面板襯墊上短路棒的研磨(grinding)工序，并檢 驗(yàn)液晶面板，以判斷其是否合格(S7)，從而完成制造液晶面板的所有工序。
如圖2所示，近來隨著基板l的大型化，經(jīng)過如上制造工序的LCD單 元，趨向于在同一個(gè)基板1內(nèi)具有不同大小的至少兩款密封圖案2、 3的組 合。更具體地，為了提高基板1的面積利用效率，在基板1上形成大型密封 圖案2作為主圖案，并在其余區(qū)域上形成中型或小型密封圖案3。
檢驗(yàn)和補(bǔ)修形成有密封圖案2的基板的裝置是密封劑分配裝置。圖3表 示具有密封劑分配器的密封劑分配裝置的部分結(jié)構(gòu)。
如圖3所示，要形成密封圖案2和3的陣列基板1位于所述密封劑分配 裝置7的臺(tái)架4上。然后，對(duì)位于所述臺(tái)架4上的內(nèi)部填滿密封劑的密封劑 分配器5進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)和定位，以開始形成密封圖案2和3。并通過已被錄入所 述密封劑分配裝置7內(nèi)的密封圖案構(gòu)圖程序，沿著基板1的邊緣形成密封圖 案2和3。
所述密封劑分配裝置7上設(shè)有用于檢查形成在所述基板1上的密封圖案 2和3的斷線及測(cè)量密封圖案2和3的線寬的攝像機(jī)(camera) 6。在形成密 封圖案2和3后，攝像機(jī)6沿著所述已形成的密封圖案2和3移動(dòng)，以檢査 有無密封圖案2和3的斷線。而且，對(duì)于根據(jù)各種樣式在不同位置指定的多 個(gè)檢驗(yàn)點(diǎn)，通過所述攝像機(jī)6測(cè)量密封圖案2和3的線寬。
此時(shí)，在密封劑分配裝置7上錄入各種樣式密封圖案2和3的可接受的 線寬數(shù)據(jù)，因此可以與所測(cè)量線寬數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。如果比較結(jié)果超過誤差范 圍，就發(fā)出警報(bào)，例如告知形成的密封圖案2和3有缺陷。
如果密封圖案2和3發(fā)生斷線，結(jié)合后會(huì)發(fā)生液晶外漏的不良現(xiàn)象，而 密封圖案2和3的線寬超過誤差范圍，會(huì)導(dǎo)致液晶注入量的變化和單元間隙 的變化。因此，液晶厚度變得不均勻，從而導(dǎo)致顯示質(zhì)量下降。
所以，這樣的檢驗(yàn)和補(bǔ)修工序是非常重要的。而為了提高檢驗(yàn)精密度，基板1的對(duì)準(zhǔn)變得尤為重要。
但是，隨著基板或面板的大型化，將通過機(jī)械手傳送并安裝到臺(tái)架4上 的基板1定位于準(zhǔn)確的對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)(alignment point)變得越來越困難。因此需 要調(diào)整臺(tái)架4或者利用調(diào)節(jié)裝置細(xì)致地調(diào)節(jié)大型基板。但是，調(diào)整臺(tái)架4或 者利用調(diào)節(jié)裝置細(xì)致地調(diào)節(jié)大型基板需要大量的動(dòng)力。而且，調(diào)節(jié)整個(gè)基板 l需要很長(zhǎng)的時(shí)間，使整體工序時(shí)間變長(zhǎng)。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的是提供一種通過使用放 置基板的分離的臺(tái)架而能夠容易地對(duì)準(zhǔn)基板的裝置。
本發(fā)明的目的還在于提供一種能夠用較小動(dòng)力對(duì)準(zhǔn)基板的基板支撐裝置。
本發(fā)明還提供一種具有簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的基板對(duì)準(zhǔn)裝置，其目的在于最大限度 地提高作業(yè)場(chǎng)地的空間利用效率。
本發(fā)明的目的還在于提供一種能夠在短時(shí)間內(nèi)對(duì)準(zhǔn)基板以縮短整體工 序時(shí)間的裝置。
本發(fā)明的目的還在于提供一種能夠縮短整體工序時(shí)間以降低工序成本 的裝置。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種基板支撐裝置，該基板支撐裝置用于
在工序過程中安裝和支撐基板，該基板支撐裝置包括可移動(dòng)臺(tái)架，該可移 動(dòng)臺(tái)架設(shè)置有用于將基板附著于上表面的吸嘴(drawing nozzle)，并且適于 以預(yù)定角度旋轉(zhuǎn)；固定臺(tái)架，該固定臺(tái)架與所述可移動(dòng)臺(tái)架間隔開，并且設(shè) 置有用于向上噴射空氣的浮嘴(floating nozzle)和用于向下抽吸空氣的吸嘴； 以及驅(qū)動(dòng)裝置，該驅(qū)動(dòng)裝置結(jié)合于所述可移動(dòng)臺(tái)架的一側(cè)，用于旋轉(zhuǎn)所述可 移動(dòng)臺(tái)架。所述驅(qū)動(dòng)裝置優(yōu)選包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)；與所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)相結(jié)合的傳遞軸； 與所述傳遞軸相結(jié)合并且適于在所述傳遞軸的縱向方向上移動(dòng)的可移動(dòng)體； 以及結(jié)合于所述可移動(dòng)體的滑輪(sliding roller),并且所述可移動(dòng)臺(tái)架包括 具有用于容納所述滑輪的插槽的突出部。因此，利用所述驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)力 可旋轉(zhuǎn)所述可移動(dòng)臺(tái)架。
而且，所述可移動(dòng)臺(tái)架優(yōu)選包括位于底面上的引導(dǎo)件，用來引導(dǎo)所述可 移動(dòng)臺(tái)架的旋轉(zhuǎn)，使可移動(dòng)臺(tái)架易于旋轉(zhuǎn)。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種LCD單元密封圖案檢驗(yàn)裝置，該裝 置包括所述基板支撐裝置和門架單元(gantryimit)，該門架單元包括位于 所述基板支撐裝置兩側(cè)的支撐臺(tái)(supportplatform);位于所述基板支撐裝置 上方以連接所述支撐臺(tái)的橋體；以及結(jié)合于所述橋體，用于檢驗(yàn)和補(bǔ)修基板 的密封圖案的修正裝置。這種結(jié)構(gòu)有利于對(duì)準(zhǔn)基板。
本發(fā)明的基板支撐裝置及利用該裝置的LCD單元密封圖案檢驗(yàn)裝置， 通過利用用于安裝基板的分離的臺(tái)架，能夠容易地對(duì)準(zhǔn)基板。
而且，本發(fā)明只用分離的臺(tái)架對(duì)準(zhǔn)基板，因此消耗少量的動(dòng)力。
而且，分離的臺(tái)架通過專用動(dòng)力源來移動(dòng)。這簡(jiǎn)化了對(duì)準(zhǔn)基板的結(jié)構(gòu)。
而且，本發(fā)明僅調(diào)節(jié)分離的臺(tái)架，從而在短時(shí)間內(nèi)對(duì)準(zhǔn)基板，因此能夠 縮短整體工序時(shí)間。
而且，工序時(shí)間的縮短降低了工序成本。


通過下面結(jié)合附圖的詳細(xì)說明，本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn) 將顯而易見，在附圖中
圖1表示LCD單元的加工工序。 圖2是大型LCD基板的俯視圖。7/10頁
圖3是檢驗(yàn)大型LCD基板的檢驗(yàn)裝置。
圖4是本發(fā)明的基板支撐裝置的分解透視圖。
圖5是本發(fā)明的可移動(dòng)臺(tái)架和固定臺(tái)架的俯視圖。
圖6是本發(fā)明的驅(qū)動(dòng)裝置的放大透視圖。
圖7至圖9表示本發(fā)明的基板支撐裝置的操作。
圖10是本發(fā)明的結(jié)合有基板支撐裝置的LCD單元密封圖案檢驗(yàn)裝置的 透視圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的典型實(shí)施方式。
圖4是本發(fā)明的基板支撐裝置的分解透視圖。如圖4所示，本發(fā)明的基 板支撐裝置包括基座IO、可移動(dòng)臺(tái)架20、固定臺(tái)架30和驅(qū)動(dòng)裝置40。
基座10具有與鋼格(steel lattice)組合的剛性結(jié)構(gòu)?；?0包括平臺(tái) (surface plate)和位于平臺(tái)中以吸收振動(dòng)的防振單元(未圖示)。優(yōu)選地， 該平臺(tái)為花岡巖(granite)平臺(tái)，理由是花岡巖平臺(tái)的熱膨脹率比金屬(如 鋼)的熱膨脹率小，而且花岡巖平臺(tái)由強(qiáng)度大的花崗巖制成，所以，花岡巖 平臺(tái)可以承受工序過程中所產(chǎn)生的熱或者外部沖擊。
圖5是可移動(dòng)臺(tái)架和固定臺(tái)架的俯視圖。
如圖5所示，用于安裝基板(未圖示)的可移動(dòng)臺(tái)架20結(jié)合于所述基 座10的上表面，并且適于以預(yù)定角度旋轉(zhuǎn)?？梢苿?dòng)臺(tái)架20內(nèi)部安裝有將基 板吸附于上表面的吸嘴21。
可移動(dòng)臺(tái)架20具有多個(gè)形成于其上表面并且沿著與旋轉(zhuǎn)方向相同的方 向延伸的銷孔22，從而當(dāng)可移動(dòng)臺(tái)架20旋轉(zhuǎn)時(shí)，銷孔22引導(dǎo)安裝在底面上 的銷23。所述銷23被設(shè)置成可上下移動(dòng)，從而當(dāng)基板裝載在基板支撐裝置 上時(shí)，機(jī)械手能夠在對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)定位基板，并且隨后移開。而且，可移動(dòng)臺(tái)架20具有安裝在其中央部底面上的用來容納將在后面 描述的驅(qū)動(dòng)裝置的滑輪的突出部24。突出部24具有沿一方向延伸的插槽25。 這用于在可移動(dòng)臺(tái)架20旋轉(zhuǎn)時(shí)防止滑輪脫離，并使可移動(dòng)臺(tái)架易于旋轉(zhuǎn)。
位于所述基座10和所述可移動(dòng)臺(tái)架20之間，用來引導(dǎo)可移動(dòng)臺(tái)架20 旋轉(zhuǎn)的三個(gè)引導(dǎo)件26定位為R引導(dǎo)件。每個(gè)R引導(dǎo)件包括弧形R軌道26a 和適于沿著R軌道26a移動(dòng)的R滑塊26b。
優(yōu)選地，為了能夠細(xì)致地調(diào)節(jié)可移動(dòng)臺(tái)架20的旋轉(zhuǎn)，安裝至少一個(gè)R 引導(dǎo)件。而且，所配置的三個(gè)引導(dǎo)件26的R軌道26a具有同一圓心，以使 所述可移動(dòng)臺(tái)架20穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)。
固定臺(tái)架30結(jié)合在所述基座10的上表面，并且與所述可移動(dòng)臺(tái)架20 間隔開，以確保可移動(dòng)臺(tái)架20的旋轉(zhuǎn)空間，而且防止可移動(dòng)臺(tái)架20在旋轉(zhuǎn) 過程中與固定臺(tái)架30發(fā)生碰撞。
固定臺(tái)架30配有用于向上噴射空氣的浮嘴31和用于向下抽吸空氣的吸 嘴32。具體地，所述浮嘴31向上噴射空氣，從而當(dāng)將基板裝載至裝置，并 進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)時(shí)，基板能夠漂浮?；鍖?duì)準(zhǔn)結(jié)束之后，吸嘴32吸入空氣，將基 板附著于固定臺(tái)架30的上表面。
雖然上述浮嘴31和吸嘴32在本實(shí)施方式當(dāng)中是各自形成的，但是也可 以使用能夠同時(shí)吸入空氣和噴射空氣的噴嘴。
而且，固定臺(tái)架30的多個(gè)區(qū)域上也和可移動(dòng)臺(tái)架20 —樣地形成有用來 容納從下部突出的銷33的銷孔34。然而，由于固定臺(tái)架30不旋轉(zhuǎn)，所以所 述銷孔34不必延伸。
圖6是本發(fā)明的驅(qū)動(dòng)裝置的放大透視圖。
如圖6所示，驅(qū)動(dòng)裝置40結(jié)合于所述基座10的前表面，包括驅(qū)動(dòng)電 機(jī)41;傳遞軸42，該傳遞軸42適于傳送驅(qū)動(dòng)電機(jī)41的旋轉(zhuǎn)力并具有螺紋； 可移動(dòng)體43，該可移動(dòng)體43與傳遞軸42結(jié)合并適于隨著傳遞軸42的旋轉(zhuǎn)沿著所述螺紋移動(dòng)；和滑輪44，該滑輪44結(jié)合于所述可移動(dòng)體43的上部并 適于空轉(zhuǎn)。滑輪44容納于所述突出部24的插槽25內(nèi)，并適于將從可移動(dòng) 體43的直線運(yùn)動(dòng)獲得的力傳送到突出部24，可移動(dòng)體43由驅(qū)動(dòng)電機(jī)41的 驅(qū)動(dòng)力驅(qū)動(dòng)。
現(xiàn)在說明本發(fā)明的基板支承裝置的功能及操作。
圖7至圖9表示本發(fā)明的基板支撐裝置的操作。如圖7所示，機(jī)械手100 將基板1放置在從可移動(dòng)臺(tái)架20和固定臺(tái)架30的上部突出的銷23和33上， 之后回到其原始位置。
之后，所述銷23和33降到下方，從而使基板1安裝在可移動(dòng)臺(tái)架20 和固定臺(tái)架30的上表面上?？梢苿?dòng)臺(tái)架20的吸嘴21吸入空氣，從而將基 板1附著到可移動(dòng)臺(tái)架20的上表面。固定臺(tái)架30的浮嘴31向上噴射空氣， 使基板1漂浮。因此，通過旋轉(zhuǎn)可移動(dòng)臺(tái)架20就能夠簡(jiǎn)單地讓整個(gè)基板進(jìn) 行旋轉(zhuǎn)。
然后，如圖8和圖9所示，驅(qū)動(dòng)電機(jī)41移動(dòng)可移動(dòng)體43，并且從可移 動(dòng)體43的直線運(yùn)動(dòng)所獲得的力通過結(jié)合到上部的滑輪44傳遞到突出部24。 所述突出部24的插槽25容納所述滑輪44，而插槽25的內(nèi)表面和滑輪44 的外表面之間的滑動(dòng)摩擦傳遞力。插槽25沿一方向延伸的事實(shí)確保了滑輪 44可以不脫離插槽25而傳遞恒定的力。
而且，突出部24與可移動(dòng)臺(tái)架20結(jié)合，可移動(dòng)臺(tái)架20與安裝在底面 上的引導(dǎo)件26結(jié)合，因此當(dāng)受到一個(gè)方向的力時(shí)，突出部24及可移動(dòng)臺(tái)架 20不進(jìn)行整體平移，而是被引導(dǎo)件26引導(dǎo)而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)?？梢苿?dòng)臺(tái)架20的該 種旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)附著在其上表面的基板1進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
在通過上述方式將基板1對(duì)準(zhǔn)并定位在相應(yīng)工序的對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)之后，固定臺(tái) 架30的吸嘴起動(dòng)而把基板1完全附著在固定臺(tái)架30的上表面，從而進(jìn)行下 面的檢驗(yàn)和補(bǔ)修工序。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，本發(fā)明提供了一種結(jié)合有上述基板支撐裝置的
LCD單元檢驗(yàn)裝置。圖IO是簡(jiǎn)要地表示本發(fā)明的檢驗(yàn)裝置的透視圖。如圖 IO所示，LCD單元檢驗(yàn)裝置包括基板支撐裝置50和門架單元60，該門架單 元60包括位于基板支撐裝置50兩側(cè)的兩個(gè)支撐臺(tái)61和62以及連接所述兩 個(gè)支撐臺(tái)61和62的橋體63。
所述門架單元60具備軌道型線性導(dǎo)軌及電機(jī)。而且，橋體63上結(jié)合有 用來檢驗(yàn)及修補(bǔ)裝載至基板支撐裝置60上部的基板的修正裝置64。
當(dāng)形成有密封圖案的LCD單元裝載在LCD單元檢驗(yàn)裝置的基板支撐裝 置50的上部時(shí)，為了對(duì)準(zhǔn)LCD單元以使其與修正裝置64的初始檢驗(yàn)點(diǎn)相 對(duì)應(yīng)，利用如上所述方法操作基板支撐裝置50。然后，門架單元60的修正 裝置64檢驗(yàn)密封圖案并補(bǔ)修缺陷部位。
雖然出于說明的目的，對(duì)本發(fā)明的幾個(gè)典型實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但是 本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，在不脫離所附權(quán)利要求所公開的本發(fā)明的范圍和 精神的前提下，各種修改、增加和替換都是可能的。
工業(yè)實(shí)用性
本發(fā)明的基板支撐裝置及利用該裝置的LCD單元密封圖案檢驗(yàn)裝置， 通過利用用于安裝基板的分離的臺(tái)架，可以容易地對(duì)準(zhǔn)基板。并且只用分離 的臺(tái)架對(duì)準(zhǔn)基板，因此消耗少量的動(dòng)力。
而且，分離的臺(tái)架通過專用動(dòng)力源來移動(dòng)。這簡(jiǎn)化了用于對(duì)準(zhǔn)基板的結(jié) 構(gòu)。并且只調(diào)節(jié)分離的臺(tái)架，從而在短時(shí)間內(nèi)對(duì)準(zhǔn)基板，因此能達(dá)到縮短整 體工序時(shí)間的效果。
權(quán)利要求
1.一種基板支撐裝置，該基板支撐裝置用于在工序過程中安裝和支撐基板，該基板支撐裝置包括可移動(dòng)臺(tái)架，該可移動(dòng)臺(tái)架設(shè)置有用于將基板附著于上表面的吸嘴，并且適于以預(yù)定角度旋轉(zhuǎn)；固定臺(tái)架，該固定臺(tái)架與所述可移動(dòng)臺(tái)架間隔開，并且設(shè)置有用于向上噴射空氣的浮嘴和用于向下抽吸空氣的吸嘴；以及驅(qū)動(dòng)裝置，該驅(qū)動(dòng)裝置結(jié)合于所述可移動(dòng)臺(tái)架，用于旋轉(zhuǎn)所述可移動(dòng)臺(tái)架。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板支撐裝置，其中，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括驅(qū) 動(dòng)電機(jī)；與所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)相結(jié)合的傳遞軸；與所述傳遞軸相結(jié)合，并且適于 在所述傳遞軸的縱向方向上移動(dòng)的可移動(dòng)體；以及結(jié)合于所述可移動(dòng)體的滑 輪，并且所述可移動(dòng)臺(tái)架包括具有用于容納所述滑輪的插槽的突出部。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支撐裝置，其中，所述可移動(dòng)臺(tái)架包括位 于底面上的引導(dǎo)件，用于引導(dǎo)所述可移動(dòng)臺(tái)架的旋轉(zhuǎn)。
4. 一種LCD單元密封圖案檢驗(yàn)裝置，該檢驗(yàn)裝置包括 權(quán)利要求1至3中任何一項(xiàng)所述的基板支撐裝置；以及門架單元，該門架單元包括支撐臺(tái)，該支撐臺(tái)位于所述基板支撐裝置 的兩側(cè)；橋體，該橋體位于所述基板支撐裝置的上方，用于連接所述支撐臺(tái)； 以及修正裝置，該修正裝置結(jié)合于所述橋體，用于檢驗(yàn)和補(bǔ)修基板的密封圖 案。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種基板支撐裝置及利用該裝置的LCD單元密封圖案檢驗(yàn)裝置。該基板支撐裝置包括可移動(dòng)臺(tái)架，其設(shè)置有用于將基板附著于上表面的吸嘴，并且適于以預(yù)定角度旋轉(zhuǎn)；固定臺(tái)架，其與可移動(dòng)臺(tái)架間隔開，并且設(shè)置有用于向上噴射空氣的浮嘴和用于向下抽吸空氣的吸嘴；和驅(qū)動(dòng)裝置，其結(jié)合于可移動(dòng)臺(tái)架，用于旋轉(zhuǎn)可移動(dòng)臺(tái)架。LCD單元密封圖案檢驗(yàn)裝置包括基板支撐裝置及門架單元，其中門架單元包括支撐臺(tái)，其位于基板支撐裝置兩側(cè)；橋體，其位于基板支撐裝置的上方，用于連接支撐臺(tái)；和修正裝置，其結(jié)合于橋體，用于檢驗(yàn)和補(bǔ)修基板密封圖案?；逯窝b置及利用該裝置的LCD單元密封圖案檢驗(yàn)裝置通過利用用于安裝基板的分離的臺(tái)架，能夠容易地對(duì)準(zhǔn)基板。
文檔編號(hào)G02F1/1339GK101617266SQ200880005399
公開日2009年12月30日 申請(qǐng)日期2008年3月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月28日
發(fā)明者吳龍喆, 李亨培 申請(qǐng)人:株式會(huì)社Snu精密