專利名稱：一種激光共聚焦顯微系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種激光共聚焦顯微系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
激光共聚焦顯微系統(tǒng)是激光微細(xì)加工設(shè)備用的顯微觀察和對準(zhǔn)系統(tǒng)。此系 統(tǒng)還可以將激光整形并聚焦到指示區(qū)域?，F(xiàn)有技術(shù)激光共聚焦顯微系統(tǒng)采用激 光引入光軸與觀察顯微物鏡同軸光路，其總系統(tǒng)的光路長度較長，大于觀察顯 微系統(tǒng)長度，重心較高，導(dǎo)致外界與運(yùn)動部件的微量震動非常容易使引入的激 光光軸產(chǎn)生偏差，而影響了微細(xì)加工的精度。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是，提供一種激光共聚焦顯微系統(tǒng)，能夠提高激 光微細(xì)加工的精度。
為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種激光共聚焦顯微系統(tǒng)，包括顯微 成像部分和激光引入部分，所述顯微成像部分具有第一光軸，所述激光引入部 分具有第二光軸。所述第一光軸與第二光軸平行，于所述第二光軸上設(shè)置有第 一反射鏡，于所述第一光軸上設(shè)置有合束鏡，所述第二光軸通過所述第一反射 鏡和所述合束鏡與所述第 一光軸匯合。
顯微成像部分第 一光軸與第二光軸平行設(shè)置后，與現(xiàn)有技術(shù)的同軸設(shè)置相 比，可以使激光共聚焦顯微系統(tǒng)的光軸長度大大減短，并且可以使該系統(tǒng)的結(jié) 構(gòu)更加緊湊和穩(wěn)定，從而提高微細(xì)加工的精度。


圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的激光共聚焦顯微系統(tǒng)的主視示意圖； 圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的顯微鏡成像部分的側(cè)視示意圖； 圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的激光引入部分的側(cè)視示意圖。
具體實(shí)施例方式
為了使本發(fā)明要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案及有益效果更加清楚明白，以 下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述 的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
請參閱圖1和圖2，本發(fā)明實(shí)施例提供一種激光共聚焦顯微系統(tǒng)，包括顯 微成像部分1和激光引入部分2，顯微成像部分1具有第一光軸10，激光引入 部分2具有第二光軸20,第一光軸10與第二光軸20平行。于第二光軸20上 設(shè)置有第一反射鏡21，于第一光軸IO上設(shè)置有合束鏡12，第二光軸20通過第 一反射鏡21和合束鏡12與第一光軸10匯合。
具體地，上述顯微成像部分l包括依次同光軸設(shè)置的顯微物鏡11、合束鏡 12、第一結(jié)像鏡13、第二反射鏡14和成像面15。,力現(xiàn)察顯微物面3上的攜帶 物面信息的光線進(jìn)入顯微物鏡ll后，穿過合束鏡12,被第一結(jié)像鏡13聚焦， 經(jīng)第二反射鏡14轉(zhuǎn)折反射至成像面15，用戶即可從成像面15觀察顯微物面。
請結(jié)合圖l和圖3，激光引入部分2包括耦合鏡22、可變狹縫23、第一反 射鏡21和第二結(jié)像鏡24,其中，耦合鏡22、可變狹縫23和第一反射鏡21依 次同光軸連接，經(jīng)第一反射鏡21改變光路角度后，第一反射鏡21、第二結(jié)像 鏡24和合束鏡12也依次同光軸設(shè)置。引入的激光穿過耦合鏡22后，經(jīng)過可變 狹縫23以調(diào)節(jié)激光照射寬度，并被第一反射鏡21轉(zhuǎn)折反射，反射光線經(jīng)第二 結(jié)像鏡24聚焦后，其第二光軸20在合束鏡12處與第一光軸IO匯合，從而激 光引入部分2的光線經(jīng)合束鏡12反射后，進(jìn)入顯微物鏡ll,到達(dá)顯微物面3。
此外，于顯微成像部分1中的第一結(jié)像鏡13與合束鏡12之間設(shè)置同光軸 的第三反射鏡16，用于引入反射照明部分4。該反射照明部分4包括依次設(shè)置的反射光源41、第一透鏡42、第四反射鏡43和第二透鏡44。反射光源41穿 過第一透鏡42聚焦，經(jīng)第四反射鏡43反射后，被第二透鏡44聚焦，聚焦后的 光線照射于第三反射鏡16上。這樣，反射照明部分4將反射光源41引入顯微 成像部分l，再通過顯樣i物鏡11形成同軸反射照明，用以對顯《效物面3進(jìn)行照 明。
于激光引入部分2的耦合鏡22處還引入了光斑指示部分5,該光斑指示部 分5包括依次同光軸設(shè)置的指示光源51、第三透鏡52、第一球面鏡53和第二 球面鏡54。指示光源51發(fā)出的光線經(jīng)過第三透鏡52、第一球面鏡53和第二球 面鏡54后聚焦，并被耦合鏡22反射，使光斑指示部分5的光軸與激光引入部 分2的光軸重合。這樣，激光引入部分2的光線除了包含了激光還有光斑指示 光，從而混合光線能夠在顯微物面3上利用光斑指示光準(zhǔn)確定位激光作用位置。
顯微物面3上相對顯微物鏡11的另一側(cè)還包括透射照明部分6，該透射照 明部分6包括依次設(shè)置的透射光源61、非球面透鏡62、第一球面鏡63、第二 球面鏡64、第五反射鏡65和聚焦鏡66。透射光源61照射于非球面透鏡62后， 穿過第一球面鏡63、第二球面鏡64被聚焦并照射于第五反射鏡65，經(jīng)第五反 射鏡65反射后光線照射于聚焦鏡66聚焦，最后均勻地照明顯微物面3，給顯 微系統(tǒng)提供透射照明。
上述反射光源41、指示光源51、透射光源61均可采用波長較短的紫外光， 以獲得更高分辨率的顯微圖像，從而進(jìn)一步提高激光微細(xì)加工的精度。
顯微成像部分1第一光軸10與第二光軸20平行設(shè)置后，與現(xiàn)有技術(shù)的同 軸設(shè)置相比，可以使激光共聚焦顯微系統(tǒng)的光軸長度大大減短，并且可以使該 系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)更加緊湊和穩(wěn)定，從而提高微細(xì)加工的精度。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā) 明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明 的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1、一種激光共聚焦顯微系統(tǒng)，包括顯微成像部分和激光引入部分，所述顯微成像部分具有第一光軸，所述激光引入部分具有第二光軸，其特征在于所述第一光軸與第二光軸平行，于所述第二光軸上設(shè)置有第一反射鏡，于所述第一光軸上設(shè)置有合束鏡，所述第二光軸通過所述第一反射鏡和所述合束鏡與所述第一光軸匯合。
2、 如權(quán)利要求1所述的激光共聚焦顯微系統(tǒng)，其特征在于:.所述顯微成像 部分還包括用于觀測顯微物面的顯微物鏡、用于光線聚焦的第一結(jié)像鏡、用于 將聚焦光線反射的第二反射鏡和用于接收反射光線并成像的成像面，所述顯微 物鏡、所述合束鏡、所述第一結(jié)像鏡和第二反射鏡依次同光軸設(shè)置。
3、 如權(quán)利要求2所述的激光共聚焦顯微系統(tǒng)，其特征在于所述激光共聚 焦顯微系統(tǒng)還包括反射照明部分，所述反射照明部分包括依次設(shè)置的反射光源、 將反射光線聚焦的第一透鏡、將聚焦光線反射的第四反射鏡和將反射光線聚焦 的第二透鏡，于所述第一結(jié)像鏡與合束鏡之間設(shè)置有用于接收穿過所述第二透 鏡的聚焦光線的第三反射鏡，所述第三反射鏡位于所述第一光軸上。
4、 如權(quán)利要求3所述的激光共聚焦顯微系統(tǒng)，其特征在于所述反射光源 為紫外光。
5、 如權(quán)利要求1所述的激光共聚焦顯微系統(tǒng)，其特征在于所述激光引入 部分包括用于接收引入激光的耦合鏡、用于調(diào)節(jié)激光照射寬度的可變狹縫、用 于將調(diào)節(jié)后的激光反射的第一反射鏡和用于將反射激光聚焦的第二結(jié)像鏡，所 述耦合鏡、可變狹縫和第一反射鏡依次同光軸設(shè)置，所述第一反射鏡、第二結(jié) 像鏡和合束鏡依次同光軸設(shè)置。
6、 如權(quán)利要求5所述的激光共聚焦顯微系統(tǒng)，其特征在于所述激光引入 部分還包括光斑指示部分，所述光斑指示部分包括指示光源、接收指示光線并 將指示光線聚集的第三透鏡、第一球面鏡和第二球面鏡，所述指示光源、第三 透鏡、第一球面鏡、第二球面鏡和還可用于將聚焦后的指示光線反射至所述第二光軸的所述耦合鏡依次同光軸設(shè)置。
7、 如權(quán)利要求6所述的激光共聚焦顯微系統(tǒng)，其特征在于所述指示光源 為紫外光。
8、 如權(quán)利要求1所述的激光共聚焦顯微系統(tǒng)，其特征在于所述透射照明 部分，所述透射照明部分包括透射光源、接收所述透射光源的并將光線聚焦的 非球面透鏡、第一球面4竟、第二球面鏡、用于將聚焦光線反射的第五反射鏡和 用于將反射光線聚焦的聚焦鏡，所述透射光源、非球面透鏡、第一球面鏡、第 二球面鏡、第五反射4竟同光軸設(shè)置，所述第五反射鏡和聚焦鏡設(shè)置于所述第一 光軸上，且位于所述顯樣t物面的下側(cè)。
9、 如權(quán)利要求8所述的激光共聚焦顯微系統(tǒng)，其特征在于所述透射光源 為紫外光。
全文摘要
本發(fā)明提供一種激光共聚焦顯微系統(tǒng)，包括顯微成像部分和激光引入部分，顯微成像部分具有第一光軸，激光引入部分具有第二光軸。第一光軸與第二光軸平行，于第二光軸上設(shè)置有第一反射鏡，于第一光軸上設(shè)置有合束鏡，第二光軸通過第一反射鏡和合束鏡與第一光軸匯合。顯微成像部分第一光軸與第二光軸平行設(shè)置后，與現(xiàn)有技術(shù)的同軸設(shè)置相比，可以使激光共聚焦顯微系統(tǒng)的光軸長度大大減短，并且可以使該系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)更加緊湊和穩(wěn)定，從而提高微細(xì)加工的精度。
文檔編號G02B17/08GK101614867SQ20081006803
公開日2009年12月30日 申請日期2008年6月25日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月25日
發(fā)明者宋體涵 申請人:清溢精密光電(深圳)有限公司