專利名稱：透鏡陣列的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及利用電潤(rùn)濕效應(yīng)(電毛細(xì)管現(xiàn)象)的透鏡陣列。
背景技術(shù)：
近來(lái)，利用電潤(rùn)濕效應(yīng)(dectrowetting effect)的光學(xué)元件的發(fā)展已經(jīng)取得了進(jìn)步。電潤(rùn)濕效應(yīng)是這樣的現(xiàn)象，其中當(dāng)在導(dǎo)電液體和電極之間施加電壓時(shí)，電極表面和液體之間的固液界面上的能量發(fā)生變化，并且液體表面的形狀相應(yīng)地變化。
圖14的部分A和圖14的部分B的原理解了電潤(rùn)濕效應(yīng)。如圖14的部分A所示，絕緣膜2形成在電極1的表面上，并且電解液的液滴3設(shè)置在絕緣膜2上。絕緣膜2的表面經(jīng)過(guò)憎水處理(water repellent finishing )。在圖14的部分A所示的無(wú)電壓狀態(tài)下，絕緣膜2的表面和液滴3之間的相互作用能低，并且接觸角eo大。這里，接觸角eo是絕緣膜2的表面與液滴3的切線之間的角度，并取決于諸如液滴3的表面張力和絕緣膜2的表面能量的特性。
另一方面，如圖14的部分B所示，當(dāng)電極1和液滴3之間施加預(yù)定電壓時(shí)，液滴3中的電解離子聚集在絕緣膜2的表面，從而雙電層(charge doublelayer)的電荷量發(fā)生變化，并且誘導(dǎo)液滴3的表面張力的變化。這樣的現(xiàn)象
就是電潤(rùn)濕效應(yīng)，并且液滴3的接觸角ev根據(jù)施加電壓的大小而變化。換言之，在圖14的部分B中，接觸角ev可以表示成電壓V的函數(shù)，如下面的公式(1)所示[公式1]
cos《=cos^+"^r2...... ( 1 )
2仏g
Ylg:電解液的表面張力
e:絕緣膜的膜厚
s:絕緣膜的相對(duì)介電常數(shù)e0:真空磁導(dǎo)率
如上所述，液滴3的表面形狀(曲率)根據(jù)電極1和液滴3之間施加的電壓大小而變化。因此，當(dāng)液滴3用作透鏡元件時(shí)，可以獲得具有可以電控制的焦點(diǎn)位置的光學(xué)元件。
現(xiàn)在，包括如上構(gòu)造的光學(xué)元件的光學(xué)設(shè)備正在發(fā)展之中。例如，在曰本未審查專利申請(qǐng)公開No. 2000-356708中揭示了用于頻閃(strobe )設(shè)備的透鏡陣列。在該實(shí)例中，通過(guò)在提供在基板表面上的憎水膜上封入導(dǎo)電液體和布置成陣列圖案的絕緣液滴來(lái)構(gòu)造變焦透鏡。在該結(jié)構(gòu)中，各透鏡形成為絕緣液體和導(dǎo)電液體之間界面的形狀。每個(gè)透鏡的形狀通過(guò)利用電潤(rùn)濕效應(yīng)來(lái)電控制，并且相應(yīng)地變化焦距。
另外，日本未審查專利申請(qǐng)公開No. 2004-252444揭示了利用電潤(rùn)濕效應(yīng)的顯示裝置的結(jié)構(gòu)。在該顯示裝置中，包含彩色液滴的單元設(shè)置為矩陣圖案，并且通過(guò)選擇性地驅(qū)動(dòng)該單元來(lái)顯示希望顏色的圖像。上述單元不僅可以構(gòu)造為圖像顯示單元，而且也能構(gòu)造為透鏡元件，例如變焦透鏡。這樣結(jié)構(gòu)的實(shí)例示出在圖15的部分A和圖15的部分B中。圖15展示了通過(guò)將透鏡元件設(shè)置成陣列圖案所構(gòu)造的透鏡陣列50的示意性結(jié)構(gòu)。圖15的部分A是包括在透鏡陣列50中的公共基板54的平面圖，而圖15的部分B是透鏡陣列50的主要部分的截面圖。
透鏡陣列50包括多個(gè)透鏡元件53，其中透鏡面由導(dǎo)電的第一液體51和絕緣的第二液體52之間的界面形成。第一液體51和第二液體52具有彼此不同的折射率，并且能不會(huì)彼此混合地存在。各透鏡元件53 二維地設(shè)置在密封液體腔中，該密封液體腔形成在透明公共基板54和透明蓋體55之間。相鄰?fù)哥R元件53由分隔壁56彼此分隔。透明電極膜58形成在公共基板54的底表面上，并且公共基板54的頂部表面在第二液體52接觸的區(qū)域經(jīng)過(guò)憎水處理。透明電極膜57在第一液體51接觸的區(qū)域形成為蓋體55的底表面上的對(duì)向電才及。
在具有上述結(jié)構(gòu)的透鏡陣列50中，當(dāng)控制施加在成對(duì)的透明電極膜57和58之間的電壓時(shí)，每個(gè)透4免元件53中的第一液體51和第二液體52之間的界面的形狀發(fā)生變化。因此，使得能夠可逆地改變通過(guò)透鏡陣列50的光的焦距，并且透鏡陣列50適合于用作照相機(jī)的頻閃設(shè)備中的變焦透鏡。
然而，在根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的上述透鏡陣列50中，每個(gè)透鏡元件53的周邊
5由分隔壁56圍繞。因此，在制造透鏡陣列50的工藝中，每一個(gè)單元都單獨(dú) 地提供構(gòu)成透鏡元件53的第一液體51和第二液體52,特別是第二液體52。 該項(xiàng)工作量隨著元件數(shù)的增加而增加。另外，會(huì)有單元之間供給量不同以及 透鏡元件53的特性變得不均勻的情況。
本發(fā)明針對(duì)上述問(wèn)題而進(jìn)行，并且本發(fā)明的目的是提供能夠使透鏡元件 的特性均一的透鏡陣列。

發(fā)明內(nèi)容
為了實(shí)現(xiàn)上述目標(biāo)，根據(jù)本發(fā)明的透鏡陣列包括導(dǎo)電的第一液體；絕 緣的第二液體，具有與第一液體的折射率不同的折射率；以及多個(gè)透鏡元件， 在第一液體和第二液體之間的界面處形成透鏡面。透鏡元件的透鏡面根據(jù)施 加電壓的輸出控制而可逆地變化。該透鏡陣列的特征在于，相鄰?fù)哥R彼此液 體相通。
根據(jù)本發(fā)明，取代每個(gè)透鏡元件周邊完全被覆蓋的結(jié)構(gòu)，采用相鄰?fù)哥R 元件彼此液體相通的結(jié)構(gòu)。因此，可以避免透鏡元件之間第一液體和第二液 體數(shù)量的差異，并且可以使得透鏡特性均一。
更具體地講，根據(jù)本發(fā)明的透鏡陣列，透鏡元件設(shè)置在公共基板與蓋體 之間形成的液體腔中，并且第一液體和第二液體的至少之一在相鄰?fù)哥R元件 之間;波此相通。
在此情況下，透鏡元件可以由提供為豎立(stand upright)在公共基板上 的多個(gè)突起分開。該突起可以是棒狀突起，設(shè)置在每個(gè)透鏡元件的四角。另 外，該突起可以由相鄰?fù)哥R元件之間設(shè)置的線性突起形成，并且其中形成允 許相鄰?fù)哥R元件之間液體相通的通道。
另外，透鏡元件可以由設(shè)置在液體腔中的多孔板(perforated plate )的 非開口部分分開。多孔板至少在多孔板和公共基板之間形成允許液體相通的 通道。多孔板中的開口的形狀可以是例如圓形。然而，該形狀不限于此，而 是也可以為橢圓形或者多邊形等。
如上所述，在根據(jù)本發(fā)明的透鏡陣列中，透鏡元件彼此液體相通。因此， 可以避免透鏡元件之間第 一液體和第二液體數(shù)量的差異，并且可以使得透鏡 特性均一。另外，可以易于獲得非常小尺寸的結(jié)構(gòu)，而這不能通過(guò)采用注射 器(syringe)或者分配器噴嘴(dispenser nozzle )的液體引入方法獲得。


圖1的示意圖展示了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的透鏡陣列的示意性結(jié)構(gòu)，其中圖1的部分A是公共基板的平面圖，而圖1的部分B是透鏡陣列的主要部分的截面圖。
圖2的截面解了形成分開圖1所示的透鏡陣列中的各透鏡元件的突
起的間隔。
圖3是示意圖，其中對(duì)水和空氣的結(jié)合以及水和油的結(jié)合的界面張力、密度差和毛細(xì)管長(zhǎng)度進(jìn)行了彼此比較。
圖4的截面解了透鏡面的初始形狀，其根據(jù)分開圖1所示的透鏡陣列中各透鏡元件的突起形狀而不同。
圖5展示了公共基板的平面圖，以圖解根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的透鏡陣列的結(jié)構(gòu)。
圖6的示意圖展示了根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的透鏡陣列的示意性結(jié)構(gòu)，其中部分A是展示透鏡陣列的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的平面圖，而部分B是透鏡陣列的主要部分的截面圖。
圖7展示了多孔板的平面圖，以圖解根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的修改的透鏡陣列的結(jié)構(gòu)。
圖8是具有如圖7的部分B所示的多孔板結(jié)構(gòu)的透鏡陣列主要部分的截面圖。
圖9展示了多孔板的截面圖，以圖解根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的其它修改的透鏡陣列的結(jié)構(gòu)。
圖10的主要部分截面解了制造根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的透鏡陣列的方法步驟。
圖11的示意圖展示了根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的修改的透鏡陣列的結(jié)構(gòu)，其中圖11的部分A是透鏡陣列的主要部分的截面圖，而圖11的部分B是沿著[B]-[B]線剖取的圖11的部分A的截面圖。
圖12的主要部分截面解了制造圖11所示的透鏡陣列的方法步驟。
圖13的主要部分截面解了制造圖11所示的透鏡陣列的方法步驟。
圖14的原理解了電毛細(xì)管現(xiàn)象。圖15的示意圖展示了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的透鏡陣列的示意性結(jié)構(gòu)，其中圖
15的部分A是公共基板的平面圖，而圖15的部分B是透鏡陣列的主要部分 的截面圖。
具體實(shí)施例方式
在下文，將參考附圖描述本發(fā)明的每個(gè)實(shí)施例。應(yīng)當(dāng)注意的是，本發(fā)明 不限于下面描述的每個(gè)實(shí)施例，而是能夠根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思進(jìn)行各種修 改。
(第一實(shí)施例)
圖1的部分A和圖1的部分B展示了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的透鏡陣 列的示意性結(jié)構(gòu)。圖1的部分A是包括在透鏡陣列10中的公共基板14的平 面圖，而圖1的部分B是透鏡陣列IO的主要部分的截面圖。根據(jù)本實(shí)施例 的透鏡陣列10包括多個(gè)透鏡元件13，其中透鏡面13A由導(dǎo)電的第一液體11 和絕緣的第二液體12之間的界面形成。透鏡陣列IO例如用于照明光學(xué)系統(tǒng) 中，并且構(gòu)造為能任意變化通過(guò)透鏡陣列IO的光的焦距的變焦透鏡。
透明導(dǎo)電液體用作第一液體11。例如，可以采用極性液體，例如水、電 解液(諸如氯化鉀、氯化鈉和氯化鋰的電解質(zhì)的水溶液)、諸如曱醇和乙醇 的分子量小的醇和環(huán)境溫度熔融鹽(離子性液體)。
透明絕緣液體用作第二液體12。例如，可以采用非極性溶劑，如包括癸 烷、十二烷(dodecane)、十六烷和十一烷的碳?xì)浠衔锊牧弦约胺牧稀?br> 第一液體11和第二液體12具有彼此不同的折射率，并且由能彼此不混 合地存在的材料制造。更具體地講，在本實(shí)施例中，氯化鋰的水溶液(濃度 3.66 wt%,折射率1.34)用作第一液體11,并且珪酮油(GE Toshiba Silicone Co., Ltd.生產(chǎn)的TSF437，折射率1.49)用作第二液體12。另外，第一液體 11和第二液體12優(yōu)選具有彼此類似的比重。另外，第一液體11和第二液體 12必要時(shí)可以著色。
密封液體腔形成在公共基板14和蓋體15之間，并填充有第一液體11 和第二液體12，并且各透鏡元件13二維地設(shè)置在密封液體腔中。公共基板 14是光學(xué)透明的，并且可以由通過(guò)注射成型(injection molding)或者切割 等獲得的電絕緣塑料材料體形成。蓋體15是光學(xué)透明的，并且可以由電絕 緣的塑料材料或者玻璃材料等形成。蓋體15固定到公共基板14的側(cè)壁14a的頂表面，它們之間設(shè)有密封構(gòu) 件20。連接到端子部21a的透明電極膜17形成在蓋體15面對(duì)液體腔的內(nèi)表 面?zhèn)取＿@里，透明電極膜17可以由金屬、導(dǎo)電氧化物或者半導(dǎo)體材料等形 成。另外，替代透明電極，只要在透光表面的外部的區(qū)域中形成圖案，也可 以采用光學(xué)不透明電極材料。
相鄰?fù)哥R元件13由多個(gè)突起16彼此分開，突起16提供為豎立在公共 基板14的頂表面上。突起16與公共基板14一體地形成，設(shè)置在對(duì)應(yīng)于各 透鏡元件13的四角的位置，并且為棒狀。突起16例如在通過(guò)注射成型形成 公共基板14的時(shí)候形成。作為選擇，突起16也可以在形成公共基板14后 通過(guò)后加工例如粘合或者擠壓配合(press fitting )而形成。
這里，透明電極膜18形成在公共基板14的頂表面上。在本實(shí)施例中， 透明電極膜18形成圖案，以便覆蓋^^共基板14的側(cè)壁14a的內(nèi)周邊表面和 突起16的外表面。然而，透明電極膜18也可以形成為延伸在公共基板14 的頂表面的整個(gè)區(qū)域上。透明電極膜18通過(guò)公共基板14的側(cè)壁部分連接到 端子部21b。這里，透明電極膜18可以由金屬、導(dǎo)電氧化物或者半導(dǎo)體材料 等形成。另外，在電極膜形成圖案的情況下，也可以采用非透明電極膜，只 要不在很大程度上阻擋光的透射。
另外，絕緣膜19形成在公共基板14的表面上，以便覆蓋透明電極膜18。 在本實(shí)施例中，絕緣膜19形成為覆蓋公共基板14的外表面的整個(gè)區(qū)域。然 而，也可以例如僅在公共基板14的頂表面?zhèn)壬闲纬山^緣膜19。
絕緣膜19沒(méi)有特別限定，只要它由電絕緣材料制造，但是優(yōu)選由具有 相對(duì)高介電常數(shù)的材料制造。另外，為了獲得相對(duì)大的電容，絕緣膜19的 膜厚度優(yōu)選為小的。然而，必須使得膜厚度等于或者大于能保證絕緣強(qiáng)度的 厚度。相對(duì)高介電常數(shù)材料的實(shí)例包括諸如氧化鉭和氧化鈦的金屬氧化物。 然而，該材料當(dāng)然不限于此。形成絕緣膜19的方法也不作特別限定，并且 可以采用諸如濺射法、CVD法和沉積法的真空薄膜形成方法以及諸如鍍覆 法、電沉積法、》'余l(xiāng)t法(coating method)禾口浸漬法(dipping method)的其 他各種涂lt方法。
另外，絕緣膜19優(yōu)選在第二液體12與其接觸的區(qū)域中顯示出憎水性。 形成憎水膜方法的實(shí)例包括用CVD法形成聚對(duì)二曱苯(poly-para-xylylene ) 膜的方法和用類似PVDF (聚偏二氟乙烯，polyvinylidene fluoride )和PTFE(聚四氟乙烯，polytertrafluoroethylene)的材料涂敷公共基板14的方法， PVDF和PTFE都是氟化聚合物。作為選擇，絕緣膜19也可以形成分層結(jié)構(gòu)， 其中結(jié)合了包括高介電常數(shù)材料和憎水材料的多種材料。
根據(jù)本實(shí)施例的透鏡陣列10包括多個(gè)透鏡元件13,其中第一液體11 設(shè)置在蓋體15側(cè)，而第二液體12設(shè)置在公共電極14側(cè)。各透鏡元件13的 設(shè)置位置由公共基板14的側(cè)壁14a的內(nèi)周邊部分和突起16確定。更具體地 講，在圖1的部分A所示的實(shí)例中，沿著平面設(shè)置成三行四列的陣列圖案的 共十二個(gè)矩形透鏡元件13提供在側(cè)壁14a的內(nèi)周邊部分和與其相鄰的突起 16之間以及彼此相鄰的突起16之間。這里，實(shí)際上，豎立設(shè)置的突起16 的數(shù)量多于如圖所示實(shí)例的數(shù)量，并且相應(yīng)地設(shè)置更多數(shù)量的透鏡元件13。
在圖1的部分B所示的狀態(tài)下，第一液體11以預(yù)定的接觸角與公共基 板14的側(cè)壁14a的內(nèi)表面或者突起16的周邊表面接觸，從而各透鏡元件13 的透鏡面13A具有預(yù)定的彎曲表面形狀。透鏡面13A具有彎曲的表面形狀， 從而將側(cè)壁14a的內(nèi)表面連接到突起16或者將突起16彼此連接的線定義為 脊線(ridgeline),并且在矩形元件的中心區(qū)域是凹狀彎曲的。
當(dāng)在此狀態(tài)下在端子部21a和21b之間施加電壓時(shí)，第一液體11由于 電潤(rùn)濕效應(yīng)(電毛細(xì)管現(xiàn)象)鋪展在側(cè)壁14a的內(nèi)周邊表面和突起16的周 邊表面。因此，第一液體11與側(cè)壁14a的內(nèi)周邊表面和突起16的周邊表面 接觸的接觸角改變，這引起透鏡面13A的形狀改變。透鏡面13A的形狀可 逆地改變。因此，各透鏡元件13的透鏡面13A根據(jù)施加到端子部21a和21b 的電壓的大小而任意變化。更具體地講，當(dāng)所施加的電壓增加時(shí)，透鏡面13A 的曲率半徑增加。結(jié)果，焦距也增加。因此，可以^Ji鏡陣列10對(duì)于通過(guò) 透鏡陣列10的光起變焦透鏡的作用。
這里，根據(jù)本實(shí)施例，相鄰?fù)哥R元件13中的第一液體11和第二液體12 通過(guò)棒狀突起16之間的空間彼此相通。因此，與根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)用分隔壁圍 繞每個(gè)透鏡元件周邊的結(jié)構(gòu)相比，透鏡元件之間的分隔形成區(qū)域可以顯著減 小。因此，可以增加有效的透鏡區(qū)域，并且可以改善透射率。
另外，每個(gè)透鏡元件13的形狀精確度可以由突起16的加工精度來(lái)控制。 因此，保證透鏡元件13的形狀精度的加工區(qū)域與現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)相比可以 減少，并且可以大大減少透鏡陣列IO的制造成本。
此外，在本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)中，相鄰?fù)哥R元件13中的第一液體11和第二
10液體12彼此相通。因此，第一液體11和第二液體12之間的界面彼此連接以形成單一界面。另外，該界面的界面能量使其自身最小化，從而減少了各
透鏡元件13之間的差別。因此，可以減少各透鏡元件13之間第一液體11和第二液體12數(shù)量上的差別。另外，高精度調(diào)整每個(gè)元件的液體量變得不再必要。由于上述結(jié)構(gòu)，可以易于而均勻地實(shí)現(xiàn)包括在透鏡陣列10中的各透鏡元件13的透鏡特性，并且可以易于組裝透鏡陣列10。
另外，可以抑制在液體腔中產(chǎn)生氣泡。甚至在產(chǎn)生氣泡時(shí)，因?yàn)橐后w腔中的液體在元件之間相通，所以氣泡可以易于排放到外面。另外，還可以獲得這樣的優(yōu)點(diǎn)，可以易于排放混入液體腔中的異物。
這里，透鏡元件13的形狀、尺寸等基本上可以根據(jù)形成突起16的間隔和突起16的截面形狀等來(lái)任意設(shè)定。例如，當(dāng)在圖1中的垂直方向和水平方向二者都以恒定的間隔形成突起16時(shí)，可以獲得在平面圖中具有正方形的透鏡元件，并且同時(shí)可以獲得具有均勻透鏡特性的透鏡陣列。反過(guò)來(lái)，當(dāng)每個(gè)區(qū)域形成突起16的間隔改變時(shí)，可以獲得具有不同透鏡特性的透鏡陣列。
另外，；f皮此相鄰的突起16之間的距離以及公共基板的側(cè)壁14a的內(nèi)表面和與其相鄰的突起16之間的距離設(shè)定為等于或者小于毛細(xì)管長(zhǎng)度。毛細(xì)管長(zhǎng)度是可以忽略重力對(duì)界面張力的影響的最大長(zhǎng)度。在導(dǎo)電液體和絕緣液體之間的關(guān)系上，毛細(xì)管長(zhǎng)度可以以下面的公式(2)表示
Y:導(dǎo)電液體和絕緣液體之間的表面張力p:導(dǎo)電液體和絕緣液體之間的比重差g:重力加速度
圖2的部分A展示了在突起16之間的距離等于或者小于毛細(xì)管長(zhǎng)度(k")的情況下第一液體11和第二液體12之間的界面的形狀。如果突起16之間的距離等于或者小于毛細(xì)管長(zhǎng)度，則第一液體11和第二液體12之間的界面保持其彎曲的表面形狀而不受重力的影響。因此，采用電毛細(xì)管現(xiàn)象可以控制界面的形狀。相比之下，如果突起16之間的距離大于毛細(xì)管長(zhǎng)度，如圖2的部分B所示，則第一液體11和第二液體12之間的界面受重力的影響，并且在其中心區(qū)域形成平坦部分。因此，變得難于采用電毛細(xì)管現(xiàn)象來(lái)
改變界面的形狀。因此，必須使得彼此相鄰的突起16之間的距離以及公共基板的側(cè)壁14a的內(nèi)表面和與其相鄰的突起16之間的距離設(shè)定為等于或小于毛細(xì)管長(zhǎng)度。換言之，矩形透鏡元件的邊和對(duì)角線的長(zhǎng)度設(shè)定為等于或小于毛細(xì)管的長(zhǎng)度。
毛細(xì)管長(zhǎng)度根據(jù)形成界面的兩種介質(zhì)的種類而不同。在圖3中，示出了對(duì)于水和空氣的結(jié)合以及水和油的結(jié)合的界面張力、密度差和毛細(xì)管長(zhǎng)度，以進(jìn)行彼此比較。對(duì)于水和空氣的情況毛細(xì)管長(zhǎng)度為2.7 mm,而對(duì)于水和油的情況毛細(xì)管長(zhǎng)度為15.2 mm。因此，通過(guò)減少上述第一液體11和第二液體12之間的密度差(比重差)到0.0129,可以將突起16之間的間隔增加到15.2 mm。
盡管在如圖所示的實(shí)例中棒狀突起16的截面形狀為圓形，但是該形狀當(dāng)然不限于此，并且也可以是橢圓形或者如三角形或者矩形的形狀。另外，突起16的高度不限于如圖1的部分B所示的突起16的高度小于公共基板14的側(cè)壁14a的高度的情況，并且也可以等于側(cè)壁14a的高度。在此情況下，突起16在其頂端與蓋體15接觸。因此，即使透鏡陣列IO的面積增加，基板14和蓋體15之間的間隙也可以防止由于外力等而改變。因此，根據(jù)透鏡陣列10的尺寸或其使用條件，可以在蓋體15和突起16的頂端之間提供間隔，或者僅有某些突起16可以形成為具有與蓋體15接觸的高度。
另外，突起16的側(cè)表面不限于該側(cè)表面垂直于基板14的情況，并且也可以成形為朝著端部更薄或者朝著端部更厚。在圖4中，示出了由具有不同形狀的突起所獲得的第一液體11和第二液體12之間的界面的初始形狀以進(jìn)行相互比較。圖4的部分A展示了突起16具有圓柱形狀的實(shí)例，圖4的部分B展示了突起16A成形為朝著端部更薄的實(shí)例，而圖4的部分C展示了突起16B成形為朝著端部更厚的實(shí)例。
應(yīng)當(dāng)理解的是，即使第一液體11與突起的側(cè)表面接觸的接觸角是不變的，兩種液體之間的界面的形狀也根據(jù)形成突起的側(cè)表面的角度而大大變化。在突起16A成形為朝著端部更薄的情況下，界面的曲率與突起16具有圓柱形狀的情況相比更小。在突起16B成形為朝著端部更厚的情況下，界面的曲率與突起16具有圓柱形狀的情況相比更大。透鏡陣列的變焦范圍可以通過(guò)優(yōu)化突起的形狀來(lái)任意調(diào)整。 (第二實(shí)施例)
圖5的部分A和圖5的部分B展示了本發(fā)明的第二實(shí)施例。本實(shí)施例
與上述第 一實(shí)施例的區(qū)別在于，分開形成各透鏡元件的區(qū)域的突起具有線性 形狀。這里，圖中對(duì)應(yīng)于上述第一實(shí)施例的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并 且省略其詳細(xì)說(shuō)明。
圖5的部分A是形成透鏡陣列的公共基板14的平面圖，并且展示了以 二維柵格圖案設(shè)置的線性突起26的實(shí)例，從而總數(shù)為十二的矩形透鏡元件 形成區(qū)域沿著彼此相鄰的突起26之間的三行及四列分開。允許相鄰?fù)哥R元 件之間液體相通的通道27形成在突起26中。盡管通道27形成在線性設(shè)置 的突起26之間，但是它們也可以通過(guò)突起26的切除部分來(lái)形成。
圖5的部分B是形成透鏡陣列的公共基板14的平面圖。線性突起26 設(shè)置為一維柵格圖案，從而形成柱面透鏡(或者雙凸透鏡(lenticular lenses )) 的共四個(gè)區(qū)域沿著彼此相鄰的突起26之間的單行及四列分開。還是在該實(shí) 例中，形成允許相鄰?fù)哥R元件之間液體相通的通道27。
還是在這些實(shí)例中，與上述的實(shí)施例相類似，可以增加有效透鏡區(qū)域， 并且可以改善透射率。另外，可以減少元件之間液體量的差異，并且可以使 得透鏡特性均一。 (第三實(shí)施例)
圖6的部分A和圖6的部分B展示了根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的透鏡陣 列30的示意性結(jié)構(gòu)。圖6的部分A是展示透鏡陣列30的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的平面圖， 而圖6的部分B是透鏡陣列30的主要部分的截面圖。這里，圖中對(duì)應(yīng)于上 述第 一 實(shí)施例的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略其詳細(xì)描述。
與上述的第一實(shí)施例相類似，包括第一液體11和第二液體12的多個(gè)透 鏡元件13 二維地設(shè)置在液體腔中，該液體腔形成在公共基板14和蓋體15 之間。這里，在本實(shí)施例中，公共基板14由具有平坦前表面和平坦后表面 的透明板構(gòu)件形成，與蓋體15相類似。
在本實(shí)施例中，多孔板31設(shè)置在公共基板14和蓋體15之間，并且各 透鏡元件13位于多孔板31的表面中形成的多個(gè)圓形開口 32中。各透鏡元 件13由多孔板31的非開口部分33分開。允許相鄰開口 32之間液體相通的 通道35形成在多孔板31和公共基板14之間。允許相鄰開口 32之間液體相
13通的通道36形成在多孔板31和蓋體15之間。 一側(cè)上的通道35通過(guò)在多孔 板31面對(duì)公共基板14的表面中形成凹部而形成。另一側(cè)上的通道36以在 形成液體腔的工藝中形成密封構(gòu)件20的厚度來(lái)形成。
多孔板31在其周邊具有外框部分31F。外框部分31F的底部表面結(jié)合 到公共基板14，并且外框部分31F的頂部表面緊緊地固定到蓋體15,其間 設(shè)有密封構(gòu)件20。盡管在本實(shí)施例中多孔板31由諸如硅基板的半導(dǎo)體材料 形成，但是它也可以由其它材料形成，如金屬板和由玻璃、陶瓷或者樹脂等 制造的絕緣基板。在采用絕緣樹脂的情況下，形成由導(dǎo)電材料制造的電極膜。 多孔板31通過(guò)端子部21b連接到外部電壓源(未示出)。多孔板31的前后 表面和開口 32的周邊表面由絕緣膜34覆蓋，從而導(dǎo)電的第一液體11與多 孔板31電絕緣。
絕緣膜34的材料沒(méi)有特別限定，只要該材料具有憎水性、透明度和預(yù) 定的耐受電壓(w他stand voltage )，并且其膜厚度和膜質(zhì)量均一。透鏡元件 13的運(yùn)行電壓根據(jù)絕緣膜34的膜厚度和介電常數(shù)而變化。運(yùn)行電壓隨著絕 緣膜34的膜厚度的減少以及其介電常數(shù)的增加而減少。絕緣膜34可以在多 孔板31和公共基板14結(jié)合在一起的工藝前或者在該結(jié)合工藝后形成。
可以根據(jù)多孔板31和公共基板14的材料等而采用各種結(jié)合方法將多孔 板31和公共基板14結(jié)合在一起。例如，在如上所述多孔板31由硅基板形 成而公共基板14由玻璃材料形成的情況下，多孔板31和公共基板14可以 由陽(yáng)極耦合法(anode coupling method)結(jié)合在一起。作為選擇，在多孔板 31和公共基板14二者都由合成樹脂形成的情況下，可以采用擴(kuò)散結(jié)合法或 者超聲波結(jié)合法等。另夕卜，也可以采用利用粘合劑的結(jié)合法而不管多孔板31 和公共基板14的材料的組合。
與第一實(shí)施例相類似，根據(jù)本實(shí)施例如上所述構(gòu)造的透鏡陣列30包括 多個(gè)透鏡元件13,其中第一液體11設(shè)置在蓋體15側(cè)，并且第二液體12設(shè) 置在公共基板14側(cè)。設(shè)置各透鏡元件13的位置由多孔板31中形成開口 32 的位置確定。在圖6的部分A所示的實(shí)例中，共九個(gè)圓形透鏡元件13沿著 平面以三行及三列的陣列圖案設(shè)置。這里，設(shè)置透鏡元件13的數(shù)量不限于 上述實(shí)例，而是設(shè)置透鏡元件13的數(shù)量可以根據(jù)形成開口 32的數(shù)量任意調(diào) 整。
在圖6的部分B所示的狀態(tài)下，第一液體ll以預(yù)定的接觸角與多孔板31中的開口 32的周邊表面接觸，從而各透鏡元件13的透鏡面13A具有預(yù) 定的彎曲表面形狀。透鏡面13A具有彎曲的表面形狀，并且在元件的中心區(qū) 域?yàn)榘既霃澢?br> 當(dāng)在此狀態(tài)下在端子部21a和21b之間施加電壓時(shí)，第一液體11由于 電潤(rùn)濕效應(yīng)(電毛細(xì)管現(xiàn)象)而鋪展在開口 32的周邊部分上。因此，第一 液體11與開口 32的周邊部分接觸的接觸角改變，這導(dǎo)致透鏡面13A的形狀 的改變。透鏡面13A的形狀可逆地改變。因此，各透鏡元件13的透鏡面13A 根據(jù)施加給端子部21a和21b的電壓大小而任意改變。更具體地講，當(dāng)所施 加的電壓增加時(shí)，可以使透鏡陣列30用作用于通過(guò)透鏡陣列30的光的變焦 透鏡。
根據(jù)本實(shí)施例，多孔板31設(shè)置在公共基板14和蓋體15之間，并且透 鏡元件13由多孔板31的非開口部分33分開。另外，通過(guò)通道35和36提 供相鄰?fù)哥R元件13之間液滴的相通。因此，可以減少各透鏡元件13之間第 一液體11和第二液體12數(shù)量上的差別。另外，對(duì)每個(gè)元件以高精度調(diào)整液 體量變得不再必要。由于上述結(jié)構(gòu)，可以易于和均勻地實(shí)現(xiàn)包括在透鏡陣列 30中的各透鏡元件13的透鏡特性，并且可以易于組裝該透鏡陣列30。
在本實(shí)施例中，形成開口 32的多孔板31的厚度設(shè)定為當(dāng)施加的電壓在 設(shè)定范圍中時(shí)透鏡面13A的形狀的改變不被限制。另外，開口32的形狀不 限于圓形，而是也可以為諸如矩形的多邊形或者諸如橢圓形的其它幾何形 狀。這里，如果開口32為圓形，則可以增加透鏡元件13作為透鏡的有效面 積。因此，可以獲得具有極好光學(xué)特性的透鏡元件13。作為選擇，如果開口 32為多邊形，則可以增加開口 32的開口面積。如在第一實(shí)施例中所描述， 開口 32的大小優(yōu)選設(shè)定為等于或小于毛細(xì)管的長(zhǎng)度。
另外，形成開口 32的位置不限于圖6的部分A所示的開口 32排列在垂 直方向和水平方向上的情況。例如，如圖7的部分A所示，也可以采用這樣 的結(jié)構(gòu)，其中開口 32密集地設(shè)置為使得開口 32設(shè)置在行方向上，并且每個(gè) 開口位于前一行中的開口 32之間。
另一方面，在多孔板31由諸如玻璃、塑料和陶瓷的絕緣材料制造的情 況下，如圖7的部分B所示，由ITO等制造的透明導(dǎo)電膜的圖案可以形成 在每個(gè)開口 32的周邊部分上作為電極37。如圖8所示，電極37覆蓋有具有 憎水性的絕緣膜34。電極37在各開口 32之間延伸在網(wǎng)眼(mesh)上，并
15且通過(guò)在多孔板31的外框部分31F的外表面上形成的連通部分37P而公共 地連接到端子部21b,該端子部21b形成在公共基板14的表面的一端上。這 里，如果電極37為各開口 32單獨(dú)形成并分別連接到為各開口提供的端子部 21b,則透鏡元件13的每一個(gè)都可以單獨(dú)驅(qū)動(dòng)。
另外，替代多孔板31面對(duì)公共基板14和蓋體15且其間設(shè)有液體連通 通道35和液體連通通道36的結(jié)構(gòu)，也可以采用下面的結(jié)構(gòu)。也就是，例如， 多孔板31和蓋體15可以彼此緊密接觸，并且液體連通可以僅由多孔板31 和公共基板14之間的通道35提供。
另夕卜，如圖9的部份A所示，支撐棒38可以設(shè)置在多孔板31和公共基 板14之間，從而多孔板31和公共基板14之間的空隙可以保持不變，并且 可以減少透鏡元件13之間液體量的差異。另外，可以提高對(duì)外應(yīng)力的抵抗 力。這里，支撐棒38形成在多孔板31的非開口部分33和公共基板14之間。 支撐棒38的大小、形狀和數(shù)量沒(méi)有特別限定。支撐棒38可以形成在公共基 板14上，也可以形成在多孔板31上。支撐棒38不限于與公共基板14或者 多孔板31 —體地形成的情況，而是可以作為單獨(dú)部件形成。
另一方面，圖9的部分B是結(jié)構(gòu)實(shí)例的主要部分的截面圖，其中通道 35形成在多孔板31的底部表面中，以便允許相鄰開口 32之間液滴的連通。 通道35的形狀、大小和數(shù)量以及通道35形成的位置沒(méi)有特別限定。然而， 它們優(yōu)選設(shè)計(jì)為第一液體11和第二液體12可以易于引入開口 32中。
接下來(lái)，將描述制造根據(jù)本實(shí)施例的透鏡陣列30的方法。
圖IO展示了圖解透鏡陣列30的制造方法的步驟的主要部分的截面圖。 在如圖所示的實(shí)例中，硅基板用作多孔板31 ，并且由耐熱玻璃(Pyrex glass ) (商品名)等制造的玻璃基板用作公共基板14。
首先，如圖IO的部分A所示，抗蝕劑層42采用光刻技術(shù)以預(yù)定形狀的 圖案形成在用于形成多孔板31的硅基板41的一個(gè)表面上。然后，如圖10 的部分B所示，采用抗蝕劑層42為掩模以預(yù)定的量蝕刻硅基板41的該一個(gè) 表面。因此，具有預(yù)定深度的凹部43形成在硅基板41的該一個(gè)表面中。凹 部43在透4竟陣列30中的多孔板31和公共基板14之間形成液體連通通道35 (圖6中的部分B)。
接下來(lái)，去除抗蝕劑層42。然后，如圖IO的部分C所示，抗蝕劑層44 采用光刻技術(shù)以具有預(yù)定形狀的圖案形成在硅基板41的另一表面上。然后，
16如圖IO的部分D所示，采用抗蝕劑層44作為掩模蝕刻硅基板41的另一表 面，從而多個(gè)開口 32形成在硅基板41中以通過(guò)其延伸。因此，制造了要設(shè) 置在公共基板14和蓋體15之間的多孔板31。
接下來(lái)，去除抗蝕劑層44。然后，如圖IO的部分E所示，多孔板31 的一個(gè)表面和公共基板14的頂表面通過(guò)陽(yáng)極耦合彼此結(jié)合。然后，如圖10 的部分F所示，絕緣膜34形成在多孔板31和公共基板14的每一個(gè)的表面 上。結(jié)果，多孔板31的非開口部分33覆蓋有絕緣膜34。
接下來(lái)，如圖10的部分G所示，密封構(gòu)件20設(shè)置在多孔板31的外框 部分的頂表面上以形成液體腔。另外，導(dǎo)電的第一液體11和絕緣的第二液 體12引入多孔板31中的開口 32中。引入第一液體11和第二液體12的方 法實(shí)例包括這樣的方法，其中采用諸如注射器或者分配器噴嘴的液體滴入裝 置將預(yù)定量的第二液體12注入每個(gè)開口 32中，然后用第一液體11填充液 體腔，以及這樣的方法，其中首先用第一液體11填充液體腔，然后預(yù)定量 的第二液體12分別注入開口 32的每一個(gè)中。
最后，如圖IO的部分H所示，蓋體15設(shè)置在密封構(gòu)件20上，并且第 一液體11和第二液體12密封在液體腔中。這樣，就制造了包括第一液體11 和第二液體12的透鏡元件13 二維地設(shè)置在其中的透鏡陣列30。
根據(jù)本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)，因?yàn)橄噜復(fù)哥R元件13 ;波此液體相通，所以可以 減少透鏡元件13之間液體量的差異。另外，以高精度調(diào)整每個(gè)元件的液體 量變得不再必要。由于上述結(jié)構(gòu)，可以易于和均勻地實(shí)現(xiàn)包括在透鏡陣列30 中的各透鏡元件13的透鏡特性，并且可以易于組裝透鏡陣列30。
接下來(lái)，將參考圖11至13描述制造透鏡陣列30的另一方法。這里， 圖11的部分A是圖解透鏡陣列30的結(jié)構(gòu)的主要部分的截面圖。圖11的部 分B是圖11的部份A沿線[B]-[B]剖取的截面圖。圖12和圖13示出圖解制 造透鏡陣列30的方法步驟的截面圖。
圖11所示的透鏡陣列30構(gòu)造為使得將第一液體11和第二液體12引入 液體腔的液體進(jìn)口 47A和將第一液體11和第二液體12從液體腔排出的液體 出口 47B以其預(yù)定的位置形成在多孔板31的外框部分31F中。另外，液體 進(jìn)口 47A和液體出口 47B分別用密封構(gòu)件46A和46B密封。形成液體進(jìn)口 47A和液體出口 47B的位置沒(méi)有特別限定。然而，在該實(shí)例中，它們形成在 關(guān)于多孔板31的中心彼此對(duì)稱的位置。另外，在圖11所示的透鏡陣列30中，支撐棒38提供在多孔板31的非 開口部分33和公共基板14之間。支撐棒38構(gòu)造為如圖9的部分A所示， 并且在此省略其詳細(xì)的說(shuō)明。這里，在該實(shí)例中，支撐棒38與多孔板31 — 體地形成。
下面將參考圖12和13來(lái)描述具有上述結(jié)構(gòu)的透鏡陣列30的制造方法。 首先，如圖12的部分A所示，抗蝕劑層62采用光刻技術(shù)以具有預(yù)定形狀的 圖案形成在用于形成多孔板31的硅基板61的一個(gè)表面上。然后，如圖12 的部分B所示，采用抗蝕劑層62為掩模以預(yù)定量蝕刻硅基板61的該一個(gè)表 面。因此，具有預(yù)定深度的凹部63形成在硅基板61的該一個(gè)表面中。另夕卜， 形成支撐才奉38、液體進(jìn)口 47A和液體出口 47B。這里，凹部63在多孔板31 和公共基板14之間形成液體連通通道。
接下來(lái)，去除抗蝕劑層62。然后，如圖12的部分C所示，抗蝕劑層64 采用光刻技術(shù)以具有預(yù)定形狀的圖案形成在硅基板61的另一個(gè)表面上。然 后，如圖12的部分D所示，采用抗蝕劑層64作為掩模蝕刻硅基板61的該 另一個(gè)表面，從而在硅基板61中形成多個(gè)開口 32以在其間延伸。這樣，就 制造了要設(shè)置在公共基板14和蓋體15之間的多孔板31。
接下來(lái)，去除抗蝕劑層64。然后，如圖12的部分E所示，通過(guò)陽(yáng)極耦 合將多孔板31的外框部分的一個(gè)表面和支撐棒38的端部與公共基板14的 頂表面結(jié)合。然后，如圖13的部分F所示，絕緣膜34形成在多孔板31和 公共基板14的每一個(gè)的表面上。結(jié)果，多孔板31包括支撐棒38的非開口 部分33覆蓋有絕緣膜34。
接下來(lái)，如圖13的部分G所示，通過(guò)在多孔板31的外框部分的頂表面 上設(shè)置蓋體15并且它們之間設(shè)有密封構(gòu)件20,從而形成液體腔。接下來(lái)， 如圖13的部分H所示，通過(guò)液體進(jìn)口 47A引入第一液體11，從而第一液體 11通過(guò)形成在多孔板31和公共基板14之間以及多孔板31和蓋體15之間形 成的液體連通通道填充液體腔。此時(shí)，打開液體出口47B,以便液體腔中的 殘留空氣和多余的第一液體11可以從液體出口 47B排出。應(yīng)當(dāng)注意的是， 在圖13的部分H及隨后的部分中，在截面圖中示出了液體進(jìn)口 47A和液體 出口 47B。
接下來(lái)，如圖13的部分I所示，通過(guò)液體進(jìn)口 47A引入第二液體12, 而液體出口 47B保持在打開狀態(tài)。第二液體12在液體腔的整個(gè)區(qū)域上流過(guò)多孔板31和公共基板14之間的液體連通通道，并且由于具有憎水性的絕緣
膜34而鋪展在多孔板31中的開口 32的周邊表面上。在引入第二液體12的 初期階段，第 一液體11從液體出口 47B排出。然而，當(dāng)?shù)诙后w12到達(dá)液 體出口47B時(shí)，第一液體ll停止排出。最后，如圖13的部分J所示，液體 進(jìn)口 47A和液體出口 47B分別用密封構(gòu)件46A和46B密封。
這里，在第二液體12鋪展的速度低的情況下，在第二液體12到達(dá)液體 出口47B后，繼續(xù)引入第二液體12的步驟，以便增加液體腔中第二液體12 的量，并且升高第一液體11和第二液體12之間的界面。
因此，可以制造包括第一液體11和第二液體12的透鏡元件13 二維設(shè) 置在液體腔中的透鏡陣列30。根據(jù)本實(shí)施例，因?yàn)橄噜復(fù)哥R元件13彼此液 體相通，所以可以減少透鏡元件13之間液體量的差異。另外，每個(gè)元件以 高精度調(diào)整液體量變得不再必要。由于上述結(jié)構(gòu)，可以使得包括在透鏡陣列 30中的各透鏡元件13的透鏡特性均一，并且可以易于組裝透鏡陣列30。
根據(jù)本實(shí)施例，通過(guò)從液體腔一側(cè)接續(xù)地引入第一液體11和第二液體 12來(lái)制造透鏡陣列30。因此，不必執(zhí)行單獨(dú)滴入第二液體12的液滴同時(shí)調(diào) 整其數(shù)量的工藝，并且可以易于執(zhí)行透鏡陣列30的組裝工藝。另外，可以 易于獲得具有小透鏡直徑(例如，幾微米到幾十微米)的結(jié)構(gòu)，這不能通過(guò) 采用注射器或者分配器噴嘴等的液體引入法獲得。
同樣，根據(jù)本實(shí)施例，可以充分地調(diào)整第一液體11和第二液體12的引 入壓力。例如，當(dāng)液體腔中的壓力保持在高于大氣壓力的壓力時(shí)，可以獲得 不易受到外部環(huán)境(例如，高山上的壓力減少，或者水下的壓力增加)影響 的裝置。
另外，通過(guò)用將諸如橡膠栓的彈性體附著到液體進(jìn)口 47A和液體出口 47B然后以粘結(jié)劑硬化其外側(cè)可以獲得密封構(gòu)件46A和46B，或者可以直才妄 將粘結(jié)劑注入液體進(jìn)口 47A和液體出口 47B并硬化該粘合劑來(lái)獲得。作為 選^t奪，密封構(gòu)件46A和46B也可以由控制液體流動(dòng)方向的止回閥(單向閥) 形成。
19
權(quán)利要求
1、一種透鏡陣列，包括導(dǎo)電的第一液體；絕緣的第二液體，具有與所述第一液體的折射率不同的折射率；和多個(gè)透鏡元件，在所述第一液體和所述第二液體之間的界面形成透鏡面，其中所述透鏡元件的所述透鏡面根據(jù)所施加的電壓的輸出控制而可逆地變化，并且其中所述透鏡陣列的特征在于，相鄰的所述透鏡元件彼此液體相通。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的透鏡陣列，其特征在于所述透鏡元件二維地設(shè)置在形成于公共基板與面對(duì)所述公共基板的蓋體之間的液體腔中，并且所述第一液體和所述第二液體的至少一個(gè)在所述相鄰?fù)哥R元件之間彼jt匕才目it。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的透鏡陣列，其特征在于所述透鏡元件由提供為豎立在所述公共基板上的多個(gè)突起分開。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的透鏡陣列，其特征在于所述突起是棒狀突起，設(shè)置在所述透鏡元件的每一個(gè)的四角。
5、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的透鏡陣列，其特征在于所述突起是線性突起，設(shè)置在相鄰的所述透鏡元件之間，并且在所述突起中形成允許所述相鄰的透鏡元件之間的液體相通的通道。
6、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的透鏡陣列，其特征在于相鄰的所述突起之間的距離設(shè)定為等于或者小于毛細(xì)管長(zhǎng)度。
7、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的透鏡陣列，其特征在于所述突起的表面覆蓋有透明電極膜，并且所述透明電極膜的表面覆蓋有憎水膜。
8、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的透鏡陣列，其特征在于在所述液體腔中設(shè)置多孔板，所述多孔板形成至少在所述多孔板和所述公共基板之間允許液體相通的通道，并且所述透鏡元件由所述多孔板的非開口部分分開。
9、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的透鏡陣列，其特征在于所述多孔板中的開口具有圓形形狀。
10、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的透鏡陣列，其特征在于所述多孔板中的至少所述開口的周邊部分由導(dǎo)體形成，并且所述開口的所述周邊部分覆蓋有憎水膜。
11、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的透鏡陣列，其特征在于將所述第 一液體和所述第二液體從所述液體腔的外部引入到內(nèi)部的液體進(jìn)口和將所述第一液體和所述第二液體從所述液體腔的內(nèi)部排出到外部的液體出口提供在所述公共基板和所述蓋體之間。
全文摘要
提供一種能使透鏡元件的特性均一的透鏡陣列。透鏡陣列(10)提供有導(dǎo)電的第一液體(11)、具有與第一液體(11)的折射率不同折射率的絕緣的第二液體(12)以及以第一和第二液體(11，12)之間的界面形成透鏡面(13A)的多個(gè)透鏡元件(13)。透鏡元件(13)的透鏡面(13A)根據(jù)所施加的電壓的輸出控制而可逆地變化。因?yàn)橄噜復(fù)哥R元件(13)通過(guò)液體相通，所以可以避免透鏡元件之間第一和第二液體(11，12)的液體數(shù)量的波動(dòng)，并且可以使得透鏡特性均一。
文檔編號(hào)G02F1/17GK101490614SQ20078002622
公開日2009年7月22日 申請(qǐng)日期2007年7月10日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月10日
發(fā)明者高井雄一 申請(qǐng)人:索尼株式會(huì)社