專利名稱：：線柵型偏振器及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及線柵(wiregrid)型偏振器及其制造方法。
背景技術(shù)：
：作為液晶顯示裝置、背面投影型電視機(jī)、正面投影型投影儀等圖像顯示裝置中所用的在可見光區(qū)域內(nèi)顯示出偏振光分離能力的偏振器，有吸收型偏振器和反射型偏振器。吸收型偏振器是例如使碘等二色性染料在樹脂膜中取向而得的偏振器。但是，吸收型偏振器由于吸收一方的偏振光，因此光的利用效率低。另一方面，反射型偏振器通過使未入射偏振器而反射的光再次入射偏振器，可以提高光的利用效率。因此，為了液晶顯示裝置等的高亮度化，反射型偏振器的需求正在增長。作為反射型偏振器，有由雙折射樹脂層疊體形成的線偏振器、由膽甾醇型液晶形成的圓偏振器、線柵型偏振器。但是，線偏振器和圓偏振器的偏振光分離能力低。因此，顯示出高偏振光分離能力的線柵型偏振器受到注目。線柵型偏振器具有在透明基板上多條金屬細(xì)線相互平行地排列的結(jié)構(gòu)。金屬細(xì)線的間距與入射光的波長相比足夠短的情況下，入射光中具有與金屬細(xì)線垂直的電場矢量的成分(即，P偏振光)透射，具有與金屬細(xì)線平行的電場矢量的成分(即，S偏振光)被反射。作為在可見光區(qū)域內(nèi)顯示出偏振光分離能力的線柵型偏振器，已知以下的偏振器(1)在玻璃基板上多條金屬細(xì)線相互平行地排列的線柵型偏振器(專利文獻(xiàn)l);(2)在樹脂膜上多條金屬細(xì)線相互平行地排列的線柵型偏振器(專利文獻(xiàn)2、3);(3)在形成于樹脂層的多條溝中形成了金屬細(xì)線的線柵型偏振器(專利文獻(xiàn)4)。但是，(1)、(2)的線柵型偏振器通過采用波長193mn的DUV(深紫外光)的光刻法對蒸鍍于基板上的金屬膜進(jìn)行圖案形成而制成，因此制造工序多，生產(chǎn)性、大面積化方面存在問題。此外，(2)的線柵型偏振器中，樹脂膜使用熱塑性樹脂的情況下，耐熱性、耐久性方面存在問題。對于背面投影型電視機(jī)、正面投影型投影儀等，隨著以高亮度化為目標(biāo)的光源的高能量化，設(shè)想在樹脂的軟化點(diǎn)以上的使用，因此偏振器被要求耐熱性。(3)的線柵型偏振器中，樹脂的凸部上形成有金屬細(xì)線。圖案形成過程中采用熱壓印法或光壓印法，緊接著壓印過程必須經(jīng)過蝕刻過程。此外，樹脂膜使用熱塑性樹脂的情況下，耐熱性、耐久性方面存在問題。專利文獻(xiàn)1:國際公開第00/079317號文本專利文獻(xiàn)2:日本專利特開2005-195824號公報(bào)專利文獻(xiàn)3:日本專利特開2005-316495號公報(bào)專利文獻(xiàn)4:日本專利特開2005-070456號公報(bào)發(fā)明的揭示本發(fā)明提供在可見光區(qū)域內(nèi)顯示出高偏振光分離能力，耐熱性、耐久性良好的線柵型偏振器及可以生產(chǎn)性良好地制造該線柵型偏振器的能夠大面積化的制造方法。本發(fā)明的線柵型偏振器的制造方法的特征在于，具備將光固化性組合物涂布于支承基板上的工序；將形成有多條相互平行且具有一定間距的溝的模具擠壓于光固化性組合物，使得溝與光固化性組合物接觸的工序；在將模具擠壓于光固化性組合物的狀態(tài)下使光固化性組合物固化，形成具有對應(yīng)于模具的溝的多條凸條的透光性基板的工序；將模具從透光性基板分離的工序；在透光性基板的凸條上形成金屬細(xì)線的工序。本發(fā)明的線柵型偏振器的制造方法可以還具備將支承基板從透光性基板分離的工序。作為所述光固化性組合物，較好是使用固化后形成具有以下的物性的光固化樹脂的組合物。折射率(nd)為l.31.6，厚度為200"m時的可見光透射率在93X以上的光固化樹脂。另外，水的接觸角在90。以上的光固化樹脂。另外，維卡軟化點(diǎn)溫度在15(TC以上的光固化樹脂。作為所述光固化性組合物，較好是使用下述光固化性組合物。包含5098質(zhì)量％的不含氟原子的單體、0.145質(zhì)量％的含氟單體、大于O.1且小于等于20質(zhì)量％的含氟表面活性劑和/或含氟聚合物以及110質(zhì)量％的光聚合引發(fā)劑，且實(shí)質(zhì)上不含溶劑，25'C時的粘度為1200mPa*s的光固化性組合物。作為所述光固化性組合物的含氟單體，較好是使用以下述的式(1)或(2)表示的含氟單體。CF「CR1-0-CR2=CH2…(1)(CH2=CXCOO)nRF…(2)其中，式中的記號表示以下的含義。式(1)中，R'和R2分別獨(dú)立地表示氫原子、氟原子、碳數(shù)13的烷基或碳數(shù)13的氟代垸基，Q表示氧原子、以-NR3-表示的基團(tuán)或可以具有官能團(tuán)的2價(jià)有機(jī)基團(tuán)；其中，R3表示氫原子、碳數(shù)16的烷基、烷基羰基或甲苯磺酰基。式(2)中，n表示l4的整數(shù)，X表示氫原子、氟原子、甲基或三氟甲基，RF表示碳數(shù)l30的n價(jià)含氟有機(jī)基團(tuán)。作為在透光性基板的凸條上形成金屬細(xì)線的工序，較好是使用斜向蒸鍍法。所述模具的溝的間距較好是在300nm以下。本發(fā)明的線柵型偏振器通過本發(fā)明的線柵型偏振器的制造方法制成。本發(fā)明的線柵型偏振器在可見光區(qū)域內(nèi)顯示出高偏振光分離能力，耐熱性、耐久性良好。如果采用本發(fā)明的線柵型偏振器的制造方法，則可以生產(chǎn)性良好地制造在可見光區(qū)域內(nèi)顯示出高偏振光分離能力且耐熱性、耐久性良好的線柵型偏振器，而且能夠大面積化。附圖的簡單說明圖l為表示本發(fā)明的線柵型偏振器的一例的立體圖。圖2為表示本發(fā)明的線柵型偏振器的制造方法中的各工序的截面圖。圖3為表示本發(fā)明的線柵型偏振器的制造方法中的各工序的截面圖。圖4為表示本發(fā)明的線柵型偏振器的制造方法中所用的模具的一例的立體圖。圖5為表示入射角9=0°時的本發(fā)明的線柵型偏振器的P偏振光和S偏振光的透射率與入射光波長的關(guān)系以及透射光的偏振度與入射光波長的關(guān)系的圖。圖6為表示入射角6=45°時的本發(fā)明的線柵型偏振器的P偏振光和S偏振光的透射率與入射光波長的關(guān)系以及透射光的偏振度與入射光波長的關(guān)系的圖。符號的說明IO:線柵型偏振器，12:凸條，14:透光性基板，16:金屬細(xì)線，20:光固化性組合物，22:支承基板，24:溝，26:模具。實(shí)施發(fā)明的最佳方式本說明書中，以式(l)表示的單體記作單體(l)。以其它式表示的單體也同樣表記。〈線柵型偏振器〉圖l為表示本發(fā)明的線柵型偏振器的一例的立體圖。線柵型偏振器IO具有表面上形成有多條相互平行且具有一定間距Pp的凸條12的由光固化樹脂形成的透光性基板14以及形成于透光性基板14的凸條12上的金屬細(xì)線16。凸條12的間距Pp為凸條12的寬度Dp和形成有凸條12間的溝的寬度的總和。凸條12的間距Pp較好是在300nm以下，更好是50200nm。通過使間距Pp在300nm以下，線柵型偏振器IO顯示出足夠高的反射率且在400nm左右的短波長區(qū)域也顯示出高偏振光分離能力。此外，衍射產(chǎn)生的著色現(xiàn)象得到抑制。凸條12的寬度Dp和間距Pp的比值(Dp/Pp)較好是0.10.6，更好是0.40.55。通過使Dp/Pp在0.l以上，線柵型偏振器10的偏振光分離能力變得足夠高。通過使Dp/Pp在0.6以下，干涉引起的透射光的著色得到抑制。凸條12的高度Hp較好是50500nm，更好是100300nm。通過使高度Hp在50nm以上，金屬細(xì)線16向凸條12上的選擇性形成變得容易。通過使高度Hp在500nm以下，線柵型偏振器10的偏振度的入射角依賴性減小。金屬細(xì)線16的寬度Dm較好是與凸條12的寬度Dp相同。金屬細(xì)線16的高度Hm較好是30300nm，更好是100150nm。通過使高度Hm在30nm以上，線柵型偏振器10表現(xiàn)出足夠高的反射率和偏振光分離能力。通過使高度Hm在300nm以下，光的利用效率提高。(透光性基板)透光性基板是由光固化樹脂形成的基板。透光性是指透射光。透光性基板的厚度較好是O.51000um，更好是140"m。作為光固化樹脂，從生產(chǎn)性的角度來看，較好是通過光固化性組合物的光自由基聚合而形成的樹脂。光固化樹脂的折射率(nd)較好是l.31.6。通過使折射率(nd)在l.6以下，藍(lán)色光區(qū)域中的P偏振光的透射性提高，在寬頻帶內(nèi)表現(xiàn)出高偏振光分離能力。折射率(nd)是對于厚10"m的光固化樹脂膜用阿貝折射率計(jì)(589nm，25"C)測定。光固化樹脂的可見光透射率較好是厚度為200um時在93^以上。通過使可見光透射率在93%以上，P偏振光的透射性提高，偏振光分離能力提高?？梢姽馔干渎适鞘褂梅e分式透光率測定器，由400nm780nm的光的總光量T1和樣品透射光T2的比值(T2X100/T1)求得。光固化樹脂的水的接觸角較好是在90。以上。如果水的接觸角在90。以上，則通過后述的光壓印法形成凸條時，與模具的脫模性變好，可以實(shí)現(xiàn)高精度的轉(zhuǎn)印，所得的線柵型偏振器可以充分發(fā)揮目標(biāo)性能。水的接觸角使用接觸角測定裝置測定。光固化樹脂的維卡軟化點(diǎn)溫度較好是在150。C以上。如果維卡軟化點(diǎn)的溫度在15(TC以上，則耐熱性提高，可以充分適應(yīng)要求耐熱性的用途。維卡軟化點(diǎn)溫度按照J(rèn)ISK7206求得。作為滿足所述特性的光固化樹脂，可以例舉將下述光固化性組合物通過光聚合固化而得的樹脂。包含5098質(zhì)量％的不含氟原子的單體、0.145質(zhì)量％的含氟單體、大于O.1且小于等于20質(zhì)量％的含氟表面活性劑和/或含氟聚合物以及110質(zhì)量％的光聚合引發(fā)劑，且實(shí)質(zhì)上不含溶劑，25"C時的粘度為1200mPas的光固化性組合物。通過使用該組合物，涂布時的平滑性、光壓印時的脫模性、性狀保持性變好。光固化性組合物的粘度較好是l200mPas，更好是l100mPas。如果粘度在該范圍內(nèi)，則可以通過旋涂等方法容易地制成平滑的涂膜。粘度使用旋轉(zhuǎn)式粘度計(jì)在25'C的溫度下測定。光固化性組合物包含5098質(zhì)量％的不含氟原子的單體(以下稱為主要成分單體)，較好是5590質(zhì)量％，特別好是6085質(zhì)量％。主要成分單體可以例舉具有聚合性基團(tuán)的單體，較好是具有丙烯?；蚣谆；膯误w、具有乙烯基的單體、具有烯丙基的單體、具有環(huán)氧乙垸基的單體，更好是具有丙烯?；蚣谆；膯误w。主要成分單體中的聚合性基團(tuán)的數(shù)量較好是14個，更好是1或2個，特別好是1個。作為主要成分單體，較好是(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酰胺、乙烯基醚、乙烯基酯、烯丙基醚、烯丙基酯、苯乙烯類化合物，特別好是(甲基)丙烯酸酯。(甲基)丙烯酸是丙烯酸和甲基丙烯酸的統(tǒng)稱，(甲基)丙烯酸酯是丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的統(tǒng)稱，(甲基)丙烯酰胺是丙烯酰胺和甲基丙烯酰胺的統(tǒng)稱。作為(甲基)丙烯酸酯的具體例子，可以例舉下述的化合物(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸硬脂基酯、(甲基)丙烯酸月桂基酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸乙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸四氫化糠基酯、(甲基)丙烯酸烯丙基酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸-N，N-二乙基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸-N，N-二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸甲基金剛垸基酯、(甲基)丙烯酸乙基金剛烷基酯、(甲基)丙烯酸羥基金剛烷基酯、(甲基)丙烯酸金剛垸基酯、(甲基)丙烯酸異冰片基酯等單(甲基)丙烯酸酯；1，3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、二甘醇二(甲基)丙烯酸酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、四甘醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯等二(甲基)丙烯酸酯；三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯等三(甲基)丙烯酸酯；二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等具有4個以上的聚合性基團(tuán)的(甲基)丙烯酸酯。作為乙烯基醚的具體例子，可以例舉乙基乙烯基醚、丙基乙烯基醚、異丁基乙烯基醚、2-乙基己基乙烯基醚、環(huán)己基乙烯基醚等烷基乙烯基醚，4-羥基丁基乙烯基醚等(羥垸基)乙烯基醚。作為乙烯基酯的具體例子，可以例舉乙酸乙烯基酯、丙酸乙烯基酯、(異)丁酸乙烯基酯、戊酸乙烯基酯、環(huán)己烷羧酸乙烯基酯、苯甲酸乙烯基酯等乙烯基酯。作為烯丙基醚的具體例子，可以例舉乙基烯丙基醚、丙基烯丙基醚、(異)丁基烯丙基醚、環(huán)己基烯丙基醚等烷基烯丙基醚。作為烯丙基酯的具體例子，可以例舉乙基烯丙基酯、丙基烯丙基酯、異丁基烯丙基酯等烷基烯丙基酯。作為具有環(huán)氧乙垸基的單體，可以例舉具有環(huán)氧基的單體、具有氧雜環(huán)丁垸基的單體、具有嗎唑啉基的單體。主要成分單體的分子量較好是100500，更好是200400。主要成分單體可以單獨(dú)使用l種，也可以2種以上并用。從光固化樹脂表現(xiàn)出高可見光透射性的角度來看，主要成分單體較好是包含在分子內(nèi)具有下式的環(huán)結(jié)構(gòu)的單體。為了表現(xiàn)出高耐熱性，主要成分單體較好是包含具有2個以上的聚合性基團(tuán)的(甲基)丙烯酸酯。具體來說，可以例舉1，3-丁二醇二丙烯酸酯、1，4-丁二醇二丙烯酸酯、1，6-己二醇二丙烯酸酯、三羥甲基丙垸三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二甘醇二丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、三丙二醇二丙烯酸酯等。光固化性組合物包含O.145質(zhì)量％、較好是1040質(zhì)量％的含氟單體。光固化性組合物由于包含與主要成分單體、含氟表面活性劑和含氟聚合物的相溶性高的含氟單體，因此不易發(fā)生相分離。此外，該組合物不相分離而容易形成固化物。此外，由于包含含氟單體，因此固化物的水的接觸角達(dá)到90。以上。此外，由于包含含氟單體，因此固化物的折射率下降，短波長區(qū)域的透射率提高，因而偏振光分離能力提高。含氟單體為具有聚合性基團(tuán)的含氟單體，較好是具有丙烯?；蚣谆；暮鷨误w、具有乙烯基的含氟單體、具有氟代乙烯基的含氟單體、具有烯丙基的含氟單體、具有環(huán)氧乙烷基的含氟單體。含氟單體中的聚合性基團(tuán)的數(shù)量較好是14個，更好是1或2個，特別好是1個。含氟單體的含氟量較好是4070質(zhì)量％，更好是4565質(zhì)量％。含氟量是指氟原子質(zhì)量相對于構(gòu)成含氟單體的所有原子的總質(zhì)量的比例。通過使含氟單體的含氟量在40質(zhì)量％以上，固化物的脫模性特別好。通過使含氟單體的含氟量在70質(zhì)量％以下，與光聚合引發(fā)劑的相溶性進(jìn)一步提高，容易將光固化性組合物調(diào)制均勻。含氟單體的分子量較好是2005000，更好是2501000。含氟單體可以單獨(dú)使用l種，也可以2種以上并用。作為含氟單體，特別好是單體(1)或單體(2)。CFfCR1-Q-CR2二CH2…a)。(CH2=CXC00)乂…(2)o其中，式中的記號表示以下的含義。單體(1)中，R'和R2分別獨(dú)立地表示氫原子、氟原子、碳數(shù)13的烷基或者碳數(shù)13的氟代垸基，Q表示氧原子、以-NR3-表示的基團(tuán)或者可具有官能團(tuán)的2價(jià)有機(jī)基團(tuán)；其中，R3表示氫原子、碳數(shù)16的烷基、垸基羰基或甲苯磺酰基。單體(2)中，n表示l4的整數(shù)，x表示氫原子、氟原子、甲基或三氟甲基，RF表示碳數(shù)l30的n價(jià)含氟有機(jī)基團(tuán)。單體(1)中的Q為2價(jià)有機(jī)基團(tuán)的情況下，較好是以選自亞甲基、1，2-亞乙基、1，3-亞丙基、1，4-亞丁基、氧亞甲基、氧-1，2-亞乙基、氧-1,3-亞丙基和二氧亞甲基的基團(tuán)為主鏈，該主鏈中的氫原子被選自氟原子、羥基、碳數(shù)16的烷基、碳數(shù)16的羥烷基、碳原子-碳原子間插入有醚性氧原子的碳數(shù)l6的烷基和碳原子-碳原子間插入有醚性氧原子的碳數(shù)16的羥垸基的基團(tuán)取代，且1個以上該基團(tuán)中的形成碳原子-羥原子鍵的氫原子被氟原子取代的基團(tuán)；特別好是-CF2C(CF3)(OH)CH2-、-CF2C(CF3)(OH)-、-CF2C(CF3)(0CH20CH3)CH2—、—CF2CH(CH2C(CF3)20H)CH2—或—CH2CH(CH2C(CF3)20H)-。其中，基團(tuán)朝向?yàn)樽髠?cè)結(jié)合于CFfCR1-。作為單體(l)的具體例子，可以例舉下述的化合物CF2=CFCH2CH(C(CF3)20H)CH2CH=CH2、CF2=CFCH2CH(C(CF3)20H)CH=CH2、CF2=CFCH2CH(C(CF3)20H)CH2CH2CH=CH2、CF2=CFCH2CH(CH2C(CF3)20H)CH2CH2CH=CH2、CF2=CFCH2C(CH3)(CH2S02F)CH2CH=CH2、CF2=CFCF2C(CF3)(0CH20CH3)CH2CH=CH2、CF2=CFCF2C(CF3)(0H)CH=CH2、CF2=CFCF2C(CF3)(0H)CH2CH=CH2、CF2=CFCF2C(CF3)(0CH20CH2CF3)CH2CH=CH2、CF2=CFCF2C(CF3)(OCH2OCH3)CH2CH=CH2、CF2=CFOCF2CF(0(CF2)3OC2H5)CH2CH=CH2、CF2=CFOCF2CF(OCF2CF2CH2NH2)CH2CH=CH2、CF2=CFOCF2CF(0(CF2)3CN)CH=CH2、CF2=CFOCF2CF(OCF2CF2S02F)CH2CH=CH2、CF2=CFOCF2CF(0(CF2)3P0(OC2H5)2)CH2CH=CH2、CF2=CFOCF2CF(OCF2CF2S02F)CH2CH=CH2。單體(2)中的n較好是l或2。X較好是氫原子或甲基。Rp的碳數(shù)較好是424。n為l的情況下，RF為1價(jià)含氟有機(jī)基團(tuán)。作為l價(jià)含氟有機(jī)基團(tuán)，較好是具有碳原子-碳原子間可插入有醚性氧原子的多氟垸基的l價(jià)含氟有機(jī)基團(tuán)。作為該l價(jià)含氟有機(jī)基團(tuán)，較好是以-(CH2)flRF1、-S02NR4(CH2)flRF^-OM))NR4(CH2)nR"表示的基團(tuán)。其中，fl表示l3的整數(shù)，R"表示碳數(shù)416的碳原子-碳原子間可插入有醚性氧原子的多氟垸基，R4表示氫原子、甲基或乙基。作為R"，較好是全氟垸基，特別好是直鏈狀全氟烷基。n為2的情況下，ir為2價(jià)含氟有機(jī)基團(tuán)。作為2價(jià)含氟有機(jī)基團(tuán)，較好是碳原子-碳原子間可插入有醚性氧原子的多氟亞，特別好是以-(CH2)f2RF2(CH2)f3-表示的基團(tuán)。其中，f2和f3分別表示l3的整數(shù)，RF2表示碳數(shù)416的碳原子-碳原子間可插入有醚性氧原子的多氟亞烷基。作為R"，較好是全氟亞烷基，特別好是直鏈狀全氟亞垸基或者碳原子-碳原子間插入有醚性氧原子且側(cè)鏈具有三氟甲基的全氟氧化烯基。作為單體(2)的具體例子，可以例舉下述的化合物CH2=CHCOO(CH2)2(CF2)8F、CH2=CHCOO(CH2)2(CF2)6F、CH2=C(CH3)COO(CH2)2(CF2)8F、CH2=C(CH3)COO(CH2)2(CF2)6F、CH2=CHCOOCH2(CF2)7F、CH2=C(CH3)COOCH2(CF2)7F、CH2=CHCOOCH2CF2CF2H、CH2=CHC00CH2(CF2CF2)4H、CH2=C(CH3)C00CH2CF2CF2H、CH2=C(CH3)C00CH2(CF2CF2)4H、CH2=CHC00CH2CF20CF2CF20CF3、CH2=CHCOOCH2CF20(CF2CF20)3CF3、CH2=C(CH3)COOCH2CF2OCF2CF2OCF3、CH2=C(CH3)C00CH2CF20(CF2CF20)3CF3、CH2=CHC00CH2CF(CF3)0(CF2CF(CF3)0)2(CF2)3F、CH2=C(CH3)C00CH2CF(CF3)0(CF2CF(CF3)0)2(CF2)3F、CH2=CHC00CH2CF20(CF2CF20)6CF2CH2OCOCH=CH2、CH2=C(CH3)COOCH2CF20(CF2CF20)6CF2CH2OCOC(CH3)=CH2、CH2=CHC00CH2(CF2)4CH20C0CH=CH2、CH2=C(CH3)C00CH2(CF2)4CH20C0C(CH3)=CH2。光固化性組合物包含大于O.1且小于等于20質(zhì)量％的含氟表面活性劑和/或含氟聚合物，較好是0.510質(zhì)量％，特別好是15質(zhì)量％。通過使其達(dá)到該范圍內(nèi)，易于調(diào)制光固化性組合物，而且該組合物不相分離而容易形成固化物。光固化性組合物可以包含含氟表面活性劑和含氟聚合物，也可以僅包含含氟表面活性劑，或者僅包含含氟聚合物。還有，光固化性組合物包含含氟表面活性劑和含氟聚合物的情況下，所述含量是指含氟表面活性劑和含氟聚合物的總量。含氟表面活性劑可以單獨(dú)使用l種，也可以2種以上并用。含氟聚合物可以單獨(dú)使用l種，也可以2種以上并用。光固化性組合物包含含氟表面活性劑的情況下，光固化性組合物的固化物的脫模性良好，可以順利地從模具剝離。含氟表面活性劑的含氟量較好是1070質(zhì)量％，更好是2040質(zhì)量％。含氟表面活性劑可以是水溶性或脂溶性。作為含氟表面活性劑，較好是陰離子性含氟表面活性劑、陽離子性含氟表面活性劑、兩性含氟表面活性劑、非離子性含氟表面活性劑，從分散性良好的角度來看，特別好是非離子性含氟表面活性劑。作為陰離子性含氟表面活性劑，較好是多氟烷基羧酸鹽、多氟烷基磷酸酯、多氟垸基磺酸鹽。作為陰離子性含氟表面活性劑的具體例子，可以例舉SurflonS-lll(商品名，清美化學(xué)株式會社(七YS亇$力/H±)制)、FluoradFC-143(商品名，3M公司(7U一工厶社)制)、MEGAFACEF-120(大日本油墨化學(xué)工業(yè)株式會社(大日本Yy年化學(xué)工業(yè)社)制)等。作為陽離子性含氟表面活性劑，較好是多氟垸基羧酸的三甲基銨鹽、多氟垸基磺酰胺的三甲基銨鹽。作為陽離子性含氟表面活性劑的具體例子，可以例舉SurflonS-121(商品名，清美化學(xué)株式會社(ir<$亇$力汝社)制)、FluoradFC-134(商品名，3M公司(7U—工厶社)制)、MEGAFACEF-450(大日本油墨化學(xué)工業(yè)株式會社(大日本O年化學(xué)工業(yè)社)制)等。作為兩性含氟表面活性劑，較好是多氟垸基甜菜堿。作為兩性含氟表面活性劑的具體例子，可以例舉SurflonS-132(商品名，清美化學(xué)株式會社(七,$亇$力少社)制)、FluoradFX-172(商品名，3M公司(7!J—工厶社)制)等。作為非離子性含氟表面活性劑，可以例舉多氟烷基氧化胺、多氟垸基環(huán)氧垸加成物、包含基于具有氟代垸基的單體的單體單元的低聚物或聚合物等。作為含氟烷基，較好是前述多氟垸基(R")。作為非離子性含氟表面活性劑，較好是包含基于具有氟代垸基的單體的單體單元的低聚物或聚合物，重均分子量較好是10008000。作為具有氟代垸基的單體，較好是氟代(甲基)丙烯酸酯，特別好是氟代垸基(甲基)丙烯酸酯。作為氟代烷基(甲基)丙烯酸酯，較好是單體(2)中的n為l、X為氫原子或甲基的化合物。作為非離子性含氟表面活性劑的具體例子，可以例舉SurflonS-145(商品名，清美化學(xué)株式會社(i,$夂$力》社)制)、SurflonS-393(商品名，清美化學(xué)株式會社(t^$^$力/H±)制)、SurfIonKH-20(商品名，清美化學(xué)株式會社(七^$^$力》社)制)、SurflonKH-40(商品名，清美化學(xué)株式會社(七^3亇3力/W土)制)、FluoradFC-170(商品名，3M公司(7U—工厶社)制)、FluoradFC-430(商品名，3M公司(7U—工厶社)制)、MEGAFACEF-444(大日本油墨化學(xué)工業(yè)株式會社(大日本<乂年化學(xué)工業(yè)社)制)、MEGAFACEF-479(大日本油墨化學(xué)工業(yè)株式會社(大日本<乂年化學(xué)工業(yè)社)制)等。光固化性組合物包含含氟聚合物的情況下，光固化性組合物的固化物的脫模性良好，可以順利地從模具剝離。此外，光固化性組合物固化時，由于在含氟聚合物的存在下進(jìn)行單體的聚合，因此可獲得體積收縮率小的固化物。因此，形成于該固化物的表面的凸條的形狀相對于模具的溝的形狀是高精度的。還有，含氟聚合物是指除作為非離子性含氟表面活性劑例舉的包含基于具有氟代垸基的單體的單體單元的低聚物或聚合物以外的化合物。從與其它成分的相溶性的角度來看，含氟聚合物的重均分子量較好是500100000，更好是1000100000，特別好是300050000。從脫模性良好的角度來看，含氟聚合物的含氟量較好是3070質(zhì)量％，更好是4570質(zhì)量％。作為含氟聚合物，從相溶性的角度來看，較好是含雜原子的含氟聚合物，更好是含氮原子、氧原子、硫原子或磷原子的含氟聚合物，特別好是含羥基、醚性氧原子、酯基、烷氧羰基、磺?；⒘姿狨セ?、氨基、硝基或酮基的含氟聚合物。作為含氟聚合物，可以例舉使單體(l)聚合而得的含氟聚合物、使CF^CK和CH^CH0C0CH3共聚而得的含氟聚合物。作為含氟聚合物，較好是使單體(l)聚合而得的含氟聚合物，特別好是R'為氟原子，R2為氫原子，Q為選自-CF2C(CF3)(0H)CH2-、-CF2C(CF3)(OH)-、—CF2C(CF3)(OCH2OCH3)CH2-、-CH2CH(CH2C(CF3)20H)CH2-或-CH2CH(CH2C(CF3)20H)-的基團(tuán)。光固化性組合物中的含氟聚合物的量相對于含氟表面活性劑和含氟聚合物的總量較好是1100倍質(zhì)量，更好是120倍質(zhì)量，特別好是110倍質(zhì)量。光固化性組合物包含110質(zhì)量％光聚合引發(fā)劑，較好是29質(zhì)量％，特別好是38質(zhì)量％。通過使其在該范圍內(nèi)，可以容易地將光固化性組合物中的單體聚合而形成固化物，因此不需要進(jìn)行加熱等操作。此外，光聚合引發(fā)劑的殘?jiān)灰讚p害固化物的物性。光聚合引發(fā)劑是通過光而引發(fā)自由基反應(yīng)或離子反應(yīng)的化合物。作為光聚合引發(fā)劑，可以例舉下述的光聚合引發(fā)劑。乙酰苯類光聚合引發(fā)劑乙酰苯、對叔丁基-r,r,r-三氯乙酰苯、氯乙酰苯、2'，2，-二乙氧基乙酰苯、羥基乙酰苯、2，2-二甲氧基-2，-苯基乙酰苯、2-氨基乙酰苯、二垸基氨基乙酰苯等。苯偶姻類光聚合引發(fā)劑苯偶酰、苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻異丙基醚、苯偶姻異丁基醚、1-羥基環(huán)己基苯基酮、2-羥基-2-甲基-l-苯基-2-甲基丙-l-酮、1-(4-異丙基苯基)-2-羥基-2-甲基丙-l-酮、芐基二甲醛縮苯乙酮等。二苯酮類光聚合引發(fā)劑二苯酮、苯甲酰苯甲酸、苯甲酰苯甲酸甲酯、鄰苯甲酰苯甲酸甲酯、4-苯基二苯酮、羥基二苯酮、羥基丙基二苯酮、丙烯?；酵?、4,4，-雙(二甲氨基)二苯酮等。噻噸酮類光聚合引發(fā)劑噻噸酮、2-氯噻噸酮、2-甲基噻噸酮、二乙基噻噸酮、二甲基噻噸酮等。含氟原子的光聚合引發(fā)劑全氟(過氧化叔丁基)、全氟過氧化苯甲酰等。其它光聚合引發(fā)劑ci-酰基肟酯、節(jié)基-(鄰乙氧基羰基)-a-單肟、?；趸?、乙醛酸酯、3-氧代香豆素、2-乙基蒽醌、樟腦醌、硫化四甲基秋蘭姆、偶氮二異丁腈、過氧化苯甲酰、二烷基過氧化物、過氧新戊酸叔丁酯等。光固化性組合物實(shí)質(zhì)上不含溶劑。光固化性組合物由于包含對于特定的主要成分單體、含氟表面活性劑和含氟聚合物的相溶性高的含氟單體，因此可以在不含溶劑的情況下形成均勻的組合物。由于不含溶劑，因此其使用時可以在不進(jìn)行其它工序(溶劑的餾去工序等)的情況下進(jìn)行固化。此外，固化中的光固化性組合物的體積收縮小。實(shí)質(zhì)上不含溶劑是指不含溶劑，或者光固化性組合物的調(diào)制中使用的溶劑被盡量除去。光固化性組合物可以包含除主要成分單體、含氟單體、含氟表面活性劑、含氟聚合物和光聚合引發(fā)劑以外的成分(以下稱為其它成分)。作為其它成分，可以例舉光敏劑、無機(jī)材料、碳材料、導(dǎo)電性高分子、酞菁等染料材料、卟啉等有機(jī)金屬配合物、有機(jī)磁性體、有機(jī)半導(dǎo)體、液晶材料等。作為光敏劑的具體例子，可以例舉正丁胺、二正丁基胺、三正丁基膦、烯丙基硫脲、s-芐基異硫脲鏡對甲苯亞磺酸鹽、三乙胺、甲基丙烯酸二乙基氨基乙酯、三亞乙基四胺、4，4，-雙(二垸基氨基)二苯酮等。作為無機(jī)材料的具體例子，可以例舉硅化合物(硅、碳化硅、二氧化硅、氮化硅、硅鍺、硅鐵等)、金屬(鉑、金、銠、鎳、銀、鈦、鑭族元素、銅、鐵、鋅等)、金屬氧化物(氧化鈦、氧化鋁、氧化鋅、IT0、氧化鐵、氧化銅、氧化鉍、氧化錳、氧化鉿、氧化釔、氧化錫、氧化鈷、氧化鈰、氧化銀等)、無機(jī)化合物鹽(鈦酸鋇等鐵電性材料、鈦酸鋯酸鉛等壓電材料、鋰鹽等電池材料等)、金屬合金(鐵氧體類磁石、釹類磁石等磁性體，鉍/碲合金、鎵/砷合金等半導(dǎo)體，氮化鎵等熒光材料等)等。作為碳材料的具體例子，可以例舉富勒烯、碳納米管、碳納米突(carbonnanohorn)、石墨、金剛石、活性炭等。(金屬細(xì)線)金屬細(xì)線僅形成于凸條上，在凸條間的溝中幾乎不形成。由于金屬細(xì)線僅形成于凸條上，因此透光性基板的折射率不是被金屬細(xì)線遮蓋的凸條的光固化樹脂的折射率，而是存在于凸條間的溝的空氣的折射率。因此，與金屬細(xì)線形成于平坦的基板上的以往的線柵型偏振器相比，瑞利共振的最大波長偏移至短波長，短波長側(cè)的偏振光分離能力提高。作為金屬細(xì)線的材料，從對于可見光的反射率高、可見光的吸收少且具有高電導(dǎo)率的角度來看，較好是銀、鋁、鉻、鎂、鉑，特別好是鋁。作為金屬細(xì)線的截面形狀，可以例舉正方形、長方形、梯形、圓形、橢圓形及其它各種形狀。金屬細(xì)線的厚度和寬度非常微細(xì)，微小的損傷就會導(dǎo)致線柵型偏振器的性能下降。此外，金屬細(xì)線的電導(dǎo)率由于生銹而下降，則線柵型偏振器的性能下降。因此，為了抑制金屬細(xì)線的損傷和生銹，可以用保護(hù)層被覆金屬細(xì)線。作為保護(hù)層，可以例舉樹脂、金屬氧化物、玻璃等。例如，金屬使用鋁的情況下，在空氣中被氧化而在表面形成氧化鋁。金屬氧化膜起到金屬細(xì)線的保護(hù)層的作用。為了使基板和保護(hù)層的界面上的P偏振光的反射減少，較好是使保護(hù)層的折射率和透光性基板的折射率實(shí)質(zhì)上一致。作為保護(hù)層，較好是具有耐熱性、可見光透射性的保護(hù)層，從在寬頻帶范圍內(nèi)獲得高偏振光分離能力的角度來看，更好是折射率低的保護(hù)層。保護(hù)層由于存在于線柵型偏振器的最表層，因此較好是具有鉛筆硬度H以上的硬度，也較好是具有防污性。為了提高光的利用效率，保護(hù)層或透光性基板可以在表面具有防反射結(jié)構(gòu)。以上說明的本發(fā)明的線柵型偏振器由于具有表面上形成有多條相互平行且具有一定間距的凸條的透光性基板以及形成于透光性基板的凸條上的金屬細(xì)線，因此在可見光區(qū)域表現(xiàn)出高偏振光分離能力。此外，透光性基板由光固化樹脂形成，因此耐熱性、耐久性良好?！淳€柵型偏振器的制造方法〉本發(fā)明的線柵型偏振器通過具有下述工序(a)(f)的制造方法制成。(a)將光固化性組合物涂布于支承基板上的工序。(b)將形成有多條相互平行且具有一定間距的溝的模具擠壓于光固化性組合物，使得溝與光固化性組合物接觸的工序。(c)在將模具擠壓于光固化性組合物的狀態(tài)下使光固化性組合物固化，形成具有對應(yīng)于模具的溝的多條凸條的透光性基板的工序。(d)將模具從透光性基板分離的工序。(e)在透光性基板的凸條上形成金屬細(xì)線的工序。(f)將支承基板從透光性基板分離的工序。(工序(a))如圖2(a)所示，將光固化性組合物20涂布于支承基板22上。作為光固化性組合物20，較好是前述光固化性組合物。作為支承基板22的材料，可以例舉石英、玻璃、金屬等無機(jī)材料，聚二甲基硅氧垸、透明含氟樹脂等樹脂材料等。作為涂布法，可以例舉灌注法、旋涂法、輥涂法、模涂法、噴涂法、流延法、浸涂法、絲網(wǎng)印刷、轉(zhuǎn)印法等。(工序(b))如圖2(b)所示，將形成有多條相互平行且具有一定間距的溝24的模具26擠壓于光固化性組合物20，使得溝24與光固化性組合物20接觸。還有，本發(fā)明中所說的一定間距是指在一定范圍內(nèi)一定間距，例如可以進(jìn)行中心部的間距和周邊部的間距的變更等來根據(jù)部位改變特性。圖4是模具26的立體圖。溝24的間距Pp為溝24的寬度Dp和形成于溝24間的凸條的寬度的總和。溝24的間距Pp較好是在300nm以下，更好是50200nm。通過使間距Pp在300nm以下，線柵型偏振器顯示出足夠高的反射率且在400mn左右的短波長區(qū)域也顯示出高偏振光分離能力。此外，衍射產(chǎn)生的著色現(xiàn)象得到抑制。溝24的寬度Dp和間距Pp的比值(Dp/Pp)較好是0.10.6，更好是O.40.55。通過使Dp/Pp在0.l以上，線柵型偏振器的偏振光分離能力變得足夠高。通過使Dp/Pp在0.6以下，干涉引起的透射光的著色得到抑制。溝24的深度Hp較好是50500nm,更好是100300nm。通過使深度Hp在50nm以上，金屬細(xì)線向被轉(zhuǎn)印的凸條上的選擇性形成變得容易。通過使深度Hp在500nm以下，線柵型偏振器的偏振度的入射角依賴性減小。作為模具26的材料，較好是石英、玻璃、聚二甲基硅氧烷、透明含氟樹脂等透光材料。此外，使用透明的支承基板的情況下，可以使用硅、鎳等的不透明模具。通過使模具的形狀為輥狀，可以一邊使輥旋轉(zhuǎn)，一邊將模具擠壓于光固化性組合物，將光固化性組合物固化，能夠連續(xù)地轉(zhuǎn)印對應(yīng)于溝的凸條，因此可以使線柵型偏振器大面積化。將模具26擠壓于光固化性組合物20時的擠壓壓力(表壓)較好是大于0且小于等于10MPa。(工序(c))如圖2(c)所示，在將模具26擠壓于光固化性組合物20的狀態(tài)下使光固化性組合物20固化，形成具有對應(yīng)于模具26的溝24的多條凸條12的透光性基板14。在模具由透光材料形成的情況下，固化通過從模具26側(cè)對光固化性組合物20照射光來進(jìn)行。支承基板22由透光材料形成的情況下，可以從支承基板22側(cè)對光固化性組合物20照射光。此外，可以并用基于加熱的固化。作為光照的光源，可以使用高壓汞燈等。(工序(d))如圖3(d)所示，將模具26從透光性基板14分離。還有，工序(d)之前，可以進(jìn)行分離支承基板22的工序(f)。(工序(e))如圖3(e)所示，在透光性基板14的凸條12上形成金屬細(xì)線16。還有，工序(e)之前，可以進(jìn)行分離支承基板22的工序(f)。作為金屬細(xì)線16的形成方法，可以例舉蒸鍍法、濺射法、鍍覆法等，從在凸條12上選擇性地形成金屬細(xì)線16的角度來看，較好是在真空下從斜向噴射微粒而形成膜的斜向蒸鍍法(包括斜向?yàn)R射法)。像本發(fā)明這樣間距窄且凸條具有高度的情況下，通過從足夠低的角度進(jìn)行斜向蒸鍍，可以在凸條12上選擇性地形成金屬的層。此外，也可以通過斜向蒸鍍法形成薄的金屬層，然后通過鍍覆法在其上重疊其它金屬的層，形成所需厚度的金屬細(xì)線。(工序(f))如圖3(f)所示，將支承基板22從透光性基板14分離，獲得線柵型偏振器IO。還有，支承基板22由透光材料形成的情況下，可以不分離支承基板22，將而透光性基板14和支承基板22—體化而得的器件用作線柵型偏振器。對于以上說明的本發(fā)明的線柵型偏振器的制造方法，由于是具有所述工序(a)(f)的制造方法、即光壓印法，因此制造工序比以往的光刻法少，可以生產(chǎn)性良好地制造線柵型偏振器，且能夠大面積化。此外，光壓印法由于使用光固化性組合物，因此與使用熱塑性樹脂作為基板的以往的熱壓印法不同，可以制造耐熱性、耐久性良好的線柵型偏振器。實(shí)施例以下，通過實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的說明，但本發(fā)明并不局限于這些實(shí)施例。[例l]圖5和圖6中表示通過立體電場模擬軟件麗Studio(CST公司(CSTGmb社))計(jì)算出的本發(fā)明的線柵型偏振器的P偏振光和S偏振光的透射率與入射光波長的關(guān)系以及透射光的偏振度與入射光波長的關(guān)系。計(jì)算在光從金屬細(xì)線側(cè)入射線柵型偏振器的條件下，設(shè)定入射角6=0°或45°、間距Pp:200nm、金屬細(xì)線的寬度DiTFlOOnm、金屬細(xì)線的高度Hra=100nm，對于透光性基板的折射率(nd)為1.5的樣品進(jìn)行。作為金屬細(xì)線的材料，選擇電導(dǎo)率高、可見光的反射率高的鋁。偏振度根據(jù)下式計(jì)算。偏振度二((Tp-Ts)/(Tp+Ts))。5其中，Tp表示P偏振光的透射率，Ts表示S偏振光的透射率。由圖5可知，入射角9=0°時，對于可見光的透射光的偏振度超過95%，具有良好的偏振光分離能力。入射角6=45°時的偏振度示于圖6。已知若增大入射角，則最大共振波長向長波長偏移，但確認(rèn)對于本發(fā)明的線柵型偏振器，如果折射率(nd)為1.5，則可見光區(qū)域的偏振光分離能力足夠高。(光固化性組合物的調(diào)制)在管形瓶容器(內(nèi)容積6mL)中加入O.30g單體(3-1)、0.40g單體(3-2)、0.25g單體(2-l)和O.Olg含氟表面活性劑(旭硝子株式會社(旭硝子社)制，氟代丙烯酸酯(CH2=CHC00(CH2)2(CF2)8F)的共聚低聚物(含氟量約30質(zhì)量％，重均分子量約3000))，再加入0.04g光聚合引發(fā)劑(汽巴精化公司(千^只^、乂亇??；亍Y—亇^力少乂社)制，IRGACURE907)，進(jìn)行混合，制成粘度為12mPas的光固化性組合物(以下記作組合物l)。組合物l的固化物的折射率(nd)為1.48，200um厚度的可見光透射率為94.2%，水的接觸角為95。，維卡軟化點(diǎn)溫度為154T:。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage23</formula>(3-1)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage23</formula>(3-2)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage23</formula>(2-1)(線柵型偏振器的制造)在厚2.8mm的石英基板上通過旋涂法涂布組合物l，形成厚lUm的組合物l的涂膜。將通過電子射線加工而形成有多條溝的石英制透明模具(溝的間距Pp二200nm，溝的寬度Dp:100nm，溝的深度Hp二150nm)在25'C以O(shè).5MPa(表壓)擠壓于組合物l的涂膜，使溝與組合物l的涂膜接觸。在保持該狀態(tài)的情況下，從透明模具側(cè)照射高壓汞燈(頻率^.5kHz2.OkHz，主波長光二255nm、315nm和365nm，365nm時的照射能量4000mJ)的光15秒，使組合物l固化，形成具有對應(yīng)于透明模具的溝的多條凸條(間距Pp二200nm，寬度Dp^00nm，高度Hp^50nm)的透光性基板。將透明模具慢慢地從透光性基板分離。在透光性基板的凸條上通過斜向蒸鍍法蒸鍍鋁，形成金屬細(xì)線(厚度Hm=150nm，寬度DnpaOOnm)，獲得透光性基板和石英基板一體化的線柵型偏振器。(線柵型偏振器的制造)在厚2.8mm的石英基板上通過旋涂法涂布聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)溶液，使其干燥，形成厚lum的PET膜。將與例2同樣的透明模具加熱至15(TC后，將15(TC的透明模具以10MPa(表壓)擠壓于PET膜，使溝與PET膜接觸，形成具有對應(yīng)于透明模具的溝的多條凸條(間距Pp:200nm，寬度Dp^lOOnm，高度Hp^50nm)的透光性基板。將透明模具冷卻至3(TC后，將透明模具慢慢地從透光性基板分離。在透光性基板的凸條上通過斜向蒸鍍法蒸鍍鋁，形成金屬細(xì)線(厚度Hm=150nm，寬度Dn^l00nm)，獲得透光性基板和石英基板一體化的線柵型偏振器o(生產(chǎn)性)對生產(chǎn)性，將每1塊的生產(chǎn)時間不足2分鐘的評價(jià)為0，將每l塊的生產(chǎn)時間在2分鐘以上的評價(jià)為X。結(jié)果示于表l。(脫模性)對于脫模性，將縱向的伸長率不足5%的評價(jià)為〇，將縱向的伸長率在5%以上且不足10%的評價(jià)為A，將縱向的伸長率在10%以上的評價(jià)為X。結(jié)果示于表l。(透射率)從線柵型偏振器的金屬細(xì)線側(cè)相對于線柵型偏振器垂直地入射波長405nm的固體激光和波長635nm的半導(dǎo)體激光，測定P偏振光和S偏振光的透射率。將透射率在70%以上的評價(jià)為〇，將不足70X的評價(jià)為X。結(jié)果示于表l。(偏振度)偏振度根據(jù)下式計(jì)算。偏振度二((Tp-Ts)/(Tp+Ts))"其中，Tp表示P偏振光的透射率，Ts表示S偏振光的透射率。將偏振度在90%以上的評價(jià)為0，將不足90X的評價(jià)為X。結(jié)果示于表l。(耐熱性)將線柵型偏振器置于20(TC的氣氛下1000小時，制成耐熱性試驗(yàn)樣品。對于耐熱性試驗(yàn)樣品，測定前述透射率，計(jì)算偏振度。將耐熱性試驗(yàn)前后的透射率變化不足1%的評價(jià)為〇，將1%以上不足5X的評價(jià)為A，將5X以上的評價(jià)為X。此外，將耐熱性試驗(yàn)前后的偏振度變化不足1%的評價(jià)為〇，將1%以上且不足5%的評價(jià)為^,將5%以上的評價(jià)為x。結(jié)果示于表l。<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table>例3的熱壓印法與以往的光刻法相比可以大幅簡化工序，但與例2的光壓印法相比，生產(chǎn)節(jié)拍時間長，且由于需要高溫、高壓條件而裝置也規(guī)模大，不能說生產(chǎn)性良好。例3中使用的PET的脫模性差，需要在透明模具上涂布脫模劑。另一方面，例2的光固化樹脂的表面自由能低，沒有脫模劑的情況下表現(xiàn)出良好的脫模性。對于偏振度和透射率，例2、例3都顯示出良好的結(jié)果。但是，耐熱性試驗(yàn)后的評價(jià)中，例3在凹凸圖案中出現(xiàn)混亂，偏振光分離能力下降。此外，由于PET的黃變(著色)，發(fā)現(xiàn)透射率顯著下降。另一方面，例2未發(fā)現(xiàn)性能下降，表現(xiàn)出良好的耐熱性。產(chǎn)業(yè)上利用的可能性本發(fā)明的線柵型偏振器在可見光區(qū)域內(nèi)顯示出高偏振光分離能力，耐熱性、耐久性良好，因此可用作液晶顯示裝置、背面投影型電視機(jī)、正面投影型投影儀等圖像顯示裝置的偏振器。尤其，因?yàn)槟蜔嵝粤己茫赃m合作為背面投影型電視機(jī)、正面投影型投影儀的偏振器。另外，在這里引用2006年4月7日提出申請的日本專利申請2006-106134號的說明書、權(quán)利要求書、附圖和摘要的所有內(nèi)容作為本發(fā)明說明書的揭示。權(quán)利要求1.線柵型偏振器的制造方法，其特征在于，具備將光固化性組合物涂布于支承基板上的工序；將形成有多條相互平行且具有一定間距的溝的模具擠壓于光固化性組合物，使得溝與光固化性組合物接觸的工序；在將模具擠壓于光固化性組合物的狀態(tài)下使光固化性組合物固化，形成具有對應(yīng)于模具的溝的多條凸條的透光性基板的工序；將模具從透光性基板分離的工序；在透光性基板的凸條上形成金屬細(xì)線的工序。2.如權(quán)利要求l所述的線柵型偏振器的制造方法，其特征在于，還具備將支承基板從透光性基板分離的工序。3.如權(quán)利要求1或2所述的線柵型偏振器的制造方法，其特征在于，作為所述光固化性組合物，使用固化后形成具有以下的物性的光固化樹脂的組合物折射率(nd)為1.31.6，且厚度為200um時的可見光透射率在93X以上的光固化樹脂。4.如權(quán)利要求13中的任一項(xiàng)所述的線柵型偏振器的制造方法，其特征在于，作為所述光固化性組合物，使用固化后形成具有以下的物性的光固化樹脂的組合物水的接觸角在90。以上的光固化樹脂。5.如權(quán)利要求14中的任一項(xiàng)所述的線柵型偏振器的制造方法，其特征在于，作為所述光固化性組合物，使用固化后形成具有以下的物性的光固化樹脂的組合物維卡軟化點(diǎn)溫度在150'C以上的光固化樹脂。6.如權(quán)利要求15中的任一項(xiàng)所述的線柵型偏振器的制造方法，其特征在于，作為所述光固化性組合物，使用下述光固化性組合物包含5098質(zhì)量％的不含氟原子的單體、0.145質(zhì)量％的含氟單體、大于O.1且小于等于20質(zhì)量％的含氟表面活性劑和/或含氟聚合物以及110質(zhì)量％的光聚合引發(fā)劑，且實(shí)質(zhì)上不含溶劑，25'C時的粘度為1200mPas的光固化性組合物。7.如權(quán)利要求16中的任一項(xiàng)所述的線柵型偏振器的制造方法，其特征在于，作為所述光固化性組合物的含氟單體，使用以下述的式(1)或(2)表示的含氟單體；CFfCR1-Q-CR2=CH2…(1)(CH2=CXCOO)nRF…(2)其中，式中的記號表示以下的含義式(1)中，R'和R2分別獨(dú)立地表示氫原子、氟原子、碳數(shù)13的垸基或碳數(shù)13的氟代烷基，Q表示氧原子、以-NR3-表示的基團(tuán)或可以具有官能團(tuán)的2價(jià)有機(jī)基團(tuán)，其中，R3表示氫原子、碳數(shù)16的烷基、垸基羰基或甲苯磺?；皇?2)中，n表示l4的整數(shù)，X表示氫原子、氟原子、甲基或三氟甲基，Rp表示碳數(shù)l30的n價(jià)含氟有機(jī)基團(tuán)。8.如權(quán)利要求17中的任一項(xiàng)所述的線柵型偏振器的制造方法，其特征在于，通過斜向蒸鍍法在透光性基板的凸條上形成金屬細(xì)線。9.如權(quán)利要求18中的任一項(xiàng)所述的線柵型偏振器的制造方法，其特征在于，所述模具的溝的間距在300nm以下。10.線柵型偏振器，其特征在于，通過權(quán)利要求19中的任一項(xiàng)所述的線柵型偏振器的制造方法制成。全文摘要本發(fā)明提供在可見光區(qū)域內(nèi)顯示出高偏振光分離能力，耐熱性、耐久性良好的線柵型偏振器及可以生產(chǎn)性良好地制造該線柵型偏振器的能夠大面積化的制造方法。具備如下工序的線柵型偏振器的制造方法將光固化性組合物20涂布于支承基板22上的工序；將形成有溝24的模具26擠壓于光固化性組合物20的工序；在將模具26擠壓于光固化性組合物20的狀態(tài)下使光固化性組合物20固化，形成具有對應(yīng)于模具26的溝24的凸條12的透光性基板14的工序；將模具26從透光性基板14分離的工序；在透光性基板14的凸條12上形成金屬細(xì)線的工序。文檔編號G02B5/30GK101416083SQ20078001177公開日2009年4月22日申請日期2007年4月6日優(yōu)先權(quán)日2006年4月7日發(fā)明者坂本寬,川口泰秀,庭野和彥,櫻井宏己,淺川昭彥,海田由里申請人:旭硝子株式會社