專利名稱：光學(xué)元件的制造方法
光學(xué)it件的制it^法狄領(lǐng)域本發(fā)明涉及用于將發(fā)揮光學(xué)功能的光學(xué)薄膜等光學(xué)部件^到M^位置 的光學(xué)元件的制造方法。背景M光學(xué)元件的一^H'J子，有用于液晶投劍義等投影型顯示裝置的^^光變^L件。 ^^光變^L件^于^K壬意^Mr向的A^光變^^^方向在1個(gè)方向上 取向一致的直線^^光并出射的元件。具體而言，在P偏振光和S偏振光的混 合^tA4t時(shí)，^^^光變^L件出射與P^^絲者S^^光中的^Hl個(gè)方向 上取向一致的偏振光。在^^光變^L件中，#^^光分離膜(通過(guò)偏振方向交^^形^平板狀的玻璃等透明^Ji，在毫明皿的出射平面的類L^位置 上，形成多#方形的相位差板(^/2波條)。因jt匕，在特開(kāi)JP2004 - 325547號(hào)>^才艮中7>開(kāi)了>^|^粘附將薄^作為原 材料的相位差板的裝置和方法。在特開(kāi)JP2004-325547號(hào)公報(bào)中，在由^J^ 預(yù)先在1軸工作臺(tái)上確定了位置的J^1上，把被吸附^^轉(zhuǎn)臺(tái)的規(guī)定位置的相 位差紗壓的狀態(tài)下，使上述l軸工作臺(tái)平行移動(dòng)，從而扭行粘附操怍。作為將以薄膜為原材料的相位差^^附在l^Lh的方法，可以主要采用利 用粘著劑和利用^^劑這2種方法。粘著劑^t^^在使物^fcH^^—點(diǎn)上具有相同的用途。即，從使物^CjH^合的材料的廣義含:5UMr，粘著劑是 包含在^M中的概念，但因?yàn)檎持鴦┦抢谜持κ刮颺M^b^， #^寸 (狄的^^')是利用齡力使物^tob^，所以兩者的^^功能不同。粘著劑是高粘;tJL低舉l"生率的半固員質(zhì)，在使物^MUH^^^M態(tài) ##不變，無(wú)需固化過(guò)程。另一方面，4^ij是^^占度的液體，使相對(duì)于齡 的物體之間的接觸面積增大，#^后，經(jīng)過(guò)才械變化、物理變^^H匕學(xué)變化等將導(dǎo)通電阻的增加抑制到可忽略的水平。在本發(fā)明人所進(jìn)行的試驗(yàn)的 范圍內(nèi)沒(méi)有認(rèn)識(shí)到，雪崩支配區(qū)中的擊穿電壓如何由于相鄰的p-型半 導(dǎo)體區(qū)之間的間隔中的載流子濃度的增加而減小。通過(guò)與上述計(jì)算相似的計(jì)算發(fā)現(xiàn)，即使

圖1所示的相鄰的p-型半導(dǎo)體區(qū)26之間的間距以士0.1pm波動(dòng)，采用其中通過(guò)雪崩支配確定擊 穿電壓的結(jié)構(gòu)也將反向擊穿電壓限制到土20V的小變化。還獲得了示出雪崩電流的溫度依賴性比漏電流的溫度依賴性小 得多的計(jì)算結(jié)果，并且還可以發(fā)現(xiàn)采用其中通過(guò)雪崩支配確定擊穿電 壓的結(jié)構(gòu)即使在高溫下也能夠確保穩(wěn)定地工作。下文中，將根據(jù)所示實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的細(xì)節(jié)進(jìn)行說(shuō)明。值得注意 的是，在下列實(shí)施例中第一導(dǎo)電類型為n型而第二導(dǎo)電類型為p型。第一實(shí)施例圖1是示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的半導(dǎo)體器件的基本結(jié)構(gòu)的 示意性截面圖。如圖1所示，首先在低電阻11+-型SiC襯底21上形成 載流子濃度為5至8xlO"/cr^且厚度大約為8pm的均相外延生長(zhǎng)的 n--型漂移層22，所述襯底由具有4H的多晶形的SiC形成，然后在襯 底21的背表面上形成歐姆電極20。在漂移層22的表面的中央?yún)^(qū)域中以dl=l.lnm的深度形成結(jié)勢(shì)壘 26，將A1離子選擇性地注入到所述結(jié)勢(shì)壘26中。如圖2中的頂視圖 所示(值得注意的是省略了隨后所述的電極23)，以1.3pm的寬度w 和0.6pm的間距s設(shè)置多個(gè)長(zhǎng)方形結(jié)勢(shì)壘26。結(jié)勢(shì)壘26還可以為島 狀，如圖3所示。然后，在漂移層22的表面的外圍區(qū)域中以d2=0.6pm 的深度形成邊緣終端區(qū)24以包圍多個(gè)結(jié)勢(shì)壘26，將Al離子選擇性 地注入在所述邊緣終端區(qū)24中。為了激活注入的離子，在1600°C下的氬氣氛中執(zhí)行退火5分鐘， 并且然后對(duì)照著圖4和5所示的必要條件檢驗(yàn)所制造的結(jié)構(gòu)的尺寸。!^Ji時(shí)，防ih^^溢出到^i^出區(qū)域。本發(fā)明的光學(xué)元件的制ii^法，用于制逸)t學(xué)元件，在該光學(xué)元件中，在 jj^面的多個(gè)位置上，形絲用于#^發(fā)揮光學(xué)功能的光學(xué)部件的齡區(qū)域 以及;f^^所絲學(xué)部件的^S出區(qū)域，所狄學(xué)部件與所述齡區(qū)域齡，^#絲于，具有以下步驟做膜粘附步驟，利用粘著劑#^^膜粘附到所 iiS^面的所iii^出區(qū)域；^W涂布步驟，在所ili^面的至少所 述接合區(qū)域的整個(gè)面上涂布^^劑；光學(xué)部件^步驟，使所述光學(xué)部件與所 述掩^區(qū)域拾^，對(duì)所^學(xué)部件 ^^壓力；以"J呆護(hù)膜剝離步驟，剝離所 述脾膜。利用上狄學(xué)元件的制妙法，在用^^iJ將光學(xué)部件^^到J^面時(shí)， 因?yàn)轭A(yù)^J^出區(qū)^形成了^^膜，所以即^f組將擠壓力作用在光學(xué)部 件上時(shí)，因?yàn)?^^溢出到保護(hù)肚，所以保護(hù)^^揮保護(hù)1^出區(qū)域的功 能。因?yàn)楸Ｗo(hù)膜由粘著劑粘附到J^面上，所以能夠4膝易地剝離保護(hù)膜。 粘著劑在剝離時(shí)不會(huì)引起凝集破壞，具有在皿上不殘留粘著劑的性質(zhì)，所以 在剝離保#膜時(shí)粘著劑;5^^劑不會(huì)殘留在 露出區(qū)域上，能夠全部去除。 因此，在艇iti^出區(qū)域時(shí)，不會(huì)由溢出的4^'J或^^^J員害光學(xué)元件 的光學(xué)功能。光學(xué)元件為了發(fā)微定的光學(xué)功能，光學(xué)部件需要以極高精度的位置關(guān)系 ^^在^4面上。因此，通i^，用相對(duì)于l^被確定了位置的掩模部件，能夠^^學(xué)部件高精度i^fe^。此時(shí)，^^i的掩模部件具有和^i^出區(qū)財(cái)應(yīng)的部^i皮貫通的^^模圖案，通過(guò)該貫通部粘附保護(hù)膜。這樣，因?yàn)楸Ｗo(hù)膜的位 置被高精度,定，所以#^膜作為導(dǎo)引部而#^到《^上的光學(xué)部件也能 夠高精度^W^到M^^位U。作為確定掩模部件相對(duì)于基板的位置的方法，可以采用M方法，M過(guò) 相對(duì)于將基fel固定在預(yù)先確定的位置上的固定夾^^裝掩模部件，能夠正確地 確定掩模部件和狄的位置。作為制造的光學(xué)部件，有例如偏振片變^L件。因?yàn)槠衿僞b件是在 !^的多個(gè)位置上形成長(zhǎng)方形的相位差板，所以需要將相位差板4^^到M^位 置上。對(duì)于偏振光變^t件，在長(zhǎng)方形的相位差板的短邊方向上，必須形# 極高精度的位置上，^^^^r向允許有些許的^！。因此，在要控制相位差板的短邊方向的動(dòng)作,固定基板的固定夾具上,在和相位差板的長(zhǎng)邊方向平行的方向的2個(gè)基板的端面中的1個(gè)端面和固定夾具上設(shè)置的固定基準(zhǔn)壁接觸的狀態(tài)下,由上述固定夾具上設(shè)置的可動(dòng)基準(zhǔn)壁積壓并固定相反側(cè)的端面,將掩模部件以和固定基準(zhǔn)壁的位置對(duì)準(zhǔn)的方式,安裝在上述固定夾具上.因?yàn)橥ㄟ^(guò)固定基準(zhǔn)壁和可動(dòng)基準(zhǔn)壁完全控制基板在上述短邊方向的動(dòng)作,所以在該方向上的位置能夠高精度的對(duì)準(zhǔn).另一方面,雖然說(shuō)在上述長(zhǎng)邊方向上允許有些誤差,但不能太大.因此,使上述長(zhǎng)邊方向的基板動(dòng)作由固定夾具上設(shè)置的第一控制壁和第二控制壁進(jìn)行控制.上述掩模部件具有在和固定夾具的位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下安裝的保持蓋,以及和掩模不見(jiàn)的狹縫相同的狹縫,能夠構(gòu)成具有可裝卸地安裝在保持蓋上的掩模板.通過(guò)將掩模部件分別形成為獨(dú)立的部件即保持蓋和掩模板,能夠使用多種安裝在保持蓋上的掩模板.通過(guò)更換掩模板,能夠和多種掩模團(tuán)對(duì)應(yīng),結(jié)合到基板上的相位差板也能夠形成任意圖案.作為相位差板,能夠采用剛性的高水晶板和具有可撓性的膜狀相位差板,而且,前述的是以結(jié)合了相位差板的偏振光變化元件為前提,但只要是將光學(xué)部件結(jié)合到基板上,可采用任意的相位差板.本發(fā)明的光學(xué)元件的制造方法即使在將光學(xué)部件結(jié)合到基板上時(shí)結(jié)合劑溢出,通過(guò)預(yù)先粘附保護(hù)膜,能夠防止溢出到基板上,而且,在粘保護(hù)膜時(shí),通過(guò)采用固定夾具和掩模部件,能夠?qū)⒐鈱W(xué)部件高精度的結(jié)合在基板上,通過(guò)西面基于附圖的發(fā)明的實(shí)施方式和實(shí)施例,本發(fā)明的目的.結(jié)構(gòu).作用效果將更加明確.而且本發(fā)明并不局限于這些實(shí)施例.圖7^^"#^的平面圖。圖8是將^1嵌合到固定夾具中，安裝^#蓋^"*時(shí)的圖5的A-A剖 面圖。圖9是將1^嵌合到固定夾具中，安裝>^#蓋和掩艦時(shí)的圖5的B~B剖 面圖。圖10狄示#^膜^^^^同"^面的狀態(tài)的說(shuō)明圖。 圖ll是舉It棍的i兌明圖。圖12是^^光變^L件的其它例子以及其中iMl的掩m的說(shuō)明圖。 M實(shí)施方式以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)^ti兌明。由本發(fā)明的制it^r法制造 的光學(xué)元件構(gòu)成為在l^SUi形^^WL定的光學(xué)功能的光學(xué)部件。作為光學(xué)元 件的一y^^子，在圖i中示出^^光變^L件l。其中，只要是在J^Ui形^學(xué)部件，對(duì)于除^^光變^L件1之外的任意光學(xué)元件，都能夠^I本發(fā)明的 制造方法。在圖1中，偏振光變^t件1構(gòu)成為在平板狀的1^12的多個(gè)位置上M 作為JJi^學(xué)辦的相位差板波械)10。作為發(fā)揮相位差板10的相位 差功能的部件，有可撓性薄膜、水晶^il如對(duì)A^M予規(guī)定的相位差的電介 質(zhì)多層m^的玻璃構(gòu)將。因此，作為相位差板IO，可以輛可撓性薄膜 這樣的軟性部件，也可以采用水晶板或電介質(zhì)多層MJI后的玻璃板等這樣的 剛性部件。作為^^]^^91的理由，列^t候性的問(wèn)題。因?yàn)閊IM6變狄件i主要形成液晶投孝x義等光學(xué)裝置的構(gòu)成部件，所以要長(zhǎng)^J^^高溫狀況下。因此，需^f^I具有耐候性的^^。而且，為了使剛性部件^jtb^，也需^fM齡強(qiáng)度強(qiáng)的^^。因此，為了^^光學(xué)部件和絲而^^)齡劑91是棘 2以玻璃等透明部*為_(kāi)^5出，在內(nèi)部，相對(duì)于A4t光的前i^r向傾 ^交替形成多^H^^光分離膜3和^gJt膜4。 ^!i光分離膜3是具有it4tA^ 光中的P偏振光或者S偏振光中的^fi^一種^^光，并M另 一種^^光的偏 振光分離功能的電介質(zhì)多層膜。^4t膜4是具有全A^A4t光的功能的膜，能 夠^M1例如金屬膜等。^^光分離膜3和^^t膜4形成為傾^L^角度(主要為45° )，將間隔 地交鄉(xiāng)成。因此，從^i^光變^L件1的趟平面1S趟的P ^^i姊S ^(y^光的^^t^初利用^^光分離膜3的^^光分離功負(fù)^f P ^^M者 S^^光中的^^一種，并M另Ki^雖然說(shuō)明的是，P偏振ifeit^， S 偏振it^， ^a;i也可以^:相反的'IW )。 P ^Je^W不變^w偏4^光變^t 件1的出射平面1R射出，S ^^光由^L光分離膜3絲，A4t到^f膜4上。 因?yàn)榉瓷淠?具有全M功能，所以S偏振光由反射膜4 M， A4t到在出射 平面1R上形成的相位差板10上。相位差板10呈長(zhǎng)方形的細(xì)長(zhǎng)形狀，對(duì)A^規(guī)予航的相位差( ，因 為作為A/2波>^1#^用，所以在P S ^M^U'司為180。的相位差)。這樣，因?yàn)锳^到相位差板10上的A^光是S偏振光，所以賦予A/2的相位差 后，S^^光變化成P^^光。因此，^M目位差板10出射的光為P ^J^光。如 圖1所示，P ^^光4械不變AkA出射平面1R中沒(méi)有形W目位差板10的部分 出射，從形成了相位差板10的部分出射從S ^tl(^光變MP ^^fer^的, 光，所以IHKh^出射平面1R出射的^P是P ^41i光，能夠?qū)崿F(xiàn)條變航 件1的功能。對(duì)制造以上的條變^ L件1的方法進(jìn)4ti兌明。首先，制備圖2 (a)所示 的形成了^li光分離膜3和^f膜4的絲2。從圖l也可知，將相位差板IO ^^到絲2的出射平面1R上。因此，在出射平面1R中，將^N目位差板10的區(qū)域記為齡區(qū)域1A， ；r^^相位差板io的區(qū)域記為^L^出區(qū)域iB。即呈齡區(qū)域1A和^&^出區(qū)域1B交魏成的樣態(tài)。^SLS出區(qū)域1B是在最 終制造的，變^L件1中為了ife^il:過(guò)而露出M的區(qū)域，在上述情況下， 是透過(guò)^^光分離膜3的P ^Meit^區(qū)域。下面，如同圖2 (b)所示，對(duì)^Jl出區(qū)域lB粘附^f錄膜DF (<錄膜粘 附步驟)。保護(hù)膜DF不;U:終構(gòu)成,變^L件1的部件，而是僅^其制造 過(guò)程中^^1的部件。因此，^^膜DF也可以不具有光學(xué)功能。作為^^膜DF 的材料，采用具有可撓性的薄膜。而且，可以佳月厚度較薄的膜。但是，因?yàn)?^^^膜DF還^ft為在1^2上形W目位差板IO時(shí)的導(dǎo)引部件而起作用， 所以具有某種禾UL的厚度。^M^膜DF和基仗2的^^采用粘著劑92。如上所述，保#膜DF在制作
過(guò)程中被剝離。此時(shí)，如果在結(jié)合面上采用引起凝集破壞的結(jié)合劑，則在之 后剝離獄膜DF時(shí)，結(jié)合劑和保護(hù)模膜DF會(huì)殘留基板2上。形成保護(hù)膜DF 的區(qū)^U^出區(qū)域1B，該區(qū)勤透過(guò)^i光分離膜3的光(P^^光)通 過(guò)的區(qū)域，所以如果結(jié)合劑和保護(hù)膜DF殘留，會(huì)對(duì)絲光產(chǎn)生光量損失和偏 4^方向變化等影響，不能發(fā)揮偏振光變換元件1的功能。因此，不采用在接合面上引起凝集破壞的^^劑，而是采用接合強(qiáng)度弱，在接合面上不引起凝集破 壞的粘著劑92。在將保護(hù)膜DF粘附到J^出區(qū)域1B上之后，如圖3(a)所示，至少對(duì) 齡區(qū)域1A的整個(gè)面涂布結(jié)合劑91 (結(jié)合劑涂布步驟)。必須涂布接合劑91 的接合區(qū)域1A, 但涂布時(shí)僅^L齡區(qū)域1A上形成接合劑91， 91不溢出到絲膜DFJ^S^上是不可能的。因此，如果將^^'91涂布在接 合區(qū)域1A的整個(gè)面上，則即使有些許溢出到^^膜DF上也是可以的。而且， 從辦性的現(xiàn)泉絲，如果不僅^i齡區(qū)域1A的棘，而是不區(qū)^^膜 DF^^區(qū)域iA，對(duì)M2的整個(gè)面涂布^^'J91， A^有效率的。下面，如圖3 (b)所示，對(duì)形成了^^，j 91的齡區(qū)域1A形^NI位差板 10。在I^出區(qū)域1B上形成^^膜DF，保護(hù)膜DF具有^f度，所以通 it^f錄膜DF的^t間配置相位差板10，能夠通過(guò)手工辦使相位差板IO 與齡區(qū)域1A吻合。此時(shí)，獄膜DF的側(cè)面成為導(dǎo)引部，將相位差板10引 導(dǎo)到齡區(qū)域1A。在使相位差板10與齡區(qū)域1A接觸^，對(duì)相位差板10作用擠壓力，形 成使作為光學(xué)部件的相位差板10與基昧2接觸的狀態(tài)(光學(xué)部件M步驟)。 如前所述，在大范圍Ak^布^^ 91時(shí)，^^'j 91的厚度不均勻，"^P^ 缺。此時(shí)，在涂得厚的部分，^5雖^J:，所以在該部分上應(yīng)力集中，才 應(yīng)力的禾UL,有可能會(huì)失去齡力。因此，需要實(shí) ^'91的厚度均-M匕， 將相位差板10可靠^^在J4！ 2上。因此，如勒目位差板10是柔性"W， 則^Ji部以捋的方式^P擠壓力，如果是剛性部件，則M部施加強(qiáng)力的壓力。如前所述，因?yàn)?^劑9lA^^占度的液^H"料。所以如果為了實(shí)IW^'J 91厚度的均一化而脅擠壓力，則*劑91會(huì)^目位差板10和基仗2之間被 壓出。jH^卜，為了提高^(guò) 雖度，需^f吏^^'j 91的層薄。這樣，通過(guò)將擠壓 力;^口^目位差板10上，將相位差板10和絲2之間的多余的^^'J 91壓出到夕I^P，能^f吏^^'J 91的厚度均-^匕，而域。因此，會(huì)引^￡出到夕一的 ^^91會(huì)向著^^:出區(qū)域1B溢出。i^E， ^f^膜DF粘附到J^J:出 區(qū)域1B上。因此，溢出的^^'J91會(huì)向著獄膜DF,ita出。總之，^M^膜 DF發(fā)揮^M^i^出區(qū)域1B不受溢出的4^'J 91的影響的功能。之后，剝離保護(hù)膜DF(保護(hù)膜剝離步驟)。因?yàn)槔谜持鴦?2粘附保護(hù)膜 DF，而_@3占著強(qiáng)度弱，所以能夠在不引起凝集破壞的情況下簡(jiǎn)單地剝離。在接 合上W目位差板10時(shí)溢出的#^，91 ^M錄膜DF -~^^i^L 2去除。從 而能夠在J^出區(qū)域1B上不殘留^^'J 91，將對(duì)透過(guò)^^光分離膜3的光 產(chǎn)生影響的部分4^P去除。如上所述，能夠制it^圖1所示的^^L2的^L位置上^^了相位差板10 的偏振光變^L件1。通ii44^M目位差板10時(shí)iM1^^91，使得相位^SL 10采用剛'賦者柔性中的^^r一種材料，都能夠可靠^^到狄2上，利用 保護(hù)膜DF的旨，能夠除去^時(shí)溢出的^^'j91。因此，沒(méi)有形勤目位差 板10的1j^出區(qū)域1B能夠W^S出^L^面。但是，在圖1的^^光變^L件1中，相位差板IO需要以極高的精度齡 在皿2上。即必須在^li光分離膜3的面向出射平面1R的部分(^4IL光分離 膜3和出射平面1R交叉的線)和^^t膜4的面向出射平面1R的部分(^Jt膜 4和出射平面1R交叉的線)之間正確ilk4占附相位基仗10。例如，擬目位差板 10的^f立置在圖1的X方向(相位差板10的短妙向靠近^4^光分離膜3 或者^(guò)g^膜4中的^"f可一個(gè)的方向)上產(chǎn)生偏離時(shí)，相位差板10的功食^t用 于應(yīng)該##不變艦過(guò)^^光分離膜3的P #^光，將P ^^光變城S條 光并出射。另一方面，不能使相位差板10的功能作用于由^t膜4^f的S偏 振光，S^^t^K橫不變地出射。因此，如^t^^相位差板10時(shí)產(chǎn)生位置 偏差，則不E^揮作為偏振光變^t件l的功能。因此，^Ef過(guò)以下的實(shí)施例來(lái)說(shuō)明，如前所述地，在^^相位差板10時(shí)防 止4^iJ 91溢出到J^出區(qū)域1B上，同時(shí)將相位差板10 #^到高精度的位 置上，來(lái)制it^lL光變^L件1的方法。實(shí)施例1如前所述，如^f目位差板io的短ii^r向(圖l的x方向)上產(chǎn)生位置偏差，則不^^^t為振光變^L件1的功能。因此，需要在該短i^向上以極高的精度#^相位差板10。但是，在圖1的Y方向(相位差板IO的")^r向 和紙面垂直的方向)上，^NtJUi午些許的^！。換言之，如絲Y方向上 產(chǎn)生位置偏差，則在^(^^光變^L件1的端部，極小部^&產(chǎn)生沒(méi)有形勤目位 差板10的財(cái)。此時(shí)，A4t到^^光變^L件1上的光的點(diǎn)徑不AA^f到針 A4t平面lS和出射平面lR上，而是在離中心一定范圍之內(nèi)。這樣，即^^f目 位差板IO的"]^L方向上產(chǎn)生些許的位置偏差，在端部的極小部分上產(chǎn)生沒(méi)有形 ^目位差板10的區(qū)域，iitJ^A^光的點(diǎn)徑范圍內(nèi)也^j殳有問(wèn)題的。但如果Y 方向的誤差大，則將iiAA^j"光的點(diǎn)徑之內(nèi)，所以誤差范圍也需要在允許的誤 差范圍之內(nèi)。因此，在本實(shí)施例中，在圖1的X方向上以極高的精度、在Y方向上具有 些"H^t^P相位差板10 #^到絲2上。將絲2載J^L嵌^f固定的固定 夾具上并固^，利用安裝在固定夾具上的掩模部件iMi^f目位差板10的掩l 以下，^L^圖4的流-呈圖ii^"^^i兌明。首先，將基敗2嵌M載置在圖5所示的固定夾具21的嵌合部22上(步 驟S1: ^載置步驟)。固定夾具21由剛性高的材料，例如不辦岡等金屬材料 構(gòu)成，在其中央部形成嵌*22。嵌⑩22^I于嵌合狄2的位置，其形狀 和基板2j^目同。但為了可以容易^^J^2，嵌合部22的形狀比皿2 稍大。如果將基仗2嵌合到嵌合部22中，則固定夾具21的面向嵌合郎22的3個(gè) 面成為控制動(dòng)作的壁，控制絲2在3個(gè)方向的動(dòng)作。在圖5中，控制狄2 在Y方向(和圖1的Y方向相同的方向)的動(dòng)作，控制X方向(和圖1的X 方向相同的方向)中1個(gè)方向的動(dòng)作?？刂芛方向的動(dòng)作的壁為第1控制壁 RW1、第2控制壁RW2,控制X方向的1個(gè)方向的動(dòng)作的壁為固^S^壁FW。如果將基仗2嵌合到嵌^P22中，則利用固^J^壁FW、第1控制壁RW1、 第2控制壁RW2，在某種禾JAJi控制向上述3個(gè)方向的動(dòng)作，^Wt制向剩余 的1個(gè)方向(X方向Ji^J余的1個(gè)方向)的動(dòng)作。因此，為了控制該方向上的 動(dòng)作，在固定夾具21上iM可動(dòng)性的滑動(dòng)部件23，將滑動(dòng)部件23的前端面(和 固^i^壁rw相對(duì)的面)作為用于控制上述X方向上剩余的1個(gè)方向的動(dòng)作 的可動(dòng)M壁MW。因?yàn)榛瑒?dòng)部件23在X方向上動(dòng)作，所以該！用于P艮制X 方向以外的動(dòng)作的引^件24。在引，件24上i^例如引導(dǎo)軌，滑動(dòng)部件23沿著該引導(dǎo)4^<51# X方向上動(dòng)作?；瑒?dòng)部件23的動(dòng)作利用螺釘25進(jìn)行。 通過(guò)檸緊或者旋松螺釘25，使滑動(dòng)辦23在X方向JJt樹(shù)作。不用說(shuō)當(dāng)然 也可以利用螺釘以外的動(dòng)作單; t/f吏滑動(dòng)部件23動(dòng)作。如前所述，因?yàn)榍禴P 22的形狀比絲2稍大，所以在第1控制壁RW1 和第2控制壁RW2的方向上，并沒(méi)有可靠地被固定。但是，通過(guò)檸緊螺釘25 使滑動(dòng)部降23在固定^^壁FW的方向上可動(dòng)，由可動(dòng)M壁MW和固U 準(zhǔn)壁FW將擠壓力作用于基板2，所以在可動(dòng)J^壁MW和固^J^壁FW的 方向上，可靠地固^J^L2(步驟S2:絲固定步驟)。此時(shí)，因?yàn)楣?t^壁 FW和絲2的端面(以下，稱為_(kāi)^^面28)沒(méi)有間隙^y^觸，所以嚴(yán)她 維持二者的相對(duì)位置關(guān)系。因此，通過(guò)由滑動(dòng)部件23^"壓絲2，不僅將絲 2固定于嵌合部22，而Jbi在高精度:^定位置的狀態(tài)下固定。在圖5中，絲2上描,虛線部分是形勤目位差板IO的部分。如前所述， 在Y方向上粘附精yl^許有些if^差，但在X方向上JM^L高的粘附精度。如 果將基板2嵌合在嵌合部22中，則在X方向上由固^J^壁FW和可動(dòng)M 壁MW完全控制其移動(dòng)，而且，嚴(yán)格^^目位差板10的X方向的固^S^壁 FW和絲2的1^面2B的相對(duì)位置關(guān)系。在由固定夾具21的固^J^壁FW和可動(dòng)M壁MW高精度^ii行位置 確定，完全固定的狀態(tài)下，將掩模部件安裝在固定夾具21上(步驟S3:掩模 部件安裝步驟)。M,掩模部件由##蓋30和掩*40構(gòu)成，^a^模部件也 可以由掩模板40 #構(gòu)成。掩模板40為牟本的情況將在后面描述。圖6表示可裝卸iik^裝在固定夾具21上的保持蓋30，圖7表示可裝卸地安 ^^##蓋30上的掩撒40。 ^#蓋30 了將掩撒40安絲固定夾具 21上而賴的*。 ##蓋30是具有比固定夾具21稍大的形狀的高剛性平板 狀部件，在其中央部形成開(kāi)口區(qū)域31。開(kāi)口區(qū)域31是貫通^#蓋30的區(qū)域， 其形#固定夾具21的嵌^22 JJ^目同。掩模板40是為了將相位差板10粘附#板2上而^M)的薄平板狀部件。 掩模板40和^#蓋30的形斜目同，在其中央部，在和開(kāi)口區(qū)域31相同的區(qū)域 形成掩模區(qū)域41。掩模區(qū)域41具有由多個(gè)貫通部42構(gòu)成的掩模圖案。貫通部 42是用于粘附相位差板10的區(qū)域，將相位差板10插入貫通部42，對(duì)基板2進(jìn) 行粘附。掩模區(qū)域41的掩模圖案中，貫通部42 ^卜的部分是沒(méi)有貫通的非貫通部 43。由貫通部42和非貫通部43得到的掩模圖案形成為與粘附到M 2上的保 護(hù)膜DF的圖案對(duì)應(yīng)的圖案。即，形成貫通部42和J^出區(qū)域1B對(duì)應(yīng)、非 貫通部43 ^^區(qū)域1A對(duì)應(yīng)這樣的圖案。換言之，在非貫通部43的對(duì)應(yīng)部分 上#^相位差板10'特別是為了防止漏光，在貫通部42的X方向上，先使掩 模圖案和粘附在^^2上的^^膜DF的圖案嚴(yán)^^致。另一方面，在Y方向上允許有些;W1。返回到圖4，在^#蓋30上形成#^部32。插嵌部32是為了將<^#蓋30 M并固定到固定夾具21中而突出的接觸部。圖8和圖9示出了將J412嵌合 并固定于固定夾具21，將安裝了掩模板40的保持蓋30安裝于固定夾具的狀態(tài) (圖8是該狀態(tài)下的圖5的A-A剖面圖，圖9是B-B剖面圖)。但如圖8和圖9 所示，將#^部32的內(nèi)周面32S以和固定夾具21的外周面21S接觸的方式插 嵌。即通過(guò)讓內(nèi)周面32S和外周面21S接觸，在X方向和Y方向上，使4^#蓋 30和固定夾具21的位置完全對(duì)^被固定。另一方面，通過(guò)在與X方向和Y 方向正交的方向(將##蓋30安絲固定夾具21上的方向，即垂直方向)上， ##蓋30被載紐固定夾具21上，使^該方向上^^皮固定。從而能夠#^呆 持蓋30安絲固定夾具21上。因?yàn)閷?duì)##蓋30以仿照固定夾具21的方錄 行位狄準(zhǔn)，所以##蓋30可以^f膝易iik^卸。參考圖6和圖7，在掩模板40的周#尖角上形成多個(gè)掩^^安裝郎44， 在與其對(duì)應(yīng)的位置的保持蓋30的周邊和尖角上也形成多個(gè)##蓋安裝部33。通 it^f^^蓋安裝部33上可裝卸地安裝掩^L安裝部44的結(jié)構(gòu)，可以得到嚴(yán)格 地^#撒40^^#蓋30的相對(duì)位置關(guān)系，又可交^^撒40的結(jié)構(gòu)。例 如，#^#蓋安裝部33 iU螺孔，在掩^1安裝部44上形成和螺孑l^f應(yīng)的貫 通孔，通過(guò)該貫通: L^螺釘35擰緊于螺孔中，從而能夠可裝卸iiMf掩模板40 安^^^#蓋30上。在圖8中， 2的Y方向的動(dòng)作由第1控制壁RW1和第2控制壁RW2 控制。如前所述，因?yàn)樵赮方向上允許有些許誤差，所以不需要完全固定，可 以產(chǎn)生一些間隙。為了使Y方向的動(dòng)作^允i^t范圍之內(nèi)，iU于第l控 制壁RW1和第2控制壁RW2。而且，在嵌合部22中形成臺(tái)階部22B，基板2 和臺(tái)階部22B接觸。形成臺(tái)階部22B的理由在于，旨最終制造的^^光變^L件1的有效徑 內(nèi)。即如勤目對(duì)于固定夾具21^S^2的整個(gè)面進(jìn)行接觸，則^^皮可動(dòng)M壁 MW擠壓時(shí)和在嵌合到固定夾具21中等時(shí)，由固定夾具21摩擦狄2的表面。 這樣，對(duì)于絲2的表面，會(huì)產(chǎn)生損傷等。因此，通過(guò)將臺(tái)轉(zhuǎn)22B^M^殳有 粘附相位差板10的端部的區(qū)域，防ib^粘附了發(fā)揮光學(xué)功能的相位差板10的 區(qū)^生損傷等。參照?qǐng)D9， 2的X方向的動(dòng)作由固^JJ^壁FW和可動(dòng)M壁MW完 全固定。在由#^部32在固定夾具21上確定位置的狀態(tài)下#^##蓋30，掩 撒40^^格維樹(shù)目對(duì)位置關(guān)系i^^裝于^^蓋30。因此，掩撒40和固定 夾具21的相對(duì)位置關(guān)系W艮嚴(yán)格，從而也嚴(yán)格維持固定夾具21的固^J^壁 FW M^^N^ 40上的4^模區(qū)域41的J^端部(和固^JJ^壁FW對(duì)應(yīng) 的端部)41B間的相對(duì)位置關(guān)系。這樣，也保證了與固^JJ^壁FW接觸的絲2的絲端面2B ^^模區(qū)域 41的絲端部41B間的相對(duì)位置關(guān)系。即掩模區(qū)域41和絲2成為位置完全 對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)。因此，從掩模區(qū)域41的貫通部42粘附^^膜DF (步驟S4:保 護(hù)膜粘附步驟)。貫通孔42和ljtl2的^felS出區(qū)域1B,在^J^L2的X方向上 位置完全對(duì)準(zhǔn)。從而如a貫通部42插入獄膜DF，使#絲2接觸將 用擠壓力，則能夠可靠地^^錄膜DF以極高的精度粘附到J^L露出區(qū)域1B上。 而且，因?yàn)槔谜持鴦?2將^^膜DF粘附到a露出區(qū)域lB上，所以不會(huì) 引起粘著劑92的溢出。而且，掩^40雖^的平板狀部件，但具有^l" 度，保護(hù)膜DF也^^E具有M^I"度，所以可以容易ilMf^膜DF插A^ 貫通部42中。此時(shí)，因?yàn)檠谀０?0是薄的平板狀部件，所以考慮v^^壓旨膜DF時(shí)， 掩模板40也會(huì)產(chǎn)生彎曲，但因?yàn)檠谀０?0安裝在剛性高的保持蓋30上，所以 不^^產(chǎn)生彎曲。在#^獄膜DF粘附到1^L 2的^S出區(qū)域1B上^，從固定夾具21 中取出絲2。此時(shí)，林固定夾具21中取出掩模部件，放開(kāi)可動(dòng)絲壁麗 的擠壓力4L^，從固定夾具21中取出絲2。然后，如圖3 (a)所示，將齡 劑91涂布到基仗2的掩^區(qū)域1A的整個(gè)面上(步驟S5: ^^'j涂布步驟)。 因?yàn)橛瑟z膜DF ^M^S^出區(qū)域1B,所以如果將"^H 91涂布到至少接合區(qū)域1A的整個(gè)面上，則也可以脫離^^區(qū)域1A。而且，從IMt性的現(xiàn)泉來(lái) 看，對(duì)包含齡區(qū)域1A ^^錄膜DF的針面涂布，更有效。需要以^^FiJ 91的厚絲而且均勻的方式涂布。因此，例如利用鋪，將^^91^^到接 合區(qū)域1A，利用^^'J涂布用刷等，將^^91在4^P區(qū)域均勻ilk^布開(kāi)來(lái)。 ^，通it^^^91^a擠壓力，確^^厚度均"H匕，但為了供給^^'J91 時(shí)實(shí)現(xiàn)某種^JLh的厚度的均"H匕，例如可以調(diào)整溶劑相對(duì)于^^'J 91的;^ 比，來(lái)ii^于粘度的調(diào)整.然后，像在實(shí)^r式中說(shuō)明的那樣，辦為光學(xué)部件的相位差板10^^到 接合區(qū)域1A上(步驟S6:光學(xué)部件4^步驟)?？梢岳脵C(jī)械自動(dòng)^ff^目位差 板10的安裝作業(yè)，但也可以AX辦。^AX辦時(shí)，如彩炎有^^T引辨， 就不能將相位狄10準(zhǔn)確iik^^到齡區(qū)域lA上。 ^^發(fā)明中，如前所述， 也作為導(dǎo)引^M^作用的旨膜DF以極高的精度粘附到J^出區(qū)域1B上。因 為保護(hù)膜DF具有M^^度，所以能夠W目互々條的^^膜DF之間嵌合相位差 板10。此時(shí)，由于^M^膜DF的側(cè)面形成引導(dǎo)面，所以以AX也能夠以極高的 精度將相位差板10 #^到齡區(qū)域1A上。如前所述，預(yù)先以厚度均-M匕的方式將^^'J 91涂布到齡區(qū)域1A上。 但是，因?yàn)樵?^布齡劑91時(shí)難以^^v^4^均勻，所以會(huì)有-"^分4l^劑91 缺，該部分的齡強(qiáng)度斷氐。因此，如在實(shí)施方式中說(shuō)明的那樣，在使相位 差板10 ^*^區(qū)域1A接觸U,通it^Ji部對(duì)作為光學(xué)部件的相位差板10 作用擠壓力，實(shí)現(xiàn)了厚度的均^f匕，不容易引^^，91的凝集破壞，提高了 齡強(qiáng)度。從齡區(qū)域1A輛目位差板10之間壓出的剩余的^^'] 91不移到基 M出區(qū)域1B上，而是移到保護(hù)它的保護(hù)膜DF上。因此，剩余的"^劑91 不會(huì)溢出到1j^出區(qū)域1B上。處，必須使#^期目位錄10時(shí)溢出的^^f'J 91不Ji^相位錄10之 上。即劑相位差板10具有MJt的厚度，^^上M的部件。這#-來(lái)，如果 相位差板10的厚度與保護(hù)膜DF的厚vl相比不夠厚，則^M^目位差板10作用 擠壓力時(shí)，剩余的4^']91會(huì)Ji^相位錄10^Ji0因此，令相位差板10與 寸^膜DF相比具有;t夠的;^度。在^M^膜DF ^目位差板10的厚yl^A夠的 情況下，相位差板10的端辦為防jb^^上升的控制^^作用。但即^fvl 差小的情況下，如^L將擠壓力作用于相位差板10時(shí)溢出的剩余的M劑91的量少，或者緩'lt^kii行擠壓操怍，則也能夠防止^^'上到相位差板10^Ji。 接下來(lái)，剝離保護(hù)膜DF(步驟S7:保護(hù)膜剝離步驟)。因?yàn)槔貌灰鹉?集破壞的粘著劑92粘附^#膜DF，所以能夠容易地進(jìn)行剝離。通過(guò)剝離保護(hù) 膜DF，能夠制造最終的產(chǎn)品即圖1的偏振光變^L件1。在進(jìn)^f獄膜DF的 剝離時(shí)，因?yàn)閊^^膜DF-^J^去了^"相位差板10時(shí)溢出的^^91,所 以不會(huì)對(duì)透iti^露出區(qū)域1B的光(P偏振光)產(chǎn)生影響。因?yàn)閊^膜DF最^^皮剝離，所以為了可以容易地剝離，^i^Ml 粘著強(qiáng)度低的粘著劑92。但是在步驟S5的^^'j涂布步驟中，在,分或者 全部的保護(hù)膜DF上涂布^劑91， ^^布時(shí)必須使得在旨膜DF上不產(chǎn)生 偏差。特別是在利用涂布用刷涂布M劑91的情況下，在^^膜DFJi^MC平 方向(圖1的X方向或者Y方向)上作用某種考嫂的應(yīng)力。因此，優(yōu)選使用的 粘著劑92具有穩(wěn)定i^占著，膜DF Jtj:易剝離的粘著力。并JL^步驟S7中，^M^膜DF的剝離不是在^^相位基板10之后立即剝離，而是^tj:一定時(shí)間^剝離。在^^相位差板10^不久，因?yàn)榈矣?劑91的粘度低的狀態(tài)，所以如^4ii一狀態(tài)下剝離保護(hù)膜DF，不好切斷 #^H91，會(huì)產(chǎn)生牽絲。而且，在剝離獄膜DF^不久，因?yàn)樾蝆M目位 差板10 ^N^區(qū)域1A之間的^Nf，] 91 i^殳有固化，所以^Nf，] 91也會(huì)滲出 到J^出區(qū)域1B。另一方面，如^^^^相位差板10并經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間4^剝 離^^膜DF,則因?yàn)?^^91完全固化，所以溢出到^^膜DF上的^^iJ 91 H^完全固化的狀態(tài)。這樣，保護(hù)膜DF就不肯^皮剝離。因此，不是在#^ 相位差板10之后立即，而A^全固化之前即在某種禾UJi粘度變高時(shí)剝離保護(hù) 膜DF才是合適的。從而在剝離旨膜DF時(shí)，敘目位差板10的邊^(qū)t^^'J 91可靠地切斷，能夠使邊#明。以上，通過(guò)預(yù)先粘附,膜DF,能夠防止溢出的4^，91對(duì)^^^光變換 元件1產(chǎn)生壞的影響，在WM^膜DF粘附到狄2上時(shí)，因?yàn)閕MJ固定夾具 21 ^"撒40，能夠?qū)⑾辔徊畎?0 ^^到極高精度的位置上。但是，在步驟S4的保護(hù)膜粘附步驟中，需^m獄膜DF可靠地粘附到基 板2上。即如果^^膜DF的-^分產(chǎn)生剝離等，則^M^目位差板10加壓時(shí)溢 出的#^|91會(huì)從剝離部分附著到1^出區(qū)域1B上。因此，在步驟S4中， 在4^錄膜DF粘附到基仗2上之后，伏i^H錄膜DF是否可靠地粘附進(jìn)行確認(rèn)(檢查)。因?yàn)榍癪Ai要由Axl^tf錄膜DF的粘附，所以也由AX^lfr確認(rèn)作 業(yè)。此時(shí)，為了由AX容易WWf確認(rèn)作業(yè)，扭過(guò)掩傲40粘附^^膜DF 時(shí)，掩艦40具有使得掩激40和^^膜DF呈同-"^面的厚度。在圖10中 示出了從掩^^40^f錄膜DF粘附到1^2上時(shí)的狀態(tài)，掩;^40^M錄 膜DF呈同—面。因此，掩才飄40的厚度^M錄膜DF的厚度相等。如果掩 嫩40和^^膜DF呈同一^面，則在^ie確認(rèn)作業(yè)時(shí)，讓確iMT確i^殳有產(chǎn) 生凹凸就夠了，所以通迎缺覺(jué)能夠m^易地進(jìn)行確認(rèn)。^AX粘附^f錄膜DF時(shí)，能夠可靠i(Mf擠壓力作用在^^膜DF的中央部 分，但因?yàn)槎瞬渴呛脱谀０?0接觸的部分，所以和中^P射目比，難以施加擠 壓力起作用。因此，本發(fā)明的粘附裝置具有圖U所示的彈性輥50。舉f生輥50 A^了使擠壓力對(duì)^^膜DF起作用而用的耕，具有萍性部51而構(gòu)成。舉性 部51是彈性的;^轉(zhuǎn)輥，其寬度Hl比^M^膜DF的M H2短。如果輛舉f生 輥50，則能夠利用其旋轉(zhuǎn)擠壓力，對(duì)保護(hù)膜DF^f^l勻JHy^p擠壓力。舉性輥50在對(duì)相位差板10施加擠壓力時(shí)也可以使用。為了使齡劑91的 厚度均勻，可以分別由AX—個(gè)個(gè)地直^lfr，但如W'J用彈性輥50，因?yàn)槟軌驅(qū)ο辔徊畎?0均勻iik^^擠壓力，所以在厚度均勻mai—點(diǎn)上也可以iMl彈性輥50。而且，在固定夾具21中，如絲嵌^ 22和M2之間，在Y方向的兩 端存在少量間隙，則能夠更可靠地舶附相位差板IO。即如^4在Ji^間隙，則 2的尖角部從貫通部42面對(duì)。這樣，粘附^jti^ 2上的相位差板10的尖 角部^L^貫通部42面對(duì)，能夠從貫通部42的斜上方由彈性輥50脅擠壓力。 因此，能夠提高相位差板10的尖角部的粘附精度。所以也能夠在允i情差范圍 內(nèi)積^ik^^有JJi間隙。而且，由于形成可以更^"撒40的結(jié)構(gòu)，能夠制造多種^^光變^t件 1。即由于可裝卸^1^^掩嫩40安^4^#蓋30上，能夠在狄2上形成多種 相位差板IO的圖案。例如，圖12 (a)所示的偏振光變^L件1不是如圖1所 示形成了相位差板IO的位置和沒(méi)有形成的位置交替出現(xiàn)，而是具有沒(méi)有^形 成2個(gè)相位差板10的圖案。此時(shí)，因?yàn)橄辔徊畎?0沒(méi)有交鄉(xiāng)成，所以對(duì)于2 個(gè)沒(méi)有i^的區(qū)8其中間位置為邊界，使^^光分離膜3和A^膜4的朝向?qū)ΨQ。從而能夠發(fā)揮 作為^li光變^L件1的功能。而且，不僅^A相位差板10的圖案，相位差板10的t變(X方向的")^變) ^娥^i光變^L件1而變化。因此，為了得到多種^^光變^L件1，需要 形成可以容易地更#^撒40的結(jié)構(gòu)。^^發(fā)明中，通過(guò)形成可裝卸iiM^W 蓋30翻t到固定夾具21中，在^#蓋30上可以4艮容易地更^^模板40的結(jié) 構(gòu)，能夠i^多種掩撒復(fù)因此，利用1個(gè)固定夾具21,能夠得到多種條 光變^L件1。 ^a^得到1種^^光變^t件1時(shí)，保持蓋30不是必須的構(gòu)成 部件。此時(shí)，掩模部件不是由##蓋30^"嫩40構(gòu)成，而是由掩撒40單 體構(gòu)成。因此，通ii4掩模板40上iM^^部(與保持蓋30的#^部32對(duì)應(yīng) 的部分)，能夠省#^#蓋30。棘由掩才飄40 W^M^模耕時(shí)，為了使 #^模板40不產(chǎn)生彎曲，要以確保某種私變的剛性的方式構(gòu)成。
權(quán)利要求
1、一種光學(xué)元件的制造方法，用于制造光學(xué)元件，在該光學(xué)元件中，在基板表面的多個(gè)位置上，形成有用于接合發(fā)揮光學(xué)功能的光學(xué)部件的接合區(qū)域以及不接合所述光學(xué)部件的基板露出區(qū)域，所述光學(xué)部件與所述接合區(qū)域接合，其特征在于，具有以下步驟保護(hù)膜粘附步驟，利用粘著劑將保護(hù)膜粘附到所述基板表面的所述基板露出區(qū)域；接合劑涂布步驟，在所述基板表面的至少所述接合區(qū)域的整個(gè)面上涂布接合劑；光學(xué)部件接合步驟，使所述光學(xué)部件與所述接合區(qū)域接合，對(duì)所述光學(xué)部件施加擠壓力；以及保護(hù)膜剝離步驟，剝離所述保護(hù)膜。
2、 如W'決求1記載的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于 在所述，膜粘附步驟中，經(jīng)由與基&的位^t準(zhǔn)、并具有和所iij^出區(qū),應(yīng)的部^^皮貫通而得到的縫隙的掩^^部件，將所述保護(hù)膜粘附到所述 !^。
3、 ^M'j要求2記載的光學(xué)元件的制^法，^#征在于 通it將所ili^L固狄固定夾具上，將所述掩模部件安絲所述固定夾具的預(yù)先確定的位置上，以^/斤^1 ^所^^^^^*的位^"準(zhǔn)。
4、 如^'J要求3記載的光學(xué)元件的制i^r法，^##于 所i^學(xué)部件呈長(zhǎng)方形的形狀，在和所述W形的的光學(xué)部件的"j^i方向平行的方向的2個(gè)所iii^的端面中的1個(gè)端面與所述固定夾具上設(shè)置的固定 M壁接觸的狀態(tài)下，由所述固定夾具上設(shè)置的可動(dòng)性的可動(dòng)M壁擠壓并固 定相^^側(cè)的端面，將所述掩模部件以和所述固^J^壁的位狄準(zhǔn)的方式，安絲所述固定 夾具上。
5、 如W，J^求4記載的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于 在將所ili^固定在所述固定夾具上時(shí)，由i5^L所述固定夾具上的第1控制壁和第2控制壁控制所aaj^的動(dòng)作。
6、 fe^ij^"求3記栽的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于 所述掩模部件構(gòu)成為具有在和所述固定夾具的位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下安裝的^#蓋，以及具有和所述掩模部件的狹對(duì)目同的狹縫、可裝卸地安^所述保 持蓋上的掩m。
7、 如;M，澳求1記載的光學(xué)元件的制^法，^##于 所述光學(xué)部件是具有相位差功能的高剛性水晶板。
8、 HM'J要求1記載的光學(xué)元件的制妙法，^#棘于 所^學(xué)部件是具有可撓性的膜^f目位差板。
全文摘要
本發(fā)明的光學(xué)元件的制造方法，用于制造光學(xué)元件，在該光學(xué)元件中，在基板表面的多個(gè)位置上，形成有用于接合發(fā)揮光學(xué)功能的光學(xué)部件的接合區(qū)域以及不接合所述光學(xué)部件的基板露出區(qū)域，所述光學(xué)部件與所述接合區(qū)域接合，其特征在于，具有以下步驟保護(hù)膜粘附步驟，利用粘著劑將保護(hù)膜粘附到所述基板表面的所述基板露出區(qū)域；接合劑涂布步驟，在所述基板表面的至少所述接合區(qū)域的整個(gè)面上涂布接合劑；光學(xué)部件接合步驟，使所述光學(xué)部件與所述接合區(qū)域接合，對(duì)所述光學(xué)部件施加擠壓力；以及保護(hù)膜剝離步驟，剝離所述保護(hù)膜。
文檔編號(hào)G02B5/30GK101221264SQ20071030579
公開(kāi)日2008年7月16日 申請(qǐng)日期2007年11月6日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月6日
發(fā)明者安田敬一, 田中實(shí) 申請(qǐng)人:富士能佐野株式會(huì)社