專利名稱：電路結(jié)構(gòu)及用以定義此電路結(jié)構(gòu)的光掩模的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種集成電路的設(shè)計，特別涉及一種應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域的 電路結(jié)構(gòu)，以及用以定義此電路結(jié)構(gòu)的光掩模，其圖案的光學(xué)近接修正較為答易。
背景技術(shù)：
現(xiàn)今半導(dǎo)體工藝常以狗骨(dog-bone)狀圖案作為導(dǎo)線的拾取(pickup)區(qū) 域的光掩模圖案。請參照圖1，此設(shè)計中導(dǎo)線圖案110的拾取墊(pickuppad) 圖案120的位置介于密集區(qū)12與孤立區(qū)14之間，圖案密度差異性大，故其 光學(xué)鄰近效應(yīng)較不易控制，使其光學(xué)鄰近修正(Optical Proximity Correction, OPC)時的復(fù)雜度較高，如圖2所示者，其中標(biāo)號210、 220者分別為導(dǎo)線圖 案、拾取墊圖案。因此，其光學(xué)近接修正常需通過電腦輔助，以達(dá)到優(yōu)選的 修正效果。隨著半導(dǎo)體光刻工藝線寬微縮，光學(xué)鄰近效應(yīng)因光刻技術(shù)世代演進(jìn)(如 曝光光源波長縮小，數(shù)值孔徑加大等)而更加顯著。狗骨狀設(shè)計的難度將因 此而更形提高，也不利于得到足夠的工藝窗口 (process window)。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的就是在提供一種包含導(dǎo)線及拾取墊的電路結(jié)構(gòu)，其光掩模 圖案的光學(xué)近接修正較已知者容易進(jìn)行。本發(fā)明的再一 目的是提供一種光掩模，其可用以定義本發(fā)明的電路結(jié) 構(gòu)。此光掩模上的導(dǎo)線圖案及拾取墊定義用圖案的光學(xué)近接修正較已知者容易進(jìn)行。本發(fā)明的電路結(jié)構(gòu)包括多條并列的導(dǎo)線以及多個拾取墊。其中部分的導(dǎo) 線各自配置有一個拾取墊，任一條配置拾取墊導(dǎo)線的拾取墊連接此導(dǎo)線及其 同 一側(cè)的至少一條導(dǎo)線，且任二拾取墊所共同連接的導(dǎo)線在此二拾取墊間斷開。
在一實施例中，任一配置拾取墊導(dǎo)線的拾取墊連接此導(dǎo)線及其同一側(cè)的 一條導(dǎo)線。在另一實施例中，任一配置拾取墊導(dǎo)線的拾取墊連接此導(dǎo)線及其 同一側(cè)的二條導(dǎo)線。本發(fā)明的光掩模是用以定義上述電路結(jié)構(gòu)者，包括多個并列的導(dǎo)線圖案 以及多個拾取墊定義用圖案。其中部分的導(dǎo)線圖案各自配置有一個拾取墊定 義用圖案，任一個配置拾取墊定義用圖案的導(dǎo)線圖案的拾取墊定義用圖案連 接在此導(dǎo)線圖案及其同 一側(cè)的至少一條導(dǎo)線圖案之間，且任二相鄰拾取墊定 義用圖案所共同連接的導(dǎo)線圖案在此二拾取墊定義用圖案之間斷開。在一實施例中，任一個配置拾取墊定義用圖案的導(dǎo)線圖案的拾取墊定義 用圖案連接在此導(dǎo)線圖案及其同一側(cè)的一條導(dǎo)線圖案之間。在另一實施例 中，任一個配置拾取墊定義用圖案的導(dǎo)線圖案的拾取墊定義用圖案連接在此 導(dǎo)線圖案及其同 一側(cè)的二條導(dǎo)線圖案之間。在一些實施例中，特別是線寬較小的情況下，上述導(dǎo)線圖案與拾取墊定 義用圖案須再經(jīng)過光學(xué)近接修正。此光學(xué)近接修正可為比較簡單的對稱型態(tài) 的光學(xué)近接修正。與連接在二導(dǎo)線圖案之間的 一 個拾取墊定義用圖案相關(guān)的光學(xué)近接修 正可舉例如下。例一包括使此二導(dǎo)線圖案各自的與此拾取墊定義用圖案連接的部分的邊界向內(nèi)縮。例二包括使此拾取墊定義用圖案在導(dǎo)線圖案延伸方向上的尺寸縮小，且不與此二導(dǎo)線圖案相連；使此二導(dǎo)線圖案的分別位于此拾取墊定義用圖案兩 側(cè)的二個部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮，二外側(cè)邊界各自向外凸；并使位于 此二導(dǎo)線圖案外側(cè)的另二導(dǎo)線圖案的分別位于此拾取墊定義用圖案兩側(cè)的 二個部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮。例三包括在導(dǎo)線圖案延伸方向上將此拾取墊定義用圖案及此二導(dǎo)線圖 案截斷數(shù)處，以將此拾取墊定義用圖案及此二導(dǎo)線圖案一并分割成在該延伸 方向上對稱的數(shù)個部分圖案。例四包括在此拾取墊定義用圖案中配置沿導(dǎo)線圖案延伸方向排列的數(shù) 個開口 ，以將此拾取墊定義用圖案分割成在該延伸方向上對稱的數(shù)個部分圖 案；并使此二導(dǎo)線圖案外側(cè)的另二導(dǎo)線圖案的對應(yīng)此拾取墊定義用圖案的二 個部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮。與連接在三導(dǎo)線圖案之間的一個拾取墊定義用圖案相關(guān)的光學(xué)近接修 正可舉例如下。例一包括使此三導(dǎo)線圖案中位于外側(cè)的二導(dǎo)線圖案各自的與 此拾取墊定義用圖案連接的部分的邊界向內(nèi)縮。此三導(dǎo)線圖案包括依序排列 的第一 三導(dǎo)線圖案，其中位于外側(cè)者即第一、三導(dǎo)線圖案。例二包括使此拾取墊定義用圖案在導(dǎo)線圖案延伸方向上的尺寸縮小，且不與第一、三導(dǎo)線圖案相連；將第二導(dǎo)線圖案截斷二處，而形成兩部分包夾 拾取墊定義用圖案的狀態(tài)；使第一、三導(dǎo)線圖案的分位于拾取墊定義用圖案 兩側(cè)的二個部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮，二外側(cè)邊界各自向外凸；使分位 于第一、三導(dǎo)線圖案外側(cè)的第四、五導(dǎo)線圖案的分別在拾取墊定義用圖案兩 側(cè)的二個部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮；并使分別位于第四、五導(dǎo)線圖案外 側(cè)的第六、七導(dǎo)線圖案的分別在拾取墊定義用圖案兩側(cè)的二個部分的二內(nèi)側(cè) 邊界各自向內(nèi)縮，二外側(cè)邊界亦各自向內(nèi)縮。例三包括在導(dǎo)線圖案延伸方向上將此拾取墊定義用圖案及此三導(dǎo)線圖 案截斷數(shù)處，以將此拾取墊定義用圖案及三導(dǎo)線圖案一并分割成在該延伸方 向上對稱的數(shù)個部分圖案；并使這些部分圖案中最外側(cè)的兩個部分圖案其各 自在大致垂直該延伸方向的方向上的二個邊界向內(nèi)縮。例四包括在此拾取墊定義用圖案及位于三導(dǎo)線圖案中間的第二導(dǎo)線圖 案中配置沿導(dǎo)線圖案延伸方向排列的數(shù)個開口 ，以將拾取墊定義用圖案及第 二導(dǎo)線圖案分割成在該延伸方向上對稱的數(shù)個部分圖案；并使第一、三導(dǎo)線 圖案外側(cè)的第四、五導(dǎo)線圖案的對應(yīng)拾取墊定義用圖案的二個部分的二內(nèi)側(cè) 邊界各自向內(nèi)縮。如上所述，本發(fā)明是在密集區(qū)里形成與對應(yīng)的導(dǎo)線圖案及其同側(cè)至少一 個導(dǎo)線圖案連通的拾取墊定義用圖案(下文稱此圖案設(shè)計為H形設(shè)計；拾取 墊連通相鄰二導(dǎo)線而形成者稱為(單)H形，連通相鄰三導(dǎo)線而形成者稱為雙 H形，依此類推)，并在適當(dāng)位置截斷導(dǎo)線圖案，以使相鄰的導(dǎo)線主體(即實 際作為元件的導(dǎo)線的部分)不致連通。以此方法所得的圖案設(shè)計中拾取墊周 遭的圖案密度近似于密集區(qū)，其光學(xué)鄰近效應(yīng)較已知狗骨狀設(shè)計容易控制； 且因H形圖案的對稱性佳，因此光學(xué)鄰近修正較易于實行。通過電腦模擬軟 件與實驗的驗證，在相同光刻工藝條件下，H形拾取圖案設(shè)計能獲得比狗骨 狀設(shè)計更大的工藝窗口。為讓本發(fā)明之上述和其他目的、特征和優(yōu)點更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選 實施例并配合所附圖示，詳細(xì)說明如下。


圖1為已知狗骨狀設(shè)計的配置拾取墊圖案的多條導(dǎo)線圖案的結(jié)構(gòu)。圖2為已知狗骨狀設(shè)計的拾取墊圖案及其附近的導(dǎo)線圖案經(jīng)過光學(xué)近接修正后的結(jié)果。圖3A 3B分別繪示本發(fā)明二實施例的配置拾取墊圖案的多條導(dǎo)線圖案 的結(jié)構(gòu)及其設(shè)計過程。圖4A 4D分別繪示用以形成本發(fā)明的H形導(dǎo)線/拾取墊結(jié)構(gòu)的光掩模圖 案的光學(xué)近接修正的四個例子，以及其各自所形成的H形結(jié)構(gòu)的電子顯微鏡 照片。圖5A 5D分別繪示用以形成本發(fā)明的雙H形導(dǎo)線/拾取墊結(jié)構(gòu)的光掩模 圖案的光學(xué)近接^f奮正的四個例子，以及其各自所形成的雙H形結(jié)構(gòu)的電子顯微鏡照片。附圖標(biāo)記說明12、 14:圖案密集區(qū)、圖案稀疏區(qū)110、 210、 310、 410(a/b)、 510(a/b/c/d/e/f/g):導(dǎo)線圖案120、 220、 320a、 320b:拾取墊圖案330a: H形結(jié)構(gòu)330b:雙H形結(jié)構(gòu)340:斷開處412、 416、 512、 518:拾取墊定義用圖案414、 418、 420、 422、 432、 514、 516、 520、 522、 524、 526、 528、 530、 532、 534、 536、 538、 548、 550:導(dǎo)線圖案的邊界424、 426、 428、 430、 540、 542、 544、 546:部分圖案具體實施方式
圖3A 3B分別繪示本發(fā)明二實施例的配置拾取墊圖案的多條導(dǎo)線圖案 的結(jié)構(gòu)及其設(shè)計過程。請參照圖3A,此圖案設(shè)計是先定出多條并列的導(dǎo)線圖案310,其包括須 配置拾取墊的導(dǎo)線的光掩模圖案，以及作為假圖案(dummy pattern)而不須配
置拾取墊圖案的線狀圖案，其即圖中最右側(cè)的3條線狀圖案，功能是造成對 稱的圖案配置環(huán)境，以使光學(xué)進(jìn)接修正較容易進(jìn)行。接著，在須配置拾取墊的各導(dǎo)線的圖案上配置一個拾取墊圖案320a或 320b。任一個拾取墊圖案320a除連接對應(yīng)的導(dǎo)線圖案310外，尚連接其同 一側(cè)的另一個導(dǎo)線圖案310，而形成H形結(jié)構(gòu)330a。任一個拾取墊圖案320b 除連接對應(yīng)的導(dǎo)線圖案310外，尚連接其同側(cè)的二導(dǎo)線圖案，而形成雙H形 結(jié)構(gòu)330b。接著，將任二相鄰拾取墊圖案320a-320a、 320a-320b或320b-320b (未繪 示)所共同連接的一或二條導(dǎo)線在該二拾取墊之間截斷，而形成斷開處340,跨^線二拾取藝而電性連接。々 、'、、 '； 、 、請參照圖3B，此例與前例不同之處在于，每一條配置拾取墊圖案的導(dǎo) 線圖案310的拾取墊320a/b皆連接此導(dǎo)線圖案310及其同 一側(cè)固定數(shù)目的導(dǎo) 線圖案310。圖3B左邊的是每條配置拾取墊圖案的導(dǎo)線圖案310的拾取墊 圖案320a皆連接此導(dǎo)線圖案310及其同側(cè)的一條導(dǎo)線圖案310,而形成H 形結(jié)構(gòu)330a,且任二相鄰拾取墊圖案320a所共同連接的一條導(dǎo)線圖案310 在此二拾取墊圖案320a間斷開。圖3B右邊的是每條配置拾取墊圖案的導(dǎo)線 圖案310的拾取墊320b皆連接此導(dǎo)線圖案310及其同一側(cè)的二條導(dǎo)線圖案 310,而形成雙H形結(jié)構(gòu)330b，且任二相鄰拾取墊圖案320b所共同連接的 二導(dǎo)線圖案310各自在此二拾取墊圖案320b之間斷開。依此類推，當(dāng)任二相鄰拾取墊圖案中每一者皆連接對應(yīng)的導(dǎo)線圖案及其 同 一側(cè)的n個(r^ 1 )導(dǎo)線圖案時，此二拾取墊圖案所共同連接的導(dǎo)線圖案即有 n個，其各自在此二拾取墊圖案之間被截斷。請再參照圖3A 3B,當(dāng)工藝線寬足夠大時，使用圖示的光掩模圖案會定 義出形狀近似的電路結(jié)構(gòu)，包括對應(yīng)310的多條并列的導(dǎo)線與對應(yīng)320a/b 的多個拾取墊，其中部分導(dǎo)線各自配置有一個拾取墊，任一條配置拾取墊的 導(dǎo)線的拾取墊連接此導(dǎo)線及其同側(cè)的一條導(dǎo)線(如320a的情形)或二條導(dǎo)線 (如320b的情形)，而形成對應(yīng)330a的H形結(jié)構(gòu)或?qū)?yīng)330b的雙H形結(jié)構(gòu)。 同時，對應(yīng)320a-320a、 320b- 320b或320a-320b的任二拾取墊所共同連接的 導(dǎo)線(對應(yīng)310)在此二拾取墊之間;故截斷。然而，當(dāng)線寬較小時，上述導(dǎo)線圖案310與拾取墊定義用圖案320a/b
即須經(jīng)過光學(xué)近接修正。相較于狗骨狀結(jié)構(gòu)，此種H形結(jié)構(gòu)的對稱性佳，周 圍環(huán)境圖案密度較一致，因此光學(xué)近接修正可采用對稱型態(tài)的光學(xué)近接修 正，而比較容易實行。發(fā)明人由電腦模擬得知，此種H形結(jié)構(gòu)只要以手動修正(Manual OPC)就可以得到不錯的效果，而不一定要借助于電腦輔助修正。詳言之，通過截斷、部分挖空與/或其他圖案修正手法修改H形圖案在 光掩模上的設(shè)計圖案，即可使H形圖案的成像在焦距/曝光的適當(dāng)條件以及 一定程度的變動條件的下均能合于規(guī)范，而可確保足夠的工藝窗口 。圖4A 4D分別繪示用以形成本發(fā)明的H形結(jié)構(gòu)(一個拾取墊連接二條導(dǎo) 線)的光掩模圖案的光學(xué)近接修正的四個例子，以及其各自所定義出的H形 結(jié)構(gòu)的電子顯微鏡照片。請參照圖4A,此例的拾取墊定義用圖案412仍連接在導(dǎo)線圖案410中 對應(yīng)的二導(dǎo)線圖案410a之間，而此二導(dǎo)線圖案410a各自的與此拾取墊定義 用圖案412連接的部分的邊界414向內(nèi)縮。此OPC圖案的中間部分的圖案 轉(zhuǎn)移結(jié)果如右小圖所示。以下圖4B 4D、 5A 5D皆采用此種表現(xiàn)方式，其 例的導(dǎo)線線寬及曝光光源波長亦與此例相同。請參照圖4B,此例的拾取墊定義用圖案416在導(dǎo)線圖案410延伸方向 上的尺寸縮小，且不與對應(yīng)的二導(dǎo)線圖案410a相連。二導(dǎo)線圖案410a的分 別位于拾取墊定義用圖案416兩側(cè)的二個部分的二內(nèi)側(cè)邊界418各自向內(nèi) 縮，二外側(cè)邊界420各自向外凸。又，位于二導(dǎo)線圖案410a外側(cè)的另二導(dǎo) 線圖案410b的分別位于拾取墊定義用圖案416兩側(cè)的二個部分的二內(nèi)側(cè)邊 界422各自向內(nèi)縮。請參照圖4C,此例是在導(dǎo)線圖案410延伸方向上將拾取墊定義用圖案 及對應(yīng)的二導(dǎo)線圖案410a截斷數(shù)處，以將此拾取墊定義用圖案及此二導(dǎo)線 圖案410a—并分割成在該延伸方向上對稱的數(shù)個部分圖案424、 426、 428, 其中部分圖案428位于部分圖案424及428之間。請參照圖4D，此例是在拾取墊定義用圖案中配置沿導(dǎo)線圖案410延伸 方向排列的數(shù)個開口 ，以將此拾取墊定義用圖案分割成在該延伸方向上對稱 的數(shù)個部分圖案430;并使對應(yīng)的二導(dǎo)線圖案41 Oa外側(cè)的另二導(dǎo)線圖案41 Ob 的對應(yīng)此拾取墊定義用圖案的二個部分的二內(nèi)側(cè)邊界432各自向內(nèi)縮。圖5A 5D分別繪示用以形成本發(fā)明的雙H形結(jié)構(gòu)的光掩模圖案的光學(xué) 近接修正的四個例子，以及其各自所定義出的H形結(jié)構(gòu)的電子顯微鏡照片。
請參照圖5A,此例是使導(dǎo)線圖案510中對應(yīng)的三導(dǎo)線圖案510a、 510b、 510c中位于外側(cè)的二導(dǎo)線圖案510a、 510c各自的與拾取墊定義用圖案512 連接的部分的邊界514、 516向內(nèi)縮。請參照圖5B,此例是使拾取墊定義用圖案518在導(dǎo)線圖案510延伸方 向上的尺寸縮小，且不與對應(yīng)的三導(dǎo)線圖案510a、 510b、 510c中位于外側(cè) 的導(dǎo)線圖案510a、 510c相連。位于中間的導(dǎo)線圖案510b斷開二處，而形成 兩部分包夾拾取墊定義用圖案518的狀態(tài)。導(dǎo)線圖案510a、 510c的分別位 于拾取墊定義用圖案518兩側(cè)的二個部分的二內(nèi)側(cè)邊界520、 522各自向內(nèi) 縮，二外側(cè)邊界524、 526各自向外凸。分別位于導(dǎo)線圖案510a、 510c外側(cè) 的另二導(dǎo)線圖案510d、 510e的分別在拾取墊定義用圖案518兩側(cè)的二個部 分的二內(nèi)側(cè)邊界528、 530各自向內(nèi)縮。分別位于導(dǎo)線圖案510d、 510e外側(cè) 的導(dǎo)線圖案510f、 510g的分別在拾取墊定義用圖案518兩側(cè)的二個部分的 二內(nèi)側(cè)邊界532、 534各自向內(nèi)縮，二外側(cè)邊界536、 538亦各自向內(nèi)縮。請參照圖5C，此例是在導(dǎo)線圖案510延伸方向上將拾取墊定義用圖案 及對應(yīng)的三導(dǎo)線圖案510a、 510b、 510c截斷數(shù)處，以將此拾取墊定義用圖 案及三導(dǎo)線圖案510a、 510b、 510c —并分割成在該延伸方向上對稱的數(shù)個 部分圖案540、 542、 544，其中544位于540與542之間，且最外側(cè)的兩部 分圖案540、 542其各自在大致垂直該延伸方向的方向上的二個邊界向內(nèi)縮。請參照圖5D,此例是在拾取墊定義用圖案以及對應(yīng)的三導(dǎo)線圖案510a、 510b、 510c中的中間導(dǎo)線圖案510b中，配置沿導(dǎo)線圖案510延伸方向排列 的數(shù)個開口，以將拾取墊定義用圖案及中間導(dǎo)線圖案510b分割成在該延伸 方向上對稱的數(shù)個部分圖案546。導(dǎo)線圖案510a、 510c外側(cè)的二導(dǎo)線圖案 510d、 510e的對應(yīng)此拾取墊定義用圖案的兩部分的二內(nèi)側(cè)邊界548、 550各 自向內(nèi)縮。由圖4A 4D及5A 5D各自的右側(cè)的電子顯微鏡照片可知，以上各例皆 可以定義出理想的單或雙H形結(jié)構(gòu)。此外，同樣的修正手法基本上當(dāng)亦可套 用于三或更多重H形結(jié)構(gòu)的光學(xué)近修正上。雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實施例^C露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何 本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動與 潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視所附的權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1. 一種電路結(jié)構(gòu)，包括多條并列的導(dǎo)線以及多個拾取墊，其中，部分的這些導(dǎo)線各自配置有一個拾取墊；任一條配置拾取墊的導(dǎo)線的該拾取墊連接該導(dǎo)線及其同一側(cè)的至少一條導(dǎo)線；并且任二相鄰拾取墊所共同連接的導(dǎo)線在該二拾取墊之間斷開。
2. 如權(quán)利要求1所述的電路結(jié)構(gòu)，其中任一條配置拾取墊的導(dǎo)線的該拾 取墊連接該導(dǎo)線及該導(dǎo)線同 一側(cè)的 一條導(dǎo)線。
3. 如權(quán)利要求1所述的電路結(jié)構(gòu)，其中任一條配置拾取墊的導(dǎo)線的該拾 取墊連接該導(dǎo)線及該導(dǎo)線同 一側(cè)的二條導(dǎo)線。
4. 一種光掩模，其上有多個并列的導(dǎo)線圖案以及多個拾取墊定義用圖案，^巾部分的這些導(dǎo)線圖案各自配置有一個拾取墊定義用圖案； 任一個配置拾取墊定義用圖案的導(dǎo)線圖案的該拾取墊定義用圖案連接在該導(dǎo)線圖案及其同 一側(cè)的至少一個導(dǎo)線圖案之間；并且任二相鄰拾取墊定義用圖案所共同連接的導(dǎo)線圖案在該二拾取墊定義用圖案之間斷開。
5. 如權(quán)利要求4所述的光掩模，其中任一個配置拾取墊定義用圖案的導(dǎo) 線圖案的該拾取墊定義用圖案連接在該導(dǎo)線恩案及其同一側(cè)的一個導(dǎo)線圖 案之間。
6. 如權(quán)利要求4所述的光掩模，其中任一個配置拾取墊定義用圖案的導(dǎo) 線圖案的該拾取墊定義用圖案連接在該導(dǎo)線圖案及其同 一側(cè)的二導(dǎo)線圖案之間。
7. 如權(quán)利要求4所述的光掩模，其中這些導(dǎo)線圖案與這些拾取墊定義用 圖案再經(jīng)過光學(xué)近接修正。
8. 如權(quán)利要求7所述的光掩模，其中該光學(xué)近接修正為對稱型態(tài)的光學(xué) 近接々務(wù)正。
9. 如權(quán)利要求8所述的光掩模，其中與連接在二導(dǎo)線圖案之間的一個拾 取墊定義用圖案相關(guān)的光學(xué)近接修正包括使該二導(dǎo)線圖案各自的與該拾取 墊定義用圖案連接的部分的邊界向內(nèi)縮。
10. 如權(quán)利要求8所述的光掩模，其中與連接在二導(dǎo)線圖案之間的一個拾 取墊定義用圖案相關(guān)的光學(xué)近接修正包括使該拾取墊定義用圖案在這些導(dǎo)線圖案的延伸方向上的尺寸縮小，且不 與該二導(dǎo)線圖案相連；使該二導(dǎo)線圖案的分別位于該拾取墊定義用圖案兩側(cè)的二個部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮，二外側(cè)邊界各自向外凸；以及使位于該二導(dǎo)線圖案外側(cè)的另二導(dǎo)線圖案的分別位于該拾取墊定義用 圖案兩側(cè)的二個部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮。
11. 如權(quán)利要求8所述的光掩模，其中與連接在二導(dǎo)線圖案之間的一個拾 取墊定義用圖案相關(guān)的光學(xué)近接修正包括在這些導(dǎo)線圖案的延伸方向上將 該拾取墊定義用圖案及該二導(dǎo)線圖案截斷數(shù)處，以將該拾取墊定義用圖案及 該二導(dǎo)線圖案 一 并分割成在該延伸方向上對稱的數(shù)個部分圖案。
12. 如權(quán)利要求8所述的光掩模，其中與連接在二導(dǎo)線圖案之間的一個拾 取墊定義用圖案相關(guān)的光學(xué)近接修正包括在該拾取墊定義用圖案中配置沿這些導(dǎo)線圖案的延伸方向排列的數(shù)個 開口 ，以將該拾取墊定義用圖案分割成在該延伸方向上對稱的數(shù)個部分圖 案；以及使該二導(dǎo)線圖案外側(cè)的另二導(dǎo)線圖案的對應(yīng)該拾取墊定義用圖案的二 個部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮。
13. 如權(quán)利要求8所述的光掩模，其中與連接在三導(dǎo)線圖案之間的一個拾 取墊定義用圖案相關(guān)的光學(xué)近接修正包括使該三導(dǎo)線圖案中位于外側(cè)的二 導(dǎo)線圖案各自的與該拾取墊定義用圖案連接的部分的邊界向內(nèi)縮。
14. 如權(quán)利要求8所述的光掩模，其中與連接在三導(dǎo)線圖案之間的一個拾 取墊定義用圖案相關(guān)的光學(xué)近接修正包括使該拾取墊定義用圖案在這些導(dǎo)線圖案的延伸方向上的尺寸縮小，且不 與該三導(dǎo)線圖案中位于外側(cè)的兩導(dǎo)線圖案相連，其中該三導(dǎo)線圖案為依序排 列的第一、二、三導(dǎo)線圖案，位于外側(cè)的兩導(dǎo)線圖案即該第一、三導(dǎo)線圖案；將該第二導(dǎo)線圖案截斷二處，而形成兩部分包夾該才合取墊定義用圖案的 狀態(tài)；使該第一、三導(dǎo)線圖案的分別位于該拾取墊定義用圖案兩側(cè)的二個部分 的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮，二外側(cè)邊界各自向外凸； 使分別位于該第一、三導(dǎo)線圖案外側(cè)的第四、五導(dǎo)線圖案的分別在該拾取墊定義用圖案兩側(cè)的二個部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮；以及使分別位于該第四、五導(dǎo)線圖案外側(cè)的第六、七導(dǎo)線圖案的分別在該拾 取墊定義用圖案兩側(cè)的二個部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮，二外側(cè)邊界亦各 自向內(nèi)縮。
15. 如權(quán)利要求8所述的光掩模，其中與連接在三導(dǎo)線圖案之間的一個拾 取墊定義用圖案相關(guān)的光學(xué)近接修正包括在這些導(dǎo)線圖案的延伸方向上將該拾取墊定義用圖案及該三導(dǎo)線圖案 截斷數(shù)處，以將該拾取墊定義用圖案及該三導(dǎo)線圖案一并分割成在該延伸方 向上對稱的數(shù)個部分圖案；以及使這些部分圖案中最外側(cè)的兩個部分圖案其各自在大致垂直該延伸方 向的方向上的二個邊界向內(nèi)縮。
16. 如權(quán)利要求8所述的光掩模，其中與連接在三導(dǎo)線圖案之間的一個拾 取墊定義用圖案相關(guān)的光學(xué)近接修正包括在該拾取墊定義用圖案及該三條導(dǎo)線圖案中的一中間導(dǎo)線圖案中，配置 沿這些導(dǎo)線圖案的延伸方向排列的數(shù)個開口 ，以將該拾取墊定義用圖案及該 中間導(dǎo)線圖案分割成在該延伸方向上對稱的數(shù)個部分圖案；以及使該三導(dǎo)線圖案外側(cè)的另二導(dǎo)線圖案的對應(yīng)該拾取墊定義用圖案的二 個部分的二內(nèi)側(cè)邊界各自向內(nèi)縮。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種電路結(jié)構(gòu)及用以定義此電路結(jié)構(gòu)的光掩模。此電路結(jié)構(gòu)包括多個拾取墊與多條并列的導(dǎo)線，其中，部分的導(dǎo)線各自配置有一個拾取墊，任一條配置拾取墊的導(dǎo)線的拾取墊連接此導(dǎo)線及其同側(cè)的至少一條導(dǎo)線，且任二相鄰拾取墊所共同連接的導(dǎo)線在此二拾取墊之間斷開。本發(fā)明的光掩模上有用以定義上述導(dǎo)線的多個導(dǎo)線圖案，以及用以定義上述拾取墊的多個拾取墊定義用圖案。
文檔編號G03F1/36GK101399244SQ20071016177
公開日2009年4月1日 申請日期2007年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月26日
發(fā)明者張宜翔, 蕭立東 申請人:力晶半導(dǎo)體股份有限公司