專利名稱：光掩模盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種光掩模盒，特別是涉及可直接利用光掩模夾將光掩模取出的一種光掩模盒。
背景技術(shù)：
隨著科技的進步，微電子工業(yè)的制造技術(shù)一日千里，其中光刻技術(shù)(photolithography technology)扮演著十分重要的角色。光刻技術(shù)簡單的說就是將設(shè)計好的線路圖形，完整且精確地復(fù)制到晶片上。設(shè)計好的圖形會制作成光掩模(photo mask)，再應(yīng)用光學(xué)成像的原理，將圖形投影至晶片上。由上可知，光掩模的好與壞，直接控制著半導(dǎo)體制作工藝的優(yōu)與劣。因此，光掩模的保護極其重要。一般在制作工藝中使用完或尚未使用的光掩模是存放于光掩模盒(mask case)中。
圖1為現(xiàn)有一種光掩模盒的示意圖。請參照圖1，光掩模盒100包括下蓋102、上蓋104與前蓋106。上蓋104沿轉(zhuǎn)軸103與下蓋102樞接，使上蓋104可相對于下蓋102向上開啟。前蓋106沿轉(zhuǎn)軸105樞接于上蓋104相對于轉(zhuǎn)軸103的另一側(cè)，使前蓋106可相對于下蓋102向前開啟。此外，光掩模盒100還包括配置于下蓋102上的基座108與定位板110。定位板110位于下蓋102的相對二側(cè)板旁，用以固定置于光掩模盒100中的光掩模(未繪示)?；?08用以支撐光掩模。
一般來說，在使用者對光掩模進行目視檢查與吹除微塵的步驟之前，必須先將光掩模盒100置于光掩模移載開啟機中，通過機臺將光掩模盒100開啟，并取出光掩模，將光掩模置于拖盤上，才利用光掩模夾取出光掩模。這是由于一般常見的光掩模夾受限于光掩模盒100外型設(shè)計的關(guān)系，使得使用者無法直接將光掩模夾伸入光掩模盒100中取出光掩模。然而，在光掩模由光掩模盒100移送至拖盤的過程中，往往會導(dǎo)致光掩模受到污染或損壞，且光掩模的移動過程也較為繁瑣。此外，光掩模移載開啟機的價格過高，也造成了生產(chǎn)成本的增加。
實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種光掩模盒，可以直接利用光掩模夾將光掩模盒中的光掩模取出。
本實用新型提出一種光掩模盒，此光掩模盒包括盒體、上蓋與前蓋。盒體包括底板、第一側(cè)板、第二側(cè)板、第三側(cè)板、第一定位板與第二定位板。第一側(cè)板與第二側(cè)板相對配置于底板上。第三側(cè)板配置于底板上且連接第一側(cè)板與第二側(cè)板。第一定位板與第二定位板配置于第一側(cè)板與第二側(cè)板之間的底板上，且分別位于第一側(cè)板與第二側(cè)板旁。第一定位板具有第一溝槽，而第二定位板具有第二溝槽。第二溝槽與第一溝槽相對，且第一溝槽與第二溝槽的延伸方向垂直于底板。上蓋與盒體樞接。前蓋與上蓋樞接。
依照本實用新型實施例所述的光掩模盒，更可以有多個基座，配置于底板上。
依照本實用新型實施例所述的光掩模盒，上述的基座的材料例如為聚醚醚酮(PEEK)。
依照本實用新型實施例所述的光掩模盒，更可以有多個第三定位板，配置于底板上，且位于第二側(cè)板旁。
依照本實用新型實施例所述的光掩模盒，上述的第三定位板的材料例如為丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物(ABS)。
依照本實用新型實施例所述的光掩模盒，上述的底板的材料例如為鋁。
依照本實用新型實施例所述的光掩模盒，上述的上蓋的材料例如為透明的丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。
依照本實用新型實施例所述的光掩模盒，上述的前蓋的材料例如為丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。
依照本實用新型實施例所述的光掩模盒，上述的第一溝槽與第二溝槽的寬度例如為35mm。
依照本實用新型實施例所述的光掩模盒，上述第一側(cè)板與第二側(cè)板的材料例如為丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。
本實用新型的優(yōu)點在于，該光掩模盒于相對的兩個側(cè)板上分別設(shè)置相對的兩個溝槽，因此使用者可以直接將光掩模盒打開并使用光掩模夾將光掩模盒中的光掩模取出，進行光掩模目視檢查與吹除微塵的步驟，而不需要將光掩模盒先置于光掩模移載開啟機中，然后通過光掩模移載開啟機將光掩模置于拖盤上，再使用光掩模夾將光掩模取出，因此避免了在光掩模由光掩模盒移送至拖盤的過程中，使光掩模受到污染或損壞，且簡化了光掩模的移動過程。此外，由于不需要使用到光掩模移載開啟機，也因此降低了耗費在光掩模移載開啟機上的生產(chǎn)成本。
為讓本實用新型之上述和其它目的、特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合所附圖式，作詳細說明如下。


圖1為現(xiàn)有一種光掩模盒的示意圖；圖2為本實用新型實施例所繪示的光掩模盒的示意圖；圖3A為左右夾取式的光掩模夾的示意圖；圖3B為前后夾取式的光掩模夾的示意圖。
主要元件符號說明100、200光掩模盒102下蓋103、105、203、205轉(zhuǎn)軸104、204上蓋106、206前蓋108、216基座110、218、220、222定位板202盒體208底板210、212、214側(cè)板211、213溝槽300a、300b光掩模夾302、304、312、314夾取部306、316夾取開關(guān)308、310固定部
具體實施方式
圖2為依照本實用新型實施例所繪示的光掩模盒的示意圖。請參照圖2，光掩模盒200包括盒體202、上蓋204與前蓋206。上蓋204沿轉(zhuǎn)軸203與盒體202樞接，使上蓋204可相對于盒體202向上開啟，而前蓋206沿轉(zhuǎn)軸205樞接于上蓋204相對于轉(zhuǎn)軸203的另一側(cè)，使前蓋206可相對于盒體202向前開啟。上蓋204一般為透明材料，例如為透明的丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。前蓋206的材料例如為丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。
請繼續(xù)參照圖2，盒體202包括底板208、側(cè)板210、212、214與定位板218、220、222。底板208的材料例如為鋁。側(cè)板210、212、214的材料例如為丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。定位板218、220、222的材料例如為丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。
側(cè)板210與側(cè)板212相對配置于底板208上。側(cè)板214配置于底板208上且連接側(cè)板210與側(cè)板212。
定位板218與定位板220配置于側(cè)板210與側(cè)板212之間的底板208上，且定位板218位于側(cè)板210旁，而定位板220位于側(cè)板212旁，用以固定置于光掩模盒200中的光掩模(未繪示)。定位板222位于側(cè)板214旁，使得光掩模置于光掩模盒200中時，光掩模與側(cè)板214之間保留有空隙，使光掩模夾可以伸入空隙中而將光掩模取出。
此外，定位板218具有溝槽211，而定位板220具有溝槽213。溝槽213與溝槽211相對，且溝槽211與溝槽213的延伸方向垂直于底板208。溝槽211、213的寬度例如為35mm，其可以容納一般常見的光掩模夾的尺寸，使光掩模夾可以經(jīng)由溝槽211、213伸入盒體202中將光掩模取出。
由于定位板218與定位板220分別具有溝槽211與溝槽213，因此當(dāng)使用者欲取出光掩模盒200中的光掩模時，可以直接將上蓋204與前蓋206打開，然后經(jīng)由溝槽211與溝槽213，將光掩模夾伸入盒體202中取出光掩模，以進行后續(xù)的光掩模目視檢查與吹除微塵。由于不需要先將光掩模盒200置于光掩模移載開啟機(未繪示)中，再通過光掩模移載開啟機將光掩模盒200開啟并將光掩模置于拖盤(未繪示)上，因此避免了光掩模經(jīng)由光掩模移載開啟機移送至拖盤的過程中受到污染或損壞，并且也簡化了光掩模的移送過程。
另外，在底板208上還可以配置有基座216?；?16的材料例如為聚醚醚酮?；?16可以在光掩模置于光掩模盒200中時，用以支撐光掩模，使光掩模不會與底板208相接觸而產(chǎn)生損壞或污染。
特別一提的是，由于溝槽211與溝槽213位于盒體202的相對兩個定位板218、220上，因此當(dāng)使用者取出光掩模時，可以使用任何一種常用的光掩模夾，例如是左右夾取式的光掩模夾(請參照圖3A)或是前后夾取式的光掩模夾(請參照圖3B)。
以下分別以左右夾取式的光掩模夾與前后夾取式的光掩模夾為例說明夾取光掩模盒中的光掩模的步驟。
當(dāng)使用者持左右夾取式的光掩模夾300a來取出光掩模時，先將光掩模夾300a的夾取部302、304分別經(jīng)由溝槽211、213伸入盒體202中。然后，按下夾取開關(guān)306，使夾取部302、304夾住光掩模而直接將光掩模取出(請同時參照圖2與圖3A)。
當(dāng)使用者持前后夾取式的光掩模夾300b來取出光掩模時，先將光掩模夾300b的固定部308、310分別經(jīng)由溝槽211、213伸入盒體202中，以及將夾取部312經(jīng)由定位板222與側(cè)板214之間的空隙伸入盒體202中。然后，推動夾取開關(guān)316，使夾取部314向光掩模移動，利用固定部308、310固定光掩模以及夾取部312、314夾住光掩模而直接將光掩模取出(請同時參照圖2與圖3B)。
綜上所述，本實用新型的光掩模盒于相對的兩個側(cè)板上分別設(shè)置相對的兩個可以容納任何一種熟知的光掩模夾的溝槽，因此使用者可以直接打開光掩模盒，將光掩模夾經(jīng)由溝槽取出盒體中的光掩模，而不需要將光掩模盒先置于光掩模移載開啟機中，通過光掩模移載開啟機開啟光掩模盒并將光掩模置于拖盤上，再使用光掩模夾將光掩模取出，避免了在光掩模由光掩模盒移送至拖盤的過程中受到污染或損壞，且簡化了光掩模的移動過程。此外，由于使用者是直接將光掩模盒打開并取出光掩模，不需要使用到昂貴的光掩模移載開啟機，也因此降低了生產(chǎn)成本。
權(quán)利要求1.一種光掩模盒，該光掩模盒包括一盒體；一上蓋，與該盒體樞接；以及一前蓋，與該上蓋樞接，其特征在于，該盒體包括一底板；一第一側(cè)板與一第二側(cè)板，相對配置于該底板上；一第三側(cè)板，配置于該底板上且連接該第一側(cè)板與該第二側(cè)板；以及一第一定位板與一第二定位板，配置于該第一側(cè)板與該第二側(cè)板之間的該底板上，且分別位于該第一側(cè)板與該第二側(cè)板旁，其中該第一定位板具有一第一溝槽，而該第二定位板具有一第二溝槽，該第二溝槽與該第一溝槽相對，且該第一溝槽與該第二溝槽的延伸方向垂直于該底板。
2.如權(quán)利要求1所述的光掩模盒，其特征在于，還包括多個基座，配置于該底板上。
3.如權(quán)利要求2所述的光掩模盒，其特征在于，該基座的材料包括聚醚醚酮。
4.如權(quán)利要求1所述的光掩模盒，其特征在于，還包括多個第三定位板，配置于該底板上，且位于該第二側(cè)板旁。
5.如權(quán)利要求4所述的光掩模盒，其特征在于，該第三定位板的材料包括丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。
6.如權(quán)利要求1所述的光掩模盒，其特征在于，該底板的材料包括鋁。
7.如權(quán)利要求1所述的光掩模盒，其特征在于，該上蓋的材料包括透明的丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。
8.如權(quán)利要求1所述的光掩模盒，其特征在于，該前蓋的材料包括丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。
9.如權(quán)利要求1所述的光掩模盒，其特征在于，該第一溝槽與該第二溝槽的寬度為35mm。
10.如權(quán)利要求1所述的光掩模盒，其特征在于，該第一側(cè)板與該第二側(cè)板的材料包括丙烯晴-丁二烯-苯乙烯共聚物。
專利摘要本實用新型公開一種光掩模盒，此光掩模盒包括盒體、上蓋與前蓋。盒體包括底板、第一側(cè)板、第二側(cè)板、第三側(cè)板、第一定位板與第二定位板。第一側(cè)板與第二側(cè)板相對配置于底板上。第三側(cè)板配置于底板上且連接第一側(cè)板與第二側(cè)板。第一定位板與第二定位板配置于第一側(cè)板與第二側(cè)板之間的底板上，且分別位于第一側(cè)板與第二側(cè)板旁。第一定位板具有第一溝槽，而第二定位板具有第二溝槽。第二溝槽與第一溝槽相對，且第一溝槽與第二溝槽的延伸方向垂直于底板。上蓋與盒體樞接。前蓋與上蓋樞接。
文檔編號G03F1/66GK2924591SQ20062012132
公開日2007年7月18日 申請日期2006年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月22日
發(fā)明者朱福盛, 杜德洪 申請人:力晶半導(dǎo)體股份有限公司