專利名稱：感光性樹脂轉(zhuǎn)印裝置以及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及感光性樹脂轉(zhuǎn)印裝置以及方法，具體而言，涉及在液晶板用基板、等離子顯示器用基板、印刷配線用基板等上轉(zhuǎn)印感光層的裝置以及方法。
背景技術(shù)：
液晶板和等離子顯示器的濾色器，是在透明的基板上轉(zhuǎn)印R、G、B等3色的感光性樹脂(光致抗蝕劑)后，用光刻法實(shí)施曝光、顯影處理而形成的。例如，感光性樹脂轉(zhuǎn)印裝置是，一邊輸送支持體上設(shè)有感光性樹脂層(感光層)的感光材料和基板，一邊通過配置在輸送線上的熱壓接滾筒將所述感光層向基板轉(zhuǎn)印。(如，參照專利文獻(xiàn)1)在感光性樹脂轉(zhuǎn)印裝置的感光材料供給部，安裝有一條具有多個(gè)片的長度的較長感光材料經(jīng)卷繞成卷狀而形成的感光材料卷。該感光材料的寬度取決于基板上的轉(zhuǎn)印區(qū)域的寬度。從該感光材料卷拉出的感光材料，在配合基板的長度而在感光層上標(biāo)記斷開記號(hào)后，被供給到輸送線上。然后，感光層通過熱壓接滾筒被轉(zhuǎn)印在基板上，之后支持體從感光層剝離。
專利文獻(xiàn)1特開2002-148794號(hào)公報(bào)近年來，隨著液晶板和等離子顯示器的畫面尺寸的大型化，基板的尺寸也已變大，轉(zhuǎn)印區(qū)域的寬度也不斷擴(kuò)大。轉(zhuǎn)印區(qū)域的寬度變寬后，為了與之相匹配，感光材料的寬度也必須變大，而感光材料的寬度如果變大，隨之感光材料卷寬度也將增加，從而必須實(shí)現(xiàn)感光材料卷的輸送工序的大型化、和感光材料的輸出機(jī)構(gòu)的大型化，會(huì)增加裝置的改造費(fèi)用。上述費(fèi)用最終會(huì)轉(zhuǎn)嫁給制品的成本，阻礙了成本的減少。另外，感光材料的寬度如果變大，重量也會(huì)比以往增加，同時(shí)容易起皺，感光材料的操作也將變得不方便。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供在能控制裝置的改造費(fèi)用的同時(shí)，不損害感光材料的操作性而且能夠在寬幅的整個(gè)基板上轉(zhuǎn)印感光性樹脂的感光性樹脂轉(zhuǎn)印裝置以及方法。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的感光性樹脂轉(zhuǎn)印裝置的特征是具有并列提供多張寬度比所述基板上的轉(zhuǎn)印區(qū)域更窄的感光材料的感光材料供給單元。
另外，所述感光材料供給單元的特征是由從將長的感光材料卷繞成卷狀而成的感光材料卷中拉出感光材料的一端而提供給輸送線的多個(gè)感光材料供給部構(gòu)成，且在所述各感光材料供給部中，設(shè)置有獨(dú)立地調(diào)節(jié)各感光材料的張力的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
此外，所述感光材料供給部的特征是分別具有根據(jù)所述基板的長度而切割支持體上的感光層的切割機(jī)構(gòu)、和剝離被設(shè)置在所述感光層的上層的覆蓋膜的覆蓋膜剝離機(jī)構(gòu)。
感光層轉(zhuǎn)印方法的特征是通過并列提供多張寬度比所述基板上的轉(zhuǎn)印區(qū)域更窄的感光材料，將感光層轉(zhuǎn)印在所述轉(zhuǎn)印區(qū)域的大致整個(gè)面上。


圖1是表示本發(fā)明的感光性樹脂轉(zhuǎn)印裝置的全體概要的示意圖。
圖2是表示感光材料的構(gòu)成的截面圖。
圖3是表示感光材料供給單元的概要的示意擴(kuò)大圖。
圖4是表示基板上的轉(zhuǎn)印區(qū)域的說明圖。
圖5是表示2個(gè)感光材料供給部的設(shè)置位置的立體圖。
圖6是感光材料的轉(zhuǎn)印圖案。
圖7是其它感光材料的轉(zhuǎn)印圖案。
圖中，2感光性樹脂轉(zhuǎn)印裝置12 熱壓接部16 感光材料供給單元16a、16b感光材料供給部
17a、17b感光材料20a、20b感光層22基板22a 轉(zhuǎn)印區(qū)域29層壓滾筒對(duì)具體實(shí)施方式
圖1所示的感光性樹脂轉(zhuǎn)印裝置2由基板供給部10、預(yù)熱部11、熱壓接部12、冷卻部13、剝離部14、基板取出部15、感光材料供給單元16構(gòu)成。感光材料供給單元16由第1感光材料供給部16a和第2感光材料供給部16b構(gòu)成，在各感光材料供給部16a、16b中，分別安裝有長的感光材料17a、17b被卷繞成卷狀而形成的感光材料卷18a、18b。各感光材料供給部16a、16b分別從感光材料卷18a、18拉出各自的感光材料17a、17b，并列地提供給輸送線。
如圖2所示，各感光材料17a、17b是在支持體19上層壓構(gòu)成濾色器的感光層20而形成的，在感光層20的上層設(shè)置有保護(hù)感光層20的覆蓋膜21。制造彩色顯示器的屏幕時(shí)，與R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))3色濾色器相對(duì)應(yīng)的R用、G用、B用的3色感光材料17a、17b按照面的順序轉(zhuǎn)印到基板22上。例如首先，安裝R用的感光材料卷18a、18b，將R用的感光層轉(zhuǎn)印到玻璃基板22上。該轉(zhuǎn)印之后，用光刻法對(duì)被轉(zhuǎn)印的感光層進(jìn)行曝光、顯影，形成濾色器圖案。形成了濾色器圖案的感光層經(jīng)烘干被固定在基板上。
該烘干后，形成有R用的濾色器的玻璃基板22重新返回到感光性樹脂轉(zhuǎn)印裝置2。然后，安裝G用的感光材料卷18a、18b，把G用的感光層轉(zhuǎn)印到玻璃基板22上。被轉(zhuǎn)印的G用的感光層和R用的感光層同樣地形成濾色器圖案，經(jīng)烘干被固定。形成G用的濾色器后，同樣地轉(zhuǎn)印B用的感光層，形成B用的濾色器。形成了上述3色的濾色器后，為了添補(bǔ)它們的縫隙，轉(zhuǎn)印K(黑)用的感光層。
圖1中，基板22通過基板供給部10的機(jī)械手23，按照一定間隔，以轉(zhuǎn)印面朝下的狀態(tài)被提供給預(yù)熱部11。該基板22的大小例如為包含4張面板的大小，形成濾色器后，被分割成4份。
預(yù)熱部11由基板輸送裝置24和加熱器25、26構(gòu)成?；遢斔脱b置24由氣浮板27和輸送滾筒28構(gòu)成。氣浮板27被配置成與基板22的轉(zhuǎn)印面的一側(cè)相對(duì)，向著轉(zhuǎn)印面吹送干凈的空氣，使基板22浮起。
輸送滾筒28與浮起的基板22的轉(zhuǎn)印面的兩側(cè)邊緣部接觸，通過旋轉(zhuǎn)將基板22輸送至熱壓接部12。感光層20不會(huì)轉(zhuǎn)印到基板22的轉(zhuǎn)印面的兩側(cè)邊緣部上，輸送滾筒28的周圍沒有和感光層20接觸。該輸送滾筒由帶有凸緣的滾筒構(gòu)成，圖中沒有表示出的凸緣可起引導(dǎo)基板22的作用，決定基板22的寬度方向的位置。
加熱器25、26，中間隔著基板輸送裝置24的基板22的輸送線，在上下配置有多個(gè)，將基板加熱到如50～110℃的溫度。經(jīng)預(yù)熱部11加熱的基板22被輸送滾筒28送到熱壓接部12。
熱壓接部12由層壓滾筒對(duì)29和支撐滾筒30構(gòu)成。層壓滾筒對(duì)29由與基板22接觸的層壓滾筒29a和與感光材料17接觸的29b構(gòu)成。上述層壓滾筒29a、29b以及支撐滾筒30中內(nèi)藏有加熱器。層壓滾筒對(duì)29通過夾持輸送基板22和感光材料17，將感光材料17熱壓接在基板22上，并粘附在一起。支撐滾筒30與層壓滾筒29a、29b接觸而進(jìn)行從動(dòng)旋轉(zhuǎn)，抑制層壓滾筒29a、29b的撓曲，以使其用均勻的力進(jìn)行熱壓接。
熱壓接部12在后述的半切機(jī)45的半切線通過所定的位置后，向基板輸送裝置24發(fā)出開始送入信號(hào)。由此，在半切線和基板22的位置經(jīng)調(diào)整一致的狀態(tài)下，感光材料17的感光層20被轉(zhuǎn)印到基板22上。這時(shí)，支持體19也隨著基板22的移動(dòng)被送到層壓滾筒對(duì)29的輸送方向的下流側(cè)。
冷卻部13由冷卻風(fēng)吹出板31和輸送滾筒32構(gòu)成。冷卻風(fēng)吹出板31向基板22吹送通過HEPA濾色器的干凈的冷卻風(fēng)，將由輸送滾筒32所輸送的基板22的溫度冷卻到大致室溫(30℃以下)。
剝離部14由剝離滾筒33和底膜卷繞機(jī)構(gòu)34構(gòu)成，將支持體19連續(xù)地從基板22剝離，并將該支持體19以卷狀卷繞在回收軸34a上?；厥蛰S34a由沒有圖示的卷繞電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。通過控制該卷繞電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)矩，使層壓滾筒對(duì)29以后的支持體19的張力保持一定，以避免支持體19發(fā)生撓曲。
剝離部14的下流側(cè)設(shè)置有由氣浮板35所構(gòu)成的基板取出部15。該氣浮板35的構(gòu)成與預(yù)熱部11的氣浮板27相同。從剝離部14送到基板取出部15的基板22，被機(jī)械手36吸附住其上側(cè)面而被取出。
如圖3所示，第1感光材料供給部16a和第2感光材料供給部16b，分別獨(dú)立地具有感光材料安裝軸37、38，切割部39、40，覆蓋膜剝離機(jī)構(gòu)41、42，張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)43、44。各感光材料卷18a、18b被分別安裝在感光材料安裝軸37、38上。
切割部39、40具有配合基板22的轉(zhuǎn)印區(qū)域22a的長度在保留各感光材料17a、17b的支持體19a、19b的條件下對(duì)感光層20a、20b以及覆蓋膜21a、21b引入斷開記號(hào)的半切機(jī)45。半切機(jī)45由其縱向沿各感光材料17a、17b的寬度方向而伸長的2片刀刃構(gòu)成。2片刀刃的間隔與多個(gè)基板22被連續(xù)輸送的間隔相對(duì)應(yīng)。即，2片刀刃的間隔與1張基板22的轉(zhuǎn)印區(qū)域22a的后端和下一張基板22的轉(zhuǎn)印區(qū)域22a的前端之間的間隔相對(duì)應(yīng)，通過使2片刀刃同時(shí)動(dòng)作1次，可在上述位置處同時(shí)引入斷開記號(hào)。
覆蓋膜剝離機(jī)構(gòu)41、42使被切割的各感光層20a、20b上層的覆蓋膜21a、21b從各感光材料17a、17b剝離。該覆蓋膜剝離機(jī)構(gòu)41、42中通過壓緊滾筒48將從膠帶滾筒46拉出的膠帶47貼在覆蓋膜21上，貼有該覆蓋膜21的膠帶47被卷繞在膠帶卷繞軸49上，進(jìn)行回收。
張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)43、44由反張力滾筒50、51，電動(dòng)機(jī)52、53以及張力傳感器54、55構(gòu)成。反張力滾筒50、51根據(jù)由張力傳感器54、55所測出的張力值，使層壓滾筒對(duì)29之前的感光材料17a、17b的張力保持一定，以免感光材料17a、17b發(fā)生撓曲。由張力傳感器所測出的張力值被送到控制器56(參照圖5)，控制電動(dòng)機(jī)52、53的旋轉(zhuǎn)速度和旋轉(zhuǎn)量，由此調(diào)節(jié)張力。
符號(hào)57是薄膜位置控制裝置。薄膜位置控制裝置57使被并列輸送的2張感光材料17a、17b之間的距離保持一定間隔，使感光材料17a、17b的輸送處于穩(wěn)定狀態(tài)。另外，也可以隨處設(shè)置薄膜位置控制裝置57，以便以高精確度輸送感光材料17a、17b。
如圖4所示，各感光材料17a、17b的寬度W2比基板22上的轉(zhuǎn)印區(qū)域22a的全寬度W1窄，例如，W2≤1/2·W1。通過并列地供給上述的感光材料17a、17b，可在大致整個(gè)轉(zhuǎn)印區(qū)域22a上轉(zhuǎn)印感光層20。如上所述，通過并列地供給多張比基板上的轉(zhuǎn)印區(qū)域的寬度更窄的感光材料，可以在不使感光材料的寬度變寬的條件下，在寬幅的大致整個(gè)轉(zhuǎn)印區(qū)域上轉(zhuǎn)印感光層。
如圖5所示，各感光材料供給部16a、16b的各自的反張力滾筒50、51設(shè)置在同軸上。各反張力滾筒50、51分別由各自的電動(dòng)機(jī)52、53驅(qū)動(dòng)?？刂破?6通過獨(dú)立地控制上述的電動(dòng)機(jī)52、53，分別獨(dú)立地調(diào)節(jié)各感光材料的張力。若要把多張感光材料掛在一個(gè)反張力滾筒上輸送，則每個(gè)感光材料都會(huì)產(chǎn)生滑移，不能使各感光材料的張力保持一定。因此，本例中，對(duì)各感光材料分別設(shè)置張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，并獨(dú)立地對(duì)此進(jìn)行控制，由此使各感光材料的張力保持一定。
下面，說明本實(shí)施方式的作用。通過基板供給部10的機(jī)械手23將基板22提供給預(yù)熱部11。被提供給預(yù)熱部11的基板22經(jīng)加熱器25、26加熱后送到熱壓接部12。然后，由第1感光材料供給部16a和第2感光材料供給部16b將感光材料17a、17b并列地提供給被送到熱壓接部12的基板22。
在各感光材料17a、17b被提供給熱壓接部12以前，控制器56獨(dú)立地控制感光材料供給部16a、16b，相對(duì)于感光材料17a、17b進(jìn)行各感光材料供給部16a、16b的各部分的處理。利用各切割部39、40的半切機(jī)45，根據(jù)基板22的轉(zhuǎn)印區(qū)域22a的長度，在感光材料17a、17b上引入斷開記號(hào)，送到各覆蓋膜剝離機(jī)構(gòu)41、42。在各覆蓋膜剝離機(jī)構(gòu)41、42中，經(jīng)切割的各感光層20a、20b的上層的覆蓋膜21a、21b從感光材料17a、17b剝離。經(jīng)過了各覆蓋膜剝離機(jī)構(gòu)41、42的感光材料17a、17b在被各張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)43、44保持一定張力的狀態(tài)下，被提供給熱壓接部12。
由各感光材料供給部16a、16b供給的感光材料17a、17b，在與基板22的轉(zhuǎn)印區(qū)域22a的位置一致的狀態(tài)下，在熱壓接部12的層壓滾筒對(duì)29之間被輸送，各感光材料17a、17b的感光層20a、20b被轉(zhuǎn)印到基板22的轉(zhuǎn)印區(qū)域22a中。之后，轉(zhuǎn)印了各感光材料17a、17b的感光層20a、20b的基板22被送到冷卻部13，經(jīng)從冷卻風(fēng)吹出板31吹出的冷卻風(fēng)冷卻后，被送到剝離部14。在剝離部14中，各感光材料17a、17b的支持體被卷繞到回收軸34a上，進(jìn)行剝離。各感光材料17a、17b的支持體被剝離的基板22被送到基板取出部15，由機(jī)械手36吸附住其上側(cè)面而取出。
如上所述，因具有并列地供給比基板22的轉(zhuǎn)印區(qū)域22a的寬度更窄的感光材料17a、17b的感光材料供給單元16，不需要擴(kuò)大裝置的輸送系統(tǒng)寬度，因而在能夠控制裝置的改造費(fèi)用的同時(shí)，在整個(gè)寬幅的基板上轉(zhuǎn)印感光層。另外，因?yàn)槭褂谜母泄獠牧?，不容易起皺，不?huì)損害感光材料的操作性。
此外，所述實(shí)施方式中，每一感光材料卷中分別設(shè)置有張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、切割部、覆蓋膜剝離機(jī)構(gòu)，但也可以對(duì)于多個(gè)感光材料卷只設(shè)置1個(gè)共同的構(gòu)造。但是，通過分別設(shè)置切割部，并獨(dú)立地對(duì)此進(jìn)行控制，可以對(duì)板的生產(chǎn)進(jìn)行細(xì)致的調(diào)節(jié)。即，在所述例中，由于使用可取多面的基板，進(jìn)行一次熱壓接，就可用2片感光材料轉(zhuǎn)印每份2張共4張的板的感光層。通過1次轉(zhuǎn)印所轉(zhuǎn)印的感光層的長度由半切長度所決定，因此通過控制切割位置，也可以在一側(cè)感光材料中，轉(zhuǎn)印2張的長度，而在另一側(cè)感光材料中，只轉(zhuǎn)印1張的長度。由此，可以減少顯影工序中的負(fù)荷。
在所述例中，是以由各感光材料供給部供給相同顏色用的感光材料為例進(jìn)行了說明，但如圖6所示，也可以由第1感光材料供給部供給R用的感光材料，由另一供給部供給G用的感光材料，由此供給不同顏色的感光材料。另外，所述例中，是以設(shè)置2個(gè)感光材料供給部為例進(jìn)行了說明，但也可以設(shè)置2個(gè)以上。
再有，所述例中，是將由各感光材料供給部所供給的各感光材料的寬度設(shè)定為轉(zhuǎn)印區(qū)域的1/2以下，且其寬度相同，但也可以使一方具有轉(zhuǎn)印區(qū)域的1/3的寬度，而另一方具有2/3的寬度，即各感光材料的寬度可以互不相同，也可以不是轉(zhuǎn)印區(qū)域的1/2以下。通過如上所述地變更各感光材料的寬度，可以有效地活用感光材料的制造工序中所產(chǎn)生的短碼寬度的感光材料。
圖7的例子中，由位于中央的第2感光材料供給部供給R用的感光材料，由位于其兩側(cè)的第1和第3的各感光材料部供給用于轉(zhuǎn)印調(diào)準(zhǔn)記號(hào)的K用的感光材料。調(diào)準(zhǔn)記號(hào)是用于調(diào)整各色的轉(zhuǎn)印位置的定位記號(hào)。調(diào)準(zhǔn)記號(hào)一般是在轉(zhuǎn)印R用的感光層時(shí)由相同的感光層形成，與紅和黑比較，由于對(duì)比度低，分辨率也低。但是，若只為轉(zhuǎn)印調(diào)準(zhǔn)記號(hào)而轉(zhuǎn)印K用的感光層，則會(huì)導(dǎo)致工序的增加，引起生產(chǎn)效率的下降。因此，如圖7所示，轉(zhuǎn)印R用的感光層時(shí)，如果與之并列地轉(zhuǎn)印K用感光層，那么可以在不增加工序的條件下設(shè)置高分辨率的調(diào)準(zhǔn)記號(hào)。
根據(jù)所述實(shí)施方式，在被并列地供給的2個(gè)感光材料之間有縫隙，不過也可以消除該縫隙，使2個(gè)感光材料的邊緣相重疊。
根據(jù)所述實(shí)施方式，2個(gè)感光材料供給部并列地設(shè)置各自的供給線路，也可以不并列，還可以引入90度轉(zhuǎn)動(dòng)等而前后、上下立體地進(jìn)行設(shè)置。
本發(fā)明除了液晶板用基板、等離子顯示器用基板之外，還可以適用于對(duì)印刷配線用基板、有機(jī)EL(electro luminescence)用基板、TFT(ThinFilm Transistor)用基板等各種基板轉(zhuǎn)印感光性樹脂的情形。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，因具有并列地供給多張比轉(zhuǎn)印區(qū)域的寬度更窄的感光材料的感光材料供給單元，所以在可控制裝置的改造費(fèi)用的同時(shí)，在不損害感光材料的操作性的條件下，能夠?qū)⒏泄庑詷渲D(zhuǎn)印在整個(gè)寬幅基板上。
另外，感光材料供給單元，由從較長的感光材料被卷繞成卷狀而形成的感光材料卷拉出感光材料的一端并提供給輸送線的多個(gè)感光材料供給部構(gòu)成，在上述各感光材料供給部中，設(shè)置了獨(dú)立地調(diào)節(jié)各感光材料的張力的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，因此可以將各感光材料穩(wěn)定地提供給基板。
再有，感光材料供給部中分別具有配合所述基板的長度而在支持體上的感光層中引入斷開記號(hào)的切割機(jī)構(gòu)、和剝離被設(shè)置在感光層的上層的覆蓋膜的覆蓋膜剝離機(jī)構(gòu)。因此，可以將各感光材料按照所期望的長度進(jìn)行半切，毫無浪費(fèi)地在基板上的轉(zhuǎn)印區(qū)域轉(zhuǎn)印感光性樹脂。
權(quán)利要求
1.一種感光性樹脂轉(zhuǎn)印裝置，是向配置有熱壓接滾筒的輸送線提供在支持體上層壓有感光性樹脂層的感光材料和基板，并利用所述熱壓接滾筒將所述感光層轉(zhuǎn)印在所述基板的轉(zhuǎn)印區(qū)域上的感光性樹脂轉(zhuǎn)印裝置，其特征在于，具有并列提供多張寬度比所述轉(zhuǎn)印區(qū)域更窄的感光材料的感光材料供給單元。
2.如權(quán)利要求1所述的感光性樹脂轉(zhuǎn)印裝置，其特征在于，所述感光材料供給單元由從將長的感光材料卷繞成卷狀而成的感光材料卷中拉出感光材料的一端而提供給輸送線的多個(gè)感光材料供給部構(gòu)成，且在這些各感光材料供給部中，設(shè)置有獨(dú)立地調(diào)節(jié)各感光材料的張力的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
3.如權(quán)利要求1和2所述的感光性樹脂轉(zhuǎn)印裝置，其特征在于，所述感光材料供給部分別具有以下機(jī)構(gòu)根據(jù)所述基板的長度而在支持體上的感光層上引入斷開記號(hào)的切割機(jī)構(gòu)、和剝離被設(shè)置在所述感光層的上層的覆蓋膜的覆蓋膜剝離機(jī)構(gòu)。
4.一種感光性樹脂轉(zhuǎn)印方法，是向配置有熱壓接滾筒的輸送線提供在支持體上層壓有感光性樹脂層的感光材料和基板，并利用所述熱壓接滾筒將所述感光層轉(zhuǎn)印在所述基板的轉(zhuǎn)印區(qū)域上的感光性樹脂轉(zhuǎn)印方法，其特征在于，通過并列提供多張寬度比所述轉(zhuǎn)印區(qū)域更窄的感光材料，將感光層轉(zhuǎn)印在所述轉(zhuǎn)印區(qū)域的大致整個(gè)面上。
全文摘要
一種感光性樹脂轉(zhuǎn)印裝置，其中感光材料供給單元由第1感光材料供給部(16a)和第2感光材料供給部(16b)構(gòu)成。各感光材料供給部(16a、16b)由控制器(56)獨(dú)立控制，層壓了感光層的感光材料(17a、17b)分別安裝在各感光材料安裝軸上。各感光材料(17a、17b)的寬度比基板(22)上的轉(zhuǎn)印區(qū)域的寬度窄。感光材料(17a、17b)在通過各感光材料供給部(16a、16b)的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(43、44)保持一定張力的狀態(tài)下，被并列提供于層壓滾筒對(duì)(29)之間。根據(jù)本發(fā)明，在可控制裝置的改造費(fèi)用的同時(shí)，在不損害感光材料的操作性的條件下，能夠?qū)⒏泄庑詷渲D(zhuǎn)印在整個(gè)寬幅的基板上。
文檔編號(hào)G03C1/74GK1542549SQ200410035308
公開日2004年11月3日 申請日期2004年4月15日 優(yōu)先權(quán)日2003年5月1日
發(fā)明者長手弘, 末原和芳, 芳 申請人:富士膠片株式會(huì)社